JP2007336623A - 駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】薄型構造を有し、ゴミの発生を抑制した駆動装置を提供する
【解決手段】駆動装置の一実施形態であるAFユニット10は、短冊状の形状を有し、駆動電圧の印加によって屈曲変位を生じる2個の圧電素子12と、略H型の平面形状を有する被駆動体たるレンズキャリア14と、レンズキャリア14と係合するガイド16と、これらを収容するユニットケース18を有しており、圧電素子12は電源たる制御部10Aにより駆動される。圧電素子12にレンズキャリア14を移動させる向きに凸となる屈曲変位をレンズキャリア14が移動しない変位速度で生じさせ、圧電素子12の屈曲変位の解除または反転をその際に圧電素子12に生じる慣性力を利用してレンズキャリア14を所定の向きに移動させることができる変位速度で行う。
【選択図】図1
【解決手段】駆動装置の一実施形態であるAFユニット10は、短冊状の形状を有し、駆動電圧の印加によって屈曲変位を生じる2個の圧電素子12と、略H型の平面形状を有する被駆動体たるレンズキャリア14と、レンズキャリア14と係合するガイド16と、これらを収容するユニットケース18を有しており、圧電素子12は電源たる制御部10Aにより駆動される。圧電素子12にレンズキャリア14を移動させる向きに凸となる屈曲変位をレンズキャリア14が移動しない変位速度で生じさせ、圧電素子12の屈曲変位の解除または反転をその際に圧電素子12に生じる慣性力を利用してレンズキャリア14を所定の向きに移動させることができる変位速度で行う。
【選択図】図1
Description
本発明は圧電素子を備えた駆動装置に関し、特に、小型光学レンズの自動焦点機構として好適な駆動装置に関する。
近時、デジタルカメラにおける1つの開発動向として、小型化・軽量化が進められており、そのようなカメラのための小型軽量な自動焦点機構の開発が鋭意行われている。また、カメラ付き携帯電話においては、従来の単焦点レンズを用いたカメラに代えて、自動焦点機能を有するカメラが搭載されるようになってきている。
このような小型自動焦点装置として、圧電素子を用いたものが種々提案されている(例えば、特許文献1,2参照)。特許文献1に開示された駆動装置は、伸縮変位を生じる圧電素子の伸縮方向端に棒部材を固定し、レンズを保持した係合部材をこの棒部材に係合させた構造を有している。この駆動装置では、圧電素子をゆっくり変位させ、棒部材と係合部材との間の摩擦力を利用して係合部材とレンズとを圧電素子の変位量だけ移動させる。そして次に、圧電素子を瞬時に変位させて棒部材を係合部材に対して滑らせることで、係合部材とレンズの位置を変えることなく圧電素子の状態を元に戻す自動焦点装置が開示されている。
また、特許文献2に開示された駆動装置は、特許文献1に開示されている駆動装置と比較すると、圧電素子と被駆動体であるレンズ枠との配置に違いはあるものの、基本的に圧電素子の駆動方法は同じである。
しかしながら、これらの駆動装置では、被駆動体たるレンズの移動方向と圧電素子の伸縮方向とが同じである。そのため、駆動装置の厚さがレンズの制動距離と圧電素子の素子長の影響を受けて厚くなってしまう。一方、圧電素子の素子長を短くすれば、圧電素子の変位量が小さくなるために、フォーカス速度が遅くなってしまう。また、これらの駆動装置では、棒部材と係合部材との間の摩擦により発生するゴミ(粉塵)がレンズを汚すおそれがある。
特許第3711935号明細書(図1、図17、段落[0008]等)
特開2005−354829号公報(図2、段落[0023]、[0025]〜[0027]等)
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、薄型構造を有し、ゴミの発生を抑制した駆動装置を提供することを目的とする。
本発明によれば、短冊状の形状を有し所定の電圧が印加されることによって屈曲変位を生じる圧電素子と、前記圧電素子の長手方向端をこの圧電素子の屈曲変位が妨げられないように架設保持する被駆動体と、前記圧電素子の主面に垂直な方向に前記被駆動体をスライド自在に保持するガイドと、前記圧電素子に所定の電圧を印加する駆動制御部とを具備し、前記駆動制御部は、前記圧電素子に前記被駆動体を移動させる向きに凸となる屈曲変位を前記被駆動体が移動しない変位速度で生じさせ、前記圧電素子の屈曲変位の解除または反転をその際に前記圧電素子に生じる慣性力を利用して前記被駆動体を所定の向きに移動させることができる変位速度で行うことを特徴とする駆動装置が提供される。
また、本発明によれば、短冊状の形状を有し所定の電圧が印加されることによって屈曲変位を生じる2個の圧電素子と、H型の平面形状を有しその平行な2辺に前記2個の圧電素子を架設保持する被駆動体と、前記圧電素子の主面に垂直な方向に前記被駆動体をスライド自在に保持するガイドと、前記圧電素子に所定の電圧を印加する駆動制御部とを具備し、前記駆動制御部は、前記圧電素子に前記被駆動体を移動させる向きに凸となる屈曲変位を前記被駆動体が移動しない変位速度で生じさせ、前記圧電素子の屈曲変位の解除または反転をその際に前記圧電素子に生じる慣性力を利用して前記被駆動体を所定の向きに移動させることができる変位速度で行うことを特徴とする駆動装置が提供される。
この駆動装置において被駆動体に2個の圧電素子が取り付けられた状態の構造は、被駆動体の移動方向に平行かつ被駆動体の中心を通る軸について対象な構造であることが好ましい。また、圧電素子の長手方向中央に重錘を取り付けた構造とすることも好ましい。被駆動体はレンズを保持するレンズ保持部を有し、圧電素子を駆動して被駆動体をガイドに沿ってスライドさせることによりレンズの焦点位置を調節することができる。なお、圧電素子の駆動には、固有振動数と異なる周波数での駆動、すなわち非共振周波数による駆動が用いられる。
本発明の駆動装置は、圧電素子の屈曲変位を用いることにより極めて薄い構造を実現することができる。また被駆動体を移動させる際に、被駆動体とガイドとの係合部分以外には摺動部を有さない構造であるので粉塵の発生を抑制することができる利点がある。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。ここでは本発明の駆動装置を、カメラのフォーカスレンズをスライドさせる自動焦点機構(AFユニット)に適用した場合について説明することとする。
図1にAFユニット10の概略構造を示す斜視図を示し、図2に図1中のAA断面図を示す。AFユニット10に対してX軸,Y軸,Z軸の三次元直交座標を図1に示す通りに設定する。Z軸については後述するAFユニット10を構成するレンズキャリアのスライド方向と圧電素子の変位形態を説明するために、+Zと−Zの各向きを設定している。
AFユニット10は、短冊状の形状を有し、所定の駆動電圧が印加されることによって屈曲(湾曲)変位を生じる2個の圧電素子12と、略H型の平面形状を有する被駆動体たるレンズキャリア14と、レンズキャリア14と係合するガイド16と、これらを収容するユニットケース18を有している。また、このAFユニット10には、圧電素子12を駆動するための電源である制御部10Aが接続される。
レンズキャリア14は、Y方向に延在する2本の平行な平行辺部14aと、これら平行辺部14aをX方向で連結する連結辺部14bから構成されており、連結辺部14bの中央部には、レンズ(図示せず)を保持するための円筒状部14cが形成されている。
ガイド16は円筒形状を有しており、このガイド16はユニットケース18の底面(図示せず)に固定されている。ガイド16は円筒状部14cと係合しており、これによりレンズキャリア14はZ軸方向においてスライド自在となっている。
2個の圧電素子12はそれぞれ、長さ方向がX軸方向となり、主面に垂直な方向がZ軸方向となるようにして、レンズキャリア14の平行辺部14aのY方向端に架設されている。圧電素子12の平行辺部14aへの固定には接着剤、特に樹脂接着剤が好適に用いられる。後に詳細に説明する通り、AFユニット10では、圧電素子12を屈曲変位させることでレンズキャリア14をZ方向にスライドさせるが、圧電素子12の屈曲変位にはこの接着部分の変形が関与する。すなわち、硬度の大きい接着剤(例えば、エポキシ接着剤)を用いるかまたは硬度が小さい接着剤(例えば、シリコン接着剤)を用いるかで、圧電素子12の変位量や圧電素子12を急峻に変位させたときに圧電素子12に生じる慣性力の大きさが変わってくる。
図2に示すように、圧電素子12として、補強板22の両主面に圧電セラミックス等の圧電材料からなる圧電板24が貼り付けられたバイモルフ素子を示している。例えば、補強板22はバネ性を有する金属板であり、圧電板24の両主面には図示しない電極膜が形成されており、補強板22側の電極膜は補強板22と導通している。1個の圧電素子12を構成する2枚の圧電板24の分極の向きは共に+Z向き(または共に−Z向き)となっており、制御部10Aを用いて圧電素子12に直流電圧を印加すると、厚み−横効果により圧電板24の一方は長さ方向に伸び、他方は長さ方向に縮むので、圧電素子12は略円弧状に屈曲(湾曲)する。したがって、圧電素子12に印加する駆動電圧の正負を制御することによって、圧電素子12が+Z側に凸となるようにまたは−Z側に凸となるように、圧電素子12の屈曲形状を制御することができる。
図3に、レンズキャリア14を+Z向きにスライドさせる場合に圧電素子12に印加する駆動電圧波形の一例を示す。2個の圧電素子12には、同じタイミングで同じ波形の駆動電圧が印加される。また、図4に、図3に示した駆動電圧により圧電素子12を駆動させた場合の圧電素子12の変位形態とレンズキャリア14のスライド形態を平行辺部14aの位置の変化で示す。
図3中のa点では圧電素子12に印加されている駆動電圧は0Vであり、圧電素子12は静止状態にあり、このときの圧電素子12の状態は図4上図に示されている。図4上図の状態は図2に示した状態と同じであり、圧電素子12は平坦形状を維持している。このa点から圧電素子12への駆動電圧の印加が始まり、b点で駆動電圧がピーク値V1Vに到達するようにする。図4中図はb点での圧電素子12の屈曲状態を示している。ここでは、圧電素子12を構成する圧電板24の分極の向きを考慮して、+Z側の圧電板はX軸方向に伸びて、−Z側の圧電板はX軸方向で縮むように、圧電板24に電圧が印加されており、これによって圧電素子12はレンズキャリア14の進行方向である+Z側に凸となるように屈曲している。
圧電素子12に図4中図に示す屈曲変位を生じさせる際には、その屈曲変位によってレンズキャリア14がZ方向でスライドしないように、その変位速度(駆動電圧勾配)を調節する。レンズキャリア14の単位時間あたりのスライド速度(レンズキャリア14のスライド量をa点間の時間で除した値)を速める観点からは、レンズキャリア14がスライドしない限りにおいて、a点からb点に至る時間を短くすることが好ましい。
圧電素子12に印加する駆動電圧がV1V(b点)に到達したら、圧電素子12に印加する電圧を0Vに戻し、これにより圧電素子12の屈曲状態を急峻に解除する。これにより図3中のc点では圧電素子12には駆動電圧が印加されていない状態となり、そのときの圧電素子12の状態は図4下図に示されている。
b点の状態からc点の状態へ至る過程において、圧電素子12には、圧電素子12自体の質量と変位によって生じる慣性によって、圧電素子12の中央部が−Z側に動くと同時に、圧電素子12のX方向端は+Z側に動く変形が生じる。AFユニット10では、圧電素子12のこのような変形を利用して、レンズキャリア14をZ方向でスライドさせる。
c点では圧電素子12はほぼ元の直状に戻り、圧電素子12およびレンズキャリア14は、圧電素子12のX方向端の変位分δだけ+Z側にスライドしている。以降、a〜b〜c点の1サイクルの駆動電圧を、レンズキャリア14が所定位置へスライドするまで繰り返す。
なお、図3の駆動電圧波形では、c点とその後のa点との間に、圧電素子12に印加する駆動電圧の値を0Vに保持する一定の時間(以下「休止時間」と呼ぶ)を設けているが、この休止時間は必ずしも必要なものではない。また、図3の駆動電圧波形では、駆動電圧がV1V(b点)に到達すると速やかに駆動電圧を0(V)に降下させているが、b点の状態を一定時間維持してもよい。すなわち、レンズキャリア14をスライドさせないような圧電素子12のゆっくりした変位と、レンズキャリア14をスライドさせるための圧電素子12の急峻な変位とが組み合わされている限りにおいて、駆動電圧の波形に限定はない。圧電素子12を上述の通りに駆動するための図3に示す駆動電圧の周波数は、AFユニット10の固有振動数と異なる周波数、すなわち非共振周波数である。
AFユニット10では、圧電素子12の長さ方向をレンズキャリア14のスライド方向と直交させているために、薄型のAFユニットを実現することができる。また、レンズキャリア14をスライドさせる際には、圧電素子12に生じる慣性力を利用し、ガイド16との係合部分以外には摺動部を有しない構造となっているために、ゴミの発生を抑制することができる。
圧電素子12に印加する電圧を図3中のb点からc点に変化させるときに、圧電素子12に生じる慣性力を大きくすることによって、a点〜b点〜c点の1サイクルの駆動電圧の印加によるレンズキャリア14のスライド量を大きくすることができる。
その方法の1つとして、圧電素子12の長さ方向中央部に重錘26を取り付ける方法が挙げられる。図5に圧電素子12に重錘26を取り付けた形態の断面図および重錘26が取り付けられた圧電素子12を図3に示した駆動電圧によって変位させた場合の圧電素子12の変位形態とレンズキャリア14のスライド形態を平行辺部14aの位置の変化で示す。図5上図では−Z側にのみ重錘26を取り付けた構成を示しているが、勿論、重錘26は+Z側に取り付けてもよく、+Z側と−Z側の両方に取り付けてもよい。重錘26には金属塊が好適である。
図5中図は図3中のb点での状態を、図5下図は図3中のc点での状態をそれぞれ示しており、図3中のa点での状態は図5上図に示した通りである。
図5中図に示す状態における圧電素子12の変位量は、重錘26の質量によっては、図4中図に示す変位量よりも小さくなることがある。駆動電圧がb点に到達した後に速やかに圧電素子12に印加している駆動電圧を0(V)とすると、圧電素子12には、b点からc点へ至る過程において、重錘26に生じる慣性力によって−Z側に凸となるような屈曲が生じ、このときに圧電素子12の長さ方向端は+Z側に距離ηだけスライドする。これによりレンズキャリア14も距離ηだけ+Z側にスライドする。
図3に示す駆動電圧波形のように、c点とその後のa点との間に休止時間を設けると、圧電素子12の状態を図5下図に示す状態から図5上図に示す状態に戻すことができ、これにより図5下図の状態から図5上図の状態に急峻に変化することによってレンズキャリア14が−Z側にスライドするのを、そのスライド量は微少ではあるが、防止することができる。一方で、休止時間を設けることでレンズキャリア14の単位時間当たりのスライド速度が遅くなるおれがある。したがって、休止時間を設けるか否かはどちらのデメリットが小さいかで判断することができ、休止時間を設ける場合には、それによるデメリットができる限り小さくなるようにその長さを設定すればよい。
圧電素子12を急峻に変位させることによって圧電素子12に生じる慣性力の大きさは、駆動電圧の波形によって変えることもできる。図6に圧電素子12に印加する駆動電圧の別の波形を示す。この駆動電圧波形は、圧電素子12を+Z側に凸に屈曲した状態(b点)から−Z側に凸となるように屈曲する状態(d点)へと急峻に遷移させるものである。このような駆動電圧によって、圧電素子12に生じる慣性力をさらに大きくすることができ、特に重錘26が設けられている場合での効果は大きい。
なお、図3および図6にそれぞれ示した駆動電圧の正負を逆転させた波形で圧電素子12を駆動することによって、レンズキャリア14を−Z側へスライドさせることができることは言うまでもない。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば、AFユニット10は、2個の圧電素子12によってレンズキャリア14をスライドさせる構成であるが、圧電素子は2個以上であってもよい。例えば、3個の圧電素子を用いる場合には、レンズキャリアの円筒状部の周囲に3個の短冊状の圧電素子が正三角形の各辺を構成するように配置された構成とすることができ、4個の圧電素子を用いる場合には、円筒状部の周囲に4個の短冊状の圧電素子が正方形の各辺を構成するように配置された構成としてもよい。そして、このような圧電素子の配置を行うことができるように、レンズキャリアの形状は、H型に限定されることなく、適宜、変形することができる。
また、圧電素子としてバイモルフ構造のものを示したが、圧電素子としては、補強板の一面にのみ圧電板が貼り付けられた構造を有する、所謂、ユニモルフ素子を用いることもできる。ユニモルフ素子を図3に示した駆動電圧によって駆動させるとレンズキャリアを+Z側にスライドさせることができる構成の場合には、図3に示した駆動電圧の波形を0VとV1Vとの間で反転させた駆動電圧(つまり、図3の駆動電圧の波形は+Z側に凸となるようにゆっくり屈曲させて急峻に元に戻す駆動電圧であるが、これとは逆に、+Z側に急峻に屈曲させてゆっくり元に戻す駆動電圧)によって、 圧電板の脱分極を回避しながら、レンズキャリアを−Z側にスライドさせることができる。このような駆動方法は、バイモルフ素子にも適用することができる。バイモルフ素子やユニモルフ素子を構成する圧電板は積層構造であってもよい。さらにバイモルフ素子やユニモルフ素子は図2に示されるように両端支持でもよいし、片側支持でもよい。
さらにガイドはレンズキャリア14の円筒状部14cと係合するものに限定されず、例えば、レンズキャリア14の平板状の部分である平行辺部14aと連結辺部14bのいずれかに所定形状の孔または切り欠き部を設け、この孔または切り欠き部に挿通し、かつ、Z方向に延在する柱状のガイドを設けてもよい。
10…AFユニット、10A…制御部、12…圧電素子、14…レンズキャリア、16…ガイド、20…ユニットケース、22…補強板、24…圧電板、26…重錘。
Claims (5)
- 短冊状の形状を有し、所定の電圧が印加されることによって屈曲変位を生じる圧電素子と、
前記圧電素子の長手方向端を、この圧電素子の屈曲変位が妨げられないように、架設保持する被駆動体と、
前記圧電素子の主面に垂直な方向に前記被駆動体をスライド自在に保持するガイドと、
前記圧電素子に所定の電圧を印加する駆動制御部とを具備し、
前記駆動制御部は、前記圧電素子に前記被駆動体を移動させる向きに凸となる屈曲変位を前記被駆動体が移動しない変位速度で生じさせ、前記圧電素子の屈曲変位の解除または反転をその際に前記圧電素子に生じる慣性力を利用して前記被駆動体を所定の向きに移動させることができる変位速度で行うことを特徴とする駆動装置。 - 短冊状の形状を有し、所定の電圧が印加されることによって屈曲変位を生じる2個の圧電素子と、
H型の平面形状を有し、その平行な2辺に前記2個の圧電素子を架設保持する被駆動体と、
前記圧電素子の主面に垂直な方向に前記被駆動体をスライド自在に保持するガイドと、
前記圧電素子に所定の電圧を印加する駆動制御部とを具備し、
前記駆動制御部は、前記圧電素子に前記被駆動体を移動させる向きに凸となる屈曲変位を前記被駆動体が移動しない変位速度で生じさせ、前記圧電素子の屈曲変位の解除または反転をその際に前記圧電素子に生じる慣性力を利用して前記被駆動体を所定の向きに移動させることができる変位速度で行うことを特徴とする駆動装置。 - 前記被駆動体に前記2個の圧電素子が取り付けられた状態の構造は、前記被駆動体の移動方向に平行かつ前記被駆動体の中心を通る軸について対象な構造であることを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。
- 前記圧電素子の長手方向中央に重錘が取り付けられていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の駆動装置。
- 前記被駆動体はレンズを保持するレンズ保持部を有し、
前記圧電素子を駆動して前記被駆動体を前記ガイドに沿ってスライドさせることにより前記レンズの焦点位置を調節することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006162332A JP2007336623A (ja) | 2006-06-12 | 2006-06-12 | 駆動装置 |
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Publications (1)
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Family
ID=38935558
Family Applications (1)
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JP2006162332A Pending JP2007336623A (ja) | 2006-06-12 | 2006-06-12 | 駆動装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010206867A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め装置、位置決め方法および位置決めプログラム |
CN113484970A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-08 | 杭州电子科技大学 | 一种基于压电驱动的光学镜头调焦装置及其工作方法 |
-
2006
- 2006-06-12 JP JP2006162332A patent/JP2007336623A/ja active Pending
Cited By (2)
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JP2010206867A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め装置、位置決め方法および位置決めプログラム |
CN113484970A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-10-08 | 杭州电子科技大学 | 一种基于压电驱动的光学镜头调焦装置及其工作方法 |
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