JP2007326761A - 気相成長装置及び気相成長方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原料ガスのガス導入口及びガス排出口が形成された反応容器内で、シリコン基板の主表面に沿ってシリコン単結晶薄膜形成のための原料ガスを導入しつつ、前記主表面側の反対側に、前記シリコン基板を回転支持する回転軸に沿うようにパージガスを導入し、それぞれ、前記原料ガスは前記ガス排出口から排出し、前記パージガスは、前記反対側に備えられたパージガス排出口から排出し、実質的に前記パージガス及び前記原料ガスがそれぞれ前記主表面側及びその反対側への流出が制限されることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1の装置を用い、チャンバ内を減圧に維持し、エピタキシャル層を形成させた。このときのパージガスの流量は、15リッター/分であった。比較のために、パージガス排出口がないもので、エピタキシャル層を形成させた。このときのパージガスの流量も、15リッター/分であった。その結果を図5に示す。
12 サセプタ
13 サセプタリング
14 クリアランス間隔
15a メインガスフロー
22 上側ドーム
24 下側ドーム
26 ガス導入口
28、28a、28b、28c パージガス排出口
30 チャンバ下部
29、31、39 流路
33 弁
38 ガス排出口
50、50a ロアライナー
W シリコンウェーハ基板
P 傾斜角
Claims (9)
- シリコン単結晶基板の主表面にシリコン単結晶薄膜を気相成長させる気相成長装置であって、
水平方向における第一端部側にガス導入口が形成され、同じく第二端部側にガス排出口が形成された反応容器本体を有し、
シリコン単結晶薄膜形成のための原料ガスが前記ガス導入口から前記反応容器本体内に導入され、
該反応容器本体の内部空間にて略水平に回転保持されるように前記シリコン単結晶基板は、その前記主表面を上にして、前記シリコン単結晶基板と略同じ又はより大きい径を持ち前記シリコン単結晶基板と共に回転するサセプタに載置され、
前記サセプタは、その回りを所定のクリアランスを隔ててサセプタリングに囲われ、
前記サセプタリングは、前記ガス導入口及び前記ガス排出口を共に前記シリコン単結晶基板の前記主表面側に位置するように仕切り、
前記サセプタを下から回転支持する回転軸に沿うように前記サセプタに向ってパージガスが導入され、
前記サセプタリングにより仕切られた前記主表面側の反対側において、前記サセプタリングの外周近傍に備えられた少なくとも1つのパージガス排出口を備え、
前記原料ガスが前記シリコン単結晶基板の主表面に沿って流れた後、前記ガス排出口から排出されると共に、
前記パージガスは、前記パージガス排出口から排出され、
前記サセプタ及び前記サセプタリング間の前記所定のクリアランスにおいて、実質的に前記原料ガス及び前記パージガスの流出又は流入が制限されることを特徴とする気相成長装置。 - 前記パージガス排出口は、水平方向に幅が広がったスリット形状であることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記パージガス排出口は、前記サセプタリングの周方向において、第二端部側の前記ガス排出口と略一致し、前記原料ガス及び前記パージガスが合流するように、前記ガス排出口から延びる排出ガス通路に合流するパージガス排出通路に連通することを特徴とする請求項1又は2記載の気相成長装置。
- 前記パージガス排出口に加え、略水平な位置に更に別の1又は2以上のパージガス排出口を備えることを特徴とする請求項1から3いずれか記載の気相成長装置。
- 前記パージガス排出口は、前記サセプタリングを保持するロアライナーにスリット状の貫通孔を備えることにより形成されることを特徴とする請求項1から4いずれか記載の気相成長装置。
- 前記パージガス排出通路に逆流防止機構が組み込まれていることを特徴とする請求項3に記載の気相成長装置。
- シリコン単結晶基板の主表面にシリコン単結晶薄膜を気相成長させる気相成長方法であって、
水平方向における第一端部側に形成されたガス導入口、及び同じく第二端部側に形成されたガス排出口を前記主表面側に備える反応容器本体内に、シリコン単結晶薄膜形成のための原料ガスが前記ガス導入口から導入され、
該反応容器本体の内部空間に略水平に回転保持され、共に回転するサセプタに載置されるシリコン単結晶基板の前記主表面に沿って流れた後、前記ガス排出口から排出されると共に、
前記サセプタと所定のクリアランスを隔てて囲うサセプタリングとにより仕切られた前記主表面側の反対側において、前記サセプタを下から回転支持する回転軸に沿うように前記サセプタに向ってパージガスが導入され、前記反対側に配置され前記サセプタリングの外周近傍に備えられた少なくとも1つのパージガス排出口から、前記パージガスを排出し、
前記サセプタ及び前記サセプタリング間の前記所定のクリアランスにおいて、実質的に前記原料ガス及び前記パージガスの流出又は流入が制限されることを特徴とする気相成長方法。 - 前記原料ガス及び前記パージガスを合流させることにより、前記原料ガス又は前記パージガスをよりスムーズに排出させることを特徴とする請求項7記載の気相成長方法。
- 請求項1から6いずれか記載の気相成長装置において、パージガスを流しながら、前記反応容器本体を開けて行うことを特徴とする気相成長装置のメンテナンス方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006161409A JP5004513B2 (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 気相成長装置及び気相成長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006161409A JP5004513B2 (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 気相成長装置及び気相成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007326761A true JP2007326761A (ja) | 2007-12-20 |
JP5004513B2 JP5004513B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=38927499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006161409A Active JP5004513B2 (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 気相成長装置及び気相成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5004513B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101034032B1 (ko) * | 2010-02-12 | 2011-05-11 | (주)세미머티리얼즈 | 박막증착장치 |
KR101034031B1 (ko) * | 2010-05-20 | 2011-05-11 | (주)세미머티리얼즈 | 박막증착장치 |
KR101205417B1 (ko) * | 2010-12-20 | 2012-11-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 화학기상증착장치 |
WO2013162972A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | Applied Materials, Inc. | Process chamber having separate process gas and purge gas regions |
JP2014504023A (ja) * | 2010-12-30 | 2014-02-13 | ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド | キャリア拡張部を用いるウェハ処理 |
WO2014113179A1 (en) * | 2013-01-16 | 2014-07-24 | Applied Materials, Inc | Quartz upper and lower domes |
WO2014179014A1 (en) * | 2013-05-01 | 2014-11-06 | Applied Materials, Inc. | Inject and exhaust design for epi chamber flow manipulation |
JP2015105410A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
WO2016036497A1 (en) * | 2014-09-05 | 2016-03-10 | Applied Materials, Inc. | Upper dome for epi chamber |
JP6330941B1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-05-30 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
EP3591100A1 (en) | 2018-06-25 | 2020-01-08 | GLobalWafers Japan Co., Ltd. | Method of manufacturing epitaxial silicon wafers |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05160071A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
JPH06302519A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-10-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体製造装置 |
JP2000012470A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長装置 |
JP2000058456A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | エピタキシャルウェーハの製造装置 |
JP2000150399A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-05-30 | Wacker Siltronic G Fuer Halbleitermaterialien Ag | エピタキシャル成長した半導体ウエ―ハを製造するためのcvd反応器及び方法 |
JP2003197532A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-11 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | エピタキシャル成長方法及びエピタキシャル成長用サセプター |
JP2003203867A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長方法及び気相成長装置 |
JP2003277936A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-10-02 | Jusung Engineering Co Ltd | Cvd装置 |
-
2006
- 2006-06-09 JP JP2006161409A patent/JP5004513B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05160071A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
JPH06302519A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-10-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体製造装置 |
JP2000012470A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長装置 |
JP2000058456A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Mitsubishi Materials Silicon Corp | エピタキシャルウェーハの製造装置 |
JP2000150399A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-05-30 | Wacker Siltronic G Fuer Halbleitermaterialien Ag | エピタキシャル成長した半導体ウエ―ハを製造するためのcvd反応器及び方法 |
JP2003277936A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-10-02 | Jusung Engineering Co Ltd | Cvd装置 |
JP2003197532A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-11 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | エピタキシャル成長方法及びエピタキシャル成長用サセプター |
JP2003203867A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長方法及び気相成長装置 |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011099676A1 (ko) * | 2010-02-12 | 2011-08-18 | 주식회사 세미머티리얼즈 | 박막증착장치 |
KR101034032B1 (ko) * | 2010-02-12 | 2011-05-11 | (주)세미머티리얼즈 | 박막증착장치 |
KR101034031B1 (ko) * | 2010-05-20 | 2011-05-11 | (주)세미머티리얼즈 | 박막증착장치 |
KR101205417B1 (ko) * | 2010-12-20 | 2012-11-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 화학기상증착장치 |
JP2014504023A (ja) * | 2010-12-30 | 2014-02-13 | ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド | キャリア拡張部を用いるウェハ処理 |
US9870919B2 (en) | 2012-04-25 | 2018-01-16 | Applied Materials, Inc. | Process chamber having separate process gas and purge gas regions |
WO2013162972A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | Applied Materials, Inc. | Process chamber having separate process gas and purge gas regions |
WO2014113179A1 (en) * | 2013-01-16 | 2014-07-24 | Applied Materials, Inc | Quartz upper and lower domes |
US9768043B2 (en) | 2013-01-16 | 2017-09-19 | Applied Materials, Inc. | Quartz upper and lower domes |
WO2014179014A1 (en) * | 2013-05-01 | 2014-11-06 | Applied Materials, Inc. | Inject and exhaust design for epi chamber flow manipulation |
CN105164309A (zh) * | 2013-05-01 | 2015-12-16 | 应用材料公司 | 用于控制外延沉积腔室流量的注入及排放设计 |
JP2015105410A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
WO2016036497A1 (en) * | 2014-09-05 | 2016-03-10 | Applied Materials, Inc. | Upper dome for epi chamber |
JP6330941B1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-05-30 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
WO2018163975A1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-13 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP2018148098A (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
KR20190100365A (ko) * | 2017-03-07 | 2019-08-28 | 가부시키가이샤 사무코 | 에피택셜 성장 장치 및 프리히트 링 그리고 그들을 이용한 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 |
US10975495B2 (en) | 2017-03-07 | 2021-04-13 | Sumco Corporation | Epitaxial growth apparatus, preheat ring, and method of manufacturing epitaxial wafer using these |
KR102243261B1 (ko) | 2017-03-07 | 2021-04-21 | 가부시키가이샤 사무코 | 에피택셜 성장 장치 및 프리히트 링 그리고 그들을 이용한 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 |
EP3591100A1 (en) | 2018-06-25 | 2020-01-08 | GLobalWafers Japan Co., Ltd. | Method of manufacturing epitaxial silicon wafers |
JP2020004760A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
US10916421B2 (en) | 2018-06-25 | 2021-02-09 | Globalwafers Japan Co., Ltd. | Method of manufacturing epitaxial silicon wafers |
JP6998839B2 (ja) | 2018-06-25 | 2022-01-18 | グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5004513B2 (ja) | 2012-08-22 |
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