JP2007324449A - 半導体ウェーハ用の吸着パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円板1と、円板1の裏面に形成されたリング形の装着リブ2と、円板1の表面に形成された複数の突起と、円板1の中心部に穿孔された吸気孔4と、装着リブ2に対応するよう円板1の表面に凹み形成され、円板1の表面を内側領域6と外側領域7に区画するリング形の歪み抑制溝5と、内側領域6に穿孔された複数の取付孔9と、歪み抑制溝5を複数の溝に分割して補強する複数の分割補強リブ10とを備える半導体ウェーハ用の吸着パッドを体積抵抗率が1.0×100〜1.0×1013(Ω・cm)の熱可塑性樹脂コンパウンドにより射出成形してロボットのアームに装着する。そして、ロボットのバキューム装置の駆動に基づき、半導体ウェーハWを吸着保持させる。
【選択図】 図2
Description
板体と、この板体の表面に形成される複数の突起と、板体に穿孔される吸気孔とを含んでなることを特徴としている。
また、熱可塑性樹脂コンパウンドの熱可塑性樹脂を、脂環式構造含有重合体とすることができる。
また、熱可塑性樹脂コンパウンドの熱可塑性樹脂を、ポリエーテルエーテルケトンあるいはポリブチレンテレフタレートとすることができる。
さらに、歪み抑制溝を複数の溝に分割して補強する複数の分割補強リブを備えても良い。
また、熱可塑性樹脂コンパウンドの熱可塑性樹脂を、脂環式構造含有重合体、ポリエーテルエーテルケトン、あるいはポリブチレンテレフタレートとすれば、半導体ウェーハの接触部分との耐磨耗性を向上させ、アウトガスを低減させることができる。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、吸着パッドの形状の多様化を図ることができるのは明らかである。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、吸着パッドの形状の多様化の他、突起3の形成数を削減することができるのは明らかである。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、吸着パッドの形状の多様化の他、突起3の形成数をさらに削減することができるのは明白である。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、突起3の形成数を大幅に削減することができるのは明白である。
2 装着リブ
3 突起
4 吸気孔
5 歪み抑制溝
6 内側領域
7 外側領域
9 取付孔
10 分割補強リブ
11 溝
W 半導体ウェーハ
Claims (4)
- 体積抵抗率が1.0×100〜1.0×1013(Ω・cm)の熱可塑性樹脂コンパウンドにより成形されて半導体ウェーハに着脱自在に接触する半導体ウェーハ用の吸着パッドであって、
板体と、この板体の表面に形成される複数の突起と、板体に穿孔される吸気孔とを含んでなることを特徴とする半導体ウェーハ用の吸着パッド。 - 熱可塑性樹脂コンパウンドは帯電防止付与材を含み、この帯電防止付与材は、繊維径0.5〜150nm、繊維長0.01〜2000μmのカーボンナノチューブを含むものである請求項1記載の半導体ウェーハ用の吸着パッド。
- 熱可塑性樹脂コンパウンドの熱可塑性樹脂を、脂環式構造含有重合体とした請求項1又は2記載の半導体ウェーハ用の吸着パッド。
- 熱可塑性樹脂コンパウンドの熱可塑性樹脂を、ポリエーテルエーテルケトンあるいはポリブチレンテレフタレートとした請求項1、2、又は3記載の半導体ウェーハ用の吸着パッド。
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