DE3311809A1 - Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiter - Google Patents
Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiterInfo
- Publication number
- DE3311809A1 DE3311809A1 DE19833311809 DE3311809A DE3311809A1 DE 3311809 A1 DE3311809 A1 DE 3311809A1 DE 19833311809 DE19833311809 DE 19833311809 DE 3311809 A DE3311809 A DE 3311809A DE 3311809 A1 DE3311809 A1 DE 3311809A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- optical
- fabry
- birefringent
- light source
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/032—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/32—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/24—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/27—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means
- G02B6/2726—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means in or on light guides, e.g. polarisation means assembled in a light guide
- G02B6/274—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means in or on light guides, e.g. polarisation means assembled in a light guide based on light guide birefringence, e.g. due to coupling between light guides
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29302—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means based on birefringence or polarisation, e.g. wavelength dependent birefringence, polarisation interferometers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29356—Interference cavity within a single light guide, e.g. between two fibre gratings
Description
- Die Erfindung betrifft ein Sensorsystem, das zur hochpräzisen
- Messung von auf ein Sensorelement einwirkenden Zustandsgrößen geeignet ist. Ein Ausführungsbeispiel zeigt Figur 1. Das Sensorsystem besteht in diesem Beispiel aus einem Halbleiterlaser (1), der nur bei einer einzigen Wellenlänge emittiert.
- Die Stabilisierung dieser Wellenlänge erfolgt durch Kontrolle des Injektionsstromes (2) und einer Temperaturstabilisierung (3).
- Beide Stabilisierungen werden von einer gemeinsamen Elektronik (4) kontrolliert, die von der Auswerteelektronik (5) des Gesamtsystems kontrolliert wird. Das vom Halbleiterlaser (1) abgestrahlte Licht wird über eine geeignete Optik (6), in die auch eine optische Richtungsleitung integriert werden kann, in eine einwellige, polarisationserhaltende Zuleitungsfaser (7) eingekoppelt. Das Licht gelangt so zum eigentlichen Sensorelement (9), das aus einem doppelbrechenden Lichtwellenleiter aufgebaut ist und einen Fabry-Perot-Resonator darstellt. In Abhängigkeit von der von außen wirkenden Zustandsgröße ändert sich die Transmission und Reflexion dieses Sensorelementes. Diese Eigenschaften werden später näher beschrieben. Im vorliegenden Beispiel erfolgt die Auswertung in Reflexion: Das vom Sensorelement (9) reflektierte Licht wird über die Zuleitungsfaser (7), einen pol ari sati onserhal tenden Richtkoppler (8) den beiden Detektoren (10) und (11) zugeführt. Vor diesen beiden Detektoren befindet sich ein geeignetes optisches Element (12), z. B. Wollaston-Prisma, das das von der polarisationserhaltenden Lichtleitfaser (13) ankommende Licht in zwei zueinander senkrecht polarisierte Wellen aufteilt. Die von den beiden Fotodetektoren (10) und (11) detektierte Lichtleistung wird über die beiden Verstärker (14) und (15) der Auswerteelektronik (5) zugeführt. Um auch geringe Lichtleistungsschwankungen des Halbleiterlasers zu kompensieren wird das aus dem Richtkoppler (8) austretende Licht über eine weitere Faser (16) einem dritten Detektor (17) zugeleitet und über den Verstärker (18) in der Auswerteelektronik (5) verarbetet.
- Das Sensorelement (9) besteht aus einem doppelbrechenden Lichtwellenleiter, dessen senkrecht zur Wellenleiterachse stehenden Endflächen mit hochreflektierenden Spiegeln versehen sind, um dadurch einen Fabry-Perot-Resonator herzustellen.
- Die Kombination des Prinzips des Fabry-Perots mit dem Konzept des doppelbrechenden Lichtwellenleiters stellt das Kernstück der vorliegenden Erfindung dar und bietet folgende charakteristischenVorteile: die Polarisationserhaltung erlaubt den parallelen Betrieb zweier Resonatoren in einem Lichtwellenleiter ohne Energieaustausch zwischen den in den beiden Resonatoren vielfach reflektierten orthogonalen Moden (HExll und HEy1l). Dieses System zeichnet sich außerdem durch hohe Gleichtaktunterdrückung aus, da beide Resonatoren auf etwaige äußere Einflüsse (Ausnahme: Temperatur) in gleicher Weise reagieren.
- Die Phasenänderung (dfx, d¢y) pro Hin- und Rückreflexion (round trip) in einem solchen Doppelresonator ist bei konstanter Lichtwellenlänge Ä gegeben durch L ist die Länge des Fabry-Perot-Resonators, nx und ny sind die Brechzahlen bezüglich der Hauptachsen x und y des doppelbrechenden Lichtwellenleiters.
- L = L0 (1 + aT), LO = L (T = O °C) nx = nOX (1 + ßxT) nOX = nx (T = 0 °C) ny = nOy (1 + ßyT), nOy = ny (T = 0 °C) nx - ny =#n Dabei ist a der Längenausdehnungskoeffizient des Wellenleiters (z. B. Quarz: a α 6-10 7ZoC), ßx y ist der Temperaturkoeffizient der Brechzahl in Richtung der Wellenleiterhauptachsen (typischer Wert: ß # 10-5/°C). Die Phasenänderung im Fabry-Perot-Resonator läuft also wesentlich über die Temperaturabhängigkeit der Brechzahl, sofern - wie hier angenommen - das Sensorelement aus Quarzglas besteht, also z. B. einer Lichtleitfaser. Die Phase + geht in die Phasenfunktion ein, mit der die Transparenz t des Fabry-Perot-Resonators berechnet wird: t t .f(q>).
- t = tmax.f(#).
- Dabei ist F = #r z (r2 = Reflexionskoeffizient der hier als gleich angenommeneh Spiegel) die Finesse und tmax die (verlustabhängige) Maximal transparenz des Resonators.
- Figur 2 zeigt den typischen Verlauf solcher Transparenzkurven bei Veränderung der Temperatur für verschiedene Werte des Verlustfaktors l des Resonators.
- Nimmt man beispielhaft für das Sensorelement eine doppelbrechende Faser an mit den Hauptachsen x und y, längs deren sich die orthogonalen Fundamentalmoden HEx11 und HEy11 mit den etwas verschiedenen Phasengeschwindigkeiten, vx = c/nX und vy c/n = ausbreiten, wobei c die Vakuumlichtgeschwindigkeit ist. Bei Einstrahlung einer linear polarisierten Welle in x- oder y-Richtung wird nur die HE 11 oder die HEy1l-Mode angeregt, die wegen der Polarisationserhaltung stets längs der jeweiligen Hauptachse reflektiert wird, ohne Energie mit der anderen Welle auszutauschen.
- Bei Einstrahlung einer linear polarisierten Welle unter p = 450 zu den Hauptachsen ändert sich wegen der relativen Phasenverschiebung zwischen den beiden orthogonalen Moden die Polarisation längs der Faser innerhalb einer Schwebungslänge A über rechts zirkular (## = #/2), linear, (E = 3 links zirkular (h =-2 ) zu linear (Af = 2 ), mit elliptischer Polarisation als Zwischenzuständen. Diese Verhältnisse sind in Fig. 3 schematisch dargestellt. Wird linear polarisiertes Licht unter einem beliebigen Winkel p z. B. gegen die x-Hauptachse in den Resonator eingestrahlt, so gilt nach Fig. 4 folgendes: die Komponenten der Feldstärkeamplituden sind Ex = E0 cos p Ey = Eo sin p Iy = Ey2 = y sin² # .2 I0 = E02 Ix y o Die Komponenten Ix und Iy können mit einem in Richtung der Hauptachsen zu orientierenden Analysator oder einem unter 450 orientierten Wollastonprisma (12) ermittelt werden. Aus den Verhältnis Iy/IX folgt für den Einstrahlwinkel p Andererseits kann somit über den Winkel p ein gewünschtes Intensitätsverhältnis Iy/IX eingestellt werden, für p = 600 wird z. B.Iy/Ix = Bei Variationen der Temperatur um tx (T) und ty(T) gemäß der Gleichung tx =tmax f(x) bzw. ty =tmax f(#y) erhält man den in Fig. 5 dargestellten Verlauf.
- Ein in Transparenz messender Detektor (ohne Analysator) ergibt dann das resultierende Signal 1(T) = Ix(T) + I;(T).
- Dieses Signal hat zwei wesentliche Eigenschaften: a) Es wechseln große Maxima (IymaX) mit kleinen Maxima (IXmax) ab. Ober einen geeigneten Schwellenwertdiskriminator kann somit die Richtung der Anderung von T bestimmt werden.
- b) Der Abstand zwischen benachbarten Maxima ist eine monoton zunehmende (bzw. abnehmende) Funktion von T. Die Stärke dieser Funktion ist abhängig von der Stärke der Doppelbrechung, ausgedrückt durch A (starke Doppelbrechung 4- kleinem t) des Resonators. Je nach der Größe von A haben die Signale Ix (T) und Iy(T) einen etwas verschiedenen freien Spektralbereich 9 =c/2nL. Dadurch entsteht eine mehr oder weniger große Schwebungslänge AT nach der die Signale Ix und Iy wieder gleiche Phase bezüglich T erreichen. Die Folge der Maxima von Ix(T) und Iy(T) gleicht somit einer Form, die entsteht, wenn man zwei Kämme mit leicht verschiedenem Zahnabstand (freier Spektralbereich Av) und dem Zahnhöhenverhältnis 1y11x Ubereinanderlegt.
- Neben dem Einsatz dieses Konzepts als Temperatursensor ist auch die Anwendung für andere Zustandsgrößen prinzipiell möglich. Dies gilt insbesondere für einen Stromsensor mit metallbeschichteter doppelbrechender Faser, bei der die Joule'schen Verluste in der Beschichtung in eine Erwärmung der Faser umgesetzt werden, womit der Stromsensor letzlich als Temepratursensor betrieben wird.
- Die Kombination des erfindungsgemäß vorgeschlagenen Sensorsystems mit speziell dotierten bzw. präparierten doppelbrechenden Lichtwellenleitern erlaubt z. B. die Konzipierung eines Magnetfeldsensors mit geeignetem anisotrop magnetooptischem Kernmaterial, so daß eine für eine Absoluteichung ausreichende Abhängigkeit An (B) = nx (B) - ny (B) der Doppelrechung vom zu messenden Magnetfeld B entsteht. Das eigentliche Resonatorsignal, also die Folge der Maxima IXmax und wird durch magnetostriktive Kopplung des Resonators an eine Nickel-Beschichtung bzw. an eine metallisches Glas erreicht.
- Nach ähnlichen Gesichtspunkten wird ein Zugsensor mit stark elastooptischem Kernmaterial vorgesehen, bei dem die unter der Zugsapannung o auftretende Längenänderung zur Signale zeugung (Durchlaufen der Maxima IXmax und T max) und die Abhängigkeit an(a) der Doppelbrechung zur Absoluteichung benutzt wird. Wie bei allen übrigen vorgeschlagenen Sensoren wird auch hier die Bestimmung der Richtung der Parameteränderung ueber das Verhältnis Ixmax/I max 1 bewerkstelligt.
- Schließlich wird noch ein Schallwellensensor (Hydrophon) vorgeschlagen. Dabei wird eine durch Biegung induzierte Anderung der Doppelbrechung eines geeignet gewählten Lichtwellenleiters genutzt. Diese Biegung wird erzeugt, wenn die Schallwelle den frei (an einem Ende) eingespannten oder auf eine geeeignete Membran gebondeten Resonator zu mechanischen Schwingungen anregt. Dabei ist die azimutale Lage des Resonators (Hauptachse) auf maximale Anderung der Wellenleiter-Doppelbrechung bei vorgegebener Einfallsrichtung der Schallwellen zu orientieren. Wegen der sehr geringen Masse des Resonators, speziell beim Einsatz einer Lichtleitfaser, liegen die Grenzfrequenzen eines solchen schwingenden Systems sehr hoch. Gewünschte Dämpfungseigenschaften sowie die Wahl des empfindlichen Frequenzbereichs können über eine geeignete Beschichtung des doppelbrechenden Wellenleiters eingestellt werden.
- Literatur I.P. KAMINOW, "Polarization in fibers", Laser Focus, 80 - 84 (June 1980).
- W. EICKHOFF, "Temperature sensing by mode-mode interference in birefringent optical fibers",Opt. Lett., 6, 204 - 206 (1981).
- R. KIST, W. SOHLER, "Fiber Optic Spectrum Analyzer", IEEE Journal of Lightwave Technology, 1 (1983)1.
- R. KIST, S. DROPE, "Fiber Optic Fabry Perot Resonator as Temperature Sensor and Optical Spectrum Analyzer", Proceedings of the SPIE Technical Symposium East 1983, April 4 - 8, Arlington, USA (1983).
- - L e e r s e i t e -
Claims (10)
- Interferometrisches, eichbares Fabry-Perot-Sensorsystem mit doppel brechendem Monomode-Li chtwel 1 enl eiter PATENTANSPRÜCHE Optisches Sensorsystem zur Erfassung von von außen einwirkenden Zustandsgrößen, bestehend aus einer modulierbaren, mono-~chromatischen;ôder polychromatischen Lichtquelle, einer einwelligen, polarisationserhaltenden Zuleitung, einem als Fabry-Perot-Resonator aufgebauten, doppelbrechenden Lichtwellenleiter, einem Fotodetektor und einer Auswerteelektronik, dadurch gekennzeichnet, daß die Richtungserkennung der Veränderung der zu messenden Zustandsgröße eindeutig ist und eine absolute Eichung möglich ist.
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle aus einem Halbleiterlaser besteht, der in seiner Leistung mit fester oder variabler Frequenz moduliert wird.
- 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle aus einem Dauerstrichlaser besteht, dessen monochromatisches Licht mit Hilfe eines integriert optischen Schaltkreises phasenmodul i ert wird.
- 4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle bei mehreren diskreten und stabilen Lichtwellen emittiert.
- 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorsignal in Transmission oder Reflektion oder einer Kombination von beiden gewonnen wird.
- 6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement aus einer doppelbrechenden Lichtleitfaser besteht, deren Endflächen senkrecht zur Faserachse stehen, optisch plan sind und mit hochreflektierenden dielektrischen oder metallischen Spiegeln versehen sind.
- 7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement aus einem integriert optischen, doppelbrechenden Lichtwellenleiter besteht, dessen Endflächen senkrecht zur Wellenleiterachse stehen, optisch plan sind und mit hochreflektierenden dielektrischen oder metallischen Spiegeln versehen sind.
- 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtwellenleiter aus einem elektrooptischen oder magnetooptischen oder akustooptischen Material besteht und daher besonders zur Messung von elektrischen oder magnetischen oder akustischen Feldern geeignet ist.
- 9. Vorrichtung nach Anspruch 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Eingangsseite des Sensorelements ein Polarisator und auf der Ausgangsseite ein Analysator aus einem dielektrischen Schichtsystem aufgebracht sind oder durch die polarisationsabhängigen Eigenschaften der aufgebrachten Spiegel realisiert werden.
- 10. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die doppelbrechende Lichtleitfaser einen metallischen Mantel besitzt, der von einem Strom durchflossen werden kann.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833311809 DE3311809A1 (de) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833311809 DE3311809A1 (de) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3311809A1 true DE3311809A1 (de) | 1984-10-11 |
Family
ID=6195242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833311809 Withdrawn DE3311809A1 (de) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3311809A1 (de) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3611852A1 (de) * | 1985-04-11 | 1986-10-16 | Sharp K.K., Osaka | Druckempfindliches element |
DE3541733C1 (de) * | 1985-11-26 | 1986-11-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Faseroptische Fabry-Perot-Einrichtung |
DE3625703A1 (de) * | 1985-07-31 | 1987-02-12 | Sharp Kk | Optische messvorrichtung |
FR2595820A1 (fr) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Bertin & Cie | Dispositif a fibres optiques pour la detection a distance d'une grandeur physique, en particulier de la temperature |
EP0241766A2 (de) * | 1986-04-03 | 1987-10-21 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Sensoranordnung |
EP0398085A1 (de) * | 1989-05-16 | 1990-11-22 | International Business Machines Corporation | Hochempfindliches Positionsmess-Verfahren |
FR2653254A1 (fr) * | 1989-10-17 | 1991-04-19 | Pirelli Cavi Spa | Dispositif pour effectuer la mesure d'une grandeur physique et la transmission a distance de la valeur relevee de cette grandeur. |
EP0445362A1 (de) * | 1990-03-09 | 1991-09-11 | Landis & Gyr Business Support AG | Vorrichtung zum Messen einer magnetischen Induktion |
EP0581556A2 (de) * | 1992-07-28 | 1994-02-02 | Hewlett-Packard Company | Berührungslose Test-Sonde und Vorrichtung zur berührungslosen Spannungsmessung |
EP0586202A2 (de) * | 1992-08-31 | 1994-03-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spannungsmessvorrichtung |
DE4410134A1 (de) * | 1993-03-27 | 1994-09-29 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Interferometrischer Dehnungssensor |
EP0569700A3 (de) * | 1992-05-15 | 1995-02-01 | Asea Brown Boveri | Faseroptischer Sensor. |
WO2004046674A1 (de) * | 2002-11-18 | 2004-06-03 | RUBITEC Gesellschaft für Innovation und Technologie der Ruhr-Universität Bochum mbH | Messvorrichtung |
CN105021310A (zh) * | 2015-07-28 | 2015-11-04 | 上海交通大学 | 高精度光纤光栅温度传感系统 |
CN108181023A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-19 | 北京信息科技大学 | 一种光纤光栅和粗锥光纤温度与应变测试系统及其方法 |
CN108225386A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-29 | 北京信息科技大学 | 一种基于800nm飞秒激光器制作光纤F-P传感器的方法 |
-
1983
- 1983-03-31 DE DE19833311809 patent/DE3311809A1/de not_active Withdrawn
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3611852A1 (de) * | 1985-04-11 | 1986-10-16 | Sharp K.K., Osaka | Druckempfindliches element |
DE3625703A1 (de) * | 1985-07-31 | 1987-02-12 | Sharp Kk | Optische messvorrichtung |
DE3541733C1 (de) * | 1985-11-26 | 1986-11-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Faseroptische Fabry-Perot-Einrichtung |
FR2595820A1 (fr) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Bertin & Cie | Dispositif a fibres optiques pour la detection a distance d'une grandeur physique, en particulier de la temperature |
EP0241766A2 (de) * | 1986-04-03 | 1987-10-21 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Sensoranordnung |
EP0241766A3 (de) * | 1986-04-03 | 1989-07-19 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Sensoranordnung |
EP0398085A1 (de) * | 1989-05-16 | 1990-11-22 | International Business Machines Corporation | Hochempfindliches Positionsmess-Verfahren |
US5017010A (en) * | 1989-05-16 | 1991-05-21 | International Business Machines Corporation | High sensitivity position sensor and method |
FR2653254A1 (fr) * | 1989-10-17 | 1991-04-19 | Pirelli Cavi Spa | Dispositif pour effectuer la mesure d'une grandeur physique et la transmission a distance de la valeur relevee de cette grandeur. |
EP0445362A1 (de) * | 1990-03-09 | 1991-09-11 | Landis & Gyr Business Support AG | Vorrichtung zum Messen einer magnetischen Induktion |
EP0569700A3 (de) * | 1992-05-15 | 1995-02-01 | Asea Brown Boveri | Faseroptischer Sensor. |
EP0581556A2 (de) * | 1992-07-28 | 1994-02-02 | Hewlett-Packard Company | Berührungslose Test-Sonde und Vorrichtung zur berührungslosen Spannungsmessung |
US5465043A (en) * | 1992-07-28 | 1995-11-07 | Hewlett-Packard Company | Non-contact type probe and non-contact type voltage measuring apparatus, wherein the probe's irradiation surface is coated with a conductive film having a pinhole |
EP0581556A3 (de) * | 1992-07-28 | 1995-02-08 | Hewlett Packard Co | Berührungslose Test-Sonde und Vorrichtung zur berührungslosen Spannungsmessung. |
EP0586202A2 (de) * | 1992-08-31 | 1994-03-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spannungsmessvorrichtung |
EP0586202A3 (de) * | 1992-08-31 | 1995-02-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Spannungsmessvorrichtung. |
US5444365A (en) * | 1992-08-31 | 1995-08-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Voltage measuring apparatus having an electro-optic member |
DE4410134A1 (de) * | 1993-03-27 | 1994-09-29 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Interferometrischer Dehnungssensor |
US5508804A (en) * | 1993-03-27 | 1996-04-16 | Deutsche Forschungsanstatt Fur Luft- Und Raumfahrt E.V. | Laser interferometer strain sensor with adjustable feedback amplification in the form of a saw-tooth pattern |
WO2004046674A1 (de) * | 2002-11-18 | 2004-06-03 | RUBITEC Gesellschaft für Innovation und Technologie der Ruhr-Universität Bochum mbH | Messvorrichtung |
US7274839B2 (en) | 2002-11-18 | 2007-09-25 | Gustav Schweiger | Measuring device |
CN105021310A (zh) * | 2015-07-28 | 2015-11-04 | 上海交通大学 | 高精度光纤光栅温度传感系统 |
CN105021310B (zh) * | 2015-07-28 | 2017-07-18 | 上海交通大学 | 高精度光纤光栅温度传感系统 |
CN108225386A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-29 | 北京信息科技大学 | 一种基于800nm飞秒激光器制作光纤F-P传感器的方法 |
CN108181023A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-19 | 北京信息科技大学 | 一种光纤光栅和粗锥光纤温度与应变测试系统及其方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3311809A1 (de) | Interferometrisches, eichbares fabry-perot-sensorsystem mit doppelbrechendem monomode-lichtwellenleiter | |
DE3609507C2 (de) | Faseroptisches Interferometer | |
DE19703128A9 (de) | Magnetooptischer Stromsensor | |
Burns et al. | Polarizer requirements for fiber gyroscopes with high-birefringence fiber and broad-band sources | |
EP0706662B1 (de) | Optisches messverfahren zum messen eines elektrischen wechselstromes mit temperaturkompensation und vorrichtung zur durchführung des verfahrens | |
US4853534A (en) | Optical fiber sensing system | |
DE19807891A1 (de) | Faserlaser-Drucksensor | |
GB2135475A (en) | Optical de-polarizer | |
DE69723332T2 (de) | Optischer Schwingungsfühler | |
DE2259244B2 (de) | ||
Chu et al. | Optical voltage sensors based on integrated optical polarization-rotated reflection interferometry | |
Karimi et al. | Design evaluation of a high birefringence single mode optical fiber-based sensor for lateral pressure monitoring applications | |
Bock et al. | High hydrostatic pressure effects in highly birefringent optical fibers | |
IT9020433A1 (it) | Sensore polarimetrico direzionale di campo | |
EP0854354B1 (de) | Verfahren zur Temperaturkompensation von Messsignalen eines faseroptischen Sensors | |
DE3528294C2 (de) | ||
EP1421393B1 (de) | Optische stromsensoren | |
US5171981A (en) | Fiber-optic voltage sensor with cladded fiber and evanescent wave variation detection | |
EP0356670A1 (de) | Faseroptischer Stromsensor | |
JP3925202B2 (ja) | 高速波長検出装置 | |
DE4322291A1 (de) | Optische Kraftmeßeinrichtung | |
JPH0740048B2 (ja) | 光フアイバ型電圧センサ | |
EP1368667B1 (de) | Verfahren und einrichtung zur strommessung mittels eines faseroptischen in-line-sagnac-interferometers und dafür geeigneter phasenmodulator | |
CH686744A5 (de) | Faseroptischer Stromsensor. | |
Song et al. | Polarization fluctuation suppression and sensitivity enhancement of an optical correlation sensing system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8130 | Withdrawal |