JP2008010269A - 低真空電子光学系画像生成装置および低真空電子光学系画像生成方法 - Google Patents
低真空電子光学系画像生成装置および低真空電子光学系画像生成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【構成】低真空に保持して試料を試料移動台上に配置すると共に試料を前記ビームを細く絞る対物レンズの磁界あるいは対物レンズから漏洩した磁界の中に配置した構造を持つ試料室と、ビームを試料に照射しつつ平面走査したときに放出された2次電子を磁界の軸中心の近傍を2次電子検出器の方向に向かって通過する部分に配置する、低真空側と高真空側との間に設けた小さな絞りと、絞りを通過した高真空側に配置した2次電子検出器とを備える。
【選択図】 図1
Description
図1において、電子銃1は、電子線ビームを発生して放出する公知のものである。
・試料室10は、10−2〜30パスカル(バルブ8で低真空を調整)
・対物レンズ3の部分は、10−2パスカル
・コンデンサレンズ2の部分は、10−4パスカル
・電子銃1の部分は、10−6パスカル
程度にそれぞれ保持するように、ポンプ11,12,13で図示のように差動排気している。
次に、図2のフローチャートの順番に従い、図1の構造のもとでその動作を詳細に説明する。
図2において、S1は、試料を入れる。これは、図1の試料室10内のステージ6に測長対象の試料であるマスク5を入れる(例えば図示外の予備排気室にロボットによって搬送したマスク5を真空排気した後、当該予備排気室と試料室10との間の弁を開き、当該マスク5を搬送してステージ6の所定位置に固定した後、弁を閉にする。
S8は、測長する。これらS7、S8は、S6のOKで試料室10内の低真空を最適に調整完了したので(S2からS6)、マスク5の画像をメモリに格納し、CADデータと比較して該当パターンの測長を行う。
図3の(a)は、高真空の場合を示す。試料室10内が高真空の場合には、電子線ビームがマスク5に照射する際に、試料室10内の残留分子に衝突してイオン(正)にする割合が極めて少なく、マスク5の上に照射した電子線ビームによる電子の方が多く、図示のように、非導電性の水晶のマスク5の上に電子がたまり、チャージ現象が発生してしまう。図示の状態で、2次電子像を取得して表示すると、画像中のパターンの寸法が太くなったり、画像のコントラストが低下したりし、正確に測長不可となる(特に測長再現性が悪くなる)。
図4の(a)は、繰返再現性の例を示す。
2:コンデンサレンズ
3:対物レンズ
4:2次電子検出器
5:マスク
6:ステージ
7:ノズル
8:バルブ
9:ガス源
10:試料室
11,12,13:ポンプ
21,22,23:絞り
Claims (10)
- 電子光学系で生成したビームを低真空中に配置した試料に照射しつつ平面走査して画像を生成する低真空電子光学系画像生成装置において、
低真空に保持して試料を試料移動台上に配置すると共に当該試料を前記ビームを細く絞る対物レンズの磁界あるいは対物レンズから漏洩した磁界の中に配置した構造を持つ試料室と、
前記ビームを前記試料に照射しつつ平面走査したときに放出された2次電子を前記磁界の軸中心の近傍を2次電子検出器の方向に向かって通過する部分に配置する、低真空側と高真空側との間に設けた小さな絞りと、
前記絞りを通過した高真空側に配置した2次電子検出器と
を備えたことを特徴とする低真空電子光学系画像生成装置。 - 前記低真空を、前記ビームが試料を照射しつつ平面走査したときに生成された画像上で、チャージが発生したときには圧力を上げて当該チャージを所定閾値以下に調整する手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記低真空を、前記ビームが試料を照射しつつ平面走査したときに生成された画像上で、汚染が発生したときには圧力を上げて当該汚染を所定閾値以下に調整する手段を備えたことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記低真空を、前記ビームが試料を照射しつつ平面走査したときに生成された画像の分解能が悪いときには圧力を下げて当該分解能を良くなる圧力に調整する手段を備えたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記低真空について、前記試料から放出された2次電子を、当該試料室内に配置した2次電子検出器に直接に吸引するときに印加する数KVから十数KVあるいはそれ以上の直流電圧の印加が困難である、10−2パスカルから30パスカルの範囲に調整する手段を備えたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記高真空側に配置した2次電子検出器をMCP(マイクロチャネルプレート)として当該高真空側で所定の高電圧を印加し、高S/N比の検出・増幅を可にしたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記生成した画像をもとに、当該画像上のパターンの測長を行うことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記試料室を低真空に保持する手段として、真空排気系で当該試料室を排気すると共に所定のガスを導入して所定の低真空に保持する手段を備えたことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 前記ガスとして、乾燥空気、窒素、酸素、不活性ガスのいずれか1つあるいは複数としたことを特徴とする請求項8記載の低真空電子光学系画像生成装置。
- 電子光学系で生成したビームを低真空中に配置した試料に照射しつつ平面走査して画像を生成する低真空電子光学系画像生成方法において、
低真空に保持して試料を試料移動台上に配置すると共に当該試料を前記ビームを細く絞る対物レンズの磁界あるいは対物レンズから漏洩した磁界の中に配置した構造を持つ試料室と、
前記ビームを前記試料に照射しつつ平面走査したときに放出された2次電子を前記磁界の軸中心の近傍を2次電子検出器の方向に向かって通過する部分に配置する、低真空側と高真空側との間に設けた小さな絞りと、
前記絞りを通過した高真空側に配置した2次電子検出器と
を設け、
前記細く絞ったビームを前記試料に照射しつつ平面走査し、そのときに当該試料から放出された2次電子を、前記対物レンズからの磁界あるいは対物レンズから漏洩した磁界の軸上を螺旋しながら前記細い絞りを通過して前記2次電子検出器の前部あるいは前方に印加された高電圧に向かって吸引し、当該吸引して加速した2次電子を当該2次電子検出器の検出面に衝突させて検出・増幅し、検出・増幅した出力信号を出力して画像を生成する
ことを特徴とする低真空電子光学系画像生成方法。
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