JP2007516878A - Droplet ejection assembly - Google Patents

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Abstract

A fluid drop delivery device is disclosed. The device includes a plurality of nozzle openings from which fluid is ejected and a waste control aperture.

Description

本発明は基板上への液滴の被着に関する。   The present invention relates to the deposition of droplets on a substrate.

インクジェットプリンタは基板上に液滴を被着するための装置の一種である。インクジェットプリンタは一般にインク源からノズル路へのインク路を備える。ノズル路は、インク液滴が射出されるノズル開口で終端する。インク液滴射出は一般に、例えば、圧電偏向器、熱バブルジェット(登録商標)発生器または静電偏向素子とすることができる、アクチュエータでインク路にあるインクに圧力を加えることによって制御される。一般的なプリント集成体は対応するノズル開口及び付帯するアクチュエータをもつインク路のアレイを有する。それぞれのノズル開口からの液滴射出は独立に制御することができる。オンデマンド液滴射出プリント集成体においては、プリント集成体及び印刷基板が互いに対して移動するとともに画像の特定の画素位置に液滴を選択的に射出するためにそれぞれのアクチュエータが起動される。高性能プリント集成体において、ノズル開口は一般に50μmないしそれより小さい、例えば約25μmの直径を有し、100〜300ノズル/インチ(3.9〜11.8ノズル/mm)のピッチで隔てられ、100〜3000dpi(3.9〜118.1ドット/mm)ないしそれより高い解像度を有し、約1〜120ピコリットル(pL)ないしそれより少ない体積の液滴を供給する。液滴射出頻度は一般に10kHzないしそれより高い。   An ink jet printer is a type of apparatus for depositing droplets on a substrate. Ink jet printers generally include an ink path from an ink source to a nozzle path. The nozzle path terminates at a nozzle opening through which ink droplets are ejected. Ink droplet ejection is typically controlled by applying pressure to the ink in the ink path with an actuator, which can be, for example, a piezoelectric deflector, a thermal bubble jet generator, or an electrostatic deflection element. A typical print assembly has an array of ink paths with corresponding nozzle openings and associated actuators. Droplet ejection from each nozzle opening can be controlled independently. In an on-demand droplet ejection print assembly, the actuator is activated to selectively eject droplets to specific pixel locations in the image as the print assembly and print substrate move relative to each other. In high performance print assemblies, the nozzle openings are generally 50 μm or smaller, for example about 25 μm in diameter, separated by a pitch of 100-300 nozzles / inch (3.9-11.8 nozzles / mm); It has a resolution of 100 to 3000 dpi (3.9 to 118.1 dots / mm) or higher and provides droplets with a volume of about 1 to 120 picoliters (pL) or less. The droplet ejection frequency is generally 10 kHz or higher.

ホイジングトン(Hoisington)等の特許文献1は半導体の構体及び圧電アクチュエータを有するプリント集成体を説明している。構体はエッチングでインクチャンバが画成されたシリコンでつくられる。ノズル開口はシリコンの構体に取り付けられた個別のノズルプレートによって画成される。圧電アクチュエータは、印加電圧に応答して形状寸法を変える、すなわち曲がる、圧電材料層を有する。圧電層の曲がりがインク路に沿って配置されたポンプチャンバ内のインクに圧力を加える。圧電インクジェットプリント集成体は、フィッシュベック(Fishbeck)等の特許文献2,ハイン(Hine)の特許文献3,モイニハン(Moynihan)等の特許文献4及びホイジングトンの特許文献5にも説明されており、これらの特許文献の全内容は本明細書に参照として含まれる。
米国特許第5265315号明細書 米国特許第4825227号明細書 米国特許第4937598号明細書 米国特許第5659346号明細書 米国特許第5757391号明細書
U.S. Pat. No. 6,057,017 to Hoisington et al. Describes a printed assembly having a semiconductor structure and a piezoelectric actuator. The structure is made of silicon with an ink chamber defined by etching. The nozzle openings are defined by individual nozzle plates attached to the silicon structure. Piezoelectric actuators have a layer of piezoelectric material that changes shape, ie, bends, in response to an applied voltage. The bending of the piezoelectric layer exerts pressure on the ink in the pump chamber located along the ink path. Piezoelectric inkjet print assemblies are also described in US Pat. Nos. 5,099,038 and 2,5, Hine, US Pat. No. 4, Moynihan et al. The entire contents of these patent documents are hereby incorporated by reference.
US Pat. No. 5,265,315 US Pat. No. 4,825,227 US Pat. No. 4,937,598 US Pat. No. 5,659,346 US Pat. No. 5,757,391

本発明の課題はインクジェットプリンタのプリントヘッドにおいて液滴の射出性能を高める手段を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a means for enhancing droplet ejection performance in a print head of an ink jet printer.

一態様において、本発明の特徴はノズル開口から液滴を射出するためにその中で液体に圧力が加えられる流路を備える液滴射出器である。ノズル開口に隣接して、ノズル開口の平面に交わる方向に延びる複数の突起がある。   In one aspect, a feature of the present invention is a droplet ejector comprising a flow path in which pressure is applied to the liquid to eject the droplet from the nozzle opening. Adjacent to the nozzle opening, there are a plurality of protrusions extending in a direction intersecting the plane of the nozzle opening.

別の態様において、本発明の特徴はノズル開口を通る射出のためにその中で液体に圧力が加えられる流路を備える液滴射出器である。ノズル開口近傍に、ノズル開口の平面に交わる方向に延びる少なくとも4本の立柱がある。立柱及びノズル開口は共通の構体内に画成される。   In another aspect, a feature of the present invention is a droplet ejector comprising a flow path within which pressure is applied to the liquid for ejection through the nozzle opening. In the vicinity of the nozzle opening, there are at least four standing pillars extending in a direction intersecting the plane of the nozzle opening. The upright and nozzle openings are defined in a common structure.

別の態様において、本発明の特徴はノズル開口を通る射出のためにその中で液体に圧力が加えられる流路を備えるプリントヘッドを提供することによる液体射出である。ノズル開口近傍に、ノズル開口の平面に交わる方向に延びる複数の突起がある。突起で画成される空間に毛管作用力によって吸い込まれる液体が供給される。   In another aspect, a feature of the present invention is liquid ejection by providing a printhead with a flow path in which pressure is applied to the liquid for ejection through a nozzle opening. In the vicinity of the nozzle opening, there are a plurality of protrusions extending in the direction intersecting the plane of the nozzle opening. The liquid sucked by the capillary action force is supplied to the space defined by the protrusions.

別の態様において、本発明の特徴はノズル開口から液滴を射出するためにその中で液体に圧力が加えられる流路を備える液滴射出器である。ノズル開口に隣接して、ノズル開口の平面に交わる方向に延びる複数の突起がある。ノズル開口及び突起はシリコン材料でつくられた共通の構体内に画成され、ノズル開口は壇上に配置され、突起は壇の近傍に配置される。   In another aspect, a feature of the present invention is a droplet ejector comprising a flow path in which pressure is applied to the liquid to eject the droplet from the nozzle opening. Adjacent to the nozzle opening, there are a plurality of protrusions extending in a direction intersecting the plane of the nozzle opening. The nozzle openings and projections are defined in a common structure made of silicon material, the nozzle openings are arranged on the platform, and the projections are arranged in the vicinity of the platform.

その他の態様または実施形態は上記の態様の特徴及び以下の1つまたはそれより多くの特徴の組合せを有することができる。ノズル開口は突起で囲まれる。突起は立柱であるかまたは壁体形である。突起はパターンに配列される。パターンは行列アレイを画成し、あるいは円弧を画成する。パターンはインク溜り空間を画成する。突起はノズル開口幅の約2倍ないしそれより小さい幅を有する。突起とノズル開口の周縁との間隔はノズル開口幅の約20%ないしそれより大きい。突起の間隔はノズル開口幅の約2倍ないしそれより小さい。突起の数は4個ないしそれより多い。突起の高さはノズル開口の平面に実質的に等しいか、あるいは突起の高さはノズル開口の平面より低い。   Other aspects or embodiments may have the features of the aspects described above and combinations of one or more of the following features. The nozzle opening is surrounded by a protrusion. The protrusions are upright or wall-shaped. The protrusions are arranged in a pattern. The pattern defines a matrix array or arc. The pattern defines an ink reservoir space. The protrusion has a width of about twice or less than the nozzle opening width. The distance between the protrusion and the periphery of the nozzle opening is about 20% or more of the nozzle opening width. The distance between the protrusions is about twice or less than the nozzle opening width. The number of protrusions is 4 or more. The height of the protrusion is substantially equal to the plane of the nozzle opening, or the height of the protrusion is lower than the plane of the nozzle opening.

ノズル開口及び突起は共通の構体内に画成され、構体はシリコン材料である。液滴射出器は突起近傍にチャネルを備える。液滴射出器は突起近傍に真空源または吸上材料を備える。ノズル開口はウエル内に配置され、ウエルは突起を有する。ノズル開口は壇上に配置され、突起は壇近傍に配置される。ノズル開口は200μmないしそれより小さい。液滴射出器は圧電アクチュエータを備える。   The nozzle opening and the protrusion are defined in a common structure, and the structure is a silicon material. The droplet ejector includes a channel near the protrusion. The droplet ejector includes a vacuum source or a wicking material in the vicinity of the protrusion. The nozzle opening is disposed in the well, and the well has a protrusion. The nozzle opening is disposed on the platform, and the protrusion is disposed in the vicinity of the platform. The nozzle opening is 200 μm or smaller. The droplet ejector includes a piezoelectric actuator.

実施形態は以下の利点の1つまたはそれより多くを有することができる。液滴形成及び射出との干渉を低減するようにノズルプレートの面の周りの廃インク液が制御されるから、プリントヘッド動作は頑強及び確実である。基板上の精確な場所に小ノズルの大アレイがインクを正確に射出しなければならない高性能プリントヘッドにおいて、液滴の速度及び軌道直線性が維持される。突起は廃インク液を制御し、粘度及び表面張力特性が変わるインクのような、様々な液体を噴射する望ましい噴射特性及びノズル開口における圧力特性が変わるヘッドを可能にする。突起は頑強であり、可動部品を必要とせず、経済的に、例えばシリコン材料のような半導体材料に、エッチングで実施することができる。   Embodiments can have one or more of the following advantages. Printhead operation is robust and reliable because the waste ink liquid around the surface of the nozzle plate is controlled to reduce interference with drop formation and ejection. In high performance printheads where a large array of small nozzles must eject ink accurately at precise locations on the substrate, drop velocity and trajectory linearity are maintained. The protrusions control the waste ink liquid and allow the head to vary the desired ejection characteristics and various pressure characteristics at the nozzle openings, such as inks that vary in viscosity and surface tension characteristics. The protrusions are robust, do not require moving parts, and can be economically implemented by etching into a semiconductor material such as a silicon material.

さらに別の態様、特徴及び利点は以下に示される。例えば、特定の態様は以下に論じられるような突起寸法、特性及び動作条件を有する。   Further aspects, features and advantages are set forth below. For example, certain aspects have protrusion dimensions, characteristics and operating conditions as discussed below.

図1を参照すれば、インクジェット装置10は、供給インク12を入れている液溜め11及び液溜め11から圧力チャンバ14に通じる液路13を備える。アクチュエータ15,例えば圧電変換器が圧力チャンバ14の壁の1つを形成する。アクチュエータは、インクに力を加えて圧力チャンバ14からノズルプレート18のノズル開口17に通じる液路16を通し、ノズル17から基板20に向けてインク液滴19を射出させるために使用できる。動作中、インクジェット装置10及び基板20は互いに対して移動させることができる。例えば、基板はロール22及び23の間を移動させられる連続ウエブとすることができる。ノズルプレート18のノズル17のアレイからの液滴の選択的射出により、所望の画像が基板20上につくられる。   Referring to FIG. 1, the ink jet device 10 includes a liquid reservoir 11 containing supply ink 12 and a liquid passage 13 that leads from the liquid reservoir 11 to the pressure chamber 14. An actuator 15, for example a piezoelectric transducer, forms one of the walls of the pressure chamber 14. The actuator can be used to apply ink force to eject ink droplets 19 from the nozzle 17 toward the substrate 20 through the liquid passage 16 leading from the pressure chamber 14 to the nozzle openings 17 of the nozzle plate 18. In operation, the inkjet device 10 and the substrate 20 can be moved relative to each other. For example, the substrate can be a continuous web that is moved between rolls 22 and 23. The desired image is produced on the substrate 20 by selective ejection of droplets from the array of nozzles 17 on the nozzle plate 18.

インクジェット装置は、システムが液滴を射出していないときのノズル開口近傍のインクメニスカスにおける動作圧力も制御する。メニスカス圧力の変動は、プリントエラー及び滴下を生じさせ得る液滴の体積または速度の変動をおこさせ得る。図示される実施形態において、圧力制御は、液溜め11内のインク12の上方のヘッドスペース9に真空を与える、メカニカルポンプのような真空源30によって与えられる。真空は、重力によってノズル開口17を通るインクの滴下を防止するために、インクを介してノズル開口17に伝えられる。コントローラ32,例えばコンピュータコントローラが、液溜め11のインク上方の真空を監視し、液溜めを所望の真空に維持するために真空源30を調節する。別の実施形態において、真空源はインク液溜めをノズル開口の下に配置してノズル開口近傍に真空を生じさせることによって与えられる。インクレベルモニタ(図示せず)が、プリント動作中にインクが消費されるとともに低下し、よってノズルにおける真空を高める、インクレベルを検出する。コントローラがインクレベルを監視し、インクが所望のレベルより低下したときに真空を所望の動作範囲内に維持するために、大量容器から液溜めにインクを補充する。メニスカスの真空がノズルの毛管作用力に打ち勝つのに十分に離してノズルの下方に液溜めが配置されている、別の実施形態においては、インクに圧力を加えてノズル開口近傍のメニスカスを維持することができる。実施形態において、動作真空は約0.5〜約10インチ水柱(1インチ水柱=249Pa)に維持される。   The ink jet device also controls the operating pressure at the ink meniscus near the nozzle opening when the system is not ejecting droplets. Variations in meniscus pressure can cause variations in drop volume or velocity that can cause print errors and drops. In the illustrated embodiment, pressure control is provided by a vacuum source 30 such as a mechanical pump that provides a vacuum to the headspace 9 above the ink 12 in the reservoir 11. The vacuum is transmitted to the nozzle opening 17 through the ink to prevent ink from dripping through the nozzle opening 17 due to gravity. A controller 32, such as a computer controller, monitors the vacuum above the ink in the reservoir 11 and adjusts the vacuum source 30 to maintain the reservoir at the desired vacuum. In another embodiment, the vacuum source is provided by placing an ink reservoir below the nozzle opening to create a vacuum near the nozzle opening. An ink level monitor (not shown) detects the ink level, which drops as ink is consumed during the printing operation, thus increasing the vacuum at the nozzle. The controller monitors the ink level and refills the reservoir from the bulk container to maintain the vacuum within the desired operating range when the ink drops below the desired level. In another embodiment, a reservoir is located below the nozzle that is sufficiently separated from the meniscus vacuum to overcome the capillary force of the nozzle, in another embodiment, pressure is applied to the ink to maintain the meniscus near the nozzle opening. be able to. In an embodiment, the operating vacuum is maintained at about 0.5 to about 10 inches of water column (1 inch water column = 249 Pa).

図2を参照すれば、ノズルプレート部90は、高壇92及び壇92の中心に配置されたノズル開口94を有する。壇92及びノズル開口94の近傍に、ノズル開口94の平面に交わる方向にノズルプレートの床面から延びる円柱の形態のインク制御突起96の領域がある。インク噴射中、ノズルプレート18上にインクが溜り得る。インク溜りが制御されていなければ、時間がたつにつれて、インクはプリントエラーを生じさせる液塊を形成し得る。例えば、ノズル開口の縁端近傍の液塊は、射出される液滴の軌道、速度または体積に影響を与え得る。また、液塊は印刷基板上に滴下して無意味なマークを生じさせるような十分な大きさになることができよう。液塊はノズルプレート面から十分遠くに突き出し、印刷基板に接触して、印刷基板に汚れを生じさせることもできるであろう。突起96は廃液をノズルプレートの周りに広げ、よって、例えばノズルプレートから印刷基板上に滴下し得る、厚い液塊の成長を抑える。初め、液塊は壇92上に形成され、次いで、壇92から壇92の近傍の突起96の領域に移動する。突起96は、毛管作用力によって廃液がノズル開口94から離れる方向に吸い取られるような空間98を画成する。   Referring to FIG. 2, the nozzle plate unit 90 includes a stairs 92 and a nozzle opening 94 disposed at the center of the stairs 92. In the vicinity of the platform 92 and the nozzle opening 94, there is a region of an ink control protrusion 96 in the form of a cylinder extending from the floor surface of the nozzle plate in a direction intersecting the plane of the nozzle opening 94. Ink may accumulate on the nozzle plate 18 during ink ejection. If the ink reservoir is not controlled, over time, the ink can form a liquid mass that causes print errors. For example, liquid mass near the edge of the nozzle opening can affect the trajectory, velocity or volume of the ejected droplet. Also, the liquid mass could be large enough to drop on the printed substrate to produce a meaningless mark. The liquid mass may protrude far enough from the nozzle plate surface to contact the printed substrate and cause the printed substrate to become soiled. The protrusion 96 spreads the waste liquid around the nozzle plate, thus suppressing the growth of a thick liquid mass that can be dripped, for example, from the nozzle plate onto the printed substrate. Initially, a liquid mass is formed on the platform 92 and then moves from the platform 92 to the area of the protrusion 96 near the platform 92. The protrusion 96 defines a space 98 in which the waste liquid is sucked away from the nozzle opening 94 by capillary action force.

図3を参照すれば、ノズルプレートの2つの領域90,90'は図示されるように2つの隣接ノズル開口94,94'を有する。領域90,90'のそれぞれはノズル開口を囲む突起の領域を有する。突起領域は空白領域114,115及び117,及び廃液チャネル119,112によって境界が画成される。チャネル119,122はドレインアパーチャ121を有する。突起のパターンはインクをノズルから離してチャネルに向ける。ノズルプレートが水平方向に配置されている(ノズル開口が上方または下方を向く)場合、廃インク液塊は初め毛管作用の影響の下で突起−突起間から、4つの概略方向112,116,118及び120を含む、可能なあらゆる方向に移動する。廃インク液が空白領域114,115または117に達すると、毛管作用力が廃インク液をそれまでと同じ方向に移動させ続けるには突起96の間隔が大きすぎるから、廃インク液の同じ方向への移動は阻止される。廃インク液の移動はチャネル119,122に出合うまで続き、チャネル119,122が廃インク液を受け止める。実施形態において、アパーチャ121は、廃インクをそれぞれのチャネルから引き出すため、例えばメカニカル真空装置(図示せず)と通じていることで、減圧下に維持される。あるいは、アパーチャには、それぞれのチャネル119から廃インク液を除去するために吸上材料、例えば、発泡ウレタンまたはその他の吸収材料を充填することができる。実施形態において、突起幅に対する突起高の比は、約0.2から約1ないしそれより大きく、例えば約5ないしそれより大きい。ノズルプレートが垂直方向に配置されている場合、廃インク液は重力及び毛管作用力の影響の下で突起−突起間から、ノズルプレート110の配置方向に依存して、巨視的には単一方向112,116,118または120に、移動する。適するチャネルは2003年12月30日に出願された米国特許出願第10/749833号の明細書に説明され、適するアパーチャは2003年12月30日に出願された米国特許出願第10/749829号の明細書に説明されており、これらの明細書の全開示は本明細書に参照として含まれる。   Referring to FIG. 3, the two areas 90, 90 'of the nozzle plate have two adjacent nozzle openings 94, 94' as shown. Each of the regions 90 and 90 'has a protruding region surrounding the nozzle opening. The protruding region is bounded by blank regions 114, 115 and 117 and waste liquid channels 119 and 112. Channels 119 and 122 have a drain aperture 121. The pattern of protrusions directs ink away from the nozzle and into the channel. When the nozzle plate is arranged in a horizontal direction (nozzle opening is directed upwards or downwards), the waste ink liquid mass is initially subjected to four rough directions 112, 116, 118 from between the protrusions under the influence of capillary action. And 120 in all possible directions. When the waste ink liquid reaches the blank area 114, 115 or 117, the capillary action force is too large to keep the waste ink liquid moving in the same direction as before, so that the interval between the protrusions 96 is too large. Movement is blocked. The movement of the waste ink liquid continues until it meets the channels 119 and 122, and the channels 119 and 122 receive the waste ink liquid. In the embodiment, the aperture 121 is maintained under reduced pressure by communicating with, for example, a mechanical vacuum device (not shown) in order to draw waste ink from each channel. Alternatively, the apertures can be filled with a wicking material, such as urethane foam or other absorbent material, to remove the waste ink liquid from the respective channel 119. In embodiments, the ratio of the protrusion height to the protrusion width is from about 0.2 to about 1 to greater than, for example, about 5 to greater. When the nozzle plate is arranged in the vertical direction, the waste ink liquid is macroscopically unidirectional from the projection-protrusion under the influence of gravity and capillary action force depending on the arrangement direction of the nozzle plate 110. Move to 112, 116, 118 or 120. A suitable channel is described in the specification of US patent application Ser. No. 10 / 7,833, filed on Dec. 30, 2003, and a suitable aperture is described in U.S. Patent Application No. 10/749829, filed Dec. 30, 2003. As described in the specification, the entire disclosures of which are incorporated herein by reference.

突起の間隔、寸法、位置、形状、数及びパターンは、ノズル開口周りの領域におけるノズルプレートの表面積を大きくすることによってノズル表面上のインクの過剰な溜りを防止するように選ばれる。突起の間隔Gの寸法は、毛管作用力によって液体が突起間空間に引き込まれて保持されるであろうような寸法である。実施形態において、間隔Gはノズル開口幅Wの約20%ないしそれより大きい値とノズル開口幅Wの約2倍ないしそれより小さい値の間である。実施形態において、突起のパターンは複数組の行及び列を画成する。実施形態において、パターンは円弧を画成する。突起のパターンは廃インク液をノズルプレート上の所望の方向に誘導するように配置することができる。 The spacing, size, position, shape, number and pattern of protrusions are selected to prevent excessive accumulation of ink on the nozzle surface by increasing the surface area of the nozzle plate in the area around the nozzle opening. The dimension of the gap G between the protrusions is such a dimension that the liquid will be drawn and held in the interprotrusion space by the capillary action force. In embodiments, the gap G is between about 2-fold to it a value less than about 20% to value greater than a nozzle opening width W N of the nozzle opening width W N. In embodiments, the pattern of protrusions defines multiple sets of rows and columns. In an embodiment, the pattern defines an arc. The pattern of protrusions can be arranged to guide the waste ink liquid in a desired direction on the nozzle plate.

突起の幅Wは、表面積のかなりの増大を与えるのに十分に小さいが、実質的に頑強であるのに十分に大きい。さらに、突起の幅は上面に過剰な廃インク液が溜るほど大きくはない。実施形態において、突起の幅はノズル開口幅の約2倍ないしそれより小さい。突起の高さHはノズル開口の平面より高いか、平面に等しいかあるいは平面より低い。突起が長くなるほど、得られる表面積が大きくなるから、保持できる廃インク液の量が多くなる。ノズル開口平面より低い突起は損傷を受け難い。ノズル開口平面に等しい突起は、いくつかの場合において、例えばエッチングによる作成がより容易である。 Width W P of the protrusions is sufficiently small to give a significant increase in surface area is large enough to be substantially robust. Further, the width of the protrusion is not so large that excessive waste ink liquid is accumulated on the upper surface. In an embodiment, the width of the protrusion is about twice or less than the nozzle opening width. The height H P of the protrusions is higher than the plane of the nozzle opening, is lower than or equal to the plane. The longer the protrusions, the larger the surface area obtained, so the amount of waste ink liquid that can be retained increases. Protrusions below the nozzle opening plane are less susceptible to damage. Protrusions equal to the nozzle opening plane are easier to create in some cases, for example by etching.

突起はノズルプレート上の廃インク液が溜り得る場所に配置される。実施形態において、突起はノズル開口を実質的に囲む。実施形態において、突起は、液滴射出に影響を与え得るノズル開口に近すぎる場所での廃インク液の溜りを抑えるために、ノズル開口から隔てられる。実施形態において、ノズル開口幅Wの約20%ないし200%よりノズル開口の周縁に突起が近づくことはない。 The protrusions are arranged at locations where the waste ink liquid on the nozzle plate can accumulate. In an embodiment, the protrusion substantially surrounds the nozzle opening. In an embodiment, the protrusions are spaced from the nozzle openings to suppress waste ink liquid accumulation in locations too close to the nozzle openings that can affect droplet ejection. In embodiments, the projections on the periphery of the nozzle opening will not be closer than about 20% to 200% of the nozzle opening width W N.

実施形態において、突起の形状は細長い立柱である。立柱は、例えば断面が円形であるかまたは断面が不規則であり得る。立柱は、ノズル開口の平面に実質的に垂直であるかまたは直角とは別の角度をなしてノズル開口平面に交わり得る。別の実施形態において、突起は壁体構造である。壁体構造はかなりの面積を覆ってノズルプレートに付けることができ、よって、レジストを除去してノズルプレートを別の構体、例えば基板に接触させるべきである。   In the embodiment, the shape of the protrusion is an elongated vertical pillar. The uprights can be, for example, circular in cross section or irregular in cross section. The uprights can be substantially perpendicular to the plane of the nozzle opening or meet the nozzle opening plane at an angle other than a right angle. In another embodiment, the protrusion is a wall structure. The wall structure can cover a substantial area and be applied to the nozzle plate, so the resist should be removed to bring the nozzle plate into contact with another structure, such as the substrate.

立柱の数は、上で論じたように、所望の噴射液体体積を制御するかまたは所望のパターンをつくるように選ばれる。突起がノズル開口を囲む実施形態においては、4個ないしそれより多くの、例えば6個ないしそれより多くの立柱がある。   The number of uprights is selected to control the desired jet liquid volume or create the desired pattern, as discussed above. In embodiments where the protrusion surrounds the nozzle opening, there are 4 or more, for example 6 or more uprights.

特定の実施形態において、突起の高さHは例えば約5μmから約100μmないしそれより大きく、例えば200μmである。最近接立柱から壇の縁端までの間隔Sは例えば約10μmから約20μmであり、突起間の隙間Gは例えば約5μmから約25μmである。突起の幅Wは例えば約5μmから約20μmである。実施形態において、ノズル開口幅は約200μmないしそれより小さく、例えば10〜50μmであり、ノズルピッチは約25ノズル/インチ(約0.98ノズル/mm)ないしそれより短く、例えば約100〜300ノズル/インチ(約3.9〜11.8ノズル/mm)であり、インク液滴体積は約1〜70pLであって、圧電アクチュエータによって液体に圧力が加えられる。実施形態において、噴射液体は約20〜50ダイン/cm(1ダイン/cm=10−3N/m)の表面張力を有する。実施形態において、噴射液体はインクである。実施形態において、噴射液体は生物学的液体である。 In certain embodiments, the height H P of the protrusions is greater than about 100μm to from example about 5 [mu] m, for example, 200 [mu] m. The distance S from the closest column to the edge of the platform is, for example, about 10 μm to about 20 μm, and the gap G between the protrusions is, for example, about 5 μm to about 25 μm. Width W P of the projections is about 20μm, for example, from about 5 [mu] m. In an embodiment, the nozzle opening width is about 200 μm or less, for example 10 to 50 μm, and the nozzle pitch is about 25 nozzles / inch (about 0.98 nozzles / mm) or less, for example about 100 to 300 nozzles. / Inch (about 3.9 to 11.8 nozzles / mm), the ink droplet volume is about 1 to 70 pL, and pressure is applied to the liquid by the piezoelectric actuator. In embodiments, the jet liquid has a surface tension of about 20-50 dynes / cm (1 dynes / cm = 10 −3 N / m). In an embodiment, the jetting liquid is ink. In embodiments, the jet liquid is a biological liquid.

次に図4を参照すれば、ノズルプレート領域120はウエル124内に配置されたノズル開口126を有し、ノズル開口126はノズル開口126近傍の円柱の形態の突起125によって囲まれている。突起125はウエル内に廃インク液を対称に広げる。時間が経つにつれて、ウエル124は噴射液体である程度満たされて、ノズル開口を覆うメニスカスが形成される。液体の噴射を容易にするためのウエルの使用は、本明細書と同時に出願され、譲渡された、2003年12月30日に出願され、名称を「液滴射出集成体(DROP EJECTION ASSEMBLY)」とする、米国特許出願第10/749622号の明細書に説明されており、この明細書の開示はその全体が本明細書に参照として含まれる。   Referring now to FIG. 4, the nozzle plate region 120 has a nozzle opening 126 disposed in the well 124, and the nozzle opening 126 is surrounded by a projection 125 in the form of a cylinder near the nozzle opening 126. The protrusion 125 spreads the waste ink liquid symmetrically in the well. Over time, the well 124 is filled to some extent with the jetting liquid to form a meniscus that covers the nozzle opening. The use of wells to facilitate the injection of liquid was filed on Dec. 30, 2003, filed and assigned at the same time as the present specification and is entitled “DROP EJECTION ASSEMBLY”. No. 10 / 7,622, the disclosure of which is hereby incorporated by reference in its entirety.

図5〜5Bを参照すれば、ノズルプレート領域200は、高壇204の周りに断続的な同心表面を形成する壁体の形態の複数の円弧突起202及び壇204の中心に配置されたノズル開口206を有する。高壇204の周りの突起202は、ノズル開口202の平面に交わる方向に延びる。高壇204の縁端203と高壇204の周りの第1の断続する同心表面を形成する第1の円弧突起202の列の間に第1の空間207が形成される。ノズル開口206の中心から径方向に等距離にある突起202の間に第2の空間210が形成され、隣接する断続同心表面上の突起202の間に第3の空間212が形成される。壇204上に形成されるインク液塊は突起202の領域に移動する。インクは第1の空間207に吸い込まれ、次いで毛管作用力の下で第2の空間210に出合うまで移動し、次いで壇204から径方向に離れるように移動し始める。第3の空間に出合うと、廃インク液は第3の空間210内に移動するかあるいはノズル開口206から径方向に離れるように移動し続ける。廃インク液がしたがう経路は第1の空間207,第2の空間210及び第3の空間212の相対寸法に依存する。実施形態において、壇204の周りの断続同心表面の数は、例えば、2,4,6,10ないしそれより多い。突起間隔は、上述したように、液体が突起間空間に引き込まれて毛管作用力によって保持されるであろうような間隔である。実施形態において、円弧突起はノズル開口206の平面より高い。   5-5B, the nozzle plate region 200 includes a plurality of arc projections 202 in the form of walls that form an intermittent concentric surface around the platform 204 and a nozzle opening located in the center of the platform 204. 206. The protrusion 202 around the altar 204 extends in a direction intersecting the plane of the nozzle opening 202. A first space 207 is formed between the edge 203 of the altar 204 and the row of first arc projections 202 forming a first intermittent concentric surface around the altar 204. A second space 210 is formed between the protrusions 202 that are equidistant from the center of the nozzle opening 206 in the radial direction, and a third space 212 is formed between the protrusions 202 on the adjacent intermittent concentric surfaces. The ink liquid mass formed on the platform 204 moves to the area of the protrusion 202. The ink is drawn into the first space 207 and then moves under capillary action until it encounters the second space 210 and then begins to move radially away from the platform 204. Upon encountering the third space, the waste ink liquid moves into the third space 210 or continues to move away from the nozzle opening 206 in the radial direction. The path followed by the waste ink liquid depends on the relative dimensions of the first space 207, the second space 210, and the third space 212. In an embodiment, the number of intermittent concentric surfaces around the platform 204 is, for example, 2, 4, 6, 10 or more. As described above, the protrusion interval is an interval at which the liquid will be drawn into the interprotrusion space and held by the capillary action force. In an embodiment, the arcuate protrusion is higher than the plane of the nozzle opening 206.

上述した実施形態のいずれの突起及び/またはノズル開口も、機械加工、電鋳、レーザアブレーション及び化学エッチングまたはプラズマエッチングで形成することができる。突起は成形で形成することもでき、例えば射出成形されたプラスチック突起とすることができる。突起及びノズル開口は、共通の構体内にまたは組み立てられる別々の構体内に形成することができる。例えば、ノズル開口はインク流路の別のコンポーネントを画成する構体内に形成することができ、ウエルはノズル開口を画成する構体と組み立てられる別の構体内に形成することができる。別の実施形態において、突起、ノズル開口及び圧力チャンバは共通の構体内に形成される。構体は金属、炭素または、シリコン材料、例えばシリコンまたは二酸化ケイ素のような、エッチング可能な材料とすることができる。エッチング法を用いるプリントヘッドコンポーネントの形成は、2002年7月3日に出願された米国特許出願第10/189947号の明細書、及び2003年10月10日に出願された米国特許出願第60/510459号の明細書に詳細に説明されており、それぞれの明細書の全内容は本明細書に参照として含まれる。   Any of the protrusions and / or nozzle openings of the above-described embodiments can be formed by machining, electroforming, laser ablation and chemical etching or plasma etching. The protrusion can be formed by molding, for example, an injection molded plastic protrusion. The protrusion and nozzle opening can be formed in a common structure or in separate structures to be assembled. For example, the nozzle openings can be formed in a structure that defines another component of the ink flow path, and the wells can be formed in another structure that is assembled with the structure that defines the nozzle opening. In another embodiment, the protrusion, nozzle opening and pressure chamber are formed in a common structure. The structure can be a metal, carbon or silicon material, eg an etchable material such as silicon or silicon dioxide. The formation of printhead components using an etching method is described in US patent application Ser. No. 10/189947, filed Jul. 3, 2002, and US Patent Application No. 60/90, filed Oct. 10, 2003. The details of each specification are incorporated herein by reference.

実施形態において、液滴射出システムはインク以外の液体を射出するために利用することができる。被着される液滴はインクまたはその他の材料とすることができる。例えば、被着される液滴はUV硬化性またはその他の輻射線硬化性の材料、あるいは液滴として送出され得るその他の材料、例えば生物学的液体とすることができる。例えば、説明される装置は、精密計量分配システムの一部とすることができよう。突起は、表面積を増大させ、よって突起の廃インク液取扱能力を高めるため、多孔質材料、例えば多孔質シリコンまたは多孔質金属で形成することができる。突起は、ノズルプレートから廃インク液を吸い取るために役立ち得る、吸収材料で形成することができる。   In embodiments, the droplet ejection system can be utilized to eject liquids other than ink. The deposited droplets can be ink or other material. For example, the deposited droplets can be UV curable or other radiation curable materials, or other materials that can be delivered as droplets, such as biological fluids. For example, the described device could be part of a precision dispensing system. The protrusions can be formed of a porous material, such as porous silicon or porous metal, to increase the surface area and thus enhance the ability of the protrusions to handle waste ink. The protrusions can be formed of an absorbent material that can help to absorb the waste ink liquid from the nozzle plate.

突起は、2003年12月30日に出願された米国特許出願第10/749829号の明細書に説明されるアパーチャ、2003年12月30日に出願された米国特許出願第10/749622号の明細書に説明されるウエル及び/または2003年12月30日に出願された米国特許出願第10/749833号の明細書に説明されるチャネルのような、その他の廃液制御態様と組み合わせて用いることができる。例えば、一連のチャネルを突起近傍のノズル面に設けることができる。クリーニング構造を、クリーニング液がノズルプレートに与えられ、拭い取られる、手動または自動の洗浄及び拭取りシステムと組み合わせることができる。クリーニング構造は噴射後の廃インク液ではなくクリーニング液及び屑を集めることができる。   The protrusions are described in US patent application Ser. No. 10/749829 filed on Dec. 30, 2003, US patent application Ser. No. 10 / 794,622 filed Dec. 30, 2003. Can be used in combination with other waste control aspects such as wells described in the literature and / or channels described in US patent application Ser. No. 10 / 789,833, filed Dec. 30, 2003. it can. For example, a series of channels can be provided on the nozzle surface near the protrusion. The cleaning structure can be combined with a manual or automatic cleaning and wiping system in which cleaning liquid is applied to the nozzle plate and wiped off. The cleaning structure can collect cleaning liquid and waste, not waste ink liquid after jetting.

その他の実施形態は添付される特許請求の範囲内にある。   Other embodiments are within the scope of the appended claims.

液滴射出集成体の略図である1 is a schematic representation of a droplet ejection assembly. 突起をもつノズルプレートの一部の斜視図であるIt is a perspective view of a part of nozzle plate with a protrusion. 突起をもつノズルプレートの一部の上面図であるIt is a top view of a part of nozzle plate with a protrusion. ノズル開口及び突起がウエル内に配置されたノズルプレートの一部の斜視図であるFIG. 4 is a perspective view of a part of a nozzle plate in which nozzle openings and protrusions are arranged in a well. 図5は円弧状の突起をもつノズルプレートの一部の斜視図であるFIG. 5 is a perspective view of a part of a nozzle plate having an arc-shaped protrusion. 図5Aは図5に示されるノズルプレートの一部の上面図であるFIG. 5A is a top view of a portion of the nozzle plate shown in FIG. 図5Bは線5B−5Bに沿ってとられた図5Aに示されるノズルプレート部分の断面図である5B is a cross-sectional view of the nozzle plate portion shown in FIG. 5A taken along line 5B-5B.

符号の説明Explanation of symbols

9 ヘッドスペース
10 インクジェット装置
11 液溜め
12 インク
13,16 液路
14 圧力チャンバ
15 アクチュエータ
17 ノズル
18 ノズルプレート
19 インク液滴
20 基板
22,23 ロール
30 真空源
32 コントローラ
96 突起
DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Head space 10 Inkjet apparatus 11 Liquid reservoir 12 Ink 13,16 Liquid path 14 Pressure chamber 15 Actuator 17 Nozzle 18 Nozzle plate 19 Ink droplet 20 Substrate 22, 23 Roll 30 Vacuum source 32 Controller 96 Protrusion

Claims (31)

液滴射出器において、
ノズル開口から液滴を射出するためにその中で液体に圧力が加えられる流路、及び
前記ノズル開口近傍の、前記ノズル開口の平面に交わる方向に延びる複数の突起、
を備えることを特徴とする液滴射出器。
In droplet ejector,
A flow path in which pressure is applied to the liquid in order to eject droplets from the nozzle opening, and a plurality of protrusions extending in the direction intersecting the plane of the nozzle opening in the vicinity of the nozzle opening,
A droplet ejector comprising:
前記ノズル開口が前記突起によって囲まれることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the nozzle opening is surrounded by the protrusion. 前記突起が立柱であることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the protrusion is a vertical column. 前記突起が壁体形であることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the protrusion has a wall shape. 前記突起がパターンに配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the protrusions are arranged in a pattern. 前記パターンが行列アレイを画成することを特徴とする請求項5に記載の液滴射出器。   The droplet ejector of claim 5, wherein the pattern defines a matrix array. 前記パターンが円弧を画成することを特徴とする請求項5に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 5, wherein the pattern defines an arc. 前記パターンが同心インク溜り空間を画成することを特徴とする請求項5に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 5, wherein the pattern defines a concentric ink reservoir space. 前記突起が前記ノズル開口の幅の約2倍ないしそれより小さい幅を有することを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the protrusion has a width of about twice or less than a width of the nozzle opening. 前記突起と前記ノズル開口の周縁との間隔が前記ノズル開口の幅の約20%ないしそれより大きいことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein a distance between the protrusion and a peripheral edge of the nozzle opening is about 20% or more of a width of the nozzle opening. 前記突起の間隔が前記ノズル開口の幅の約2倍ないしそれより小さいことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein an interval between the protrusions is about twice or less than a width of the nozzle opening. 前記突起の数が4個ないしそれより多いことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the number of the protrusions is four or more. 前記突起の高さが前記ノズル開口の平面に実質的に等しいことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein a height of the protrusion is substantially equal to a plane of the nozzle opening. 前記突起の高さが前記ノズル開口の平面より低いことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein a height of the protrusion is lower than a plane of the nozzle opening. 前記突起の高さが前記ノズル開口の平面より高いことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein a height of the protrusion is higher than a plane of the nozzle opening. 前記ノズル開口及び前記突起が共通の構体内に画成されることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the nozzle opening and the protrusion are defined in a common structure. 前記構体がシリコン材料であることを特徴とする請求項16に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 16, wherein the structure is a silicon material. 前記突起の近傍にチャネルを備えることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, further comprising a channel in the vicinity of the protrusion. 前記突起の近傍に真空源または吸上材料を備えることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, further comprising a vacuum source or a wicking material in the vicinity of the protrusion. 前記ノズル開口がウエル内に配置され、前記ウエルが前記突起を有することを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the nozzle opening is disposed in a well, and the well has the protrusion. 前記ノズルが壇上に配置され、前記突起が前記壇の近傍に配置されることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the nozzle is disposed on a platform, and the protrusion is disposed in the vicinity of the platform. 複数のノズル開口を有し、前記ノズル開口のそれぞれの近傍に複数の突起を有し、前記ノズル開口及び前記突起が共通の構体内に画成されることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   2. The apparatus according to claim 1, comprising a plurality of nozzle openings, a plurality of protrusions in the vicinity of each of the nozzle openings, wherein the nozzle openings and the protrusions are defined in a common structure. Droplet ejector. 前記ノズル開口の幅が約200μmないしそれより小さいことを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, wherein the nozzle opening has a width of about 200 μm or less. 圧電アクチュエータを備えることを特徴とする請求項1に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 1, further comprising a piezoelectric actuator. 液滴射出器において、
ノズル開口を通る射出のためにその中で液体に圧力が加えられる流路、及び
前記ノズル開口近傍の、前記ノズル開口の平面に交わる方向に延びる少なくとも4個の立柱、
を備え、
前記立柱及び前記ノズル開口が共通の構体内に画成される、
ことを特徴とする液滴射出器。
In droplet ejector,
A flow path in which pressure is applied to the liquid therein for injection through the nozzle opening, and at least four standing columns extending in a direction intersecting the plane of the nozzle opening in the vicinity of the nozzle opening;
With
The vertical column and the nozzle opening are defined in a common structure;
A droplet ejector characterized by that.
前記立柱の間隔が、前記ノズル開口の幅の約10%ないしそれより大きく、前記ノズル開口幅の2倍ないしそれより小さいことを特徴とする請求項25に記載の液滴射出器。   26. The droplet ejector according to claim 25, wherein a distance between the upright columns is about 10% or more of the width of the nozzle opening and twice or less than the width of the nozzle opening. 前記突起が前記ノズル開口の幅の約2倍ないしそれより小さい幅を有することを特徴とする請求項25に記載の液滴射出器。   The droplet ejector according to claim 25, wherein the protrusion has a width of about twice or less than a width of the nozzle opening. 液体射出の方法において、
ノズル開口を通る射出のためにその中で圧力が加えられる流路を有し、前記ノズル開口の近傍に、前記ノズル開口の平面に交わる方向に延びる複数の突起を有し、前記突起が前記ノズル開口の平面に交わる空間を画成する、プリントヘッドを提供する工程、
前記突起によって画成される前記空間に毛管作用力によって吸い込まれる液体を供給する工程、及び
前記流路内の前記液体に圧力を加えることによって前記ノズル開口を通して前記液体を射出する工程、
を有してなることを特徴とする方法。
In the method of liquid injection,
A flow path in which pressure is applied for injection through the nozzle opening, and a plurality of protrusions extending in a direction intersecting a plane of the nozzle opening in the vicinity of the nozzle opening, wherein the protrusion is the nozzle Providing a print head that defines a space that intersects the plane of the opening;
Supplying liquid sucked by capillary action force into the space defined by the protrusion, and ejecting the liquid through the nozzle opening by applying pressure to the liquid in the flow path;
A method comprising the steps of:
前記液体が約20〜50ダイン/cm(1ダイン/cm=10−3N/m)の表面張力を有することを特徴とする請求項28に記載の方法。 29. The method of claim 28, wherein the liquid has a surface tension of about 20-50 dynes / cm (1 dynes / cm = 10 < -3 > N / m). 前記液体が約1〜40センチポアズ(1センチポアズ=10−11N・秒/m)の粘度を有することを特徴とする請求項28に記載の方法。 29. The method of claim 28, wherein the liquid has a viscosity of about 1 to 40 centipoise (1 centipoise = 10 < -11 > N.sec / m < 2 >). 液滴射出器において、
ノズル開口から液滴を射出するためにその中で液体に圧力が加えられる流路、
及び
前記ノズル開口近傍の、前記ノズル開口の平面に交わる方向に延びている複数の突起、
を備え、
前記ノズル開口及び前記突起がシリコン材料でつくられた共通の構体内に画成され、
前記ノズル開口が壇上に配置され、前記突起が前記壇の近傍に配置される、
ことを特徴とする液滴射出器。
In droplet ejector,
A flow path in which pressure is applied to the liquid in order to eject droplets from the nozzle opening,
And a plurality of protrusions extending in a direction intersecting a plane of the nozzle opening in the vicinity of the nozzle opening,
With
The nozzle opening and the protrusion are defined in a common structure made of silicon material;
The nozzle opening is disposed on the platform, and the protrusion is disposed in the vicinity of the platform;
A droplet ejector characterized by that.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007050634A (en) * 2005-08-19 2007-03-01 Seiko Epson Corp Nozzle plate, its manufacturing method, liquid droplet discharge head and droplet discharge device

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8136934B2 (en) 2009-02-18 2012-03-20 Xerox Corporation Waste phase change ink recycling
JP5764312B2 (en) * 2010-11-05 2015-08-19 富士フイルム株式会社 Ink jet recording apparatus and nozzle plate cleaning method
US8517518B2 (en) 2010-11-09 2013-08-27 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus and liquid ejection head
JP5863337B2 (en) * 2011-08-25 2016-02-16 キヤノン株式会社 Inkjet recording head
FR2968597A1 (en) * 2010-12-13 2012-06-15 Centre Nat Rech Scient INKJET DEVICE HAVING FLUID EXTRACTION MEANS AND INK JET METHOD THEREOF
JP5934161B2 (en) * 2013-09-09 2016-06-15 武蔵エンジニアリング株式会社 Nozzle and liquid material discharge apparatus including the nozzle
JP6193442B2 (en) * 2016-05-06 2017-09-06 武蔵エンジニアリング株式会社 Liquid material discharge device
JP7008270B2 (en) 2017-04-24 2022-01-25 ブラザー工業株式会社 Liquid discharger and inkjet printer
WO2023223196A1 (en) * 2022-05-16 2023-11-23 Merxin Ltd Nozzle arrangement

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001038917A (en) * 1999-07-29 2001-02-13 Casio Comput Co Ltd Ink jet printer
JP2001212966A (en) * 2000-02-04 2001-08-07 Seiko Epson Corp Hydrophilic structure and ink-jet recording head

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1109303B (en) * 1978-10-30 1985-12-16 Ipm Ind Politecnica Meridional UNI-AXIS ANISOTROP MAGNETIZATION CREDIT CARD
GB2061831B (en) * 1979-11-07 1984-02-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ink jet writing head with spacer in capillary chamber
JPS5763266A (en) * 1980-10-02 1982-04-16 Seiko Epson Corp Ink jet head
DE3048259A1 (en) * 1980-12-20 1982-07-29 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "NOZZLE FOR INK JET PRINTER"
US4459601A (en) * 1981-01-30 1984-07-10 Exxon Research And Engineering Co. Ink jet method and apparatus
JPS57188372A (en) * 1981-01-30 1982-11-19 Exxon Research Engineering Co Ink jet device
JPS5995157A (en) * 1982-11-23 1984-06-01 Yokogawa Hewlett Packard Ltd Head for bubble driven ink jet printer
US4528996A (en) * 1983-12-22 1985-07-16 The Mead Corporation Orifice plate cleaning system
JPS61115644U (en) * 1984-12-28 1986-07-22
US4613875A (en) * 1985-04-08 1986-09-23 Tektronix, Inc. Air assisted ink jet head with projecting internal ink drop-forming orifice outlet
JPS6219247A (en) * 1985-07-16 1987-01-28 Toray Ind Inc Method for eliminating colloidal substance
JPS62150145U (en) * 1986-03-18 1987-09-22
US4825227A (en) 1988-02-29 1989-04-25 Spectra, Inc. Shear mode transducer for ink jet systems
US4992802A (en) * 1988-12-22 1991-02-12 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for extending the environmental operating range of an ink jet print cartridge
US4937598A (en) 1989-03-06 1990-06-26 Spectra, Inc. Ink supply system for an ink jet head
US5265315A (en) 1990-11-20 1993-11-30 Spectra, Inc. Method of making a thin-film transducer ink jet head
JPH05155028A (en) * 1991-12-04 1993-06-22 Ricoh Co Ltd Ink jet head
AU676214B2 (en) 1992-10-19 1997-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head having improved jet port surface, and ink jet apparatus equipped with the ink jet head
US5659346A (en) 1994-03-21 1997-08-19 Spectra, Inc. Simplified ink jet head
US5604521A (en) * 1994-06-30 1997-02-18 Compaq Computer Corporation Self-aligning orifice plate for ink jet printheads
EP0720534B1 (en) 1994-07-20 1999-03-10 Spectra, Inc. High frequency drop-on-demand ink jet system
JPH08230185A (en) * 1995-03-01 1996-09-10 Brother Ind Ltd Ink jet device
JP3315589B2 (en) * 1995-06-21 2002-08-19 キヤノン株式会社 Ink tank and recording apparatus provided with the same
JP3386099B2 (en) * 1995-07-03 2003-03-10 セイコーエプソン株式会社 Nozzle plate for ink jet recording head, method of manufacturing the same, and ink jet recording head
US6270191B1 (en) 1997-06-04 2001-08-07 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head and ink jet recorder
US6264307B1 (en) * 1997-07-15 2001-07-24 Silverbrook Research Pty Ltd Buckle grill oscillating pressure ink jet printing mechanism
US6235212B1 (en) * 1997-07-15 2001-05-22 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacture of an electrostatic ink jet printer
US5853861A (en) * 1997-09-30 1998-12-29 E. I. Du Pont De Nemours And Company Ink jet printing of textiles
US6132028A (en) * 1998-05-14 2000-10-17 Hewlett-Packard Company Contoured orifice plate of thermal ink jet print head
GB2339170A (en) * 1998-07-25 2000-01-19 Markem Tech Ltd Printhead with integral ink gutter
US6267464B1 (en) * 1998-12-28 2001-07-31 Eastman Kodak Company Self cleaning ink jet printhead cartridges
US6283575B1 (en) * 1999-05-10 2001-09-04 Eastman Kodak Company Ink printing head with gutter cleaning structure and method of assembling the printer
JP3501083B2 (en) * 2000-03-21 2004-02-23 富士ゼロックス株式会社 Nozzle for inkjet recording head and method of manufacturing the same
JP2002187295A (en) * 2000-12-22 2002-07-02 Hitachi Koki Co Ltd Ink jet print head and method for sweeping waste ink
TW541248B (en) * 2001-03-16 2003-07-11 Benq Corp Ink cartridge
JP4731763B2 (en) * 2001-09-12 2011-07-27 キヤノン株式会社 Liquid jet recording head and manufacturing method thereof
US6820963B2 (en) * 2001-12-13 2004-11-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection head
US6637862B2 (en) * 2002-02-08 2003-10-28 Illinois Tool Works, Inc. Maintenance module for fluid jet device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001038917A (en) * 1999-07-29 2001-02-13 Casio Comput Co Ltd Ink jet printer
JP2001212966A (en) * 2000-02-04 2001-08-07 Seiko Epson Corp Hydrophilic structure and ink-jet recording head

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007050634A (en) * 2005-08-19 2007-03-01 Seiko Epson Corp Nozzle plate, its manufacturing method, liquid droplet discharge head and droplet discharge device
JP4665660B2 (en) * 2005-08-19 2011-04-06 セイコーエプソン株式会社 NOZZLE PLATE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND LIQUID DISCHARGE HEAD

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