JP5433095B1 - ウエハの分割方法及び分割装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハの分割方法は、割断用の改質層が形成されたウエハを分割し、インナーリング及びアウターリングから構成されるグリップリングに固定する方法である。まず、ダイシングテープでウエハがマウントされたダイシングフレームを固定し、ダイシングテープのウエハが貼着されている面の逆側の面からインナーリングを保持する押出部材でウエハを押し出し、ダイシングテープを拡張させてウエハを割断する。そして、ダイシングテープをインナーリングに押圧して、インナーリングの内側領域に位置するダイシングテープの延びを抑制した状態でアウターリングとインナーリングとを嵌合させて固定する。
【選択図】図1
Description
割断用の改質層が形成されたウエハを分割し、インナーリング及びアウターリングから構成されるグリップリングに固定するウエハの分割方法において、
ダイシングテープで前記ウエハがマウントされたダイシングフレームを固定し、
前記ダイシングテープの前記ウエハが貼着されている面の逆側の面から前記インナーリングを保持する押出部材で前記ウエハを押し出し、前記ダイシングテープを拡張させて前記ウエハを割断し、
ダイシングテープ押圧部材で前記ダイシングテープを前記インナーリングに押圧して、前記インナーリングと前記ダイシングテープ押圧部材とで前記ダイシングテープを狭持し、前記インナーリングの内側領域に位置する前記ダイシングテープの延びを抑制した状態で前記アウターリングと前記インナーリングとを嵌合させて固定する、
ことを特徴とする。
前記アウターリングの残りと前記インナーリングとを嵌合し、前記アウターリングと前記インナーリングとの間からの前記ダイシングテープのはみ出しを抑えることが好ましい。
割断用の改質層が形成されたウエハを分割し、インナーリング及びアウターリングから構成されるグリップリングに固定するウエハの分割装置において、
ダイシングテープで前記ウエハがマウントされたダイシングフレームを固定する固定機構と、
前記インナーリングを保持し、前記ダイシングテープの前記ウエハが貼着されている面の逆側の面から前記ウエハを押し出す押出装置と、
前記アウターリングを保持するアウターリング保持部材と、
前記ダイシングテープを前記インナーリングに押し付けるダイシングテープ押圧部材と、を備え、
前記押出装置が前記ウエハを押し出し、前記ダイシングテープを拡張させて前記ウエハを割断し、
前記ウエハを割断した後、前記ダイシングテープ押圧部材が前記ダイシングテープを前記インナーリングに押し付け、前記インナーリングと前記ダイシングテープ押圧部材とで前記ダイシングテープを狭持し、前記インナーリングの内側領域に位置する前記ダイシングテープの拡張を抑制した状態で前記アウターリング保持部材及び前記押出装置の相対移動により前記アウターリングと前記インナーリングとを嵌合させて固定する、
ことを特徴とする。
前記押出装置及び前記アウターリング保持部材の相対移動、並びに、前記ダイシングテープ押圧部材の移動を制御する制御装置と、を備え、
前記アウターリングの一部を前記インナーリングに嵌合させた後、前記アウターリング保持部材の駆動が停止し、
前記切断装置が前記ダイシングテープを切除し、
前記アウターリング保持部材の駆動が開始して、前記アウターリングの残りを前記インナーリングに嵌め、前記アウターリングと前記インナーリングとの間からの前記ダイシングテープのはみ出しを抑えることが好ましい。
2 分割装置
11 上部支持体
11a ダイシングフレーム狭持部
12 下部支持体
12a ダイシングフレーム狭持部
20 押出装置
21 昇降シリンダー
22 ボディ
23 歯車
24 押出部材
24a インナーリング係止部
24b 吸引孔
25 インナーリング保持部材
31 接続部材
32 駆動源
33 歯車
41 カッター
42 カッター支持部材
51 アウターリング保持部材
51a アウターリング係止部
52 ダイシングテープ押圧部材
60 集塵装置
70 静電気除去装置
80 制御装置
DF ダイシングフレーム
DT ダイシングテープ
IR インナーリング
OR アウターリング
W ウエハ
Ti チップ
Claims (4)
- 割断用の改質層が形成されたウエハを分割し、インナーリング及びアウターリングから構成されるグリップリングに固定するウエハの分割方法において、
ダイシングテープで前記ウエハがマウントされたダイシングフレームを固定し、
前記ダイシングテープの前記ウエハが貼着されている面の逆側の面から前記インナーリングを保持する押出部材で前記ウエハを押し出し、前記ダイシングテープを拡張させて前記ウエハを割断し、
ダイシングテープ押圧部材で前記ダイシングテープを前記インナーリングに押圧して、前記インナーリングと前記ダイシングテープ押圧部材とで前記ダイシングテープを狭持し、前記インナーリングの内側領域に位置する前記ダイシングテープの延びを抑制した状態で前記アウターリングと前記インナーリングとを嵌合させて固定する、
ことを特徴とするウエハの分割方法。 - 前記アウターリングの一部を前記インナーリングに嵌合させた後、前記インナーリングの外側領域に位置する前記ダイシングテープを前記インナーリングの外周に沿って切除し、
前記アウターリングの残りと前記インナーリングとを嵌合し、前記アウターリングと前記インナーリングとの間からの前記ダイシングテープのはみ出しを抑える、
ことを特徴とする請求項1に記載のウエハの分割方法。 - 割断用の改質層が形成されたウエハを分割し、インナーリング及びアウターリングから構成されるグリップリングに固定するウエハの分割装置において、
ダイシングテープで前記ウエハがマウントされたダイシングフレームを固定する固定機構と、
前記インナーリングを保持し、前記ダイシングテープの前記ウエハが貼着されている面の逆側の面から前記ウエハを押し出す押出装置と、
前記アウターリングを保持するアウターリング保持部材と、
前記ダイシングテープを前記インナーリングに押し付けるダイシングテープ押圧部材と、を備え、
前記押出装置が前記ウエハを押し出し、前記ダイシングテープを拡張させて前記ウエハを割断し、
前記ウエハを割断した後、前記ダイシングテープ押圧部材が前記ダイシングテープを前記インナーリングに押し付け、前記インナーリングと前記ダイシングテープ押圧部材とで前記ダイシングテープを狭持し、前記インナーリングの内側領域に位置する前記ダイシングテープの拡張を抑制した状態で前記アウターリング保持部材及び前記押出装置の相対移動により前記アウターリングと前記インナーリングとを嵌合させて固定する、
ことを特徴とするウエハの分割装置。 - 前記押出装置の周囲を旋回し、前記インナーリングに沿って前記インナーリングの外側領域に位置する前記ダイシングテープを切除する切断装置と、
前記押出装置及び前記アウターリング保持部材の相対移動、並びに、前記ダイシングテープ押圧部材の移動を制御する制御装置と、を備え、
前記アウターリングの一部を前記インナーリングに嵌合させた後、前記アウターリング保持部材の駆動が停止し、
前記切断装置が前記ダイシングテープを切除し、
前記アウターリング保持部材の駆動が開始して、前記アウターリングの残りを前記インナーリングに嵌め、前記アウターリングと前記インナーリングとの間からの前記ダイシングテープのはみ出しを抑える、
ことを特徴とする請求項3に記載のウエハの分割装置。
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