JP2007325859A - ゴルフクラブヘッドのエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】エッチング精度が高く、製品の表面品質が良く得られるゴルフクラブヘッドのエッチング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ゴルフクラブヘッドの表面に遮蔽層を形成する遮蔽層形成工程と、前記ゴルフクラブヘッドの表面が露出するように前記遮蔽層に所定パターンを呈するよう開口を形成する開口形成工程と、前記遮蔽層にエッチング液をスプレー方式により噴付けて、前記開口を通して前記ゴルフクラブヘッドの露出表面をエッチングするエッチング工程と、前記遮蔽層の前記開口以外の部分を除去し、前記ゴルフクラブヘッドの表面を洗浄する除去・洗浄工程とからなることを特徴とするゴルフクラブヘッドのエッチング方法を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】ゴルフクラブヘッドの表面に遮蔽層を形成する遮蔽層形成工程と、前記ゴルフクラブヘッドの表面が露出するように前記遮蔽層に所定パターンを呈するよう開口を形成する開口形成工程と、前記遮蔽層にエッチング液をスプレー方式により噴付けて、前記開口を通して前記ゴルフクラブヘッドの露出表面をエッチングするエッチング工程と、前記遮蔽層の前記開口以外の部分を除去し、前記ゴルフクラブヘッドの表面を洗浄する除去・洗浄工程とからなることを特徴とするゴルフクラブヘッドのエッチング方法を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、エッチング方法に関し、特にゴルフクラブヘッドを製造する際に用いられるゴルフクラブヘッドのエッチング方法に関する。
ゴルフクラブヘッドの製造工程において、ヘッド本体の表面に製品名や登録商標、型番、ロゴマークなどのラベルを付けたり、フェースに刻目を付けたりするのによくフォトマスクエッチング方法が用いられる。
このフォトマスクエッチング方法は、通常、まずクラブヘッドの表面にフォトレジストを塗布し、フォトレジスト膜を形成し、そして露光、現像により所定パターン(即ち、前記のようなラベルやフェースの刻目など)に対応してクラブヘッドの表面が露出するよう前記フォトレジスト膜の一部を溶かして取り除く。更に、クラブヘッドをエッチング液中に浸し、クラブヘッドの露出部をエッチングする。その後、残りのフォトレジスト膜を剥離し、クラブヘッドの表面を洗浄する工程を経て所定パターンが形成されたクラブヘッドが得られる。
しかしながら、前記方法では、エッチング工程においてクラブヘッド全体をエッチング液中に浸漬して行われるため、エッチング液がクラブヘッド表面の所定箇所に作用する精度が制御し難く、エッチングの深さ、寸法がばらつき、前記パターンの出来映えが悪く、製品の表面品質の均一性と外観がよくない。
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、エッチング精度が高く、製品の表面品質が良く得られるクラブヘッドのエッチング方法を提供することを目的とする。
前記目的を達成するため、本発明のゴルフクラブヘッドのエッチング方法は、クラブヘッドの表面に遮蔽層を形成する遮蔽層形成工程と、前記クラブヘッドの表面が露出するように前記遮蔽層に所定のパターンを呈するよう開口を形成する開口形成工程と、前記遮蔽層にエッチング液をスプレー方式により霧状に噴付けて、前記開口を経て前記クラブヘッドの露出表面をエッチングするエッチング工程と、前記遮蔽層の前記開口以外の部分を除去し、前記クラブヘッドの表面を洗浄する除去・洗浄工程とからなることを特徴とする。
前記遮蔽層形成工程においては、フォトレジストを用いて前記遮蔽層が形成され、また、前記開口形成工程においては、所定パターンを有するフォトマスクを介して前記遮蔽層に光を照射したのち、現像し、前記所定パターンを呈した開口を形成する。
なお、前記フォトレジストとしては、ポジ型フォトレジスト、もしくはネガ型フォトレジストを用いてもよい。
フォトレジストとしてポジ型フォトレジストを用いるとき、前記開口形成工程においては、前記フォトマスクを介して前記遮蔽層に光を照射し、前記フォトマスクの所定パターンに対応して感光領域を形成し、該感光領域を現像除去して該所定パターンに対応する前記開口を形成する。または、前記開口形成工程においては、レーザービームにより前記遮蔽層に所定パターンに対応する前記開口を形成することもできる。
フォトレジストとしてネガ型フォトレジストを用いるとき、前記開口形成工程においては、前記フォトマスクを介して前記遮蔽層に光を照射し、前記フォトマスクの所定パターンに対応して感光領域を形成し、前記遮蔽層の該感光領域以外の部分を現像除去して該所定パターンに対応する前記開口を形成する。または、前記開口形成工程においては、レーザービームにより前記遮蔽層に所定パターンに対応する前記開口を形成することもできる。
また、遮蔽層形成工程においては、耐蝕性の高い絶縁材料を用いて前記遮蔽層が形成されることもできる。そして、前記開口形成工程においては、レーザービームにより前記遮蔽層に光を当てて該遮蔽層に該所定パターンに対応する前記開口を形成する。
前記ゴルフクラブヘッドのエッチング方法によると、エッチング工程において、従来ゴルフクラブヘッド全体をエッチング液中に浸漬することに代って、例えばスプレー装置によりエッチング液をゴルフクラブヘッドに対し均一に噴付けするので、エッチングの深さ、寸法が精度良く制御されることができ、精密なパターンの微細加工が得られる上、品質が均一な製品が得られる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の概略工程を示すフローチャートである。図2は、該ゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第1の実施形態を説明する図である。図3は、該ゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第2の実施形態を説明する図である。図4は、該ゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第3の実施形態を説明する図である。
図1は、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の概略工程を示すフローチャートである。図2は、該ゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第1の実施形態を説明する図である。図3は、該ゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第2の実施形態を説明する図である。図4は、該ゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第3の実施形態を説明する図である。
図1に示すように、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法は、主としてクラブヘッドの表面に遮蔽層を形成する遮蔽層形成工程(ステップS1)と、前記クラブヘッドの表面が露出するように前記遮蔽層に所定パターンを呈するよう開口を形成する開口形成工程(ステップS2)と、前記遮蔽層にエッチング液をスプレー方式により霧状に噴付けて、前記開口を経て前記クラブヘッドの露出表面をエッチングするエッチング工程(ステップS3)と、前記遮蔽層の前記開口以外の部分を除去し、前記クラブヘッドの表面を洗浄する除去・洗浄工程(ステップS4)とからなる。
図2に示すように、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第1の実施形態は、まずステップS1において、クラブヘッド5の表面にポジ型フォトレジストを用いて遮蔽層6を形成する。
次に、ステップS2において、所定パターン(即ち、前記のようなラベルやフェースの刻目など)を有するフォトマスク(図示せず)を介してレーザービーム7で遮蔽層6に照射し、フォトマスクの所定パターンに対応して、分解により現像液に可溶となる感光領域60を形成し、該感光領域60を現像除去してクラブヘッド5の表面が露出するように該所定パターンに対応する開口61を形成する。ここで、レーザービームを使用しているが、レーザービームのほか紫外線、X線、電子ビームなどを用いてもよい。
そして、ステップS3において、遮蔽層6にエッチング液をスプレー方式により霧状に均一に噴付けて、開口61を通してクラブヘッド5の露出表面をエッチングすることによりクラブヘッド5の表面に該所定パターン51を形成する。
その後、ステップS4において、遮蔽層6の開口61以外の部分62を例えば有機溶剤により除去し、更にクラブヘッド5の表面を水などで洗浄する。
このようにして、クラブヘッド5の表面に該所定パターン51が形成されたクラブヘッドが得られる。
図3は、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第2の実施形態を説明する図である。本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第2の実施形態は前記第1の実施形態とほぼ同じが、その相違点は、ポジ型フォトレジストの代りにネガ型フォトレジストを用いて遮蔽層6を形成することにある。
図3に示すように、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第2の実施形態は、まずステップS1において、クラブヘッド5の表面にネガ型フォトレジストを用いて遮蔽層6を形成する。
次に、ステップS2において、所定パターン(即ち、前記のようなラベルやフェースの刻目など)を有するフォトマスク(図示せず)を介してレーザービーム7で遮蔽層6に照射し、フォトマスクの所定パターンに対応して、重合または架橋により現像液に不溶または難溶となる感光領域63を形成し、遮蔽層6の該感光領域63以外の部分64を現像除去してゴルフクラブヘッド5の表面が露出するように該所定パターンに対応する開口61を形成する。ここで、第1の実施形態と同じくレーザービームを使用しているが、レーザービームのほか紫外線、X線、電子ビームなどを用いてもよい。
そして、ステップS3において、遮蔽層6にエッチング液をスプレー方式により霧状に均一に噴付けて、開口61を経てクラブヘッド5の露出表面をエッチングすることによりクラブヘッド5の表面に該所定パターン51を形成する。
その後、ステップS4において、遮蔽層6の開口61以外の部分63(感光領域)を例えば有機溶剤により除去し、更にクラブヘッド5の表面を水などで洗浄する。
このようにして、クラブヘッド5の表面に該所定パターン51が形成されたクラブヘッドが得られる。
図4は、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第3の実施形態を説明する図である。
図4に示すように、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第3の実施形態は、まずステップS1において、クラブヘッド5の表面に耐蝕性の高い絶縁材料(例えば絶縁ペンキ、ワックス、高分子化合塗料などが挙げられる)を用いて遮蔽層6を形成する。
図4に示すように、本発明に係るゴルフクラブヘッドのエッチング方法の第3の実施形態は、まずステップS1において、クラブヘッド5の表面に耐蝕性の高い絶縁材料(例えば絶縁ペンキ、ワックス、高分子化合塗料などが挙げられる)を用いて遮蔽層6を形成する。
次に、ステップS2において、低パワー(約1W〜200W)のCO2レーザービーム8で遮蔽層6に光を当てて、クラブヘッド5の表面が露出するように遮蔽層6に所定パターンを呈するよう開口61を形成する。ここで、CO2レーザービーム8が遮蔽層6に対して精密な穿鑿加工を行うことができる特性を利用することにより、開口61の処理精度が高められる。なお、レーザービームとして、Arレーザビーム、YAGレーザビームを使うこともできる。
そして、ステップS3において、遮蔽層6にエッチング液をスプレー方式により霧状に均一に噴付けて、開口61を経てクラブヘッド5の露出表面をエッチングすることによりクラブヘッド5の表面に該所定パターン51を形成する。
その後、ステップS4において、遮蔽層6の開口61以外の部分65を例えば有機溶剤により除去し、更にクラブヘッド5の表面を水などで洗浄する。
このようにして、クラブヘッド5の表面に該所定パターン51が形成されたクラブヘッドが得られる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定して狭義に解釈されるものではなく、即ち本発明の精神の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
本発明のゴルフクラブヘッドのエッチング方法によれば、エッチングの深さ、寸法が精度良く制御されることができ、精密なパターンの微細加工が得られる上、品質が均一な製品が得られる。
5 ゴルフクラブヘッド
51 所定パターン
6 遮蔽層
60 感光領域
61 開口
62 遮蔽層の開口以外の部分
63 感光領域
64 遮蔽層の感光領域63以外の部分
65 遮蔽層の開口以外の部分
7 レーザービーム
8 CO2レーザービーム
51 所定パターン
6 遮蔽層
60 感光領域
61 開口
62 遮蔽層の開口以外の部分
63 感光領域
64 遮蔽層の感光領域63以外の部分
65 遮蔽層の開口以外の部分
7 レーザービーム
8 CO2レーザービーム
Claims (9)
- クラブヘッドの表面に遮蔽層を形成する遮蔽層形成工程と、
前記クラブヘッドの表面が露出するように前記遮蔽層に所定のパターンを呈するよう開口を形成する開口形成工程と、
前記遮蔽層にエッチング液をスプレー方式により霧状に噴付けて、前記開口を経て前記クラブヘッドの露出表面をエッチングするエッチング工程と、
前記遮蔽層の前記開口以外の部分を除去し、前記ゴルフクラブヘッドの表面を洗浄する除去・洗浄工程とからなることを特徴とするゴルフクラブヘッドのエッチング方法。 - 前記遮蔽層形成工程においては、フォトレジストを用いて前記遮蔽層が形成され、
また、前記開口形成工程においては、所定パターンを有するフォトマスクを介して前記遮蔽層に光を照射したのち、現像し、前記所定パターンを呈した開口を形成することを特徴とする請求項1に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。 - 前記フォトレジストとしては、ポジ型フォトレジストを用いることを特徴とする請求項2に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
- 前記フォトレジストとしては、ネガ型フォトレジストを用いることを特徴とする請求項2に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
- 前記遮蔽層形成工程においては、耐蝕性の高い絶縁材料を用いて前記遮蔽層が形成されることを特徴とする請求項1に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
- 前記開口形成工程においては、前記フォトマスクを介して前記遮蔽層に光を照射し、前記フォトマスクの所定パターンに対応して感光領域を形成し、該感光領域を現像除去して該所定パターンに対応する前記開口を形成することを特徴とする請求項3に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
- 前記開口形成工程においては、前記フォトマスクを介して前記遮蔽層に光を照射し、前記フォトマスクの所定パターンに対応して感光領域を形成し、前記遮蔽層の該感光領域以外の部分を現像除去して該所定パターンに対応する前記開口を形成することを特徴とする請求項4に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
- 前記開口形成工程においては、レーザービームにより前記遮蔽層に光を当てて該遮蔽層に該所定パターンに対応する前記開口を形成することを特徴とする請求項5に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
- 前記開口形成工程においては、レーザービームにより前記遮蔽層に光を当てて該遮蔽層に該所定パターンに対応する前記開口を形成することを特徴とする請求項6または7に記載のゴルフクラブヘッドのエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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ID=38926768
Family Applications (1)
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JP2006161294A Pending JP2007325859A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | ゴルフクラブヘッドのエッチング方法 |
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JP (1) | JP2007325859A (ja) |
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