JP2008003271A - 画像表示装置及び画像調整方法 - Google Patents
画像表示装置及び画像調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008003271A JP2008003271A JP2006172154A JP2006172154A JP2008003271A JP 2008003271 A JP2008003271 A JP 2008003271A JP 2006172154 A JP2006172154 A JP 2006172154A JP 2006172154 A JP2006172154 A JP 2006172154A JP 2008003271 A JP2008003271 A JP 2008003271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror device
- image
- unit
- image display
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
Abstract
【課題】ミラーデバイスの角度調整と焦点調整を簡易に且つ定量化できることを特徴とした画像表示装置及び画像調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】照明光学部11と、照明光学部11から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイス6と、ミラーデバイス6からの反射光を画像表示手段10へと投影するための投射光学部9と、ミラーデバイス6の4隅に配置される非点収差を生じさせるレンズ部7と、前記レンズ部を介して画像表示手段10に投影されるテストパターン像15の情報を計測する計測手段13と、計測手段13によって得られた計測値に基づいて、ミラーデバイス6の投射光学部9及び画像表示手段10に対する焦点及び角度調整を行う調整部14とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】照明光学部11と、照明光学部11から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイス6と、ミラーデバイス6からの反射光を画像表示手段10へと投影するための投射光学部9と、ミラーデバイス6の4隅に配置される非点収差を生じさせるレンズ部7と、前記レンズ部を介して画像表示手段10に投影されるテストパターン像15の情報を計測する計測手段13と、計測手段13によって得られた計測値に基づいて、ミラーデバイス6の投射光学部9及び画像表示手段10に対する焦点及び角度調整を行う調整部14とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、ミラーデバイスを用いた画像表示装置に関し、スクリーンに投影される画像に対するピンボケ(焦点位置ズレ)や台形歪み(角度ズレ)を補正するために、ミラーデバイスの焦点及び角度調整を行う調整技術に関するものである。
近年、液晶技術や画像表示素子であるミラーデバイスなどの技術の進歩に伴い、それらの技術を利用したプロジェクタの画質性能が著しく向上している。
そこで、大型画像を表示する手段としてプロジェクタや、家庭用大型テレビとしてプロジェクタ技術を利用したプロジェクションテレビやリアプロジェクションテレビの需要が増加している。
しかし、プロジェクタはディスプレイタイプと違って、スクリーン面と画像表示素子であるミラーデバイスとの相対関係によってスクリーン面上表示画像のピンボケ(焦点位置ズレ)や台形歪み(角度ズレ)が起こったりする。
この問題を解決するために、水平方向1列に並んだ4つの発光素子(画像表示素子)からスクリーンにテストパターンを投影し、それぞれの反射光を水平方向に並んだ4つの垂直方向一次元配列撮像素子で受光し、4つの受光位置の直線性を確認し、直線上から外れる外側の受光位置であればその受光位置を除外し、直線性が保持されている受光位置の外側の2個の位置からスクリーンまでの距離を求めてスクリーンの傾斜角度を算出することにより角度調整し、台形歪みを補正する技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
さらに、画像光をスクリーンに対して一定の発散角で投射するプロジェクタであって、スクリーンに投射された投射点を指し示している電子ペンから同時に出力された検出光と検出音が受信されるまでの間の時間差に基づいて、画像表示反射機構上に取り付けられたセンサ部と投射点とを最短距離で結ぶ直線L1の長さを求め、直線L1の長さに所定の定数を乗じて、センサ部とスクリーンとを最短距離で結ぶ直線L2の長さを求め、第二の直線L2の長さに基づいて焦点調整を行う技術が開示されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2005−150919号公報
特開2005−165140号公報
しかしながら特許文献1に記載の技術では、複数の発光素子および複数の受光素子を用いるため、それらに付随する集光系レンズの枚数など、部品点数が多くなるという課題があった。
また、特許文献2に記載の技術では、スクリーン上に取り付けられた電子ペンから同時に出力された検出光と検出音が受信されるまでの間の時間差に基づいて調整を行うため、光量モニタと音声モニタの両方が必要であるという課題があった。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、焦点調整と角度調整を定量化して行う画像表示装置及び画像調整方法を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明の照明光学部と、前記照明光学部から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイスと、前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと投影するための投射光学部と、前記ミラーデバイスの4隅に配置される非点収差を生じさせるレンズ部と、前記レンズ部を介して画像表示手段に投影されるテストパターン像の情報を計測する計測手段と、前記計測手段によって得られた計測値に基づいて、前記ミラーデバイスの前記投射光学部及び前記画像表示手段に対する焦点及び角度調整を行う調整部とを備えたことを特徴とするものである。
さらに画像表示装置において、前記レンズ部は、直行する2軸方向でそれぞれ曲率が異なるレンズを用いたことを特徴とするものである。
さらに画像表示装置において、前記テストパターン像は半径一定の円であり、前記計測手段は前記円の歪み及び大きさを計測することを特徴とするものである。
さらに本発明の画像調整方法において、照明光学部と、前記照明光学部から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイスと、前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと投影するための投射光学部とから構成される画像表示装置のミラーデバイスの画像調整方法において、前記ミラーデバイスの有効領域外の4隅に非点収差を生じさせるレンズ部を配置するステップと、前記照明光学部から前記ミラーデバイスへ光を照射するステップと、前記ミラーデバイスにて画像情報に応じて所定の角度で照射光を反射するステップと、前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと前記投射光学部により投影するステップと、前記投射光学部により前記画像表示手段に投影されるテストパターン像の情報を計測手段にて計測するステップと、前記計測手段によってえられた計測値に基づいて、前記ミラーデバイスの前記投射光学部及び前記画像表示手段に対する焦点及び角度調整を行い固定するステップとを有することを特徴とするものである。
さらに画像調整方法において、前記レンズ部は、直行する2軸方向でそれぞれの曲率が異なるレンズを用いたことを特徴とするものである。
さらに画像調整方法において、前記固定するステップに続いて、前記レンズ部の取り外しを行うステップをさらに有することを特徴とするものである。
さらに画像調整方法において、前記テストパターン像は半径一定の円であり、前記計測手段は前記円の歪み及び大きさを計測することを特徴とするものである。
さらに画像調整方法において、照明光学部と、前記照明光学部から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイスと、前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと投影するための投射光学部とから構成される画像表示装置のミラーデバイスの画像調整方法において、前記ミラーデバイスの有効領域外を含む全面に非点収差を生じさせるレンズ部を配置するステップと、前記照明光学部から前記ミラーデバイスへ光を照射するステップと、前記ミラーデバイスにて画像情報に応じて所定の角度で照射光を反射するステップと、前記ミラーデバイスによって反射された光を画像表示手段へと前記投射光学部により投影するステップと、前記投射光学部により前記画像表示手段に投影されるテストパターン像の情報を計測手段にて計測するステップと、前記計測手段によってえられた計測値に基づいて、前記ミラーデバイスの前記投射光学系及び前記画像表示手段に対する焦点及び角度調整を行い固定するステップと、前記レンズ部を前記ミラーデバイスから取り外すステップとを有することを特徴とするものである。
さらに画像調整方法において、前記レンズ部は、直行する2軸方向でそれぞれの曲率が異なるレンズを用いたことを特徴とするものである。
さらに画像調整方法において、前記テストパターン像は半径一定の円であり、前記計測手段は前記円の歪み及び大きさを計測することを特徴とするものである。
本発明の画像表示装置及び画像調整方法によれば非点収差を与えるレンズ部を用いることで、スクリーンに投影される画像に対するピンボケ(焦点位置ズレ)や台形歪み(角度ズレ)を明確に定量化し、ミラーデバイスの焦点及び角度調整を簡易に同時に行えるという効果を得ることができる。
以下に、本発明の画像表示装置及び画像調整方法の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施例における画像表示装置に関する概要を示す。図1において、照明光学部11は、光源1と集光レンズ部2とロッドインテグレータ3とリレーレンズ部4と反射プリズム5とで構成されている。また、ミラーデバイス6、非点収差を与えるレンズ部12としてシリンドリカルレンズ7及び集光レンズ8、投射光学部として投射レンズ部9、画像表示手段としてスクリーン10を用いている。通常、画像表示を行う際には、照明光学部11が照射した光をミラーデバイス6内のミラー素子群がそれぞれ所定の角度で反射することによりスクリーン10に画像が表示される。ミラー素子群は表示させる画像に応じて所定の角度で傾きを変更して反射光を表示画像とするものである。
図2は、ミラーデバイス6の反射面6−aに非点収差を与えるレンズ部12の1部である4つのシリンドリカルレンズ7−a〜7−dを取り付けた状態を示したものであり、ミラーデバイス6においては反射光がそのままスクリーンに表示される有効領域6−bと本発明の画像表示装置にフレームなどを取り付けた際に反射光が遮蔽され非表示領域となる有効領域外部6−cからなる。図2に示すように、シリンドリカルレンズ7はミラーデバイス6の有効領域外部6−c上の4隅に配置される。さらに、非点収差を与えるレンズ部12のもう一方の一部である集光レンズ8はシリンドリカルレンズ7と同じ中心光軸を通るように配置される。またここで集光レンズ8を用いる理由としては、非点収差を与えるレンズ部12を通ってスクリーン10で表示されるテストパターン15のX軸焦点位置とそれと直交するY軸焦点位置の中間位置が、スクリーン10で表示される画像の焦点が合う位置と同じになるようにするためである。
ただし、シリンドリカルレンズのみでもY軸焦点とX軸焦点の中間位置がスクリーン面と合致することができる。
ただし、シリンドリカルレンズのみでもY軸焦点とX軸焦点の中間位置がスクリーン面と合致することができる。
また、非点収差を与えるレンズ部12を4隅の1箇所にだけ配置することも可能ではあるが、それだけではスクリーン10に対するミラーデバイス6の全体的な焦点及び角度ズレを計測する事が困難である。そこで4隅に配置することにより、ミラーデバイス6のスクリーン10に対する全体の焦点及び角度ズレを誤差がなく容易に計測することができる。
投射レンズ9部は複数枚のレンズで構成されており、ミラーデバイス6から反射されるテストパターン像を任意の倍率でスクリーン10へと投影する。
計測手段13はスクリーン10上に表示されたテストパターン像15の形状を計測し、焦点及び角度ズレを計測するものである。
調整部14は、計測手段13の出力信号を受信する調整量指示部と、ミラーデバイス6をステージ上に取り付け、ステージがX軸、Y軸、Z軸、θX軸、θY軸、θZ軸に可動する6軸ステージと、6軸ステージの各軸を可動させるためのモーターとで構成されている。調整量指示部が計測手段13からの出力信号に基づいて各軸の調整量を決定し、その調整量に基づいて各軸に信号を送ることで各軸のモーターが可動し、ミラーデバイス6焦点及び角度ズレの調整を行う。
以上の構成からなる本発明の画像表示装置の動作について図3に示すフローチャートを用いて説明する。
光源1から出射された光は、集光レンズ部2にてロッドインテグレータ3に集光され、ロッドインテグレータ3内にて強度分布を一様化された光は、リレーレンズ部4及び反射プリズム5にてミラーデバイス6へと導光される。ミラーデバイス6にてテストパターン像となるように反射された光は、非点収差を与えるレンズ部12及び投射レンズ部9を通ってスクリーン10に投影される。その後、前記ミラーデバイス6の有効領域外にあたる前記スクリーン10に投影されたテストパターン像15を計測手段13によって計測し、前記計測手段13で得られた計測値に基づいて調整部14にて前記ミラーデバイス6を調整し、焦点及び角度調整を行う。その際の計測方法及びミラーデバイス6の調整方法について以下に具体例を述べる。
光源1から出射された光は、集光レンズ部2にてロッドインテグレータ3に集光され、ロッドインテグレータ3内にて強度分布を一様化された光は、リレーレンズ部4及び反射プリズム5にてミラーデバイス6へと導光される。ミラーデバイス6にてテストパターン像となるように反射された光は、非点収差を与えるレンズ部12及び投射レンズ部9を通ってスクリーン10に投影される。その後、前記ミラーデバイス6の有効領域外にあたる前記スクリーン10に投影されたテストパターン像15を計測手段13によって計測し、前記計測手段13で得られた計測値に基づいて調整部14にて前記ミラーデバイス6を調整し、焦点及び角度調整を行う。その際の計測方法及びミラーデバイス6の調整方法について以下に具体例を述べる。
ミラーデバイス6の有効領域外上の4隅に設置された非点収差を与えるレンズ部12を通るテストパターン像15を図4のように真円にした場合、垂直方向の長さをα、水平方向の長さをβとした場合、スクリーン10に投影されるテストパターン像15は図5のようになる。ここでテストパターン像15の長さ比は真円のためα=βとなるため、計測手段13が図5のようにスクリーン10上に投影される4隅のテストパターン像を測定し、4隅のテストパターン像の垂直方向及び水平方向の長さがすべてと等しくなるようにα’=β’、さらに表示されるテストパターン像15が限りなく真円に近づくように、調整部14がミラーデバイス6の焦点及び角度調整を行う。
例えば、上側2つのテストパターン像だけが真円に近く、下側2つのテストパターン像が楕円となっている場合には上下方向にミラーデバイスが傾いているため、ミラーデバイス6とスクリーン10との相対位置が平行となるようにミラーデバイス6の傾きを調整する。また、テストパターン像の形状が同じにもかかわらず、縦横比が違う場合には、ミラーデバイス6とスクリーン10との相対位置を焦点が合うようにミラーデバイス6を前後調整する。
以上のように、本発明の画像表示装置及び画像調整方法によれば、テストパターン像に非点収差を与えることで、焦点及び角度ズレ量を明確に定量化することができ、焦点及び角度調整を簡易に同時に行えるという効果を得ることができる。
次に図6ないし図7を用いて本発明の実施例2となる画像調整方法を以下に示す。
図6は本発明の実施例2におけるミラーデバイス6に非点収差を与えるレンズ部12の一部であるシリンドリカルレンズ7を取り付けた様子を示す図である。以上の構成からなる本発明の画像表示装置の動作について図8に示すフローチャートを用いて説明する。
ミラーデバイス6の有効領域全面を覆うように非点収差を与えるレンズ部12の1部であるシリンドリカルレンズ7取り付ける。さらに、非点収差を与えるレンズ部12のもう一方の一部である集光レンズ8はシリンドリカルレンズ7と同じ中心光軸を通るように配置される。実施例1でも述べた通り、ここで集光レンズ8を用いる理由としては、非点収差を与えるレンズ部12を通ってスクリーン10で表示されるテストパターン15のX軸焦点位置とそれと直交するY軸焦点位置の中間位置が、スクリーン10で表示される画像の焦点が合う位置と同じになるようにするためである。
ただし、シリンドリカルレンズのみでもY軸焦点とX軸焦点の中間位置がスクリーン面と合致することができる。
ただし、シリンドリカルレンズのみでもY軸焦点とX軸焦点の中間位置がスクリーン面と合致することができる。
光源1から出射された光は、集光レンズ部2にてコリメートされた後、ロッドインテグレータ3に集光され、ロッドインテグレータ3内にて強度が一様化された光は、リレーレンズ部4及び反射プリズム5にてミラーデバイス6へと導光され、ミラーデバイス6にてテストパターン像15を載せて反射された光は、非点収差を与えるレンズ部12及び投射レンズ部9を通ってスクリーン10に投影される。その後、投影されたテストパターン像15を計測手段13によって計測し、前記計測手段13で得られた計測値に基づいて調整部14にて前記ミラーデバイス6を調整し、焦点及び角度調整を行い固定し、非点収差を与えるレンズ部12を取り外す。その際の計測値について以下に概要を述べる。
ミラーデバイス6の有効領域に取り付けられた非点収差を与えるレンズ部12のテストパターンを図6のように真円にした場合、垂直方向の長さをA、水平方向の長さをBとした場合、前記スクリーン10に投影されるテストパターン像15は図7のようになる。
ここでテストパターン像15の長さ比は真円のためA=Bとなるため、計測手段13が図5のようにスクリーン10上に投影されるテストパターン像15を測定し、垂直方向及び水平方向の長さがすべてと等しくなるようにA’=B’、さらに表示されるテストパターン像15が限りなく真円に近づくように、調整部14がミラーデバイス6の焦点及び角度調整を行う。
そして焦点及び角度調整が完了したら非点収差を与えるレンズ部12であるシリンドリカルレンズ7及び集光レンズ8を取り外す。
以上のように、本発明の画像表示装置及び画像調整方法によればテストパターンに非点収差を与えるレンズ部を調整毎に何度も利用できるため、出荷製品の部品点数を少なくすることが出来る。
なお、実施例1で非点収差を与えるレンズ部12をミラーデバイスの4隅に配置するように示したが、本実施例2と同様にミラーデバイスの調整後に4隅の非点収差を与えるレンズ部12を取り外すようにしても良い。このようにすることで、1セットの非点収差を与えるレンズ部で各装置の調整を行うことが出来る。
なお、本発明の実施例1および2において非点収差を与えるレンズ部の一部としてシリンドリカルレンズを用いて説明したが、トロイダルレンズを用いても良く、シリンドリカルレンズと同様の構成及び方法を実施することが可能である。
本発明の画像表示装置及び画像調整方法によればテストパターン像に非点収差を与えることで、ミラーデバイスの画像表示手段に対する焦点及び角度調整量を明確に定量化することができるため、映像放射部と表示部の相対位置の調整が必要なプロジェクタのような製品に有効である。
1 光源
2 集光レンズ部
3 ロッドインテグレータ
4 リレーレンズ部
5 反射プリズム
6 ミラーデバイス
6−a 反射面
6−b 有効領域
6−c 有効領域外
7 シリンドリカルレンズ
7a〜d シリンドリカルレンズ
8 集光レンズ
9 投射レンズ部
10 スクリーン
11 照明光学部
12 非点収差を与えるレンズ部
13 計測手段
14 調整部
15 テストパターン像
2 集光レンズ部
3 ロッドインテグレータ
4 リレーレンズ部
5 反射プリズム
6 ミラーデバイス
6−a 反射面
6−b 有効領域
6−c 有効領域外
7 シリンドリカルレンズ
7a〜d シリンドリカルレンズ
8 集光レンズ
9 投射レンズ部
10 スクリーン
11 照明光学部
12 非点収差を与えるレンズ部
13 計測手段
14 調整部
15 テストパターン像
Claims (10)
- 照明光学部と、
前記照明光学部から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイスと、
前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと投影するための投射光学部と、
前記ミラーデバイスの4隅に配置される非点収差を生じさせるレンズ部と、
前記レンズ部を介して画像表示手段に投影されるテストパターン像の情報を計測する計測手段と、
前記計測手段によって得られた計測値に基づいて、前記ミラーデバイスの前記投射光学部及び前記画像表示手段に対する焦点及び角度調整を行う調整部と、
を備えたことを特徴とする画像表示装置。 - 前記レンズ部は、直行する2軸方向でそれぞれ曲率が異なるレンズを用いたことを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 前記テストパターン像は半径一定の円であり、前記計測手段は前記円の歪み及び大きさを計測する、ことを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 照明光学部と、
前記照明光学部から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイスと、
前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと投影するための投射光学部とから構成される画像表示装置のミラーデバイスの画像調整方法において、
前記ミラーデバイスの有効領域外の4隅に非点収差を生じさせるレンズ部を配置するステップと、
前記照明光学部から前記ミラーデバイスへ光を照射するステップと、
前記ミラーデバイスにて画像情報に応じて所定の角度で照射光を反射するステップと、
前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと前記投射光学部により投影するステップと、
前記投射光学部により前記画像表示手段に投影されるテストパターン像の情報を計測手段にて計測するステップと、
前記計測手段によってえられた計測値に基づいて、前記ミラーデバイスの前記投射光学部及び前記画像表示手段に対する焦点及び角度調整を行い固定するステップと、
を有する画像調整方法。 - 前記レンズ部は、直行する2軸方向でそれぞれの曲率が異なるレンズを用いたことを特徴とする請求項4に記載の画像調整方法。
- 前記固定するステップに続いて、前記レンズ部の取り外しを行うステップをさらに有することを特徴とする請求項4に記載の画像調整方法。
- 前記テストパターン像は半径一定の円であり、前記計測手段は前記円の歪み及び大きさを計測する、ことを特徴とする請求項4に記載の画像調整方法。
- 照明光学部と、
前記照明光学部から照射される光を画像情報に応じて所定の角度で反射するミラーデバイスと、
前記ミラーデバイスからの反射光を画像表示手段へと投影するための投射光学部とから構成される画像表示装置のミラーデバイスの画像調整方法において、
前記ミラーデバイスの有効領域外を含む全面に非点収差を生じさせるレンズ部を配置するステップと、
前記照明光学部から前記ミラーデバイスへ光を照射するステップと、
前記ミラーデバイスにて画像情報に応じて所定の角度で照射光を反射するステップと、
前記ミラーデバイスによって反射された光を画像表示手段へと前記投射光学部により投影するステップと、
前記投射光学部により前記画像表示手段に投影されるテストパターン像の情報を計測手段にて計測するステップと、
前記計測手段によってえられた計測値に基づいて、前記ミラーデバイスの前記投射光学系及び前記画像表示手段に対する焦点及び角度調整を行い固定するステップと、
前記レンズ部を前記ミラーデバイスから取り外すステップと、
を有する画像調整方法。 - 前記レンズ部は、直行する2軸方向でそれぞれの曲率が異なるレンズを用いたことを特徴とする請求項8に記載の画像調整方法。
- 前記テストパターン像は半径一定の円であり、前記計測手段は前記円の歪み及び大きさを計測する、
ことを特徴とする請求項8記載の画像調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006172154A JP2008003271A (ja) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | 画像表示装置及び画像調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006172154A JP2008003271A (ja) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | 画像表示装置及び画像調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008003271A true JP2008003271A (ja) | 2008-01-10 |
Family
ID=39007716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006172154A Pending JP2008003271A (ja) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | 画像表示装置及び画像調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008003271A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018112739A (ja) * | 2017-01-06 | 2018-07-19 | パロ アルト リサーチ センター インコーポレイテッド | レーザ線発生装置用の照射光学系 |
-
2006
- 2006-06-22 JP JP2006172154A patent/JP2008003271A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018112739A (ja) * | 2017-01-06 | 2018-07-19 | パロ アルト リサーチ センター インコーポレイテッド | レーザ線発生装置用の照射光学系 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11002534B2 (en) | Patterned light projection apparatus and method | |
JP4676205B2 (ja) | 露光装置および露光方法 | |
CN109416507A (zh) | 光学系统及使用此系统校正掩模缺陷的方法 | |
KR20180016471A (ko) | 광원 장치, 노광 장치 및 광원 제어 방법 | |
TW200907605A (en) | Exposure apparatus and method of manufacturing device | |
JP2021184112A (ja) | 感光性の層を露光するための装置および方法 | |
JP4394609B2 (ja) | 投写型表示装置の光学ユニットおよび投写型表示装置 | |
KR20120038800A (ko) | 마스크리스 노광장치 및 노광방법 | |
JPH10170399A (ja) | 収差測定方法及び収差測定装置並びにそれを備えた露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2007234717A (ja) | 露光装置 | |
JP2016109823A (ja) | レンズ装置および投射表示装置 | |
US9041907B2 (en) | Drawing device and drawing method | |
JP2009031169A (ja) | 位置検出装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
JP2008003271A (ja) | 画像表示装置及び画像調整方法 | |
JP2007095767A (ja) | 露光装置 | |
JP6123244B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP6139870B2 (ja) | 露光方法、露光装置および物品の製造方法 | |
JP6522529B2 (ja) | マスク検査方法およびマスク検査装置 | |
JP4826326B2 (ja) | 照明光学系の評価方法および調整方法 | |
JP2006038810A (ja) | 光学系性能測定装置及びその方法 | |
CN109804300B (zh) | 能安装多个相异的图案光源的图案光照射装置及检查装置 | |
JP5335397B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2006108465A (ja) | 光学特性計測装置及び露光装置 | |
KR102672027B1 (ko) | 광-민감성 층을 노광하기 위한 디바이스 및 방법 | |
JP2024004317A (ja) | 撮像レンズ製造装置及びカメラモジュール製造装置 |