JP2007330947A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007330947A5
JP2007330947A5 JP2006169124A JP2006169124A JP2007330947A5 JP 2007330947 A5 JP2007330947 A5 JP 2007330947A5 JP 2006169124 A JP2006169124 A JP 2006169124A JP 2006169124 A JP2006169124 A JP 2006169124A JP 2007330947 A5 JP2007330947 A5 JP 2007330947A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
medium
cleaning medium
tank
floating diffusion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006169124A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007330947A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006169124A priority Critical patent/JP2007330947A/ja
Priority claimed from JP2006169124A external-priority patent/JP2007330947A/ja
Publication of JP2007330947A publication Critical patent/JP2007330947A/ja
Publication of JP2007330947A5 publication Critical patent/JP2007330947A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2006169124A 2006-06-19 2006-06-19 乾式洗浄装置、および乾式洗浄方法 Pending JP2007330947A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006169124A JP2007330947A (ja) 2006-06-19 2006-06-19 乾式洗浄装置、および乾式洗浄方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006169124A JP2007330947A (ja) 2006-06-19 2006-06-19 乾式洗浄装置、および乾式洗浄方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010195587A Division JP4950329B2 (ja) 2010-09-01 2010-09-01 洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007330947A JP2007330947A (ja) 2007-12-27
JP2007330947A5 true JP2007330947A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2009-05-07

Family

ID=38930926

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006169124A Pending JP2007330947A (ja) 2006-06-19 2006-06-19 乾式洗浄装置、および乾式洗浄方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007330947A (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5332318B2 (ja) * 2008-05-30 2013-11-06 株式会社リコー 乾式洗浄装置
CN106269630A (zh) * 2016-08-02 2017-01-04 徐海慧 一种墙板清扫支撑架
CN110230982A (zh) * 2019-07-03 2019-09-13 合肥新汇成微电子有限公司 一种探针卡全自动干式清洁设备
CN111729899A (zh) * 2020-07-02 2020-10-02 蒋晓茜 一种轨道交通专用施工结构
CN112893327A (zh) * 2021-01-22 2021-06-04 温州职业技术学院 一种方便实用的模具激光清洗装置
CN119870026B (zh) * 2025-03-26 2025-07-15 华海清科(北京)科技有限公司 晶圆清洗方法、装置和设备

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60188123A (ja) * 1984-03-08 1985-09-25 株式会社エムテ−樋川 表面清掃方法
JPH0718646B2 (ja) * 1989-08-22 1995-03-06 ジャパン・フィールド株式会社 被洗浄物の乾燥装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007330947A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2007029945A5 (enrdf_load_stackoverflow)
US9636718B2 (en) Mask cleaning apparatus and mask cleaning method
CN1984592B (zh) 手干燥装置
CN102548767B (zh) 冲洗单元
JP5273534B2 (ja) 乾式洗浄装置と洗浄方法及び洗浄された洗浄物
JP5965326B2 (ja) レーザ切断装置用のドライ・アイス・ベルト洗浄システム
JP2005329340A (ja) スリットコータの予備吐出装置
JP5879903B2 (ja) 乾式クリーニング筐体、乾式クリーニング装置及び乾式クリーニングシステム
CN106711062A (zh) 一种工艺反应腔体气流场的实现装置及其实现方法
CN104772989B (zh) 一种喷头清洗装置
JP2008062148A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN107998773A (zh) 一种抛丸除尘设备
JP5461236B2 (ja) 半導体基板の処理装置
TWI568502B (zh) Substrate storage device
JP5589021B2 (ja) フィルタ洗浄装置
JP4954030B2 (ja) 洗浄媒体及びそれを使用する乾式洗浄装置
JP2008063192A (ja) 骨材微粉除去装置
TW201321543A (zh) 用於基材及/或基材載體的清潔模組及清潔方法
JP2006282345A (ja) 非接触搬送装置
JP2001353683A (ja) 空気保持装置
JP2008062145A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2010155201A (ja) 袋体清掃装置
TWI612864B (zh) 洗淨裝置及洗淨方法
TWI541076B (zh) Coating apparatus and coating method