JP2007333926A - マイクロレンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製作精度の良いマイクロレンズの製造方法を提供する。
【解決手段】GSM1は、マイクロレンズの中央部の円形領域を露光するためのものであり、中央部に円形状の有効領域1aを有する。GSM2は、マイクロレンズの中央の円形部分に隣接する円環状の領域を露光するためのものであり、中間部分に円環状の有効領域2aを有する。GSM3は、マイクロレンズの外周部の円環状の領域を露光するためのものであり、外周部分に円環状の有効領域3aを有する。有効領域1aと2a、及び2aと3aは、図1の左側に示すように、その境目が互いに重畳するようにされている。重畳している範囲でのGSMのグレースケール値は、重ね露光を行ったときに、適当な露光量でレジストが露光されて目的のSAG量が得られるようにされている。これにより、GSMの継ぎ目で段差が発生するのを防止できる。
【選択図】 図1
【解決手段】GSM1は、マイクロレンズの中央部の円形領域を露光するためのものであり、中央部に円形状の有効領域1aを有する。GSM2は、マイクロレンズの中央の円形部分に隣接する円環状の領域を露光するためのものであり、中間部分に円環状の有効領域2aを有する。GSM3は、マイクロレンズの外周部の円環状の領域を露光するためのものであり、外周部分に円環状の有効領域3aを有する。有効領域1aと2a、及び2aと3aは、図1の左側に示すように、その境目が互いに重畳するようにされている。重畳している範囲でのGSMのグレースケール値は、重ね露光を行ったときに、適当な露光量でレジストが露光されて目的のSAG量が得られるようにされている。これにより、GSMの継ぎ目で段差が発生するのを防止できる。
【選択図】 図1
Description
本発明はマイクロレンズ(本明細書及び特許請求の範囲において、マイクロレンズとはマイクロレンズアレイを含むものである)の製造方法に関するものである。
マイクロレンズは、ディジタルカメラ、光通信、MEMS分野を中心に実用化され、益々使用範囲が拡大している。従来、このようなマイクロレンズの製造方法として、特表平8−504515号公報(特許文献1)に開示されているような方法が知られている。これは、グレースケールマスク(GSM:アナログ的とみなせる光透過率の変化を有するマスク)を使用して光学基材の表面に形成されたレジストを感光させ、レジストを現像することによって、グレースケールに応じた形状の、立体的なレジストパターンを形成し、それをマイクロレンズとするか、あるいは、さらにレンズ形状となったレジストを光学基材と共にエッチングすることにより、レンズ形状のレジストのパターンを光学基材に転写し、光学基材からなるマイクロレンズを形成するものである。GSMを使用した方法は、特に高SAG量のマイクロレンズを製造する方法として適当なものである。
このような、GSMを使用したマイクロレンズの製造方法にも、少なくとも2種類の方法が知られている。第1は、特許3373518号公報(特許文献2)に記載されるように、単一GSMによる単一露光によりマイクロレンズを製作する方法である。第2は、特開2004−310077号公報(特許文献3)に記載されるように、1枚のメインGSMと1枚の形状補正用GSMを用いて複数回の露光によりマイクロレンズを製作する方法である。
特許文献2に記載される方法は、単一マスク、単一露光のため、一見簡便のようにみえる。しかし、高精度のマイクロレンズを得るためには、得られた形状に基づいて、正しい形状が得られるように、新たにGSMを作り直す必要があり、すくなくとも3回以上のGSMの作り直しが必要になる。それでも、製作したGSMには必ず製造誤差が伴うため、意図した形状補正は十分にできず、高精度マイクロレンズを製作することは困難である。
特許文献3に記載される方法は、メインGSM(概ねの設計レンズ形状を製作するのに使用するマスク)により、概ね良好な形状を製作し、設計形状との誤差分を、形状補正を行う形状補正GSMを用いて、補正する方法である。この方法は、複数のマスクを用いて、複数回の露光を行うということで、前者に比べて煩雑である。しかし、この方法は、形状製作と形状補正との役割を分けたため、マスクに許される製造誤差は10倍以上緩くなる。しかもGSMの役割分担により、単一マスク、単一露光では達成できなかった高精度マイクロレンズを製作することができる。又、製造誤差が緩くなったため、非常に高価なマスク製造装置を使用しなくても、GSMが製造できる。
特表平8−504515号公報
特許3373518号公報
特開2004−310077号公報
しかし、高SAG量のマイクロレンズを高精度に製作したい場合、このメインGSMと形状補正GSMの2枚では不十分な場合がある。この理由を図3を用いて詳しく説明する。図3は、レンズ曲率R=250μm、レンズ径300μm、レンズ高さ(SAG量50μm)の凸形状のマイクロレンズの断面形状を表した図である。このレンズ形状において、レンズSAG量がレンズ高さの半分になる位置における半径rは約109μmである。
すなわち、メインGSM1枚で概ねのレンズ形状を製作しようとすると、メインGSMのグレースケール値範囲の半分を使ってレンズ径の約73%を製作することになる。言い換えれば、レンズ領域約73%を製作するために、メインGSMのグレースケール値範囲の50%しか使用できないということになる。このため、形成されるレジストの曲面を近似した段差が粗くなり、特に高SAG量のマイクロレンズの場合、製作精度上問題となることがある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、製作精度の良いマイクロレンズの製造方法を提供することを課題とする。
前記課題を解決するための第1の手段は、有効範囲が円形状のメイングレースケールマスクと、1枚又は複数枚の、有効範囲が輪帯形のメイングレースケールマスクを使用してフォトレジストの重ね露光を行い、その後、前記フォトレジストを現像することにより、マイクロレンズの形状をしたフォトレジストを得る工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法である。
「有効範囲」とは、マイクロレンズの形状を正確に形成するためのGSMの領域のことである。このことは、本明細書及び特許請求の範囲において同じである。
前記課題を解決するための第2の手段は、有効範囲が円形状のメイングレースケールマスクと、1枚又は複数枚の、有効範囲が輪帯形のメイングレースケールマスクを使用してフォトレジストの重ね露光を行い、さらに、形状補正用グレースケールマスクを使用して前記フォトレジストを露光した後、前記フォトレジストを現像することにより、マイクロレンズの形状をしたレジストを得る工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法である。
前記課題を解決するための第3の手段は、前記第1の手段又は第2の手段であって、前記各メイングレースケールマスクのグレースケール値範囲が、光の透過が無いときを0、光を100%透過するときの値を1として規格化した場合、0.15〜0.75の範囲にあることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第1の手段から第3の手段のいずれかであって、マイクロレンズの形状をしたレジストのSAG量が40μm以上であることを特徴とするものである。
本発明によれば、製作精度の良いマイクロレンズの製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態であるマイクロレンズの製造方法に使用するメインGSMの概要を示す図である。本実施の形態においては、マイクロレンズの有効領域を円形及び輪帯形の3つの領域に分け、それぞれの領域を露光する3枚のGSMを使用するものとする。図1において、左側が3枚のGSM1、2、3の断面図、右側がその平面図である。なお、図においてハッチングを施した部分は透過率が可変とされているGSMの有効領域であり、白抜きの部分は無効領域で光を透過させないようにされている部分である。
GSM1は、マイクロレンズの中央部の円形領域を露光するためのものであり、中央部に円形状の有効領域1aを有する。GSM2は、マイクロレンズの中央の円形部分に隣接する輪帯形の領域を露光するためのものであり、中間部分に輪帯形の有効領域2aを有する。GSM3は、マイクロレンズの外周部の輪帯形の領域を露光するためのものであり、外周部分に輪帯形の有効領域3aを有する。有効領域1aと2a、及び2aと3aは、図1の左側に示すように、その境目が互いに重畳するようにされている。重畳している範囲でのGSMのグレースケール値は、重ね露光を行ったときに、適当な露光量でフォトレジストが露光されて目的のSAG量が得られるようにされている。これにより、GSMの継ぎ目で段差が発生するのを防止できる。
GSM1、GSM2、GSM3の有効領域1a、2a、3aは、何れも、グレースケール値範囲が、光の透過率が無いときを0、光を100%透過するときの値を1として規格化した場合、0.15〜0.75の範囲にあるようにされている。これは、この範囲で、レジストの感度特性とグレースケール値との関係が最も安定しているためである。使用するグレースケール値範囲をこの範囲に制限し、露光時間で露光量調整することにより、精度の良いレジスト形状を得ることができる。
これら、3枚のGSMを使用して順次フォトレジストの露光を行い(露光の順番は任意である)、その後フォトレジストを現像することにより、目的とするレンズ形状のレジストを得る。このレジストをそのままマイクロレンズとして使用してもよいし、特許文献1、特許文献2、特許文献4に記載されるように、ドライエッチングによりこのレジスト形状を基板に転写し、基板からなるマイクロレンズを製造してもよい。このような方法も、特許請求の範囲に含まれることは言うまでもない。又、3枚のGSMを使用して順次フォトレジストの露光を行った後、特許文献3に記載されるように、形状補正用GSMを使用して形状補正を行い、その後フォトレジストを現像するようにしてもよい。これらの詳細は、上述の特許文献に記載され、かつ周知なものであるので、その説明を省略する。
なお、以上の説明においては、無効領域1a、1b、1cの光の透過率を0としたが、これらを0以外の一定の値とし、重ね露光したときに、その結果として目的の露光量が得られるように、有効領域1a、1b、1cのグレースケール値を調整してもよい。
本発明の方法は、マイクロレンズのSAG量が大きいとき、特にSAG量が40μm以上のときに、特に有効である。
レンズ直径300μm、レンズ高さ(SAG量)50μmのレジスト製マイクロレンズを製作した(レンズの曲率R=250μm)。製作法は、以下の通りである。まず、メインGSM2枚の設計を行った。1枚目のメインGSMは、レンズSAG量25μ(レンズ径φ218μm)までのところのレンズ形状を精度良く製作するマスク、2枚目のメインGSMは、レンズSAG量25〜50μm(レンズ径φ218〜φ300μm)のレンズ形状を精度良く製作するマスクである。設計にあたっては、使用するレジストの膜べり量と露光量(グレースケール値*露光時間)との関係に基づいて、レンズ形状に応じたメインGSMを設計した。
1枚目のメインGSMのグレースケール値範囲は、0.15〜0.75で、レンズ径φ218μm(レンズSAG量25μm)の形状製作のためのグレースケール値範囲は、0.15〜0.65で(この領域が1枚目のGSMの有効領域である。)、レンズ径φ218〜φ300μmの領域は、グレースケール値範囲の残りの0.65〜0.75を割り当てた(この領域は1枚目のGSMの有効領域でなく、形状を粗く形成する領域である。)。2枚目のメインGSMは、レンズ径φ218μmまではグレースケール値0.15で一定とし(この領域は2枚目のGSMの有効領域でなく、露光量が一定であるのでレジストの現像量は一定であり、レンズ形状は変化しない。)、レンズ径φ218〜φ300μmの領域のグレースケール値範囲は、0.15〜0.75である(この領域が2枚目のGSMの有効領域である。)。
まず、基板の上にポジ型フォトレジストを60μm塗布した。1枚目のメインGSMを用いて露光し、続けて2枚目のメインGSMを用いて露光した後に、フォトレジストを現像して、所望のレジスト製マイクロレンズを製作した。実際に製作したレジスト製マイクロレンズの形状誤差を図2に示す。図2から、形状誤差は、0.2μm以内に収まっており、精度の良いマイクロレンズ形状が得られていることが分かる。
1…GSM(グレースケールマスク)、1a…有効領域、2…GSM、2a…有効領域、3…GSM、3a…有効領域
Claims (4)
- 有効範囲が円形状のメイングレースケールマスクと、1枚又は複数枚の、有効範囲が輪帯形のメイングレースケールマスクを使用してフォトレジストの重ね露光を行い、その後、前記フォトレジストを現像することにより、マイクロレンズの形状をしたレジストを得る工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
- 有効範囲が円形状のメイングレースケールマスクと、1枚又は複数枚の、有効範囲が輪帯形のメイングレースケールマスクを使用してフォトレジストの重ね露光を行い、さらに、形状補正用グレースケールマスクを使用して前記フォトレジストを露光した後、前記フォトレジストを現像することにより、マイクロレンズの形状をしたレジストを得る工程を有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
- 前記各メイングレースケールマスクのグレースケール値範囲が、光の透過が無いときを0、光を100%透過するときの値を1として規格化した場合、0.15〜0.75の範囲にあることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のマイクロレンズの製造方法。
- マイクロレンズの形状をしたレジストのSAG量が40μm以上であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載のマイクロレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
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JP2006164336A JP2007333926A (ja) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | マイクロレンズの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016071135A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社Screenホールディングス | 描画方法 |
CN109358475A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-02-19 | 全普光电科技(上海)有限公司 | 对准标记、掩膜版及其制备方法 |
US10642150B2 (en) * | 2016-03-31 | 2020-05-05 | Lg Chem, Ltd. | Photomask and method for manufacturing column spacer for color filter using the same |
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2006
- 2006-06-14 JP JP2006164336A patent/JP2007333926A/ja active Pending
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US10642150B2 (en) * | 2016-03-31 | 2020-05-05 | Lg Chem, Ltd. | Photomask and method for manufacturing column spacer for color filter using the same |
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