DE3625703C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3625703C2 DE3625703C2 DE19863625703 DE3625703A DE3625703C2 DE 3625703 C2 DE3625703 C2 DE 3625703C2 DE 19863625703 DE19863625703 DE 19863625703 DE 3625703 A DE3625703 A DE 3625703A DE 3625703 C2 DE3625703 C2 DE 3625703C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- fabry
- interferometer
- rot
- light
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
Description
Die Erfindung betrifft eine optische Meßvorrichtung gemäß
Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der GB-OS 21 45 237 ist ein optisches System bekannt, bei dem
in einer Ausführungsform drei Fabry-P´rot Interferometer im
Strahlengang des Systems angeordnet sind. Alle drei Interferometer
liegen hinter einem Strahlenteiler. Es sind außerdem
zwei Fotodetektoren vorgesehen, von denen einer den ersten
Teilstrahl vom Strahlenteiler nach dem Durchlaufen eines
Interferometers empfängt, während der andere den zweiten
Teilstrahl aufnimmt, der durch die zwei anderen, hintereinander
geschalteten Interferometer läuft. Dabei ist das im Strahlengang
des ersten Teilstrahls liegende Interferometer ein Referenzinterferometer,
dessen Strahlung im zugehörigen Fotodetektor ein
Referenzsignal erzeugt. Die optische Weglänge des Referenzinterferometers
wird damit an die von Bragg-Reflektoren angepaßt
(Fig. 14 und Fig. 16). Eine Weiterbildung der bekannten
Anordnung weist einen zweiten Strahlenteiler und zwei Interferometer
auf. Der zweite Strahlenteiler liegt zwischen den
beiden hintereinander geschalteten Interferometern (vgl. Fig.
17).
Aus der DE-OS 18 07 876 ist eine Vorrichtung zum Anzeigen von
geringfügigen Lageänderungen bekannt, bei der das Licht eines
Lasers von einem Strahlenteiler in zwei Teilstrahlen zerlegt
wird. Ein Teilstrahl läuft durch ein Fabry-P´rot Interferometer,
während der andere Teilstrahl in eine fotoempfindliche Zelle
geleitet wird. Das Signal dieses Detektors wird ebenso wie das
Signal vom Fabry-P´rot Interferometer verstärkt und die beiden
Signale werden in einem Differentialverstärker verglichen. Ein
zweites Interferometer ist hier nicht vorgesehen, da die Stellung
der Spiegel beziehungsweise die Resonatorlänge des Fabry-P´rot
Interferometers einer Nachlaufsteuerung unterliegt.
Aus der DE-AS 22 31 776 ist eine Lichtschranke zur Messung der
Lage oder Abmessung von Gegenständen bekannt, wobei zwei
fotoelektrische Meßeinrichtungen Signale an einen Differenzverstärker
ausgeben, der eine Quotientenbildung vornimmt.
Aufgabe der Erfindung ist, die optische Meßvorrichtung der
eingangs erwähnten Art dahingehend weiterzubilden, daß ein
stabileres Meßsignal als beim Stand der Technik erhältlich ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe dienen die Merkmale des Patentanspruchs
1.
Mit der Erfindung werden in vorteilhafter Weise stabile Meßsignale
erzielt, die unabhängig von Schwankungen der Emissionsintensität
des Lichtes, der Wellenlänge und der Kopplungsstreuverluste
sind, wenn diverse optische Bauteile wie Linse, Lichtleiter etc.
in die optische Meßvorrichtung eingesetzt werden.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist in Anspruch 2
gekennzeichnet.
Obwohl sich die Ausgangssignale des ersten und des zweiten
Fotodetektors in gleicher Weise verändern, da sie von den
Schwankungen der Emissionsintensität des Lichtes, der Wellenlänge
und der Kopplungsstreuverluste abhängig sind, wenn
diverse optische Bauteile wie Linsen, Lichtleiter etc. in
die Meßvorrichtung eingesetzt sind, sollte die Abhängigkeit
der Lichtstärke von den physikalischen Eigenschaften des
Objektes in einer bevorzugten Ausführungsform bei dem auf
den ersten Fotodetektor geleiteten Lichtstrahl erheblich
geringer als bei dem auf den zweiten Fotodetektor geleiteten
Lichtstrahl sein.
Die Erfindung wird nachstehend anhand des in den Zeichnungen
dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 die erfindungsgemäße optische Meßvorrichtung,
Fig. 2 den Kurvenverlauf des Strahlenspektrums
einer Leuchtdiode,
Fig. 3 charakteristische Kurvenverläufe der Ausgangssignale
von den Fotodioden in der optischen
Meßvorrichtung aus Fig. 1 und
Fig. 4 den Kurvenverlauf eines Ausgangssignals der
Fotodiode in der optischen Meßvorrichtung
aus Fig. 1.
Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße optische Meßvorrichtung,
die eine Lichtquelle wie beispielsweise eine Leuchtdiode 41,
ein erstes Fabry-P´rot-Interferometer 42, dessen Kennwerte
sich mit den physikalischen Eigenschaften eines Meßobjektes
verändern, einen Strahlenteiler 44 zur Aufteilung des von
der Leuchtdiode 41 ausgesandten Lichts in zwei Lichtstrahlen,
von denen der eine Lichtstrahl auf einen ersten
Fotodetektor wie beispielsweise eine Fotodiode 46 und der
andere Lichtstrahl durch ein zweites Fabry-P´rot-Interferometer
43, das als Referenzeinrichtung dient und dessen
Kennwerte fest eingestellt sind, auf einen zweiten Fotodetektor
geleitet wird. Der zweite Fotodetektor besteht
ebenfalls aus einer zweiten Fotodiode 45, die das vom
zweiten Fabry-P´rot-Interferometer 43 kommende Licht mißt.
Eine nicht dargestellte Signalverarbeitungsschaltung vergleicht
ein von der zweiten Fotodiode 45 erzeugtes Meßsignal
mit einem von der ersten Fotodiode 46 erzeugten Meßsignal.
Das Licht von der Leuchtdiode 41 wird durch das erste
Fabry-P´rot-Interferometer 42 zum Strahlenteiler 44 geleitet,
wo es in zwei Lichtstrahlen mit unterschiedlichen
Richtungen geteilt wird. Ein Lichtstrahl ist auf die erste
Fotodiode 46 gerichtet. Der andere Lichtstrahl wird durch
das zweite Fabry-P´rot-Interferometer 43 zur zweiten Fotodiode
45 geleitet. Die Meßsignale von den Fotodioden 45 und
46 werden in einer Signalverarbeitungsschaltung miteinander
verglichen, so daß man die physikalischen Meßwerte des
Meßobjektes erhält.
Statt einer Leuchtdiode 41 können auch andere Lichtquellen
verwendet werden, die Licht mit einem breiten Spektrum
erzeugen. Ebenfalls können anstelle des Strahlenteilers 44
andere optische Bauteile eingesetzt werden, die das Licht in
zwei Lichtstrahlen unterteilen (z. B. in einen oberen und
einen unteren Strahl). Vorzugsweise wird das Licht von der
Lichtquelle über Lichtleiter zu den Fotodetektoren geleitet.
Ferner braucht das Licht von den beiden Fabry-P´rot-Interferometern
42 und 43 nicht notwendigerweise durchgelassen,
sondern kann auch von diesen reflektiert werden.
Da die erfindungsgemäße optische Meßvorrichtung die in Fig. 1
gezeigte Anordnung aufweist, verändern sich die Ausgangssignale
beider Fotodioden 45 und 46 gleichermaßen in
Abhängigkeit von den Veränderungen der Lichtemissionsintensität
der Lichtquelle 41 und/oder der Lichtübertragungsverluste
von der Lichtquelle 41 zum Strahlenteiler 44 oder der
Kopplungsstreuverluste zwischen den optischen Bauteilen.
Wenn sich dennoch die Kennwerte des ersten Fabry-P´rot-Interferometers
42 mit den Änderungen der physikalischen Eigenschaften
des Meßobjektes verändern, verändert sich auch in
demselben Maße das Ausgangssignal der zweiten Fotodiode 45,
während das Ausgangssignal der ersten Fotodiode 46 unverändert
bleibt. Somit können die Veränderungen der Lichtemissionsintensität
der Leuchtdiode 41 und der Kopplungsstreuverluste
zwischen den optischen Bauteilen eliminiert werden,
indem das Ausgangssignal der zweiten Fotodiode 45 durch das
Ausgangssignal der ersten Fotodiode 46 dividiert wird. Wenn
andererseits die Lichtemissionsintensität der Leuchtdiode 41
über eine Rückkopplung geregelt wird, um das Ausgangssignal
der ersten Fotodiode 46 auf einen festen Wert zu halten,
kann das Ausgangssignal der zweiten Fotodiode 45 unverändert
als Ausgangssignal der Meßvorrichtung aufgenommen werden.
Um das Ausgangssignal der ersten Fotodiode 46 unabhängig von
den Kennwerten des ersten Fabry-P´rot-Interferometers 42
unverändert zu halten, sollten so viele Scheitelwerte der
spektralen Durchlässigkeit T 1(λ) (d. h. die Fabry-P´rot-
Resonanzspitzen) innerhalb der Bandbreite Δλ bei halbem
Maximalwert des Strahlenspektrums der Lichtquelle liegen.
Deshalb wird für Δλ ein hoher Wert genommen. Daher wird der
Abstand t zwischen den reflektierenden Spiegeln des ersten
Fabry-P´rot-Interferometers 42 groß gehalten. Dennoch sollte
mit Rücksicht auf die praktische Anwendung die Anzahl der
Fabry-P´rot-Resonanzspitzen möglichst klein gehalten werden,
weil die Bandbreite Δλ bei halbem Maximalwert nicht groß
ist, wenn eine Leuchtdiode als Lichtquelle verwendet wird.
Ferner ist es schwierig, den Abstand t zwischen den
reflektierenden Spiegeln eines Fabry-P´rot-Interferometers
beliebig zu erhöhen.
Die innere optische Weglänge des ersten Fabry-P´rot-Interferometers
42 wird anhand von Fig. 2 behandelt, welche den
Anforderungen genügen muß, damit das Ausgangssignal der
ersten Fotodiode 46 auf einen festen Wert unabhängig von den
Kennwerten des ersten Fabry-P´rot-Interferometers 42 gehalten
wird.
Fig. 2 zeigt die Intensität des Strahlenspektrums der
Leuchtdiode 41 mit der mittleren Wellenlänge λ 0 und der
Bandbreite Δλ bei halbem Maximalwert, wobei auf der Abszisse
die Wellenzahl, d. h. der reziproke Wert der Wellenlänge λ,
aufgetragen ist. Es sei angenommen, daß die Spektralkurve
zur Ordinatenachse symmetrisch ist, welche auf dem Mittelwert
1/λ 0 der 1/λ-Abszisse liegt, und daß die Kurvenabschnitte
AB und BC punktsymmetrisch zum Punkt B sind, der
auf dem halben Maximalwert der Intensität des Strahlenspektrums
liegt.
Der Fall, daß die Scheitelwerte der auf dem Fabry-P´rot-Effekt
beruhenden Resonanzen innerhalb der oben erwähnten Zone
des Strahlspektrums liegen, soll im folgenden behandelt
werden:
Die spektrale Durchlässigkeit T (λ) des Fabry-P´rot-Interferometers
erreicht ein Maximum bei der n-ten Resonanz-
Wellenlänge λ m , die durch folgende Gleichung mit t als
Abstand zwischen den reflektierenden Spiegeln des Fabry-
P´rot-Interferometers und n als Brechungsindex zwischen
diesen berechnet wird:
λ m = 2nt/m (m = 1, 2, 3, . . .).
Daraus erhält man die zur Wellenlänge reziproke Anzahl der
Wellen:
1/λ = m/2nt
1/λ m wird als Wellenzahl der n-ten Resonanzspitze definiert.
Die Differenz zwischen der Wellenzahl des n-ten Resonanzscheitelwertes
und der Wellenzahl des (m+1)-ten Resonanzscheitelwertes
erhält man durch folgende Gleichung:
1/λ m+1-1/λ m = 1/2 nt
Der Punkt b in Fig. 2 bezeichnet die Wellenzahl der m-ten
Resonanzspitze 1/λ m . Es sei angenommen, daß die Lichtstärke
an diesem Punkt ungefähr proportional dem Segment Bb ist,
wobei der Resonanzscheitelpunkt im ansteigenden Verlauf
liegt. Wenn die Lage des Punktes b nach links oder nach
rechts verschoben wird, ändert sich die Länge des Segmentes
Bb (z. B. zum Segment B′b′). Dennoch bleibt die Summe der
Länge des Segmentes B′b′ plus der Länge des Segmentes D′d′
konstant, auch wenn der Punkt B′ zwischen den Werten A und C
verschiebbar ist. Dabei wird angenommen, daß die Länge des
Segmentes b′d′, das der Differenz zwischen der Wellenzahl
des n-ten Resonanzscheitelwertes und der Wellenzahl des
(m+1)-ten Resonanzscheitelwertes konstant bleibt, und zwar
unabhängig davon, ob die Resonanzspitzen verschoben werden
(z. B. ist die Summe der Länge des Segments B′b′ plus der
Länge des Segments D′d′ gleich der Summe der Länge des
Segmentes Bb plus der Länge des Segmentes Dd). Dabei
bezeichnet der Punkt d die Wellenzahl des (m+1)-ten Resonanzscheitelwertes,
wobei der Punkt d und der Punkt b
symmetrisch zum Mittelwert 1/λ 0 liegen. Der Wert D auf der
Spektralintensitäts-Kurve hat denselben Betrag und denselben
Steigungswert wie der Wert B, wobei die Steigung im Punkt D
negativ und im Punkt B positiv ist. Bleibt die Lage der
Resonanzspitze unverändert, wird aber die Verteilungskurve
des Strahlenspektrums entlang der Abszisse verschoben, so
bleibt wiederum die Summe der Länge des Segments B′b′ plus
der Länge des Segmentes D′d′ unverändert.
Die oben getroffenen Erläuterungen basieren auf der Hypothese,
daß die Verteilung des Strahlenspektrums symmetrisch
zur Mittelachse ist, welche den idealen Zustand bezeichnet,
und daß die Differenz 1/2nt in der Wellenzahl zwischen dem
n-ten Resonanzscheitelwert und dem (m+1)-ten Resonanzscheitelwert,
welche dem Segment b′d′ in Fig. 2 entspricht,
ungefähr konstant bleibt, und zwar unabhängig von einer
Verschiebung der Resonanzspitzen.
Mit diesen Ausführungen kann angenommen werden, daß die
Bandbreite bei halbem Maximalwert des Strahlenspektrums dem
Abstand zwischen den beiden oben behandelten Resonanzspitzen
entspricht, so daß das Ausgangssignal der ersten Fotodiode
46 unabhängig von Veränderungen der optischen Weglänge nt
auf einen festen Wert gehalten werden kann. Um diese Annahme
zu bestätigen, muß die innere optische Weglänge nt des
ersten Fabry-P´rot-Interferometers 42 so verändert werden,
daß sie ungefähr dem Wert λ/2Δλ entspricht, wenn eine
Lichtquelle mit einer mittleren Wellenlänge g 0 und einer
Bandbreite Δλ bei halbem Maximalwert verwendet wird.
In Fig. 4 ist ein möglicher Kurvenverlauf des Ausgangssignals
der ersten Fotodiode 46 dargestellt, wobei der
Augenblickswert des Ausgangssignals der Fotodiode 46 über
die innere optische Weglänge nt aufgetragen ist.
Aus Fig. 4 werden folgende zwei Phänomene deutlich:
(1) Die Amplitude des Ausgangssignals nimmt von einem
Anfangswert ab und nähert sich einem festen Wert, wenn die
innere optische Weglänge nt groß wird. Dies beruht auf der
Tatsache, daß bei einer langen inneren optischen Weglänge nt
eine größere Anzahl der Fabry-P´rot-Resonanzspitzen innerhalb
der Strahlenspektrumszone liegen und deren Einfluß auf
das Ausgangssignal verringert wird, indem sich die Unterschiede
zwischen diesen Resonanzspitzen gegenseitig aufheben.
(2) Hat die innere optische Weglänge nt ungefähr den Wert
λ/2Δλ oder ein ganzes Vielfaches dieses Wertes, bleibt das
Ausgangssignal der ersten Fotodiode 46 konstant. Dies
basiert auf der Tatsache, daß einige der Resonanzspitzen
innerhalb der Strahlenspektrums-Zone eine Verstärkung des
Ausgangssignals und andere wiederum ein Abschwächen des
Ausgangssignals bewirken, so daß sich diese Verstärkungen
und Abschwächungen im Ausgangssignal gegenseitig aufheben.
Dieser Fall wurde im übrigen schon oben anhand von Fig. 2
diskutiert.
Deshalb sollte die gewünschte innere optische Weglänge nt
ungefähr den Wert λ/2Δλ oder einen entsprechend höheren
Wert aufweisen. Außerdem sollten die Resonanzspitzen notwendigerweise
innerhalb der idealen Strahlenspektrums-Zone
gemäß Fig. 2 liegen; mit anderen Worten, nt sollte folgende
Gleichung erfüllen:
nt λ/4Δλ.
Wird eine Lichtquelle mit λ 0 = 850 nm und Δλ = 50 nm verwendet,
ist der Wert λ/2Δλ = 7,2 µm, und das Fabry-P´rot-Interferometer
muß so eingestellt werden, daß die innere optische
Weglänge nt ungefähr 7,2 µm oder mehr beträgt. Da die oben
getätigten Ausführungen über das Ausgangssignal der Fotodiode
46 nur auf sicheren Hypothesen beruhte, ist der hier
ermittelte Wert von 7,2 µm nicht zwangsläufig die Bedingung,
bei der das Ausgangssignal der ersten Fotodiode 46 auf einen
festen Wert gehalten wird. Denn dieser Wert ist nur eine
Näherung bzw. ein Anhaltspunkt für eine solche Bedingung.
Dennoch sollte die Bedingung, daß die Resonanzspitzen
innerhalb der idealen Strahlenspektrums-Zone gemäß Fig. 2
liegen sollten, eingehalten werden (d. h., nt λ/4Δλ = 3,6 µm).
Unter diesen Bedingungen wurde die optische Meßvorrichtung
aus Fig. 1 als Temperatur-Meßvorrichtung verwendet.
λ 0 und Δλ der Leuchtdiode 41 betrugen 850 nm und 50 nm. Die
semitransparenten Spiegel der Fabry-P´rot-Interferometer 42
und 43 wurden auf beiden Seiten mit einer organischen Folie
versehen, die einen relativ hohen Temperaturexpansions-Koeffizienten
aufwies, wobei die optische Weglänge nt der organischen
Folie 6,8 µm betrug. Das erste Fabry-P´rot-Interferometer
42 wurde der zu messenden Temperatur ausgesetzt,
während das zweite Fabry-P´rot-Interferometer 43 auf einer
festen Temperatur von 25°C gehalten wurde. Das Ausgangssignal
der ersten Fotodiode 46 zeigt die Kurve l 1 und das
Ausgangssignal der zweiten Fotodiode 45 die Kurve l 2 in
Fig. 3. Auf der Abszisse in Fig. 3 ist die Temperatur
aufgetragen, der das erste Fabry-P´rot-Interferometer ausgesetzt
ist.
Aus Fig. 3 ist zu erkennen, daß der Kurvenverlauf von
l 1 erheblich geringer als der Kurvenverlauf von l 2 von der
Temperatur abhängig ist, so daß die Messungen der Temperaturen
durch Vergleich des Ausgangssignals entsprechend der
Kurve l 2 mit dem Ausgangssignal entsprechend der Kurve l 1
durchgeführt werden können.
Obwohl das behandelte Beispiel eine Temperaturmessung betrifft,
wobei Materialien mit einem hohen Temperaturexpansions-
Koeffizienten verwendet wurden, sind auch andere
Anwendungen denkbar. Beispielsweise könnte die optische
Meßvorrichtung zur Messung von Feuchtigkeit oder Taukondensation
unter Verwendung von sich bei Feuchtigkeit ausdehnenden
Stoffen, zur Messung von kleinen Verschiebebeträgen, wobei
ein semitransparenter Spiegel eines Fabry-P´rot-Interferometers
am Meßprojekt angebracht und somit der Verschiebebetrag
des Spiegels ermittelt werden kann, ferner zur Messung
von dynamischen Drücken, von Schall und Vibration sowie zur
Kraftmessung etc. benutzt werden, wobei der Innenraum des
Fabry-P´rot-Interferometers luftleer gepumpt sein sollte.
Falls im übrigen das Fabry-P´rot-Interferometer so aufgebaut
ist, daß der Abstand zwischen seinen reflektierenden Spiegeln
veränderlich ist, basierend auf einer Veränderung
anderer physikalischer Größen wie Elektrizität, Magnetismus
etc., kann jede physikalische Größe gemessen werden.
Claims (2)
1. Optische Meßvorrichtung
- - mit einer Lichtquelle (41), deren mittlere Wellenlänge λ₀ und deren Bandbreite Δλ betragen;
- - einem ersten Fabry-P´rot-Interferometer (42), das entsprechend den physikalischen Eigenschaften eines Meßobjektes verstellbar ist;
- - mit einem zweiten, dem ersten Fabry-P´rot-Interferometer optisch nachgeordneten Fabry-P´rot-Interferometer (43), das einen festen Aufbau aufweist;
- - mit einem im Strahlengang hinter dem ersten Fabry-P´rot- Interferometer (42) angeordneten ersten Fotodetektor (46);
- - mit einem im Strahlengang hinter dem zweiten Fabry-P´rot- Interferometer (43) angeordneten zweiten Fotodetektor (45);
- - mit einem dem ersten Fabry-P´rot-Interferometer (42) optisch nachgeordneten Strahlenteiler (44), der den Lichtstrahl in einen ersten Teilstrahl in Richtung auf den ersten Fotodetektor (46) und in einen zweiten Teilstrahl aufteilt, der durch das zweite Interferometer (43) auf den zweiten Fotodetektor (45) gerichtet ist; und
- - mit einer Signalverarbeitungsschaltung der Ausgangssignale der beiden Fotodetektoren (45 und 46) zugeführt sind, dadurch gekennzeichnet,
- - daß der erste Fotodetektor (46) dem Strahlenteiler (44) ohne Zwischenschaltung eines Interferometers nachgeordnet ist;
- - daß die optische Weglänge im ersten Fabry-P´rot-Interferometer (42) mindestens λ/4Δλ beträgt; und
- - daß die Signalverarbeitungsschaltung so ausgelegt ist, daß sie den Quotienten aus den Ausgangssignalen der beiden Fotodetektoren (45 und 46) bildet.
2. Optische Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle (41) Licht mit breitem Spektrum
erzeugt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17041285A JPS6230921A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 光学式センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3625703A1 DE3625703A1 (de) | 1987-02-12 |
DE3625703C2 true DE3625703C2 (de) | 1990-04-12 |
Family
ID=15904443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863625703 Granted DE3625703A1 (de) | 1985-07-31 | 1986-07-30 | Optische messvorrichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6230921A (de) |
DE (1) | DE3625703A1 (de) |
GB (1) | GB2179146B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4306756A1 (de) * | 1993-03-04 | 1994-09-08 | Sios Mestechnik Gmbh | Lichtwellenleitergekoppelte Temperaturmeßvorrichtung |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2186708B (en) * | 1985-11-26 | 1990-07-11 | Sharp Kk | A variable interferometric device and a process for the production of the same |
DE3645238C2 (de) * | 1985-11-26 | 1996-11-07 | Sharp Kk | Optischer Sensor |
US4972077A (en) * | 1988-08-08 | 1990-11-20 | Schlumberger Industries Limited | Wavelength multiplexed optical transducer with a swept wavelength optical source |
GB2228082A (en) * | 1989-01-13 | 1990-08-15 | Marconi Gec Ltd | Gas or liquid chemical sensor |
US4989979A (en) * | 1989-01-17 | 1991-02-05 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Optical fiber sensors with full common-mode compensation and measurand sensitivity enhancement |
FR2641861B1 (fr) * | 1989-01-18 | 1993-04-30 | Photonetics | Dispositif de mesure opto-electronique |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1555697A (de) * | 1967-11-10 | 1969-01-31 | ||
DE2231776B2 (de) * | 1972-06-29 | 1981-04-09 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Lichtschranke zur Messung der Lage oder Abmessung von Gegenständen |
GB2145237B (en) * | 1981-04-03 | 1986-03-19 | Chevron Res | Optical system |
DE3311809A1 (de) * | 1983-03-31 | 1984-10-11 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiter |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP17041285A patent/JPS6230921A/ja active Pending
-
1986
- 1986-07-29 GB GB8618479A patent/GB2179146B/en not_active Expired
- 1986-07-30 DE DE19863625703 patent/DE3625703A1/de active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4306756A1 (de) * | 1993-03-04 | 1994-09-08 | Sios Mestechnik Gmbh | Lichtwellenleitergekoppelte Temperaturmeßvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6230921A (ja) | 1987-02-09 |
GB8618479D0 (en) | 1986-09-03 |
GB2179146A (en) | 1987-02-25 |
DE3625703A1 (de) | 1987-02-12 |
GB2179146B (en) | 1989-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3047343C2 (de) | ||
EP1405037B1 (de) | Vorrichtung zur optischen distanzmessung über einen grossen messbereich | |
DE3044183C2 (de) | ||
DE3203613C2 (de) | Entfernungsmeßvorrichtung | |
DE3727188C2 (de) | Optische Verschiebungserfassungseinrichtung | |
DE3409207A1 (de) | Optischer sensor | |
DE19821616A1 (de) | Anordnung zur Bestimmung von Temperatur und Dehnung einer optischen Faser | |
EP0970550B1 (de) | Lasermodul mit wellenlängenstabilisierung | |
CH639196A5 (de) | Messgeraet zum messen von physikalischen groessen mittels optischer mittel. | |
DE3409618A1 (de) | Faseroptische messanordnung zur messung physikalischer groessen | |
DE102008029459A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung | |
WO1990012279A1 (de) | Wellenlängenstabilisierung, insbesondere für interferometrische längenmessung | |
DE3706347A1 (de) | Laserinterferometer zur interferometrischen laengenmessung | |
EP0083689B1 (de) | Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmesseinrichtung | |
EP0290789A2 (de) | Vorrichtung zur Messung des Abstandes zwischen der Vorrichtung und einer Messfläche | |
EP0101078A2 (de) | Sende- und Empfangseinrichtung für ein faseroptisches Sensorsystem | |
DE3625703C2 (de) | ||
DE3606090C2 (de) | Meßvorrichtung zum Messen kleinster Verschiebebeträge | |
DE4400680A1 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung von Abstandsänderungen eines Objekts | |
WO1993005364A1 (de) | Optischer sensor für rotationsbewegungen | |
DE2948590C2 (de) | Vorrichtung zur Absorptionsmessung von Gasgemischen | |
CH680236A5 (de) | ||
EP0028669B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Konstanthalten der in einer Lichtleitfaser geführten Lichtleistung | |
DE4429748A1 (de) | Interferometer und Verfahren zum Messen und Stabilisieren der Wellenlänge des von einer Laserdiode emittierten Lichts | |
DE19633569A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Wellenlänge monochromatischer Lichtquellen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |