JP2007532871A - 光センサ - Google Patents
光センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007532871A JP2007532871A JP2007506842A JP2007506842A JP2007532871A JP 2007532871 A JP2007532871 A JP 2007532871A JP 2007506842 A JP2007506842 A JP 2007506842A JP 2007506842 A JP2007506842 A JP 2007506842A JP 2007532871 A JP2007532871 A JP 2007532871A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sapphire
- hollow
- sensor
- optical
- fabry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 92
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 278
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims abstract description 278
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 58
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 57
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 38
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 36
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 claims description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 5
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 104
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 70
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 50
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 24
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 20
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 19
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 13
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 11
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 11
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 9
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 9
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 8
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 7
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 3
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 230000006903 response to temperature Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015844 BCl3 Inorganic materials 0.000 description 1
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003631 wet chemical etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
- G01L9/0079—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light with Fabry-Perot arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/32—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres
- G01K11/3206—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres at discrete locations in the fibre, e.g. using Bragg scattering
- G01K11/3213—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres at discrete locations in the fibre, e.g. using Bragg scattering using changes in luminescence, e.g. at the distal end of the fibres
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/02—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of crystals, e.g. rock-salt, semi-conductors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
【選択図】図1
Description
図1に示した光センサ1は、センサ1が曝露された温度および/または流体圧力(気体または液体、静止または流動)を測定するように適応させることができる。センサ1は、サファイア体2の底面4に画成された凹部3を有するサファイア体2を含む。凹部3の端部に位置するサファイア体2の部分は膜6を形成する。膜6の内面7(つまり、凹部3に直接隣接する膜6の表面)はサファイア体2の底面4と略平行であり、好ましくは平面状である。
光センサ1、20、30に固定される光ファイバ10の選択は、センサ1、20、30およびファイバ10が曝露される環境条件に依存する。シリカファイバは、800℃を越える温度で光学的に劣化し始める。加えて、これ以下の高温でシリカ内のドーパントは拡散を起こし、したがってシリカファイバは高温での長期使用には適さない。したがって、高温用途には、サファイアファイバを使用することが好ましい。
図6に示したセンサ1を製造する方法を今から説明する。説明するステップの幾つかは、要求されるセンサ1の設計に応じて製造工程から省くことができる。例えば、ボンディング層8を堆積したり、あるいは凹部3に反射性コーティング15およびパッシベーション層16、17をライニングする非必須ステップは省くことができる。さらに、以下で特定の寸法に言及するが、これらは単なる実施例として提供するものであって、代替寸法を使用してもよいことは理解されるであろう。
上述した様々なセンサの実施形態は、ファブリペローキャビティとインタフェースするいずれかの一般的に受け入れられる方法を用いて照会することができる。好適な実施形態は、周知の技術である白色光干渉測定法を使用する。その最も簡単なレベルでは、これは分光計および適切なソフトウェアを使用して、スペクトルデータからキャビティ長を算出することを含む。機械的または光電子的(つまりスキャンニングファブリペロー干渉計、または位相変調器付き集積光導波路キャビティ)整合キャビティを使用して、測定キャビティを追跡することができる。
Claims (45)
- 中空の少なくとも一部分を規定する表面を有するサファイア体を備え、前記表面が入射光を反射しかつファブリペローキャビティの表面を画成するように構成された光センサ。
- 前記中空が前記サファイア体の凹部である、請求項1に記載の光センサ。
- 前記中空が前記サファイア体内の密閉キャビティであり、前記中空のさらなる部分を規定する前記サファイア体のさらなる表面が前記ファブリペローキャビティのさらなる表面を画成する、請求項1に記載の光センサ。
- 前記サファイア体の前記表面の上に配置された反射性コーティングをさらに備えた、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記サファイア体の前記表面と前記反射性コーティングとの間に配置されたパッシベーション材料をさらに備えた、請求項4に記載の光センサ。
- 前記中空が0.1から500μmの間の深さを有する、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記中空が10から2000μmの間の最大直径を有する、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記サファイア体の前記表面が0.1から500μmの間の厚さである、請求項1ないし7のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記ファブリペローキャビティが0.1から10μmの深さを有する、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記サファイア体の表面上に配置された熱応答性材料のコーティングをさらに備えた、請求項1ないし9のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記熱応答性材料がグラファイトを含む、請求項10に記載の光センサ。
- 光導波路が前記中空に光学的に結合されるように前記サファイア体に固定された光導波路をさらに備えた、請求項1ないし11のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記中空が前記サファイア体の凹部であり、前記光導波路が前記凹部を覆うように前記サファイア体に固定される、請求項12に記載の光センサ。
- 前記光導波路がサファイアコアを有する光ファイバを備える、請求項12ないし13のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記光導波路が中空導波路を備えた、請求項12ないし13のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記光導波路の自由端が鋭角または鈍角に劈開される、請求項12ないし15のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記サファイア体および光導波路が気密密閉される、請求項12ないし16のいずれか一項に記載の光センサ。
- さらなる光導波路を受容しかつ固定するために前記光導波路の自由端に取り付けられたフェルールをさらに備えた、請求項12ないし17のいずれか一項に記載の光センサ。
- 前記ファブリペローキャビティが干渉計のセンサキャビティである、請求項1ないし18のいずれかに記載の光センサを備えた干渉計。
- 前記干渉計が白色光干渉計である、請求項19に記載の干渉計。
- 前記センサキャビティと合致するように調整可能な基準キャビティまたはそのような基準キャビティの代わりに分光計および関連データ処理手段のいずれかをさらに備えた、請求項20に記載の干渉計。
- 請求項19ないし21のいずれかに記載の干渉計を備えた温度センサ。
- 請求項19ないし21のいずれかに記載の干渉計を備えた圧力センサ。
- サファイア体を用意するステップと、
中空の少なくとも一部分を規定する前記サファイア体の表面が入射光を反射し、かつファブリペローキャビティの表面を画成するように、前記サファイア体に中空を形成するステップと、を含む光センサを製造する方法。 - 前記サファイア体がサファイアウェハを含み、中空を形成する前記ステップが前記サファイアウェハに凹部をエッチングすることを含む、請求項24に記載の方法。
- 前記サファイア体が第1サファイアウェハおよび第2サファイアウェハを含み、中空を形成する前記ステップが、前記第1サファイアウェハに貫通孔をエッチングし、かつ前記孔の一端を閉じるように前記第1サファイアウェハの第1面に前記第2サファイアウェハを固定することを含む、請求項24に記載の方法。
- 前記サファイア体が第3サファイアウェハを含み、中空を形成する前記ステップが、前記孔の他端を閉じるように前記第1サファイアウェハの反対側の第2表面に前記サファイアウェハを固定することをさらに含む、請求項26に記載の方法。
- 前記ファブリペローキャビティの表面を画成するサファイア体の前記表面に反射性材料を被覆するステップをさらに含む、請求項24ないし27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ファブリペローキャビティの表面を画成するサファイア体の前記表面にパッシベーション材料を被覆し、かつ前記パッシベーション材料に反射性材料を被覆するステップをさらに含む、請求項24ないし27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記サファイア体の表面にイットリアまたはYAGのボンディング層を被覆するステップをさらに含む、請求項24ないし29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記中空が0.1から500μmの間の深さを有する、請求項24ないし30のいずれか一項に記載の方法。
- 前記中空が10から2000μmの間の最大直径を有する、請求項24ないし31のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ファブリペローキャビティの表面を画成する前記中空の前記表面が0.1から500μmの間の厚さである、請求項24ないし32のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ファブリペローキャビティが0.1から10μmの間の深さを有する、請求項24ないし33のいずれか一項に記載の方法。
- 光導波路が前記中空に光学的に結合されるように光導波路を前記サファイア体に固定するステップをさらに含む、請求項24ないし34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記サファイア体がサファイアウェハを備え、中空を形成する前記ステップが、前記サファイアウェハに凹部をエッチングすることを含み、前記光導波路が前記凹部を閉じるように前記サファイアウェハに固定される、請求項35に記載の方法。
- 前記サファイア体が第1サファイアウェハおよび第2サファイアウェハを備え、中空を形成する前記ステップが、前記第1サファイアウェハに貫通孔をエッチングし、かつ前記孔の一端を閉じるように前記第1サファイアウェハの第1面に前記第2サファイアウェハを固定することを含み、前記光導波路が前記孔の他端を閉じるように前記サファイアウェハに固定される、請求項35に記載の方法。
- 前記光導波路がサファイアコアを有する光ファイバを備える、請求項35ないし37のいずれか一項に記載の方法。
- 前記光導波路が真空熱プレスによって前記サファイア体に固定される、請求項38に記載の方法。
- 前記光導波路が中空導波路を備える、請求項35ないし37のいずれか一項に記載の方法。
- 前記光導波路がレーザ溶接によって前記サファイア体に固定される、請求項35ないし40のいずれか一項に記載の方法。
- 前記光導波路の自由端を鋭角または鈍角に劈開するステップをさらに含む、請求項35ないし41のいずれか一項に記載の方法。
- 前記サファイア体および前記光導波路を気密コーティングに密閉するステップをさらに含む、請求項35ないし42のいずれか一項に記載の方法。
- さらなる光導波路を受容するために前記光導波路の自由端にフェルールを取り付けるステップをさらに含む、請求項35ないし43のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1ないし23のいずれか一項に記載のセンサを環境に配置し、かつ干渉計を使用してファブリペローキャビティを測定することを含む、環境の温度および/または圧力を感知する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0408073.5 | 2004-04-08 | ||
GBGB0408073.5A GB0408073D0 (en) | 2004-04-08 | 2004-04-08 | Optical sensor |
PCT/GB2005/001377 WO2005098385A1 (en) | 2004-04-08 | 2005-04-08 | Optical sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007532871A true JP2007532871A (ja) | 2007-11-15 |
JP5021457B2 JP5021457B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=32320642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007506842A Active JP5021457B2 (ja) | 2004-04-08 | 2005-04-08 | 光センサ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8253945B2 (ja) |
EP (1) | EP1733198B1 (ja) |
JP (1) | JP5021457B2 (ja) |
AT (1) | ATE456788T1 (ja) |
DE (1) | DE602005019145D1 (ja) |
GB (1) | GB0408073D0 (ja) |
WO (1) | WO2005098385A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011506949A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-03-03 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 光センサ |
JP2011191113A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 温度測定用プローブ、温度測定システム及びこれを用いた温度測定方法 |
JP2013510315A (ja) * | 2009-11-05 | 2013-03-21 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 高性能デバイスパッケージにおける環境状態の検出および測定のための方法およびデバイス |
JP2015514977A (ja) * | 2012-03-16 | 2015-05-21 | オクセンシズ リミテッド | 光センサ |
JPWO2020262460A1 (ja) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | ||
JP2021009095A (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
JP2021012902A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 複合光共振器、温度センサ、光共振器装置 |
JP2021516589A (ja) * | 2018-04-06 | 2021-07-08 | ボストン サイエンティフィック サイムド,インコーポレイテッドBoston Scientific Scimed,Inc. | 圧力センサ付き医療装置 |
WO2022138361A1 (ja) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 長野計器株式会社 | 光学センサおよび物理量測定装置 |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7689071B2 (en) * | 2004-12-22 | 2010-03-30 | Opsens Inc. | Fiber optic pressure sensor for catheter use |
CN101034007A (zh) * | 2007-01-24 | 2007-09-12 | 冉曾令 | 光纤法珀传感器及其制造方法 |
EP2167931B1 (en) * | 2007-07-12 | 2015-11-04 | ABB Research Ltd. | Pressure sensor |
EP2026051B1 (en) * | 2007-08-07 | 2011-11-09 | FUJIFILM Corporation | Spectroscopy device, spectroscopy apparatus and spectroscopy method |
EP2072986B1 (en) * | 2007-12-18 | 2016-08-10 | Services Pétroliers Schlumberger | A pressure measuring device and method |
US7728984B2 (en) * | 2008-02-28 | 2010-06-01 | Inficon Gmbh | Method for evaluating a measured parameter |
US9391216B2 (en) * | 2008-06-06 | 2016-07-12 | Orbital Atk, Inc. | Optical coupled sensors for harsh environments |
WO2010029509A1 (en) * | 2008-09-12 | 2010-03-18 | Nxp B.V. | Transducer system |
US7966887B2 (en) * | 2009-03-26 | 2011-06-28 | General Electric Company | High temperature optical pressure sensor and method of fabrication of the same |
US8019190B2 (en) * | 2009-03-30 | 2011-09-13 | General Electric Company | Optical sensors, systems, and methods of making |
US8357550B2 (en) | 2009-05-27 | 2013-01-22 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Occupancy sensor |
EP2259039A1 (en) * | 2009-06-05 | 2010-12-08 | Simea Optic AB | A fibre optical system and use thereof |
JP5461295B2 (ja) * | 2010-05-13 | 2014-04-02 | 株式会社日立製作所 | ガス絶縁機器用光変流器 |
GB2481039A (en) | 2010-06-09 | 2011-12-14 | Rolls Royce Plc | Temperature, Pressure and Neutron Fluence Measurment |
CN103328033B (zh) | 2010-11-09 | 2016-05-18 | 奥普森斯公司 | 具有内部压力传感器的导丝 |
GB2493771B (en) | 2011-08-18 | 2017-05-31 | Oxsensis Ltd | Optical sensor |
GB2500256B (en) | 2012-03-16 | 2016-12-21 | Oxsensis Ltd | Optical pressure sensor |
US9500808B2 (en) | 2012-05-09 | 2016-11-22 | The Boeing Company | Ruggedized photonic crystal sensor packaging |
US9804033B2 (en) * | 2013-04-25 | 2017-10-31 | Sentek Instrument LLC | Sapphire sensor for measuring pressure and temperature |
US9482596B2 (en) | 2013-06-24 | 2016-11-01 | General Electric Company | Optical monitoring system for a gas turbine engine |
US9512715B2 (en) | 2013-07-30 | 2016-12-06 | General Electric Company | Systems and methods for pressure and temperature measurement |
US9250140B2 (en) | 2014-03-26 | 2016-02-02 | General Electric Company | Systems and methods for multiplexing sensors along a cable |
WO2015177373A1 (en) * | 2014-05-22 | 2015-11-26 | Imec Vzw | Semiconductor device for detecting fluorescent particles |
US9240262B1 (en) | 2014-07-21 | 2016-01-19 | General Electric Company | Systems and methods for distributed pressure sensing |
GB2528881A (en) * | 2014-08-01 | 2016-02-10 | Bae Systems Plc | Antenna |
DE102014223639B3 (de) * | 2014-11-19 | 2016-03-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Montage eines faseroptischen Sensors in einem Schutzrohr sowie faseroptischer Sensor mit einem Schutzrohr |
US11353368B2 (en) * | 2018-05-22 | 2022-06-07 | Watlow Electric Manufacturing Company | Fiber optic probe with dual sealing and compression element |
CN108663158A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-10-16 | 桂林电子科技大学 | 推挽式光纤差压传感器 |
CN109580035B (zh) * | 2018-12-05 | 2020-08-18 | 天津大学 | 高条纹可见度的蓝宝石光纤高温传感器及其温度测量方法 |
US11320596B2 (en) * | 2019-02-13 | 2022-05-03 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Hinged temperature-immune self-referencing fabry-pérot cavity sensors |
US11326970B2 (en) * | 2020-04-17 | 2022-05-10 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Monolithically integrated microscale pressure sensor on an optical fiber tip |
US10942313B2 (en) * | 2019-02-13 | 2021-03-09 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Temperature-immune self-referencing Fabry-Pérot cavity sensors |
US11287575B2 (en) * | 2019-02-13 | 2022-03-29 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Method of making hinged self-referencing Fabry-Pérot cavity sensors |
DE102019114274A1 (de) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | Minimax Viking Research & Development Gmbh | Lichtleitanordnung, Funken- und/oder Flammendetektor und Brandschutzsystem |
CN110220613A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-10 | 南京师范大学 | 一种蓝宝石管黑体腔光纤测温装置 |
WO2021211195A1 (en) * | 2020-04-14 | 2021-10-21 | Luna Innovations Incorporated | Modification of internally clad sapphire fiber to attenuate cladding modes at high temperatures |
CN112798289B (zh) * | 2020-12-21 | 2024-02-09 | 中国船舶集团有限公司第七一一研究所 | 用于内燃机缸内压力测试的传感器及其制造方法 |
GB2615737A (en) * | 2021-12-23 | 2023-08-23 | Oxsensis Ltd | Optical sensor |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62217132A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-09-24 | テクノロジ− ダイナミツクス インコ−ポレ−テツド | 光学式圧力検出システム |
JPH02213804A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Norio Daikuzono | レーザ光出射装置 |
JPH095028A (ja) * | 1995-04-17 | 1997-01-10 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 光学式センサ |
JP2002515595A (ja) * | 1998-05-20 | 2002-05-28 | ブッカム・テクノロジー・ピーエルシー | 光アドレス式感知システム |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3815260A1 (de) | 1987-05-14 | 1988-11-24 | Bbc Brown Boveri & Cie | Temperaturmessgeraet |
US5182779A (en) * | 1990-04-05 | 1993-01-26 | Ltv Aerospace And Defense Company | Device, system and process for detecting tensile loads on a rope having an optical fiber incorporated therein |
US5058983A (en) * | 1990-07-06 | 1991-10-22 | Aster Corporation | Fiber optic connector terminator |
US5381229A (en) * | 1991-03-29 | 1995-01-10 | Center For Innovative Technology | Sapphire optical fiber interferometer |
JP2899130B2 (ja) * | 1991-05-09 | 1999-06-02 | 日立テクノエンジニアリング株式会社 | 高真空ホットプレス |
GB2257505A (en) | 1991-07-08 | 1993-01-13 | Secr Defence | Rapid-response calorimetric gauge using fibre optic interferometer |
US5432638A (en) | 1992-04-03 | 1995-07-11 | Hughes Aircraft Company | Spatially tunable rugate narrow reflection band filter and applications therefor |
SE515191C2 (sv) | 1992-05-05 | 2001-06-25 | Volvo Ab | Förfarande för tillverkning av en anordning för mätning av tryck jämte anordning för mätning av tryck |
US5559358A (en) | 1993-05-25 | 1996-09-24 | Honeywell Inc. | Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom |
US5315110A (en) * | 1993-06-29 | 1994-05-24 | Abb Vetco Gray Inc. | Metal cup pressure transducer with a support having a plurality of thermal expansion coefficients |
US5870511A (en) * | 1997-01-27 | 1999-02-09 | Sentec Corporation | Fiber optic temperature sensor |
US6012303A (en) | 1997-06-11 | 2000-01-11 | Saphikon, Inc. | Eutectic bonding of single crystal components |
US6768825B2 (en) | 1998-05-06 | 2004-07-27 | Weatherford/Lamb, Inc. | Optical sensor device having creep-resistant optical fiber attachments |
US6233374B1 (en) * | 1999-06-04 | 2001-05-15 | Cidra Corporation | Mandrel-wound fiber optic pressure sensor |
US6612174B2 (en) * | 2000-02-11 | 2003-09-02 | Rosemount Inc. | Optical pressure sensor |
US6738145B2 (en) | 2000-04-14 | 2004-05-18 | Shipley Company, L.L.C. | Micromachined, etalon-based optical fiber pressure sensor |
US7054011B2 (en) * | 2003-09-04 | 2006-05-30 | Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. | Optical fiber pressure and acceleration sensor fabricated on a fiber endface |
WO2005024365A2 (en) * | 2003-09-04 | 2005-03-17 | Luna Energy, Llc | Optical sensor with co-located pressure and temperature sensors |
US20050195402A1 (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-08 | Russell May | Crystalline optical fiber sensors for harsh environments |
-
2004
- 2004-04-08 GB GBGB0408073.5A patent/GB0408073D0/en not_active Ceased
-
2005
- 2005-04-08 WO PCT/GB2005/001377 patent/WO2005098385A1/en not_active Application Discontinuation
- 2005-04-08 AT AT05732499T patent/ATE456788T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-04-08 DE DE602005019145T patent/DE602005019145D1/de active Active
- 2005-04-08 US US11/547,629 patent/US8253945B2/en active Active
- 2005-04-08 JP JP2007506842A patent/JP5021457B2/ja active Active
- 2005-04-08 EP EP05732499A patent/EP1733198B1/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62217132A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-09-24 | テクノロジ− ダイナミツクス インコ−ポレ−テツド | 光学式圧力検出システム |
JPH02213804A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Norio Daikuzono | レーザ光出射装置 |
JPH095028A (ja) * | 1995-04-17 | 1997-01-10 | Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk | 光学式センサ |
JP2002515595A (ja) * | 1998-05-20 | 2002-05-28 | ブッカム・テクノロジー・ピーエルシー | 光アドレス式感知システム |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011506949A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-03-03 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 光センサ |
JP2013510315A (ja) * | 2009-11-05 | 2013-03-21 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 高性能デバイスパッケージにおける環境状態の検出および測定のための方法およびデバイス |
JP2011191113A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 温度測定用プローブ、温度測定システム及びこれを用いた温度測定方法 |
JP2015514977A (ja) * | 2012-03-16 | 2015-05-21 | オクセンシズ リミテッド | 光センサ |
JP7138189B2 (ja) | 2018-04-06 | 2022-09-15 | ボストン サイエンティフィック サイムド,インコーポレイテッド | 圧力センサ付き医療装置 |
US11559213B2 (en) | 2018-04-06 | 2023-01-24 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Medical device with pressure sensor |
JP2021516589A (ja) * | 2018-04-06 | 2021-07-08 | ボストン サイエンティフィック サイムド,インコーポレイテッドBoston Scientific Scimed,Inc. | 圧力センサ付き医療装置 |
JPWO2020262460A1 (ja) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | ||
WO2020262460A1 (ja) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | 長野計器株式会社 | 光学センサおよび物理量測定装置 |
JP7204914B2 (ja) | 2019-06-25 | 2023-01-16 | 長野計器株式会社 | 光学センサおよび物理量測定装置 |
JP2021009095A (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
JP7372062B2 (ja) | 2019-07-02 | 2023-10-31 | アズビル株式会社 | 圧力センサ |
JP2021012902A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-02-04 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 複合光共振器、温度センサ、光共振器装置 |
JP7344541B2 (ja) | 2019-07-03 | 2023-09-14 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 複合光共振器、温度センサ、光共振器装置 |
WO2022138361A1 (ja) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 長野計器株式会社 | 光学センサおよび物理量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1733198B1 (en) | 2010-01-27 |
DE602005019145D1 (de) | 2010-03-18 |
US20070223000A1 (en) | 2007-09-27 |
WO2005098385A1 (en) | 2005-10-20 |
EP1733198A1 (en) | 2006-12-20 |
JP5021457B2 (ja) | 2012-09-05 |
GB0408073D0 (en) | 2004-05-12 |
US8253945B2 (en) | 2012-08-28 |
ATE456788T1 (de) | 2010-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5021457B2 (ja) | 光センサ | |
US9995604B2 (en) | Optical sensor | |
US7054011B2 (en) | Optical fiber pressure and acceleration sensor fabricated on a fiber endface | |
JP5586595B2 (ja) | 光学干渉方式の圧力センサ | |
EP3163340A1 (en) | Method of fabrication of an optical waveguide sensor and such optical waveguide sensor | |
US20050195402A1 (en) | Crystalline optical fiber sensors for harsh environments | |
CN104501729B (zh) | 一种基于mems工艺的光纤f-p应变计及成型方法 | |
Chen et al. | Review of femtosecond laser machining technologies for optical fiber microstructures fabrication | |
CN107063554B (zh) | 一种一体化光纤大压力传感器及其制作方法 | |
CN106289570A (zh) | 光纤法珀温度传感器 | |
CN113188691A (zh) | 一种光纤法布里-珀罗密封腔压力传感器及制备方法 | |
Xu | High temperature high bandwidth fiber optic pressure sensors | |
CN208043091U (zh) | 一种用于双物理参量测量的光纤传感器 | |
Wang et al. | Optical fiber high-temperature sensors | |
CN106323516B (zh) | 带有复合介质薄膜的f-p压力传感器 | |
Wang | Optical Fiber Tip Pressure Sensor | |
CN114279353A (zh) | 一种蓝宝石光纤f-p腔级联sfbg的高温应变传感器 | |
CN115031880A (zh) | 一种耐高温全蓝宝石光纤压力传感器 | |
CN116412894A (zh) | 光波导法珀振动传感器 | |
Zhu et al. | Optical fiber pressure and acceleration sensor fabricated on a fiber endface | |
Tabib-Azar et al. | Fiber optic MEMS pressure sensors based on evanescent field interaction | |
Ge et al. | A miniature extrinsic fiber Fabry-Perot pressure sensor based on fiber etching | |
Bae et al. | Investigation of miniature fiber optic surface-mountable Fabry-Perot pressure sensor built on 45° angled fiber | |
Ge et al. | A miniature extrinsic fiber Fabry-Perot pressure sensor based on fiber etching | |
JPS59166830A (ja) | 光学的圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20071019 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110201 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110302 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110309 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110328 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111011 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120111 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120118 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120210 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120217 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120312 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120605 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5021457 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |