JP2007523381A - 強固な一群のマイクロディスプレイ投射レンズ - Google Patents

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Abstract

本発明は、それらの間に系の絞りを備えたレンズ系の始め及び終わりに非球面のレンズ素子、並びに、各々の非球面のレンズとその系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対、を備えた二重ガウスの構造体を含む投射レンズ系を提供する。また、提供されるのは、各々が、それらの間に系の絞りを備えたレンズ系の始め及び終わりに非球面のレンズ素子、並びに、各々の非球面のレンズとその系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対、を備えた二重ガウスの基部の構造体を有する、複数のレンズ系を含む投射レンズ群である。各々のレンズ系は、異なる費用/性能の選択肢を提供するために、最適化される。

Description

本発明は、投射レンズに関すると共に、より詳しくは、多種多様な最適化パラメータにわたって良好な性能を備えた一群のレンズに関する。
マイクロディスプレイシステムにおいては、撮像装置(imager)からの変調された光の出力が、可視の像を形成するために、投射レンズ系によって、スクリーン上へ投射される。既存のマイクロディスプレイシステム用の投射レンズ系は、典型的には、十一個から十三個のレンズ素子を含む。可視の像を生じさせるために、その投射レンズ系は、相対的に高い性能を提供しなければならない。その性能の要件を満たすために必要なレンズ素子の数及び質は、そのレンズ系についての高い費用に帰着し得る。また、既存の投射レンズ系は、典型的には、具体的な用途について注文設計されるが、高い設計費用を引き起こすと共にそのレンズ系における柔軟性を限定する。
本発明は、それらの間に系の絞りを備えたそのレンズ系の始め及び終わりに非球面のレンズ素子、並びに、各々の非球面のレンズとその系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対、を備えた二重ガウスの構造体(double-gauss architecture)を含む投射レンズ系を提供する。
また、提供されるのは、各々が、それらの間に系の絞りを備えたそのレンズ系の始め及び終わりに非球面のレンズ素子、並びに、各々の非球面のレンズとその系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対、を備えた二重ガウスの基部の(base)構造体を有する、複数のレンズ系を含む投射レンズの群である。各々のレンズ系は、異なる費用/性能の選択肢を提供するために、最適化される。
本発明を、図面を参照して記載することにする。
本発明は、6個から9個のレンズ素子を使用する良好な性能を備えた投射レンズ系及び特別注文による設計を要求することなくその用途について最少の費用で要求された性能を達成するための特定の用途についての性能/費用の兼ね合いを行うための機会を提供する一群のレンズ系を提供する。図1、3、6、7、12、15及び18に示すような、一群の投射レンズ系は、本発明の例示的な実施形態に従って提供される。その例示的な群内のレンズ系についての計算された性能のデータを、図2、4、5、7、8、10、11、13、14、16、17、19、及び20に示す。レンズ系の例示的な群は、注文設計の必要無しに、費用/性能の兼ね合いが特定の用途の要件を満たすことを許容する様々な性能を高める変形物を備えた強固な基部の構造体を提供する。その例示的な群におけるレンズ系は、(示さない)撮像装置からの光の変調されたピクセルの出力マトリックスを受容すると共に可視の像を提供するためにそれを(示さない)スクリーンへ投射する。そのレンズ系の群は、11個から13個のレンズ素子を備えたレンズ系と比較すると費用を減少させる、6個から9個までのレンズ素子を備えた複数の高性能の投射レンズ系を提供する。
図解されたレンズ系の群における各々のレンズ系は、図1に示すような基部の構造体10を有する。基部の構造体10は、6個のレンズ素子を含む。二個のアクリル系の非球面のレンズ(即ち、非球面レンズ)81、85(それぞれ、最も前のレンズ及び最も後のレンズ)は、レンズ系10の対向する端に配置されるが、各々は、単一の非球面のレンズ素子を形成する。二個のガラスの色消しのレンズ(即ち、色消しレンズ)82、84(安価なガラスタイプから作られる)は、色消しレンズ82、84の間に配置された絞り83を伴って、非球面レンズ81、85の間に配置される。各々の色消しレンズ82、84は、二個の球面のレンズ素子(即ち、均一な球面の幾何学的外形を備えたレンズ素子)を含む。第二の非球面のレンズ85の両方の表面は、前方の方向の曲率(即ち、正の半径)を有する。第一の非球面のレンズ81においては、第一の表面81は、後方の方向の曲率(即ち、負の半径)を有すると共に、第二の表面81bは、前方の方向の曲率を有する。第一の色消しのレンズ82は、二個のレンズ素子82x、82yを定義する三個の表面82a、82b、82cを有する。第一の表面82aは、負の方向の曲率を有すると共に第二の及び第三の表面82b、82cは、正の方向の曲率を有する。また、第二の色消しのレンズ84は、二個のレンズ素子84x、84yを定義する三個の表面83a、83b、83cを有する。第二の色消しのレンズ84の表面84a、84b、84cの各々は、負の方向の曲率を有する。それら色消しのレンズ素子は、SF14、SF15、BAK1、及びBALF4のような、安価なガラスから作られる。
例示的な基部の構造体のレンズ81、82、84、85についての表面のデータは、表2に提供された非対称の係数を伴って、表1に提供される。これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。
表1(ミリメートル単位の寸法)
Figure 2007523381
表2
Figure 2007523381
その投射レンズ系は、(示さない)撮像装置と(示さない)ビューイングスクリーンとの間に配置される。その撮像装置は、その撮像装置へ提供された信号に従って変調された強度の光ピクセルのマトリックスを提供する。LCOS撮像装置を使用するマイクロディスプレイにおいて、撮像装置からの出力は、(示さない)偏光ビームスプリッター又はPBSを通じて、且つ、その光の変調されたマトリックスを第一の色消しレンズ82へと方向付ける、単一の非球面のレンズ素子を含む第一の非球面レンズ81へと、通過する。第一の色消しレンズ82は、例えば接着剤によって、接合された二個の球面のレンズ素子82x、82yを含む。第一の色消しレンズ82は、その光のマトリックスを、それが、レンズ系の絞り83で収束すると共に反転するように、集束させる。系の絞り83を通過した後で、その光のマトリックスは、それが、第二の色消しレンズ84に入るまで、発散する。第二の色消しレンズ84は、その光のマトリックスが収束することを引き起こすと共に、その光のマトリックスを第二の非球面レンズ85へと方向付ける。第二の非球面レンズ85は、そおのビューイングスクリーンにわたってその光のピクセルを分配するために、その光のマトリックスを発散するパターンでそのビューイングスクリーンへ投射する。
図2は、上述した、基部の構造体10についての光学的伝達関数の計算された絶対値(MTF)を示す。それらの値は、ZEMAXTMのソフトウェアを使用して計算される。36サイクル毎ミリメートルの空間周波数で、そのMTFは、図2に示すように、最悪の場所でも約0.48よりも大きいものである。ZEMAXTMのソフトウェアを使用して基部の構造体10について決定されるような、格子歪曲(grid distortion)ともまた呼ばれる、その歪曲は、約0.55%であるが、そのことは、その最悪の場所で、マトリックス200ピクセルワイドを備えた撮像装置の具体的なピクセルからの光が、意図された又は最適な場所からのピクセル幅の約半分の場所でそのビューイングスクリーンへ投射されることになることを意味する。
表1からの厚さの値の和によって示唆されるように、その基部の構造体は、1050ミリメートル未満の系の長さを提供する。
図3は、そのレンズ系の例示的な群における第一の最適化されたレンズ系110を示す。第一の最適化されたレンズ系110は、連続して、二個の表面181a、181bを備えた第一の非球面レンズ181、三個の表面182a、182b、182cを備えた第一の色消しレンズ182、系の絞り183、三個の表面184a、184b、184cを備えた第二の色消しレンズ184、及び、二個の表面185a、185bを備えた第二の非球面レンズ185を含む、上述した、基部の構造体10と同様なものである。
例示的な第一の最適化されたレンズ系のレンズ181、182、184、185の表面のデータは、表4に提供された非対称の係数を伴って、表3に提供される。これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。
表3における半径の符号によって示唆されるように、第一の最適化されたレンズ系110の表面についての曲率の方向は、その基部の構造体についての対応する表面と同じものである。第一の最適化されたレンズ系110は、第一の最適化されたレンズ系110のレンズ素子が、基部の構造体10の対応する表面よりも大きい厚さを有するという点で、基部の構造体10と異なる。
第一の最適化されたレンズ系110は、第一の最適化されたレンズ系110のレンズ素子の厚さが、短い系のために束縛されないものであると共に、従って、基部の構造体10における対応するレンズ素子の厚さよりも大きいものであるという点で、基部の構造体10と異なる。第一の最適化されたレンズ系110についての表面のデータは、その新しい束縛条件(即ち、系の長さ)について最適化される。それらレンズ素子の厚さを増加させることが、第一の最適化されたレンズ系110の性能を高める一方で、費用は、それらより厚いレンズ素子と関連した材料の費用のおかげで、増加させられる。また、第一の最適化されたレンズ系110の全体的な長さが、表3における厚さの値の和によって示唆されるように、基部の構造体10の長さよりも大きいものであるので、費用は、その増加した系の長さを収容するために要求されるより大きい管のおかげで、増加させられることになる。このように、第一の最適化されたレンズ系110は、増加した費用のために高められた性能を提供することによって、その基部の構造体に関して性能/費用の兼ね合いを提供する。
表3
Figure 2007523381
表4
Figure 2007523381
図4及び5は、XEMAXTMのソフトウェアを使用して計算されるような、第一の最適化されたレンズ系110についての性能のデータを示す。図4に示すように、第一の最適化されたレンズ系110についてのMTFは、36サイクル毎ミリメートルで0.6よりも大きいものである。図5に示すように、その歪曲は、像面湾曲のおかげで、約0.21%未満の格子歪曲に帰着させられる0.5%未満である。
第二の最適化されたレンズ系210は、図6に示される。第二の最適化されたレンズ系210において、基部の構造体10のレンズ81、82、84、85、及び系の絞り83に対応する、第一の非球面レンズ281、第一の色消しレンズ282、系の絞り283、第二の色消しレンズ284、及び、第二の非球面レンズ285は、連続して、配置される。加えて、第三の非球面レンズ286は、第一の非球面レンズ281と第一の色消しレンズ282との間に配置される。第二の最適化されたレンズ系210についての表面のデータは、その新しい束縛条件(即ち、加えられた非球面レンズ)について最適化される。
例示的な第二の最適化されたレンズ系のレンズ281、282、284、285、286の表面のデータは、表6に提供された非対称の係数を伴って、表5に提供される。
これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。表5における半径の符号によって示唆されるように、第二の最適化されたレンズ系210の表面についての曲率の方向は、その基部の構造体についての対応する表面と同じものである。
加えられた非球面レンズ286が、第二の最適化されたレンズ系210の性能を高める一方で、費用は、加えられたレンズと関連した材料及び加工の費用のおかげで、増加させられる。このように、第二の最適化されたレンズ系210は、その基部の構造体及び第一の最適化されたレンズ系110に関して、性能/費用の兼ね合いを提供する。
表5
Figure 2007523381
表6
Figure 2007523381
表6(続き)
Figure 2007523381
図7及び8は、ZEMAXTMのソフトウェアを使用して計算されるような、第二の最適化されたレンズ系210についての性能のデータを示す。図7に示すように、第一の最適化されたレンズ系110についてのMTFは、36サイクル毎ミリメートルで約0.5よりも大きいものである。図8に示すように、その歪曲は、像面湾曲のおかげで、約0.37%未満の格子歪曲に帰着させられる0.5%未満である。
第三の最適化されたレンズ系310は、図9に示される。第三の最適化されたレンズ系310において、第二の最適化されたレンズ系210のレンズ281、286、282、284、285及び系の絞り283に対応する、第一の非球面レンズ381、第三の非球面レンズ386、第一の色消しレンズ382、系の絞り383、第二の色消しレンズ384、及び、第二の非球面レンズ385は、連続して、配置される。第三の最適化されたレンズ系310は、第三の最適化されたレンズ系310のレンズ素子の厚さが、短い系のために束縛されないものであると共に、従って、第二の最適化されたレンズ系210における対応するレンズ素子の厚さよりも大きいものであるという点で、第二の最適化されたレンズ系210と異なるものである。第三の最適化されたレンズ系310についての表面のデータは、その新しい束縛条件(即ち、系の長さ)について最適化される。それらレンズ素子の厚さを増加させることが、第三の最適化されたレンズ系310の性能を高める一方で、費用は、それらより厚いレンズ素子と関連した材料の費用のおかげで、増加させられる。第三の最適化されたレンズ系310についての表面のデータは、その新しい束縛条件(即ち、厚さの束縛条件)について最適化される。
例示的な第三の最適化されたレンズ系のレンズ381、382、384、385、386についての表面のデータは、表8に提供された非対称の係数を伴って、表7に提供される。これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。表7における半径の符号によって示唆されるように、第三の最適化されたレンズ系310の表面についての曲率の方向は、第二の最適化されたレンズ系210についての対応する表面と同じものである。
表7
Figure 2007523381
表8
Figure 2007523381
表8(続き)
Figure 2007523381
図10及び11は、XEMAXTMのソフトウェアを使用して計算されるような、第三の最適化されたレンズ系310についての性能のデータを示す。図10に示すように、第三の最適化されたレンズ系310についてのMTFは、36サイクル毎ミリメートルで約0.7よりも大きいものである。図11に示すように、その歪曲は、像面湾曲のおかげで、約0.53%未満の格子歪曲に帰着させられる約0.6%未満である。
第四の最適化されたレンズ系410は、図12に示される。第四の最適化されたレンズ系410において、基部の構造体10のレンズ81、82、84、85、及び系の絞り83に対応する、第一の非球面レンズ481、第一の色消しレンズ482、系の絞り483、第二の色消しレンズ484、及び、第二の非球面レンズ485は、連続して、配置される。加えて、第三の非球面レンズ486は、第一の非球面レンズ481と第一の色消しレンズ482との間に配置される。第四の最適化されたレンズ系410についての表面のデータは、その新しい束縛条件(即ち、加えられた色消しレンズ)について最適化される。
例示的な第四の最適化されたレンズ系のレンズ481、482、484、485、486についての表面のデータは、表10に提供された非対称の係数を伴って、表9に提供される。これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。表9における半径の符号によって示唆されるように、第四の最適化されたレンズ系410の表面についての曲率の方向は、その基部の構造体についての対応する表面と同じものである。
加えられた色消しレンズ486が、第四の最適化されたレンズ系410の性能を高める一方で、費用は、その加えられたレンズ素子と関連した材料及び加工の費用のおかげで、増加させられる。このように、第四の最適化されたレンズ系410は、その基部の構造体及び他の最適化されたレンズ系に関して、性能/費用の兼ね合いを提供する。
表9
Figure 2007523381
表10
Figure 2007523381
図13及び14は、XEMAXTMのソフトウェアを使用して計算されるような、第四の最適化されたレンズ系410についての性能のデータを示す。図13に示すように、第四の最適化されたレンズ系410についてのMTFは、36サイクル毎ミリメートルで約0.45よりも大きいものである。図14に示すように、その歪曲は、像面湾曲のおかげで、約0.11%未満の格子歪曲に帰着させられる約0.3%未満である。
第五の最適化されたレンズ系510は、図15に示される。第五の最適化されたレンズ系510において、第四の最適化されたレンズ系410のレンズ481、486、482、484、485、及び系の絞り483に対応する、第一の非球面レンズ581、第三の色消しレンズ586、第一の色消しレンズ582、系の絞り583、第二の色消しレンズ584、及び、第二の非球面レンズ585は、連続して、配置される。第五の最適化されたレンズ系510は、第五の最適化されたレンズ系510のレンズ素子の厚さが、短い系のために束縛されないものであると共に、従って、第四の最適化されたレンズ系410における対応するレンズ素子の厚さよりも大きいものであるという点で、第四の最適化されたレンズ系410と異なる。第五の最適化されたレンズ系510についての表面のデータは、その新しい束縛条件について最適化される。
例示的な第五の最適化されたレンズ系のレンズ581、582、584、585、586についての表面のデータは、表12に提供された非対称の係数を伴って、表11に提供される。これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。表11における半径の符号によって示唆されるように、第五の最適化されたレンズ系510の表面についての曲率の方向は、その基部の構造体についての対応する表面と同じものである。
加えられた色消しレンズ586及びより長いレンズが、第五の最適化されたレンズ系510の性能を高める一方で、費用は、その加えられた且つ延ばされたレンズと関連した材料及び加工の費用のおかげで、増加させられる。このように、第五の最適化されたレンズ系510は、その基部の構造体及び他の最適化されたレンズ系に関して、性能/費用の兼ね合いを提供する。
表11
Figure 2007523381
表12
Figure 2007523381
図16及び17は、XEMAXTMのソフトウェアを使用して計算されるような、第五の最適化されたレンズ系510についての性能のデータを示す。図16に示すように、第五の最適化されたレンズ系510についてのMTFは、36サイクル毎ミリメートルで約0.55よりも大きいものである。図17に示すように、その歪曲は、像面湾曲のおかげで、約0.16%未満の格子歪曲に帰着させられる約0.4%未満である。
第六の最適化されたレンズ系610は、図18に示される。第六の最適化されたレンズ系610において、基部の構造体10のレンズ81、82、84、85、及び系の絞り83に対応する、第一の非球面レンズ681、第一の色消しレンズ682、系の絞り683、第二の色消しレンズ684、及び、第二の非球面レンズ685は、連続して、配置される。加えて、第三の色消しレンズ686は、第一の非球面レンズ681と第一の色消しレンズ682との間に配置されると共に、第三の非球面レンズ687は、第二の色消しレンズ684と第二の非球面レンズ685との間に配置される。また、色消しレンズ683、684、686の表面は、球面の幾何学的外形に束縛されないものであるが、しかし、非球面の幾何学的外形で最適化されることが、許容される。第六の最適化されたレンズ系610についての表面のデータは、その新しい束縛条件(即ち、加えられた色消しレンズ)について最適化される。
例示的な第六の最適化されたレンズ系のレンズ681、682、684、685、486、687についての表面のデータは、表14に提供された非対称の係数を伴って、表13に提供される。これらの例示的なレンズの表面は、ZEMAXTMのソフトウェア及び発明者によって決定された新規な特性を使用して、発明者によって開発された。厚さの値は、先の表面までの距離である(即ち、あるレンズ素子の後側の表面についての厚さは、そのレンズ素子の厚さであると共に、あるレンズの前側の表面についての厚さは、そのレンズの前における空気間隔である)。表13における半径の符号によって示唆されるように、第四の最適化されたレンズ系410の表面についての曲率の方向は、その基部の構造体についての対応する表面と同じものである。
加えられた色消しレンズ686及び加えられた非球面レンズ687並びに色消しレンズ682、684、686が、第六の最適化されたレンズ系610の性能を高める一方で、費用は、それら加えられたレンズ及び複雑な幾何学的外形と関連した材料及び加工の費用のおかげで、増加させられる。このように、第六の最適化されたレンズ系610は、その基部の構造体及び他の最適化されたレンズ系に関して、性能/費用の兼ね合いを提供する。
表13
Figure 2007523381
表14
Figure 2007523381
表14(続き)
Figure 2007523381
表14(続き)
Figure 2007523381
図19及び20は、XEMAXTMのソフトウェアを使用して計算されるような、第六の最適化されたレンズ系610についての性能のデータを示す。図19に示すように、第六の最適化されたレンズ系610についてのMTFは、36サイクル毎ミリメートルで約0.65よりも大きいものである。図20に示すように、その歪曲は、像面湾曲のおかげで、約0.30%未満の格子歪曲に帰着させられる約0.35%未満である。
上述した投射レンズ系の例示的な群は、各々が、それらの間に系の絞りを備えたレンズ系の始め及び終わりにおける非球面のレンズ素子、並びに、各々の非球面のレンズとその系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対、を備えた二重ガウスの基部の構造体を有する、複数のレンズ系を提供する。各々のレンズ系は、異なる費用/性能の選択肢を提供するために、最適化される。このように、そのレンズ系の群の一員を、より高い性能について設計されたレンズ系の費用を負うこと無く、及び、特定の用途のためのレンズ系を注文設計すること無く、要求された性能を達成するために、選択することができる。また、本発明に従った各々の例示的なレンズ系は、その二重ガウスの基部の構造体の耐久性のおかげで、既存の投射レンズ系よりも少ないレンズ素子で良好な性能を提供する。
それらレンズ系が、付加的な素子及び/又はより長いレンズの長さで最適化されると、各々の素子の曲率の方向は、その群のいたるところで変化しないものである。それらレンズ系は、間において様々な性能の選択を備えた、0.48のMTF(最悪の場所)及び0.55%の歪曲(短い6個の素子)から0.69のMTF(最悪の場所)及び0.30%の歪曲(9個の素子)までを提供する。
前述のものは、本発明を実行することについてのいくらかの可能性を図解する。多くの他の実施形態は、本発明の範囲及び主旨内で可能である。従って、前述の記載は、限定するものよりもむしろ実例となるものとしてみなされること、及び、本発明の範囲が、添付した請求項によって、それらの均等物の全範囲と一緒に与えられることが、意図される。例えば、前述の記載及び付随する図は、LCOS撮像装置とその第一のレンズ素子との間に22mmの厚さのSF2のPBSを備えた単一の撮像装置LCOSシステムにおけるレンズの挙動を示す。その群は、異なる寸法のLCOSシステムに、及び、PBSの代わりにTIRプリズムを備えたDLPTMシステムに、適合可能なものである。
本発明の実施形態に従った一群のレンズ系についての基部の構造体を含む例示的な投射レンズ系を示す。 図1の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 本発明の実施形態に従った長いレンズを使用する代替の例示的な投射レンズ系を示す。 図3の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 図3の例示的な投射レンズ系についての像面湾曲歪曲に対する一組みの計算された曲線を示す。 本発明の実施形態に従った基部の構造体及び加えられた非球面レンズを使用する代替の例示的な投射レンズ系を示す。 図6の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 図6の例示的な投射レンズ系についての像面湾曲歪曲に対する一組みの計算された曲線を示す。 本発明の実施形態に従った長いレンズ系及び加えられた非球面レンズを使用する代替の例示的な投射レンズ系を示す。 図9の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 図9の例示的な投射レンズ系についての像面湾曲歪曲に対する一組みの計算された曲線を示す。 本発明の実施形態に従った基部の構造体及び加えられた色消しレンズを使用する代替の例示的な投射レンズ系を示す。 図12の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 図12の例示的な投射レンズ系についての像面湾曲歪曲に対する一組みの計算された曲線を示す。 本発明の実施形態に従った長いレンズ及び加えられた色消しレンズを使用する代替の例示的な投射レンズ系を示す。 図15の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 図15の例示的な投射レンズ系についての像面湾曲歪曲に対する一組みの計算された曲線を示す。 本発明の実施形態に従った加えられた非球面レンズ及び加えられた色消しレンズを使用する並びにその色消しレンズに非球面の表面を備えた代替の例示的な投射レンズ系を示す。 図18の例示的な投射レンズ系についての光学的伝達関数に対する一組みの計算された曲線を示す。 図18の例示的な投射レンズ系についての像面湾曲歪曲に対する一組みの計算された曲線を示す。

Claims (16)

  1. 複数のレンズ系を含む投射レンズ群であって、
    各々は、間に系の絞りを備えた該レンズ系の始め及び終わりにおける非球面のレンズ素子並びに各々の非球面のレンズと該系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対を備えた二重ガウスが基部の構造体を有する、投射レンズ群。
  2. 前記レンズは、当該投射レンズ群内で、長さにおいて変動する、請求項1に記載の投射レンズ群。
  3. 前記レンズ系の少なくとも一個は、1050ミリメートル未満の系の長さについて最適化される、請求項2に記載の投射レンズ群。
  4. 前記レンズ系の少なくとも一個は、前記レンズ系の始め及び終わりにおける前記非球面のレンズ素子の間における前記基部の構造体に加えられた一つ以上のレンズ素子と共に最適化される、請求項1に記載の投射レンズ群。
  5. 前記レンズ素子についての曲率の方向は、当該レンズ群内の前記レンズ系の間で変化しない、請求項1に記載の投射レンズ群。
  6. 前記レンズ系は、約0.55%から約0.30%まで変動する最大の歪曲及び約0.48から約0.69まで変動する伝達関数の絶対値(Modulus Transfer Function)を提供するために、最適化される、請求項1に記載の投射レンズ群。
  7. 前記レンズ系は、6個から9個までのレンズ素子を使用する、請求項6に記載の投射レンズ群。
  8. 少なくとも一個のレンズ系用の前記色消しのレンズ素子の対は、SF14、SF15、BAK1、及びBALF4からなる群より選ばれる安価なガラス材料の組み合わせから形成される、請求項1に記載の投射レンズ群。
  9. 投射レンズ系であって、
    間に系の絞りを備えた当該レンズ系の始め及び終わりにおける非球面のレンズ素子並びに各々の非球面のレンズと該系の絞りとの間における色消しのレンズ素子の対を備えた二重ガウスの構造体を含む、投射レンズ系。
  10. 当該レンズ系は、約0.55%未満の最大の歪曲及び少なくとも約0.48の伝達関数の絶対値を提供するために、構成される、請求項9に記載の投射レンズ系。
  11. 少なくとも一個のレンズ系用の前記色消しのレンズ素子の対は、SF14、SF15、BAK1、及びBALF4からなる群より選ばれる安価なガラス材料の組み合わせから形成される、請求項10に記載の投射レンズ系。
  12. 当該レンズ系は、少なくとも六個のレンズ素子及び九個より多くはないレンズ素子を有する、請求項10に記載の投射レンズ系。
  13. 当該レンズ系の始めにおける前記非球面のレンズと、当該レンズ系の始めにおける前記非球面のレンズと前記系の絞りとの間における前記色消しのレンズと、の間に配置された付加的な非球面のレンズをさらに含む、請求項9に記載の投射レンズ系。
  14. 当該レンズ系の始めにおける前記非球面のレンズと、当該レンズ系の始めにおける前記非球面のレンズと前記系の絞りとの間の前記色消しのレンズと、の間に配置された付加的な色消しのレンズ素子の対をさらに含む、請求項9に記載の投射レンズ系。
  15. 当該レンズ系の終わりにおける前記非球面のレンズと前記系の絞りとの間に配置された付加的な非球面のレンズ及び当該レンズ系の始めにおける前記非球面のレンズと前記系の絞りとの間に配置された付加的な色消しのレンズをさらに含む、請求項14に記載の投射レンズ系。
  16. 当該レンズ系は、1050ミリメートル未満の系の長さを提供するレンズについて、最適化される、請求項9に記載の投射レンズ系。
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