DE3815260A1

DE3815260A1 - Temperaturmessgeraet

Info

Publication number: DE3815260A1
Application number: DE19883815260
Authority: DE
Inventors: Meinolph Kaufmann; Lothar Dr Schultheis
Original assignee: BBC Brown Boveri AG Switzerland
Current assignee: BBC Brown Boveri AG Switzerland
Priority date: 1987-05-14
Filing date: 1988-05-05
Publication date: 1988-11-24
Also published as: GB8811119D0; JPS6459020A; GB2204948A

Description

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft ein Temperaturmeßgerät mit einer Lichtquelle mit einer gegebenen spektralen Bandbreite, mindestens einer Glasfaser, einem Fabry-Perot-Interferenzelement, welches ein gegebenes inneres Medium und ein temperaturabhängiges Transmissions- bzw. Reflexionsverhalten hat, und einem Lichtdektor.

Stand der Technik

Zur Messung einer Temperatur steht heute eine große Zahl von Verfahren und entsprechenden Geräten zur Verfügung. Die Wahl eines bestimmten Verfahrens und Gerätes ist durch die Umstände der Anwendung bedingt.

Große Bedeutung haben sogenannte faseroptische Temperaturmeßgeräte erlangt, weil sie unempfindlich auf elektrische und magnetische Störeinflüsse, verhältnismäßig vielseitig und kompakt sind. Ein vielverwendetes Prinzip solcher Meßgeräte beruht darauf, daß die Temperaturabhängigkeit eines Parameters wie z. B. der Dicke einer Interferenzschicht gemessen wird.

Dabei kann die große Sensibilität einer interferometrischen Messung benutzt werden. In diesem Zusammenhang bietet sich ein Fabry-Perot-Interferenzelement an.

So ist aus der Druckschrift "Fiber optic colour sensors based on Fabry-Perot-Interferometry" von E. R. Cox et al. IEE 221, 122, 1983 eine Anordnung zur Messung einer Temperatur mittels eines Fabry-Perot-Interferenzelements bekannt. Dabei werden Verschiebungen einer Durchlaßfrequenz bestimmt, welche durch eine temperaturabhängige Änderung der Dicke des Fabry-Perot- Interferenzelements hervorgerufen werden. Im Hinblick auf eine gute Temperaturauflösung ist zur Änderung der Dicke ein Material mit einem großen Ausdehnungskoeffizienten zu verwenden. Unter anderem offenbart die Druckschrift eine Anordnung, bei welcher der zwischen zwei als Spiegel wirkenden Grenzflächen liegende Raum des Fabry-Perot-Interferenzelements mit einem Polymer ausgefüllt ist, dessen Temperaturausdehnung eine Änderung der Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements bewirkt.

Der Nachteil einer solchen Anordnung liegt in ihrem aufwendigen Aufbau. Insbesondere sind die dabei verwendeten verspiegelten Linsen teuer und bedingen eine sehr präzise Montage. Nachteilig ist weiter die mit beträchtlichem Aufwand verbundene Messung der Frequenzverschiebung.

Darstellung der Erfindung

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Temperturmeßgerät mit einer Lichtquelle, mindestens einer Glasfaser, einem Fabry-Perot-Interferenzelement, welches ein gegebenes inneres Medium und ein temperaturabhängiges Transmissions- bzw. Reflexionsverhalten hat, und einem Lichtdetektor zu schaffen, welches einen einfachen und kompakten Aufbau besitzt.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß das innere Medium im Verhältnis zu einem das Fabry-Perot-Interferenzelement umgebenden äußeren Medium einen großen Brechungsindex hat.

Dadurch ergibt sich der Vorteil, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement zusätzlich eine kollimierende Wirkung auf das einfallende Licht hat, so daß sich Linsen zwischen Glasfasern und Fabry-Perot-Interferenzelement erübrigen.

Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes verwendet als inneres Medium ein Halbleitermaterial. Halbleitermaterialien haben neben einem relativ großen Brechungsindex eine nahezu lineare Abhängigkeit der Brechungsindexänderung mit der Temperatur. Ferner haben sie als anorganische Stoffe eine verhältnismäßig hohe Temperaturstabilität und ermöglichen deshalb einen großen Temperaturmeßbereich.

Weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Nachfolgend soll die Erfindung im Zusammenhang mit der Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen

Fig. 1 ein Temperaturmeßgerät, wobei das vom Fabry-Perot- Interferenzelement transmittierte Licht gemessen wird und

Fig. 2 einen Ausschnitt aus einem solchen Temperaturmeßgerät, wobei das Fabry-Perot-Interferenzelement an einer Stirnfläche der Glasfaser angebracht ist,

Fig. 3 eine schematische Darstellung der Wirkungsweise des erfindungsgemäßen Fabry-Perot-Interferenzelements

Fig. 4 ein Temperaturmeßgerät, wobei das vom Fabry-Perot- Interferenzelement reflektierte Licht gemessen wird und

Fig. 5 ein Ausschnitt aus einem solchen Temperaturmeßgerät, wobei das Fabry-Perot-Interferenzelement auf einer Stirnfläche einer Glasfaser angebracht ist und

Fig. 6 ein Temperaturmeßgerät, bei welchem das Fabry-Perot- Interferenzelement aus drei auf einer Stirnfläche einer Glasfaser abgeschiedenen Schichten besteht.

Wege zur Ausführung der Erfindung

Fig. 1 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes Temperaturmeßgerät. Es besteht aus einer Lichtquelle 1, einer ersten Glasfaser 3 a, einem Fabry-Perot-Interferenzelement 4, einer zweiten Glasfaser 3 b und einem Lichtdetektor 2.

Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt aus Fig. 1, wobei gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Zwischen einer Stirnfläche 5 a der ersten Faser 3 a und einer Stirnfläche 5 b der zweiten Glasfaser 3 b befindet sich das Fabry-Perot-Interferenzelement 4. Es hat die Form einer Platte, deren Volumen mit einem inneren Medium 6 ausgefüllt ist. Die Platte ist umgeben von einem äußeren Medium 11. Die Grenzflächen zwischen innerem Medium 6 und äußerem Medium 11 wirken als Spiegel. Sie können bei Bedarf zusätzlich mit reflektierenden Schichten bedeckt werden, um die Modulationstiefe des Transmissionsverhaltens zu erhöhen. Das innere Medium 6 soll im Verhältnis zum äußeren Medium 11 einen hohen Brechungsindex besitzen. Bevorzugterweise ist das innere Medium 6 ein Halbleitermaterial.

Es ist bekannt, daß sich bei Halbleitermaterialien die Bandlücke mit der Temperatur nahezu linear verschiebt. Das wiederum hat eine Änderung des Brechungsindexes zur Folge. Typische Brechungsindizes n und Brechungsindexänderungen Δ n/Δ T sind z. B.

Welches Halbleitermaterial als inneres Medium 6 verwendet werden kann, hängt von der Frequenz des eingestrahlten Lichts ab. Auf jeden Fall soll die Bandlücke des Halbleitermaterials im ganzen gewünschten Temperaturbereich des Temperaturmeßgeräts größer als die Frequenz des Lichts sein, damit sicher gestellt ist, daß das Licht der Lichtquelle 1 vom inneren Medium 6 nicht absorbiert wird.

Beispielsweise können mit einem GaAs/AlGaAs-Laser, dessen Wellenlänge typischerweise zwischen 750 und 850 nm liegt, Halbleitermaterialien wie GaP und AlAs, und mit einem InGaAsP-Laser, dessen Wellenlänge bei etwa 1,3 µm liegt, als Halbleitermaterialien GaAs, Si, Ge und InP verwendet werden.

Als Fabry-Perot-Interferenzelement 4 kann beispielsweise eine Platte aus einem Halbleiterkristall benützt werden. Das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 ist mit einem geeigneten Verbundstoff 7 an die Stirnfächen 5 a, 5 b der ersten und zweiten Glasfasern 3 a, 3 b angeklebt. Zusätzlich ist das Fabry- Perot-Interferenzelement 4 rundum mit diesem Verbundstoff umgeben, welcher damit gleichzeitig als äußeres Medium 11 wirkt. Als Verbundstoff kann z. B. Polyimid verwendet werden. Um das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 gegen Streulicht zu schützen, ist das äußere Medium 11 mit einer Schutzschicht 8 bedeckt. Zum Beispiel ist schwarzer Lack als Schutzschicht 8 gut geeignet.

Die Lichtquelle 1 hat eine kleine spektrale Bandbreite, bevorzugterweise eine solche von weniger als 30 GHz. Geeignete Lichtquellen sind Laser, insbesondere Halbleiterlaser, und Leuchtdioden mit einem nachgeschalteten Schmalbandfilter. Es sind auch gefilterte thermische Lichtquellen denkbar.

Die kleine spektrale Bandbreite erlaubt es, die Messung des Lichts auf eine Messung deren Intensität zu beschränken, um die Temperatur des inneren Mediums 6 zu bestimmen. Welcher Anforderung die spektrale Bandbreite der Lichtquelle 1 zu genügen hat, kann wie folgt festgestellt werden:

Es ist bekannt, daß das Transmissionsverhalten bei gegebener Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements, gegebenem Brechungsindex des inneren Mediums und gegebenem Einstrahlwinkel eine periodische Funktion der Frequenz ist. Als Durchlaßfrequenzen bezeichnet man Frequenzen, bei denen diese Funktion ein relatives Maximum annimmt. Die spektrale Bandbreite der Lichtquelle 1 soll nun so bemessen sein, daß sie klein ist im Verhältnis zu einer Bandbreite, welche durch den Abstand zweier benachbarter Durchlaßfrequenzen gegeben ist, d. h. mit anderen Worten, daß die spektrale Bandbreite der Lichtquelle 1 klein ist im Verhältnis zu einer spektralen Periode des Transmissionsverhaltens. Dies garantiert, daß die Intensitätsmaxima und -minima des Transmissionsverhaltens gut kontrastieren.

Die Intensitätsmessung kann in diesem Fall z. B. mit einer einfachen Fotodiode gemessen werden. Eine aufwendige, spektrale Messung des vom Fabry-Perot-Interferenzelements 4 transmittierten oder reflektierten Lichts ist auf diese Weise elegant umgangen.

Nachfolgend wird kurz die Funktionsweise des soeben als Ausführungsbeispiel beschriebenen Temperaturgeräts erläutert.

Das Licht der Lichtquelle 1 wird in die Glasfaser 3 a eingekoppelt und an den Ort geführt, wo eine Temperatur gemessen werden soll. Das aus der Stirnfläche 5 a der Glasfaser 3 a austretende Licht wird vom Fabry-Perot-Interferenzelement 4 ganz oder nur zum Teil transmittiert und in die Glasfaser 3 b eingekoppelt. Am Ende der Glasfaser 3 b wird es vom Lichtdetektor 2 absorbiert. Dem Lichtdetektor 2 kann bei Bedarf eine Auswerteelektronik nachgeschaltet sein, welche dem gemessenen Intensitätswert einen entsprechenden Temperaturwert zuordnet.

Die Wirkung des erfindungsgemäß hohen Brechungsindex des inneren Mediums 6 kann anhand folgender Betrachtung erläutert werden.

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung des Fabry-Perot- Interferenzelements 4. Andeutungsweise sind eine Lichtquelle 1 und ein Lichtdetektor 2 eingezeichnet. Das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 hat ein inneres Medium 6 mit einem Brechungsindex n₁ und einer Dicke d und ist umgeben von einem äußeren Medium 11 mit einem Brechungsindex n₀. Eine ebene Lichtquelle der Frequenz ω fällt unter dem Einfallswinkel a₀ ein, wird an einer Grenzfläche 12 des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 gebrochen und dringt unter dem Winkel α₁ in das innere Medium 6 ein.

Die Transmission des Fabry-Perot-Interferenzelements 4, welches in der bekannten Form

geschrieben werden kann, ist maximal, falls eine Phase q, definiert durch

c=Vakuumlichtgeschwindigkeitl=Frequenz des Lichtsn₁=Brechungsindex des inneren Mediums 6 d=Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 a₁=Winkel des Lichts im inneren Medium 6

die Bedingung
γ = 2m π (II)

m = positive ganze Zahl (1, 2, . . .)

Ist nun das eingestrahlte Licht nicht eine ebene Lichtwelle mit einem festen Einfallswinkel α₀, sondern hat es, wie es in der Praxis unvermeidbar ist, eine gewisse Divergenz, so verschmieren sich die Transmissionsmaxima in unerwünschter Weise.

Durch die Erfindung kann nun der negative Effekt der Strahldivergenz weitgehend eliminiert werden. Für senkrecht einfallendes Licht mit einer Strahldivergenz α₀ erhält man unter Verwendung der Gleichung (I) und des Brechungsgesetzes eine maximale Phasendifferenz δ

n₀= Brechungsindex des äußeren Mediums 11 α₀= Strahldivergenz.

Je größer n₁ im Verhältnis zu n₀ ist, umso kleiner ist die unerwünschte Phasenschiebung δ, welche von der Strahldivergenz α₀ herrührt und eine Verschmierung der Transmissionsmaxima zur Folge hat.

Die Divergenz des aus einer Glasfaser austretenden Lichts ist im wesentlichen bestimmt durch die numerische Apertur der Glasfaser. Andererseits ist die maximal tolerierbare Strahldivergenz gemäß Gleichung (III) unter anderem von der Dicke d des Fabry-Perot-Interferenzelements abhängig: je größer die Dicke d ist, umso kleiner muß die Strahldivergenz α₀ und damit auch die numerische Apertur sein. Ist die Dicke d z. B. 100 µm oder mehr, so wird mit Vorteil als Glasfaser 3 b eine Monomodefaser verwendet. Für Dicken unter 10 µm genügt eine Glasfaser mit einer numerischen Apertur von etwa 0,2.

Durch die temperaturbedingte Brechungsindexänderung verändert sich die Phase γ und somit die Transmission des Fabry-Perot- Interferenzelements. Je größer die Dicke d ist, umso stärker wirkt sich eine Brechungsindexänderung auf die Phase aus.

Grundsätzlich ergeben sich damit zwei Meßverfahren.

Gemäß einem ersten Verfahren wählt man die Dicke d des Fabry- Perot-Interferenzelements 4 so, daß die Werte der Phase γ, die in einem gegebenen Temperaturbereich dem maximalen und minimale Brechungsindex entsprechen, alle in einem Intervall liegen, welches durch zwei benachbarte Vielfache von π begrenzt wird. Dies bedeutet, daß einer bestimmten Intensität des vom Fabry- Perot-Interferenzelements 4 transmittierten oder reflektierten Lichts genau ein Temperaturwert entspricht. Bei einem solchen Meßverfahren werden bevorzugt Dicken von weniger als 10 µm verwendet.

Gemäß einem zweiten Verfahren wählt man die Dicke d des Fabry- Perot-Interferenzelements 4 so, daß in einem gegebenen Temperaturbereich die maximalen und minimalen Werte der Phase γ ein Intervall definieren, welches viel größer als π ist. Ein Temperaturwert wird in diesem Fall durch das Zählen der während einer Temperaturänderung durchlaufenen Maxima des Transmissionsverhaltens ermittelt. Bevorzugterweise beträgt die Dicke d des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 mehr als 100 µm.

Ein Fabry-Perot-Interferenzelement 4, wie es im oben beschriebenen Ausführungsbeispiel verwendet wird, kann auf einfache Art mit bekannten Mitteln hergestellt werden. Beispielsweise kann ein handelsüblicher Wafer auf eine gewünschte Dicke geläppt und anschließend in z. B. 200 · 200 µm² kleine Platten gespalten werden. Es ist dabei zu beachten, daß mit zunehmender Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 die Anforderungen an die Parallelität der Grenzflächen 12 steigen.

In Fig. 6 ist eine besonders bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes dargestellt. Und zwar betrifft sie eine besonders einfache, kompakte und robuste Ausführung des Fabry-Perot-Interferenzelements 4.

Auf einer Stirnfläche 5 c einer Glasfaser 3 d ist z. B. eine Abfolge von drei Schichten 10 a, 10 b, 10 c aufgebracht. Eine Schicht 10 b wirkt als inneres Medium des Fabry-Perot-Interferenzelements 4. Ihre Dicke entspricht der Dicke des Fabry- Perot-Interferenzelements 4. Die Schichten 10 a und 10 c sind verspiegelnde Schichten. Sie erhöhen auf bekannte Weise die Modulationstiefe des Transmissionsverhaltens. Besonders geeignet dafür sind Schichten aus Metall, z. B. aus Silber oder Chrom. Sie lassen sich mit bekannten Verfahren (z. B. durch Aufdampfen oder Sputtern) herstellen.

Auch hier werden bevorzugt Halbleitermaterialien für die als inneres Medium wirkende Schicht 10 b verwendet. Durch Aufdampfen von z. B. Si, entsteht eine polykristalline Schicht 10 b von einer Dicke von etwa 2-5 µm. Dementsprechend wird das bereits beschriebene Meßverfahren, welches mit Dicken unter 10 µm arbeitet, zur Bestimmung der Temperatur benützt.

Eine Abfolge von drei Schichten entspricht nur einem speziellen Ausführungsbeispiel. Erfindungswesentlich ist allein die zweite Schicht 10 b des obigen Ausführungsbeispiels. Die übrigen Schichten 10 a, 10 c können wahlweise fehlen; sie können aber auch selbst aus mehreren Teilschichten aufgebaut sein.

Es sei bemerkt, daß das äußere Medium im allgemeinen nicht als etwas zu betrachten ist, das in Form eines eigens dafür vorgesehenen Materials auf das Fabry-Perot-Interferenzelement anzubringen ist. Im Fall der aufgedampften Schichten wirkt z. B. der Kern der Glasfaser als äußeres Medium.

Fig. 4 und Fig. 5 zeigen eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindung. Es wird dabei die Tatsache ausgenutzt, daß sich die reflektierte Intensität zur transmittierten komplementär verhält.

Fig. 4 zeigt eine Lichtquelle 1 und eine Glasfaser 3 b, einen Lichtdetektor 2 und eine Glasfaser 3 a, eine Glasfaser 3 c, an deren Ende sich ein Fabry-Perot-Interferenzelement 4 befindet, und ein Richtungskoppler 5.

Fig. 5 zeigt einen Ausschnitt aus Fig. 4, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Wie in einem früher beschriebenen Ausführungsbeispiel ist das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 an einer Stirnfläche 5 c der Glasfaser 3 d angebracht und rundum von einem äußeren Medium 11 umgeben. Das äußere Medium 11 wirkt gleichzeitig als ein Verbundstoff zwischen Glasfaser 3 d und Fabry-Perot-Interferenzelement 4 und kann z. B. Polyimid sein. Besonders wichtig ist hier die Abschirmung gegen Streulicht z. B. durch eine das äußere Medium 11 bedeckende Schutzschicht 8 aus schwarzem Lack. Damit möglichst viel reflektiertes Licht in die Glasfaser 3 eingekoppelt wird, ist das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 parallel zur Stirnfläche 5 c der Glasfaser 3 d angeordnet.

Die eben beschriebene Ausführung des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 kann bevorzugt mit allen weiter oben, im Zusammenhang mit der Transmissionsanordnung (Fig. 2) erläuterten Merkmalen verwendet werden. Besonders erwähnt sei dabei die Ausführungsform, bei welcher das Fabry-Perot-Interferenzsignal aus mindestens einer auf einer Stirnfläche einer Glasfaser aufgebrachten Schicht besteht.

Der Temperaturbereich eines erfindungsgemäßen Temperaturmeßgeräts ist abhängig von der thermischen Stabilität der Materialien, aus welchen das Fabry-Perot-Interferenzelement und allenfalls verwendete Klebstoffe oder Zwischenschichten bestehen. Ist das Fabry-Perot-Interferenzelement aus einem Halbleitermaterial, so lassen sich z. B. bei Verwendung von Si sehr hohe Temperaturen messen. Beschränkend wird in diesem Fall primär die thermische Stabilität der Materialien der Glasfaser sein.

Abschließend kann gesagt werden, daß ein erfindungsgemäßes Temperaturmeßgerät einen einfachen und kompakten Aufbau hat, und unempfindlich gegen elektrische und magnetische Störeinflüsse ist.

Claims

1. Temperaturmeßgerät mit

a) einer Lichtquelle (1) mit einer gegebenen spektralen Bandbreite,
b) mindestens einer Glasfaser (3 a, 3 b, 3 d)
c) einem Fabry-Perot-Interferenzelement (4), welches ein gegebenes inneres Medium (6) und ein temperaturabhängiges Transmissions- bzw. Reflexionsverhalten hat, und
d) einem Lichtdetektor (2),

dadurch gekennzeichnet, daß

e) das innere Medium (6) im Verhältnis zu einem das Fabry- Perot-Interferenzelement (4) umgebenden äußeren Medium (11) einen großen Brechungsindex hat.

2. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das innere Medium (6) ein Halbleitermaterial ist.

3. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß

a) die spektrale Bandbreite der Lichtquelle (1) klein ist im Verhältnis zu einer spektralen Periode des Transmissionsverhaltens, insbesondere, daß sie kleiner als 30 GHz ist, daß
b) der Lichtdetektor (2) eine durch das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) transmittierte oder reflektierte Lichtintensität mißt, und daß
c) das Fabry-Perot-Interferenzelement an mindestens eine Stirnfläche (5 a, 5 b, 5 c) einer Glasfaser (3 a, 3 b, 3 d) angebracht ist.

4. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß

a) die Lichtquelle (1) ein GaAs/AlGaAs-Laser und
b) das Halbleitermaterial des Fabry-Perot-Interferenzelements (4) GaP oder AlAs ist.

5. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß

a) die Lichtquelle (1) ein InGaAsP-Laser und
b) das Halbleitermaterial des Fabry-Perot-Interferenzelements (4) GaAs, Si, Ge oder InP ist.

6. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Dicke (d) hat, bei welcher in einem gegebenen Temperaturbereich einem Wert einer gemessenen Lichtintensität genau ein Temperaturwert entspricht, insbesondere daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Dicke (d) von weniger als 10 µm hat.

7. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Dicke (d) hat, bei welcher in einem gegebenen Temperaturbereich das Transmissionsverhalten eine große Zahl von Maxima aufweist, so daß ein Temperaturwert durch die Anzahl der in einem Temperaturintervall liegenden Maxima bestimmt ist, insbesondere daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Dicke (d) von mehr als 100 µm hat.

8. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß

a) das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Einkristallplatte ist, daß
b) die Einkristallplatte mit einem Verbundstoff (7) an mindestens einer Stirnfläche (5 a, 5 b, 5 c) mindestens einer Glasfaser (3 a, 3 b, 3 d) angebracht ist, daß
c) der Verbundstoff (7) Polyimid ist, daß
d) das äußere Medium (11) Polyimid und
e) das äußere Medium (11) mit einer Schutzschicht (8), insbesondere mit einer schwarzen Lackschicht, gegen Streulicht geschützt ist.

9. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) aus mindestens einer auf eine Stirnfläche (5 b) der Glasfaser (3 d) aufgebrachten Schicht (10 b) besteht.

10. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) aus einer Schichtabfolge von drei Schichten besteht, wobei die erste Schicht (10 a) eine Metallschicht, die zweite Schicht (10 b) eine Halbleiterschicht und die dritte Schicht (10 c) wiederum eine Metallschicht ist.