JP2007334343A - 光路変換部品の製造方法及び光路変換部品、それを用いた光電気複合基板とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の基板と、コアとクラッドを有する光配線層とスルーホールを形成した第2の基板とを順に積み重ね、第2基板表面に光電変換素子を実装した光電気複合基板において、前記コアとクラッドから構成された光導波路はコア、クラッドが複数層積層した構造の多層光配線であり、該多層光導波路内を伝搬する光信号が、光導波路のスルーホールに埋設された、傾斜面を有するコア及びクラッドからなる90度光路変換部品内を伝送することを特徴とする光電気複合基板である。
【選択図】図19
Description
一般的にはICやマルチチップモジュールと同じようにレーザダイオードやフォトダイオードなどの光電素子を基板表面に実装し、電気配線板と同一基板に光配線を積層するなどの方法が検討されている。
上記課題を解決するための請求項1記載の発明は、コアとクラッドを有する2つの光学繊維の一端に略45度の角度を有する傾斜面を形成する第1の工程と、前記2つの光学繊維を略L字型に配置し前記傾斜面同士を前記傾斜面に露出した前記コアの位置を一致させて重ね合わせる第2の工程と、前記L字型の光学繊維の複合体のL字の角部の外側部分を前記コアの光軸の交差位置まで除去し前記コアの断面を露出させた反射面を形成する第3の工程と、パルス幅が50から500μsのワンショットのパルス励起レーザ光をレンズにより前記傾斜面に集光することで前記傾斜面を加熱、熔着しL字型の光学繊維の複合体を形成する第4の工程とを有することを特徴とする90度光路変換部品の製造方法である。
1.基板上に第1のクラッド層を形成する工程
2.前記第1のクラッド層上にコアパターンを形成する工程
3.前記第1のクラッド層とコアパターン上に第2のクラッド層を形成し、第1の光配線層を得る工程
4.1乃至3の工程を必要回数繰り返し、複数の光配線層を得る工程
5.前記複数の光配線層を貼り合わせて多層光配線とする工程
6.90度光路変換部品を埋設する為のスルーホールを形成し、光路変換部品を埋設する工程
7.前記多層光配線、埋設された前記90度光路変換部品、および光電変換素子それぞれの光結合部の間で光軸が一致するよう光結合させつつ、前記基板と、上記多層光配線と、スルーホールを形成した第2の基板を順に積み重ね、光電変換素子を設置する工程。
本発明に係る90度光路変換部品の製造方法によれば、傾斜面を有する光学繊維同士を熱源に非接触で周辺領域に熱ストレスを与える事無く瞬時にスポット溶接できる。また、双方の該光学繊維同士を、光軸を合わせた状態をモニターしながら熔着できる為、光結合の損失を生じる原因になる位置ズレを最小に抑制することが可能であり、光路を90度変換し光損失が小さな90度光路変換部品が得られる。更に、粉塵等の発生もなく熔着強度が高い為、高タクトで再現性よい製造が可能になる。すなわち、従来に比べ低コストで製造でき、高い信頼性を有する90度光路変換部品を提供できる。また、この90度光路変換部品を埋設して形成した光電気複合基板は、それに電子部品を半田付けする熱ストレスが加わっても容易には光結合が外れない安定した光結合を保持でき、また、低損失な90度光路変換部品を光電気複合基板の任意の位置に埋設できるため、高密度且つ損失の極めて少ない優れた信頼性を有する光電気複合基板が得られる効果がある。
本発明の光路変換部品を用いた90°光路変換は低損失な光表面実装が可能になる事から、各種光路変換実装技術と比較した。比較にはNo1として図11に示すように光導波路自体にセラミックブレードで切れ込みを形成し、切れ込み面で信号を全反射させる実装モデル、No2として図12に示すように、光導波路8のコア9のパターンが形成された位置のクラッド10の面に垂直な穴7aを形成し、その穴7a中にプリズム状ミラー23を設置した実装モデルとした。No3として図13に示すように、光導波路8のコア9のパターンが形成された位置のクラッド10の面に垂直な穴7aを形成し、その穴7a中に90度光路変換部品1を設置した。尚、この90度光路変換部品1は光学繊維を酸化セリウムやダイヤモンドパウダー研磨によって少なくとも一端をほぼ45°の角度を有する傾斜面を形成し、この45°傾斜面を有した光路変換用ガラス材の傾斜面同士をX・Y・Zの3方向が一致するように互いに光学接着剤で接着し光路変換部品を製造した実装モデルとした。No4は図14に示す本発明の光路変換部品であり第1の基板20上に光導波路8のクラッド10を形成し、その上にコア9のパターンを形成し、そのコア9のパターンを上側のクラッド10で覆って光導波路8を形成し、その光導波路8のコア9が形成された位置のクラッド10の面に垂直な上下のクラッド10とコア9を貫く穴7aを形成した。本発明のレーザ熔着による90度光路変換部品1を穴7aの中に埋設し光学接着剤19を用いて接着することで固定する。その第1の基板20と光導波路8と90度光路変換部品1を嵌め合わせて被せ第1の基板20と光導波路8と90度光路変換部品1と第2の基板20を一体化させた実装モデルにした。No5として図17に示すように、実装モデルNo4で示した光導波路8を積層した構造とした。但し、光路変換部品1としては45°反射面が上下2個所に有する1を用いている。以上の5種類の実装モデルを比較した。光導波路、光路変換部品は共に、コア径40μm×40μm、クラッド径125μm×125μm、コア屈折率1.489、クラッド屈折率1.471、比屈折率差1.2%である。送受信ともに光路変換部品および光導波路のコア中を信号光線21(波長0.85μm)が一様に励振するように入射させ90°光路変換した後の伝搬光を、光導波路8端面あるいは、光路変換部品1、プリズム23近傍へ、受光面積40μm×40μmのディテクタ22を設置し、信号強度を測定した。解析結果を表1、図15、図16に示す。尚、数値は入射光を100%に対して、ディテクタ受光光となっている、コア径40μmのMMF−SI(Multi Mode Fiber-Step Index)を光路変換部品上にVCSELなどの受光素子(波長0.85μm)を搭載し光導波路側面へディテクタ22を設置した送信の場合、他の部品に比べて各段に損失が小さく98%を達成できた。本発明の90度光路変換部品では、導波路構造を有しており、また、45°傾斜面で光信号が全反射するため、発光素子或いは受光素子、90度光路変換部品、光導波路それぞれの界面で光信号が損失せずに伝搬できるからである。
2・・・高屈折率部
3・・・低屈性率部
4・・・反射面
5・・・入射口
6・・・出射口
7・・・スルーホール
7a・・穴
8・・・光導波路
9・・・コア
10・・・クラッド
11・・・セラミック基板
12・・・面発光レーザ(VCSEL)
13・・・フォトダイオード
14・・・電極
15・・・金錫ペースト
16・・・LSI
17・・・Driver
18・・・Receiver
19・・・光学接着剤
20・・・基板
21・・・光信号
22・・・ディテクタ
23・・・プリズム
Claims (10)
- コアとクラッドを有する2つの光学繊維の一端に略45度の角度を有する傾斜面を形成する第1の工程と、前記2つの光学繊維を略L字型に配置し前記傾斜面同士を前記傾斜面に露出した前記コアの位置を一致させて重ね合わせる第2の工程と、前記L字型の光学繊維の複合体のL字の角部の外側部分を前記コアの光軸の交差位置まで除去し前記コアの断面を露出させた反射面を形成する第3の工程と、パルス幅が50から500μsのワンショットのパルス励起レーザ光をレンズにより前記傾斜面に集光することで前記傾斜面を加熱、熔着しL字型の光学繊維の複合体を形成する第4の工程とを有することを特徴とする90度光路変換部品の製造方法。
- コアとクラッドを有する2つの光学繊維の一端に略45度の角度を有する傾斜面を形成する第1の工程と、前記2つの光学繊維を略L字型に配置し前記傾斜面同士を前記傾斜面に露出した前記コアの位置を一致させて重ね合わせる第2の工程と、パルス幅が50から500μsのワンショットのパルス励起レーザ光をレンズにより前記傾斜面に集光することで前記傾斜面を加熱、熔着し、L字型の光学繊維の複合体を形成する第3の工程と、前記L字型の光学繊維の複合体のL字の角部の外側部分を前記コアの光軸の交差位置まで除去し前記コアの断面を露出させた反射面を形成する第4の工程とを有することを特徴とする90度光路変換部品の製造方法。
- 前記反射面へ金属膜を形成する第5の工程を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の90度光路変換部品の製造方法。
- コアとクラッドを有し一端にほぼ45度の角度の傾斜面を有する第1の光学繊維と第2の光学繊維が、概ね90度の角度で配置され、前記傾斜面同士を重ね合わせてパルス励起レーザ光で前記傾斜面同士が熔着されL字型の複合体を成し、前記L字型複合体の角部の外側部分の一部が前記コアの光軸の交差位置まで除去され前記第1の光学繊維と前記第2の光学繊維の前記コアの断面が露出された反射面を有し、前記反射面に金属膜が形成され、前記金属膜により前記第1の光学繊維と前記第2の光学繊維の前記コアの光路の方向が変換されるように光結合された構造を有することを特徴とする90度光路変換部品。
- 第1の基板上に形成した光導波路の表面に垂直で壁面に前記光導波路のコアの断面が露出する穴を形成する第1の工程と、次に、請求項4に記載の90度光路変換部品を、該90度光路変換部品の前記第1の光学繊維のコアの光軸を前記光導波路のコアの光軸に一致させて前記穴へ埋設し光学接着剤により固定する第2の工程と、前記第1の工程および前記第2の工程に並行して、第2の基板に、前記穴に位置を合わせたスルーホールを形成する第3の工程と、次に、前記スルーホールを、前記90度光路変換部品の前記第2の光学繊維に嵌め合わせるように、前記第2の基板を前記第1の基板に重ね合わせ一体化させる第4の工程とを有することを特徴とする光電気複合基板の製造方法。
- 第1の基板と、コアとクラッドを有する光導波路の層と、スルーホールを形成した第2の基板を順に積み重ねた構造を有し、前記光導波路が前記スルーホールに位置を合わせた穴を有し、該穴の壁面に前記光導波路のコアの断面を露出させ、かつ、前記スルーホールに位置を合わせた光電変換素子を前記第2の基板に設置し、前記穴と前記スルーホールの中に、請求項4に記載の前記90度光路変換部品を埋設し、前記90度光路変換部品の前記第1の光学繊維のコアの光軸と前記光導波路のコアの光軸を一致させて光結合し、前記90度光路変換部品の前記第2の光学繊維のコアの光軸を前記光電変換素子の光軸に一致させて光結合させた構造を有することを特徴とする光電気複合基板。
- 第1の基板と、コアとクラッドを有する光導波路の層と、スルーホールを形成した第2の基板を順に積み重ね、第2基板表面に光電変換素子を実装した光電気複合基板において、前記光導波路の層は、光配線を複数層積層した構造の多層光導波路であり、該多層光導波路内を伝搬する光信号が、光導波路のスルーホール内に埋設された、傾斜面を有するコア及びクラッドからなる伝送路構造を有する光路変換部品により、略90°光路変換され、該表面実装光電素子間の光信号を送受信することを特徴とする光電気複合基板。
- 第1の基板と、コアとクラッドを有する前記多層光導波路と、スルーホールを形成した第2の基板を順に積み重ねた構造を有し、前記光導波路が前記スルーホールに位置を合わせた穴を有し、該穴の壁面に前記光導波路のコアの断面を露出させ、かつ、前記スルーホールに位置を合わせた光電変換素子を前記第2の基板に設置し、前記穴と前記スルーホールの中に90度光路変換部品を埋設し、該90度光路変換部品の光軸と前記光導波路の光軸を一致させて光結合し、且つ90度光路変換部品の光軸を前記光電変換素子の光軸に一致させて光結合させた構造を有することを特徴とする光電気複合基板。
- 請求項7ないし8に記載の光電気複合基板において、前記光導波路がシングルモード光配線又は、マルチモード光配線を有する光配線層で積層形成されており、シングルモード光配線及びマルチモード光配線は、光導波路スルーホール内に埋設された、傾斜面を有するコア及びクラッドからなる伝送路構造を有する90度光路変換部品により光信号が略90°光路変換され、多層の該光配線層間を信号伝送し、かつ第2の基板表面に実装された光電素子間の光信号を送受信することを特徴とする光電気複合基板。
- 以下の工程を少なくとも具備することを特徴とする請求項7乃至9の何れか1項に記載の光電気配線基板の製造方法。
1.基板上に第1のクラッド層を形成する工程
2.前記第1のクラッド層上にコアパターンを形成する工程
3.前記第1のクラッド層とコアパターン上に第2のクラッド層を形成し、第1の光配線層を得る工程
4.1乃至3の工程を必要回数繰り返し、複数の光配線層を得る工程
5.前記複数の光配線層を貼り合わせて多層光配線とする工程
6.90度光路変換部品を埋設する為のスルーホールを形成し、光路変換部品を埋設する工程
7.前記多層光配線、埋設された前記90度光路変換部品、および光電変換素子それぞれの光結合部の間で光軸が一致するよう光結合させつつ、前記基板と、上記多層光配線と、スルーホールを形成した第2の基板を順に積み重ね、光電変換素子を設置する工程。
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