DE2259244B2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Interferometer mit den Merkmalen des Oberbegrifis ^ on Patentanspruch 1.

Ein solches Interferometer beschreibt die DE-OS 15 72 599. Dort ist in ein Interferometer eine Kompensationsplatte eingesetzt, die einer Drehschwingung ausgesetzt wird. Damit ist aber ein Eingriff in das eigentliche Interferometer bedingt, welches die Herstellung dieses Geräts nicht nur verteuert, sondern insbesondere seine Genauigkeit beeinträchtigt.

Die Druckschrift Zeiss-Werkzeitschrifi, Band 8, Nr. 37 (1960), Seiten 61 -68 erläutert, daß ein Kippen der einen Platte eines Jamin-Interferometers zu einer Änderung des Wegunterschiedes zwischen den beiden interferierenden Teilstrahlen dieses Interferometers führt, in einem anderen Zusammenhang wird dort erläutert, daß Änderungen der Winkelstellungen der Spiegel eines Mach-Zehnder-Interferometers zu Weglängenänderungen führen. Diese Erkenntnisse werden in dieser Literaturstelle aber nicht zu einem Interferometer ausgenutzt, bei dem der optische Gangunterschied der beiden Teillichtbündel bewußt erzeugt wird.

Die Druckschrift »Feingerätetechnik«, 14. Jahrgang, Heft 12 (1965), Seiten 535-538 beschreibt die Möglichkeit der Änderung der Weglängendifferenz zwischen den interferierenden Strahlen eines Fabry-Perot-lnterferometers durch Änderung der relativen Winkelstellung der Fabry-Perot-Plalfen. Auch hier wird diese Erkenntnis nicht in eine Konstruktion umgesetzt, bei der der Gangunterschied /wischen den beiden Teillichlbiindeln periodisch moduliert wird.

Der Erfindung liegt, ausgehend von einem Interferometer der eingangs genannten Art, die Aufgabe zugrumV, dieses dahingehend weiterzubilden, daß bei einem kompakten Aufbau die Empfindlichkeit des

neuartigen Interferometers erhöht wird.

Die Lasung dieser Aufgabe erfolgt durch die kennzeichnenden Maßnahmen von Patentanspruch 1.

Durch diese Maßnahmen können auch herkömmliche Interferometer nachträglich mit einem derartigen Modulator ausgerüstet werden. Das neuartige Interferometer ist praktisch nicht dejustierbar und sehr empfindlich. Gegebenenfalls können zwei vollständig parallele Teillichtbündel am Ausgang des Interferometers erhalten werden. Die Nachweisempfindlichkeit des neuartigen Interferometers ist so groß, daß Phasenunterschiede in der Mikroskopie nachgewiesen werden können, die in der Größenordnung von 2° liegen, d. h. bei 0,6 A. Strecken in der Größenordnung von 1/10 A und sogar bis zu einigen hundertstein A können gemessen werden. Die Nachweisempfindlichkeit liegt bei Lambda/200 000. Eines der Einsatzgebiete des neuartigen Interferometers ist die Untersuchung der Oberflächenbeschaffenheit von Eichmaßen, die Oberflächenrauhheit, die Oxidation oder Korrosion von Oberflächenschichten.

Besonders gute Ergebnisse lassen sich mit den Maßnahmen von Patentanspruch 2 erzielen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen erläutert Es zeigt

Fig. 1 eine Ausführungsform als Mach-Zehnder-Interferometer;

Fig.2 eine Ausführungsform als Jamin-Interferometer;

F i g. 3 eine Ausführungsform als Polarisationsinterferometer mit zwei identischen, doppelt brechenden Kristallplättchen;

Fig.4 eine achromatische Variante des aus total reflektierenden Prismen zusammengesetzten Halbwellenplättchens des Interferometers nach F i g. 3;

Fig.5 eine weitere Variante des Halbwellenplättchens nach Fig.3, das aus zusammengesetzten HaIbwellenplättchen besteht;

Fig. 6 eine andere Ausführungsform des Interferometers nach F i g. 3;

Fig. 7 eine andere Ausführungticrin des Interferometers nach F i g. 3.

Zunächst wird die Erfindung unter Bezugnahme auf Fig. I beschrieben. Dort ist ein Mach-Zehnder-Interferometer gezeigt, das aus zwei optischen Elementen P\ und P₂ besteht, von denen jedes einen total reflektierenden Spiegel 1 und einen halbdurchlässigen Spiegel 2 aufweist. Das Element Pi beispielsweise ist starr verbunden mit einem Gehäuse A des Interferometers, während das Element P₂ nur über einen mechanischen Modulator M mit dem Gehäuse verbunden ist, der durch seine Winkelschwingung bewirkt, daß das Element P\ um einen Winkel λ in der Ebene der Figur bezogen auf dos Element P₂ gekippt wird, und zwar ausgehend von einer Ausgangsposition, in der die vier Spiegel des Interferometers parallel sind. Verwendet man eine monochromatische Lichtquelle, beispielsweise einen Laser L, ist ferner D der Abstand der beiden Teillichtbündel Fi und F₂ im Inneren des Interferometers, und ist die Justierung so getroffen, daß ein Fehler in der Parallelität zwischen den Einfallcbcnen der Elemente P₁ und P₂ durch die Winkelschwingung des Rlemcnts Py auftritt, so ist der Gangunterschied Δ zwischen den beiden Teillichtbündeln F₁ und F₂ für einen Winkel <x, von Fehlern zweiter Ordnung abgesehen, gleich

/1 = D, x.

Wird der Winkel <* periodisch moduliert, beispielsweise sinusförmig mit einer Frequenz /"und einer Amplitude «o, so variiert dieser Gangunterschied periodisch in der Zeit mit der Frequenz f entsprechend folgendem Gesetz:

l(t) = Pa₀ sin 2π ft,

Der die Winkelschwingung * (t) erzeugende Modulator M arbeitet beispielsweise mechanisch, elektromechanisch oder pneumatisch. Es wird ein piezoelektrischer Modulator bevorzugt Beispielsweise ist dann ein Quarzkristall an einem Ende am Gehäuse befestigt, an dessen Flächen ein elektrisches Wechselfeld angelegt wird Durch die Wahl eines Elementes, dessen Biegsamkeit, Härte und Curietemperatur hoch liegen, kann man eine ausgezeichnete Stabilität sowohl bei der Winkelschwingung wie auch der Ruhelage erhalten. Diese Eigenschaften werden noch bei Verwendung von

zwei Plattenelementen verbessert, die aus keramischen ferroelektrischen PolykristaJlen bestehen, die vorpolarisiert sind, und deren Kristalle die Eigenschaft besitzen, daß die Dimensionen unter der Wirkung eines elektrischen Feldes in Analogie zum inversen piezoelektrischen Effekt geändert werden.

Bei einer derartigen Anordnung ist die Phasendifferenz Δφ, die zwischen den Strahlen erzeugt wird, gleich Δφ=2 π (Δ/λ), wobei λ die Wellenlänge des verwendeten Lichtes ist Diese Phasenänderung ändert sich also periodisch in der Zeit nach folgendem Gesetz;

I, (0 =

2.T Dx₀

sin 2.T ft.

Am Ausgang des Interferometers ändert sich das von einem fotoelektrischen Empfänger Ri abgegebene Signal periodisch in der Zeit nach folgender Gleichung:

S₁ (/) = S₀ sin²

, _ _cos

_{Λο sin 2}, _/f

Dabei wird vorausgesetzt, daß im Ruhestand die Differenz der optischen Gangunterschiede auf Null eingestellt wird (subtraktive Interferenzen).

Im Empfänger R_t wird ein Strom erzeugt, der periodisch moduliert ist, und dessen Grundfrequenz gleich dem zweifachen Wert der Grundfrequenz der Modulation ist.

Die Modulationstiefe dieses Signals ist maximal, wenn die Modulationsamplitude der optischen Verzögerung Zl₀ gleich einer Wellenlänge oder gleich einer halben Wellenlänge ist, d. h. wenn

I₀ = D und \_SI = λ/2 ist.

Ein derartiges Instrument kann als Interferenzmodulator bezeichnet werden. Es ist sehr empfindlich. Diese totale Modulation ocm wird für einen Winkel des

Modulators gleich ^ erhalten. Die Modulationsamplitude ist umgekehrt proportional dem Abstand D der Teillichtbündel F\ und Fi im Inneren des Interferometers. Diese Modulationsamplilude isi also sehr klein. Für eine Wellenlänge von 633 mm liegt sie in der Größenordnung einer zehntel Winkclminute bei einem Abstand Dvon 10 mm. Es ergibt sich hieraus der Vorteil, daß eine totale Modulation der Lichtquelle bei einer sehr kleinen Amplitude der Winkelschwingung erzeugt

ίο wird.

Ein anderer Vorteil ergibt sich daraus, daß die in einem derartigen Interferometer hervorgerufene Wegdifferenz Δ unabhängig vom Einfallwinkel des Lichtstrahls ist, und daß dieses Phänomen unabhängig von

π einer Änderung des Abstands zwischen den beiden Elementen ist. Dadurch können die Toleranzen des Einfallswinkels sehr groß sein.

Das Interferometer kann auch für die Messung oder den Nachweis optischer Phasendifferenzen verwendet

j» werden. Unter der Annahme, daß in den Strahlengang eines der Arme des Interferometers ein optisches Objekt 5 gelegt wird, das eine optische Verzögerung erzeugt, die sich in einer Phasendifferenz φ S auswirkt, und wenn in den Strahlengang des anderen Armes ein

■r> optischer Kompensator gegeben wird, der eine variable und regulierbare optische Verzögerung einführt, die durch eine Phasenverschiebung ψο wiedergegeben wird, so hat das vom Empfänger R\ abgegebene Signal folgende Form:

- ι-ολΙ . >,, sin 2.7 Jt + ,_ls

Der Empfänger erzeugt also ein elektrisches Signal, das mit der Grundfrequenz moduliert ist, die mit der Modulationsfrequenz des Modulators übereinstimmt. Die Amplituden der Komponenten ungerader Ordnung einer Fourier-Entwicklung dieses Signals verschwinden also, wenn die variable und meßbare Phasendifferenz ψη der unbekannten Phasendifferenz ψ S gleich ist. Man kann diese Phasendifferenz also hiermit messen.

Das beschriebene Mach-Zehnder-Interferometcr besitzt den weiteren Vorteil, daß es zwei Ausgänge besitzt, die optisch um η nhasenversclioben sind. Befinden sich an den Ausgängen die Empfänger R₁ und R₂. so entstehen dort die Signale

,S'„ cos'

Dies gestiitlet weitere Anwendungen. /.. B. die Bestimmung von Vor/eichen. Dadurch können auch zwei Ausgänge mil totaler oder partieller Modulation erhalten werden, die um die Zeit 774 phasenverschoben sind, wenn 7"die Modulationsperiode des Modulators ist.

Ist der Abstand D ziemlich klein, so kann eine Änderung der optischen Verzögerung, hervorgerufen von einem Objekt, welches gleichzeitig in den Strahlengang in beiden Armen des Interferometers eingesetzt wird, nachgewiesen oder gemessen werden. Andererseits ist es praktisch schwer, ein Interferometer vom Typ Mach-Zehnder mit kleiner Aufspaltung der Teillichtbündel zu konstruieren. Ferner ist es neben dieser Anwendung vorteilhaft, die Aufspaltung zu verringern, um auch die Empfindlichkeit des Instrumentes zu reduzieren, die leicht zu groß wird. Dies gestattet die Anwendung einer größeren Winkelamplitude, nämlich einige Winkelminuten anstelle von einigen

WinkplsplciinHpn wnHnrrh Hpr Rptriph Ap*. mprhani-

kel des Interferometers vergrößert werden kann, so is der Unterschied zwischen den beiden Teillichtbündcli F'\ und F"2 gleich Null, weil die beiden Plättchen P' und P"i parallel sind. Zwischen den beiden Elementci des Interferometers ist die Aufspaltung der beidei Strahlen etwa gleich

I) — V

mit e gleich der Dicke eines jeden Plättchens P'\ un< P"t und n_e und /*> gleich außerordentlicher bzw ordentlicher Brechungsindex des verwendeten Kristalls Verwendet man Kalzit oder isländischen Spalkristal

ι i für eine mittlere Wellenlänge des sichtbaren Spektrums so liegt die Aufspaltung in der Größenordnung de; Zehnfachen der Dicke des Kristalls. Sie bleibt stationär wenn der Einfallswinkel des Lichtbündels in de Nigrhhnrirhafi ρΐηθ: senkrecht einisüendcn Lichtbiin

sehen Modulators erleichtert wird.

Fig. 2 zeigt als zweite Ausführungsform ein Jamin-Interferometer, das aus zwei Plättchen P\ und P'₂ mit planparallelen Flächen besteht. Bei dieser Ausführungsform ist das Plättchen P'₂ fest, während das Plättchen P\ mit dem Gehäuse über den Modulator M verbunden ist. In diesem Fall liegt die Aufspaltung zwischen zwei Teillichtbündeln F\ und F₂ in der Größenordnung von zwei Dritteln der Dicke jedes Plättchens, falls der LichtstrahlF'i unter etwa 45° zur ersten Fläche des Plättchens P'2 einfällt. Praktisch kann man leicht eine zehnfach geringere Aufspaltung erzielen, als dies mit einem Mach-Zehnder-Interferometer möglich ist. Sobald eine den planparallelen Plättchen entsprechende Ausgangslage erzeugt wird, und zwar mit einer Lage, für die der Wegunterschied zwischen den beiden Teillichtbündeln gleich Null ist, so erzeugt eine Auslenkung eines der Plättchen bezüglich des anderen mit einem Winkel λ zwischen den beiden Teillichtbündeln F\ und F'i einen Gangunterschied, der etwa gleich Da ist. Um den Wirkungsgrad zu verbessern, kann man die Plättchen P'\ und P'2 bei Position 21 und 21' an ihren Außenflächen verspiegeln, sowie ihre Innenflächen bei Position 22 und 22' zur Hälfte halbverspiegeln, wobei die andere Hälfte bei Position 23 und 23' antireflektierende Beläge erhält.

Eine andere Ausführungsform ist in Fig.3 gezeigt. Dort ist ein Polarisationsinterferometer dargestellt, das in gleicher Weise eine geringe Aufspaltung zwischen den beiden Teillichtbündeln ermöglicht. Bei dieser Ausführungsform kann das Interferometer zwei planparallele Plättchen P'\ und P"₂ gleicher Dicke aus beispielsweise doppelbrechendem, einachsigem Kristall enthalten, dessen optische Achse einen Winkel von 45° mit der Eintrittsfläche einschließt — vergleiche die Doppelpfeile in den Plättchen P"\ und P"₂ in Fig.3. Eines der Plättchen (P"_r) ist fest, und das andere (P"₂) ist mit dem Gehäuse A des Interferometers über den Modulator M verbunden. Diese Anordnung wird zwischen zwei gekreuzte Polarisatoren 30 und 31 gesetzt, die so angeordnet sind, daß sie Lichtbündel hindurchlassen, die bezüglich derjenigen Ebene, die die Achsen der Plättchen enthält um 45° ausgerichtet sind. Dadurch ist es möglich, daß die beiden mittels des ersten Plättchens P'\ aufgespaltenen und mittels des zweiten Plättchens P"₂ rekombinierten Teillichtbündel interferieren können. Wenn die Achsen der Plättchen parallel sind und wenn man eine λ/2-Platte H einführt, deren Achsen um 45° zu derjenigen Ebene gedreht sind, die die beiden Kristalle enthält, wodurch der öffnungswindels liegt und ist auch unabhängig von der Wellenlänge des Lichtes. Diese sehr geringe Aufspaltung gestattet es Differential-lnterferometrie zu betreiben, wobei zwi sehen den beiden Elementen des Interferometers eir Prüfling gesetzt wird, dessen Phase in der Richtung dei

2) Aufspaltung variiert.

Eine vom Modulator Merzeugte Neigung λ eines dei Plättchen bezüglich des anderen, erzeugt zwischen der beiden Tej||j_chtbundeln F'\ und F"₂ einen Gangunter schied A = DiX, der mit der Frequenz des Modulator

jo moduliert ist. Wie bei den vorstehend beschriebener Ausführungsformen wird der Lichtstrom am Ausgang des Interferometers total bei einer Amplitude «λ moduliert, beispielsweise D««=A/2,sodaß

ist, weil nämlich die Aufspaltung D bei isländischen Spatkristall etwa gleich 1/10 der Dicke eder Plättcher P"\ oder P"₂ ist.

Das Polarisationsinterferometer kann zur Untersu chung eines Prüflings C verwendet werden, der eine optische Phasenverschiebung bewirkt, die die durch der Polarisator 30 linear polarisierte Schwingung in eine elliptische Schwingung umwandelt. Eine λ/4-Platte Oi 5 deren eine Achse parallel zu derjenigen des Polarisator; 30 ist, gestattet es. diese Schwingung in eine lineare Schwingung umzuwandeln, deren Richtung vom Wen der Phasenverschiebung abhängt. Nur eine Drehung de! Polarisationsanalysators 31, die gleich der Hälfte diesel Phasenverschiebung ist, gestattet es, die ungerade Ordnung des modulierten Signals zu annulieren da· vom Empfänger R abgegeben wird, wodurch diese Phasenverschiebung gemessen werden kann, und vor da wiederum den Wert der physikalischen Größe, die diese Phasenverschiebung hervorgerufen hat: Längenänderung, Änderung des Brechungsindex, Änderung dei Doppelbrechung, die evtL durch Änderung änderet physikalischer oder chemischer Größen hervorgerufer worden sind, beispielswiese der Temperatur, de· Druckes, des elektrischen oder magnetischen Feldes der Zeh, der Konzentration usw.

Im folgenden werden die charakteristischen Eigenschaften eines Polarisationsinterferometers angegeben das nach dem Schema nach Fig.3 aufgebaut ist Da; Interferometer besteht aus zwei Kalzhimplättchen mil quadratischem Schnitt von 1 cm Seitenlange und mil einer Dicke von 3 mm. Ein -y-Glimmerplättchen ist aul

das Plättchen geklebt. Beide Anordnungen werden mittels zweiter aufgeklebter, ca. I mm dicker Glaspläti chen geschützt. Unter diesen Bedingungen muß die Amplitude der Winkelschwingungen zur Erzeugung einer Modulation des optischen Nacheilcns mit einer Amplitude gleich einer hiilben Wellenlänge etwa J, 4 Winkelminuten betragen Als Modulator dient ein keramisches, ferroelcklrisches, polykristallines, vorpolarisiertes und mit zwei Plättchen eingefaßtes ("lenient, das an einem Ende am Gehäuse gehalten ist, und das an seinem anderen Ende das bewegliche Element trägt. Es hat eine freie Länge von etwa 35 mm. Man kann z. B. eine handelsübliche Keramik verwenden. Bei dieser mechanischen Belastung liegt die Resonanzfrequenz dieses Systems bei 54 Hz und die notwendige Amplitude für eine totale Modulation verlangt eine Spannung von 4.5 V Spitze-Spitze. Es werden etwa 20 Mikrowatt elektrischer Leistung verbraucht.

Man verfügt daher über einen Modulator für den optischen Weg, der niederfrequent arbeitet, und zwar bei sehr geringer Leistung. Die Frequenz kann erhöht werden, indem entweder im Bereich der Resonanzfrequenzen höherer Ordnungen gearbeitet wird, oder indem die freie Länge des keramischen Plättchens verkürzt wird. Dadurch erhält man leicht Frequenzen in der Größenordnung vom KHz.

Das beschriebene System hat den Nachteil, daß das verwendete λ/2-Plättchen nicht achromatisch ist. Um dies zu vermeiden, ist es entsprechend Fig.4 möglich, ein achromatisches Halbwellensystem zu verwenden, das a"s zwei rhombischen Prismen 40 und 41. sogenannten Fresnel-Prismen zusammengesetzt ist. in denen das Lichtbündel vier Totalreflexionen unter einem Einfallswinkel von etwa 54° unterworfen ist, wenn die Prismen aus Glas mit einem Brechungsindex von 132 bestehen.

Die Achromatizität kann auch noch verbessert werden, wenn geeignete dünne Schichten auf den Flächen aufgedampft werden, an denen der Strahl total reflektiert wird.

Entsprechend Fig.5 ist es auch möglich, ein achromatisches Halbwellensystem mit einem Satz von Halbwellenplättchen für eine mittlere Wellenlänge zu schaffen, deren langsame Achsen m„ geeignet orientiert sind. Die Achromatizität verbessert sich mit steigendem η.

Ein anderer Vorteil dieses Polarisationsinterferometers liegt darin, daß eine Polarisationsebene periodisch mit großer Amplitude zum Schwingen gebracht werden kann.

Die vom Polarisator 30 linear polarisierte einfallende Welle wird am Ausgang des zweiten Elementes Ρ'Ί in eine elliptische Schwingung umgewandelt Wenn man entsprechend F i g. 6 ein λ/4-Plättchen Q₂ vorsieht, das achromatisch sein kann, und von dem eine Achse zur Richtung des Polarisators 30 parallel ist, so wird diese elliptische Schwingung in eine lineare Schwingung

verwandelt, die einen Winkel

Iy(M

mit der Richtung des Polarisators 30 bildet, wenn Δψ (t) die Phasenänderung ist, die von dem Interferometer eingeführt wird. Für eine sehr kleine Amplitude des Modulators in der Größenordnung von einigen Winkelminuten, die eine periodische Veränderung des optischen Weges der Amplitude von λ/2 bewirkt, ist der Wert der Phasenänderung gleich π Radian, und man erhält so eine periodische Schwingung der Polarisationsebene mit der Amplitude \ · Diese Möglichkeit,

die auch bei den Interferometern nach Fig. 1 und 2 besteht, nämlich die Richtung einer Polarisationsebene mit einer Amplitude modulieren zu können, die auch sehr groß sein kann, ist bei der Polarimetrie und Ellipsometrie sehr vorteilhaft. Umgekehrt kann dieser Verstärkungseffekt für die Drehung es beispielsweise ermöglichen, mit sehr großer Präzision die Biegungskonstanten eines mechanischen Modulators zu bestimmen.

Ein Polarisationsinterferomeler, bei dem die beiden Wellen senkrecht polarisiert sind, ermöglicht auch noch, das Lichtbündel am Ausgang des Interferometers mit der Frequenz des Modulators zu modulieren.

Vorstehend wurde gezeigt, daß eine der Eigenschaften des Interferometers darin besteht, das Lichtbündel am Ausgang mit einer Frequenz zu modulieren, die doppelt so groß ist wie die des Modulators, wenn im Inneren des Interferometers sich kein Phasenobjekt befindet, und wenn im Ruhezustand das Interferometer auf die Phase Null geeicht ist.

Wenn man entsprechend F i g. 7 zwischen die Elemente Ρ'Ί und P"₂des Interferometers ein λ/4-Plättchen Cj derart stellt, daß dessen Achsen parallel mit den Polarisationsrichtungen der beiden Wellen sind, so wird dadurch eine Phasenverschiebung von -τ/2 zwischen diesen beiden Wellen bewirkt. Unter diesen Bedingungen hat das vom Empfänger Rerzeugte Signal die Form

S\t) =

Dieses Signal ist moduliert. Seine Grundfrequenz ist die Frequenz des Modulators.

Die Modulationstiefe dieses Signals ist maximal oder total, wenn die Modulationsamplitude des optischen Weges Δο= D(Xo- einem Viertel der Wellenlänge ist:

zlo= D Λ_ρ=λ/4.

D-iraus ergibt sich der Vorteil, daß mit dieser Anordnung eine totale Modulation des Lichtbündels bei eine/ Winkelschwingung des Modulators &_P=X/4D erzeugt wird, die zweimal kleiner ist als die schon sehr kleine Winkelschwingung «m=3/2D, welche ohne das λ74- Plättchen vorliegen würde.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. Patentansprüche:

   1, Interferometer, insbesondere Maeh-Zehnder-, Janwn- oder Polarisationsinterferometer, mit einem Gehäuse, einer Lichtquelle, einem ersten optischen Element Z«r Aufspaltung eines von der Lichtquelle emittierten Ucbtbündels in zwei parallele, räumlich getrennte Teillichtbündel, einem gleichartigen zweiten optischen Element zur Wiedervereinigung der to beiden Teillichtbündel, wobei eines der beiden optischen Elemente starr mit dem Gehäuse verbunden ist, mit einem Modulator zur periodischen Änderung des optischen Gangunterschiedes der beiden Teillichtbündel sowie mit einem photoelektrischen Empfänger für die wiedervereinigten interferierenden Teillichtbündel, dadurch gekennzeichnet, daß der Modulator aus einer Einrichtung (M) zur Erzeugung einer Winkelschwingung des anderen optischen Elements (Pw P\'; Pz") besteht.

   Z Interferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (M) zur Erzeugung einer Winkelschwingung ein aus einem mono- oder polykristallinen Material bestehendes Element umfaßt, welches am Gehäuse (A) gelagert ist und eine Halterung für das andere optische Element (Pt; Pi'; P₂") bildet und das zur Änderung seiner Dimensionen mit einem elektrischen Wechselfeid beaufschlagt ist. hi