JP2007316007A - 光信号測定装置及び方法 - Google Patents

光信号測定装置及び方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007316007A
JP2007316007A JP2006148314A JP2006148314A JP2007316007A JP 2007316007 A JP2007316007 A JP 2007316007A JP 2006148314 A JP2006148314 A JP 2006148314A JP 2006148314 A JP2006148314 A JP 2006148314A JP 2007316007 A JP2007316007 A JP 2007316007A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
wavelength
measured
optical signal
receiving surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2006148314A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuhiro Iga
光博 伊賀
Makoto Komiyama
誠 小宮山
Kodai Murayama
広大 村山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2006148314A priority Critical patent/JP2007316007A/ja
Publication of JP2007316007A publication Critical patent/JP2007316007A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

【課題】コストの上昇及び大型化を招くことなく広い波長範囲を波長分解能を低下させることなく均一な波長分解能で測定することができる光信号測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光信号測定装置10は、複数波長の光信号を含む被測定光を波長毎に異なる角度で射出する回折格子13、回折格子13から射出される被測定光を集光する集光レンズ14、及びフォトダイオードアレイモジュール15を備え、複数波長の光信号を波長毎に同時に測定する。フォトダイオードアレイモジュール15は、集光される被測定光がほぼ同一の径となるように、その受光面が集光レンズ14で集光される被測定光の進行方向に沿う方向(Y方向)に交差する方向(X方向)に対して所定の角度をなすよう配置されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、WDM (Wavelength Division Multiplexing:波長分割多重)信号等の複数波長の光信号を測定する光信号測定装置及び方法に関する。
複数の波長が多重されたWDM信号等の光信号の測定は、フィルタ素子又は回折格子等の波長分散素子を用いてWDM信号である被測定光を波長毎に分離し、この分離された被測定光を光検出器で受光することにより行われる。近年においては、測定に要する時間を短縮する観点から、回折格子等で分離された複数の波長を同時に測定するポリクロメータ型の光信号測定装置が開発されている。
図6は、従来のポリクロメータ型の光信号測定装置の要部構成を示す図である。図6に示す通り、従来の光信号測定装置100は、光ファイバ101、コリメートレンズ102、減偏光子103、回折格子104、集光レンズ105、光検出器としてのフォトダイオードアレイモジュール106、及び波長演算装置107を備えている。
光ファイバ101は、被測定光を伝送する伝送路であり、その端部101aから被測定光を射出する。コリメートレンズ102は、光ファイバ101の端部101aに対向して配置されており、光ファイバ101の端部101aから射出された被測定光を平行光に変換する。減偏光子103は、コリメートレンズ102から射出された被測定光をランダム偏光(非偏光)にするための素子である。例えば、コリメートレンズ102からの被測定光が直線偏光である場合には、ランダム偏光に変換する。
回折格子104は波長分散素子であり、被測定光を波長毎に異なる角度に回折することで分光する。この回折格子104は、コリメートレンズ102から射出された光を所望の角度に回折するため、コリメートレンズ102に対して傾けて設置してある。集光レンズ105は、回折格子104で回折される回折光の光路上に配置されており、回折格子104からの回折光を集光してフォトダイオードアレイモジュール106上に結像させる。
フォトダイオードアレイモジュール106は、受光素子であるフォトダイオードを複数備えており、集光レンズ105によって被測定光が集光される位置にその受光面が配置されている。このフォトダイオードアレイモジュール106は、被測定光の光パワーを受光素子によってサンプリングし、サンプリングデータを測定データとして出力する。尚、フォトダイオードアレイモジュール106は、受光素子ごとに予め波長が割り当てられている。波長演算装置107は、フォトダイオードアレイモジュール106から出力される測定データから被測定光の波長毎の光パワーを求める。
上記構成において、光ファイバ101から射出された被測定光は、コリメートレンズ102で平行光に変換される。コリメートレンズ102を透過した被測定光は、減偏光子103でランダム偏光に変換された後に回折格子104に入射し、回折格子104によって波長毎に分光される。即ち、波長毎に異なる角度で回折されることにより分光される。回折格子104によって分光された被測定光は、集光レンズ105によって集光されてフォトダイオードアレイモジュール106の受光面に結像する。このとき、分光された被測定光は、波長毎に受光面の異なる位置に結像する。
これにより、フォトダイオードアレイモジュール106の各受光素子からは、被測定光の光パワーに対応する電流(光電流)が出力される。尚、図6では図示を省略しているが、フォトダイオードアレイモジュール106は電圧変換部及びA/D変換部を備えており、各受光素子から出力された光電流は電圧変換部によって電圧に変換され、A/D変換部によってディジタル信号に変換される。ディジタル信号に変換された信号(測定データ)は波長演算装置107に出力され、波長演算装置107において被測定光の波長毎の光パワーが求められる。
具体的には、フォトダイオードアレイモジュール106の各受光素子に割り当てられた波長から被測定光の波長を求め、この波長とフォトダイオードアレイモジュール106からの測定データとを対応付ける。これにより、波長毎の光パワーを示すグラフが求められる。そして、波長演算装置107は、このグラフを液晶表示装置等の表示装置(図示省略)に表示し、或いは外部の装置(図示省略)に
出力する。このように、被測定光が複数の波長の光信号を含んでいても、被測定光は回折格子104によって波長毎に異なる角度で回折されてフォトダイオードアレイモジュール106の受光面の異なる位置に結像されるため、回折格子104を固定したままで(回転させることなく)複数の波長の光信号を同時に測定することができる。
尚、以上説明した従来の光信号測定装置の詳細については、例えば以下の非特許文献1を参照されたい。
三瓶 義広、他7名、"メトロ向け小型・薄型WDMモニタ"、ANDO技報、Oct.2002、p.46−52
ところで、上述した従来の光信号測定装置100は、主として光通信分野において用いられており、その測定波長範囲は1430〜1470nm程度の約40nmである。従来の光信号測定装置100は、測定波長範囲がほぼ定まっている光通信分野に用いる場合には測定上の問題が生じないが、より広い波長範囲を測定する用途に使用しようとすると問題が生ずることが考えられる。
具体的には、例えば波長測定範囲を100nm以上の広帯域とした場合には、コリメートレンズ102及び集光レンズ105での波長分散が大きくなり、波長に応じて被測定光の結像位置誤差(焦点距離誤差)が生じてしまう。この焦点距離誤差が生ずると、被測定光がフォトダイオードアレイモジュール106の受光面に正しく結像しなくなり、ビームスポット径が波長によって異なってしまい、波長分解能の劣化につながる。
一般的に、かかる誤差を補正するには、例えば色消しレンズ等のレンズを複数組み合わせて波長分散をキャンセルすることにより行われるが、波長範囲が広範である場合には、レンズ設計が難しくなるとともに必要となるレンズが多くなり、光信号測定装置のコストが上昇するとともに大型化してしまう。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、コストの上昇及び大型化を招くことなく広い波長範囲を波長分解能を低下させることなく均一な波長分解能で測定することができる光信号測定装置及び方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の光信号測定装置は、複数波長の光信号を含む被測定光を波長毎に異なる角度で射出する波長分散素子(13)と、前記波長分散素子から射出される前記被測定光を集光する集光素子(14)と、前記集光素子で集光される前記被測定光を検出する光検出素子(15)とを備え、複数波長の光信号を波長毎に測定する光信号測定装置(10)において、前記光検出素子は、集光される前記被測定光がほぼ同一の径となるように、その受光面が前記集光素子で集光される前記被測定光の進行方向に沿う第1方向(Y方向)に交差する第2方向(X方向)に対して所定の角度をなすよう配置されていることを特徴とする。
この発明によると、波長分散素子で波長毎に異なる角度で射出された被測定光は集光素子で集光されて、受光面が被測定光の進行方向に沿う第1方向に交差する第2方向に対して所定の角度をなすよう配置されている光検出素子の受光面に結像する。
また、本発明の光信号測定装置は、前記光検出素子の前記第1方向における位置及び前記受光面の前記第2方向に対する角度の少なくとも一方を調整可能な調整機構(21)を備えることを特徴としている。
また、本発明の光信号測定装置は、前記光検出素子の検出結果に基づいて、前記調整機構を駆動して前記光検出素子の前記第1方向における位置及び前記受光面の前記第2方向に対する角度の少なくとも一方を制御する制御装置(24)を備えることを特徴としている。
ここで、本発明の光信号測定装置は、前記光検出素子の検出結果を積分する積分器(23)を備えており、前記制御装置は、前記積分器の積分値が最大となるように前記調整機構を制御することを特徴としている。
或いは、本発明の光信号測定装置は、測定すべき前記信号光の波長を入力する入力装置(31)と、前記信号光の波長と前記集光素子による集光位置のずれ量との関係を記憶する記憶装置(32)と、前記入力装置から入力された前記信号光の波長と前記記憶装置の記憶内容とに基づいて、測定すべき前記信号光の集光位置を求め、当該集光位置が前記光検出素子の受光面上に位置するように前記調整機構を制御する制御装置(33)とを備えることを特徴としている。
上記課題を解決するために、本発明の光信号測定方法は、複数波長の光信号を含む被測定光を波長分散素子で波長毎に異なる角度で射出し、前記波長分散素子から射出された前記被測定光を集光素子で集光し、前記集光素子で集光される前記被測定光を光検出素子で検出する光信号測定方法において、前記被測定光を測定する前に、集光される前記被測定光がほぼ同一の径となるように、受光面が前記集光素子で集光される前記被測定光の進行方向に沿う第1方向に交差する第2方向に対して所定の角度をなすよう前記光検出素子を配置する工程を含むことを特徴とする。
また、本発明の光信号測定方法は、前記光検出素子の検出結果を積分する工程と、前記積分値が最大となるように前記光検出素子の前記第1方向における位置及び前記受光面の前記第2方向に対する角度の少なくとも一方を調整する工程とを含むことを特徴としている。
或いは、本発明の光信号測定方法は、前記信号光の波長と前記集光素子による集光位置のずれ量との関係を予め記憶する工程と、測定すべき前記信号光の波長を入力する工程と、入力された前記信号光の波長と前記予め記憶させた内容とに基づいて、測定すべき前記信号光の集光位置を求め、当該集光位置が前記光検出素子の受光面上に位置するように前記光検出素子を調整する工程とを含むことを特徴としている。
本発明によれば、光検出素子の受光面が被測定光の進行方向に沿う第1方向に交差する第2方向に対して所定の角度をなすよう配置されているため、広い波長範囲を波長分解能を低下させることなく均一な波長分解能で測定することができるという効果がある。また、光検出素子の受光面の角度を調整するだけであるので、色収差を補正するためのレンズを設計して組み込む場合に比べてコストの上昇及び装置の大型化を招くことはない。
また、本発明によれば、光検出素子の受光面の角度を自動的に調整することもでき、容易に調整を行うことができるという効果がある。
更に、本発明によれば、使用者の指定する波長をより高い波長分解能で測定することができるという効果もある。
以下、図面を参照して本発明の実施形態による光信号測定装置及び方法について詳細に説明する。尚、以下の説明においては、必要に応じて図中にXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。
〔第1実施形態〕
図1は、本発明の第1実施形態による光信号測定装置の要部構成を示す図である。図1に示す通り、本実施形態の光信号測定装置10は、光ファイバ11、コリメートレンズ12、回折格子13(波長分散素子)、集光レンズ14(集光素子)、フォトダイオードアレイモジュール15(光検出素子)、及び波長演算装置16を備えている。
光ファイバ11は、複数波長の光信号を含む被測定光を伝送する伝送路であり、その端部11aから被測定光を射出する。尚、図1に示す例では、被測定光は光ファイバ11の端部11aから+X方向に射出される。コリメートレンズ12は、光ファイバ11の端部11aの+X側に配置されており、光ファイバ11の端部11aから+X方向に射出された被測定光を平行光に変換する。
回折格子13は波長分散素子であり、コリメートレンズ12を介して+X方向に進む被測定光を波長毎に異なる角度に回折することで分光する。この回折格子13は、コリメートレンズ12から射出された光を所望の角度に回折するため、コリメートレンズ12に対して傾けて設置してある。尚、図1に示す例では、回折格子13に入射した被測定光は、略+Y方向に向けて回折される。集光レンズ14は、回折格子13で回折される回折光の光路上(回折格子13の+Y側)に配置されており、回折格子13からの回折光を集光してフォトダイオードアレイモジュール15上に結像させる。
フォトダイオードアレイモジュール15は、受光素子であるフォトダイオードを複数備えており、集光レンズ14の+Y側であって、集光レンズ14によって被測定光が集光される位置にその受光面が配置されている。このフォトダイオードアレイモジュール15は、被測定光の光パワーを受光素子によってサンプリングし、サンプリングデータを測定データとして出力する。尚、フォトダイオードアレイモジュール15は、受光素子ごとに予め波長が割り当てられている。
また、このフォトダイオードアレイモジュール15は、集光レンズ14で集光される被測定光がほぼ同一の径となるように、集光レンズ14で集光される被測定光の進行方向に沿う方向(Y方向:第1方向)に交差する方向(X方向:第2方向)に対して、その受光面が所定の角度θをなすように配置されている。これは、波長測定範囲を100nm以上の広帯域とした場合には、集光レンズ15での波長分散(色収差)に起因して波長に応じた被測定光の結像位置誤差(焦点距離誤差)が生じて波長分解能が低下したり、波長に応じて波長分解能が変化するのを極力防止するためである。
図2は、集光された被測定光がフォトダイオードアレイモジュール15の受光面15aに結像する様子を模式的に示す図である。尚、図2においては、フォトダイオードアレイモジュール15の受光面に符号15aを付してある。図2(a)はX軸に対する受光面15aの角度θを0°に設定した場合の図であり、図2(b)はX軸に対する受光面15aの角度θを0°以外の所定の角度に設定している場合の図である。
図2(a)に示す通り、X軸に対する受光面15aの角度θを0°に設定した場合において、波長λ2の光信号が受光面15aに結像するようフォトダイオードアレイモジュール15のY方向の位置が調整されているときには、波長λ2よりも長い波長λ1の光信号は焦点距離が長くなり、波長λ2よりも短い波長λ3の光信号は焦点距離が短くなる。この結果、波長λ1,λ3の光信号の径(スポット径)SP1,SP3は、波長λ2の光信号の径SP2よりも大きくなってしまう。これにより、図示の通り、受光面15a上の波長λ2の光信号の径SP2は1つの受光素子の大きさよりも小さくなるが、波長λ1,λ3の光信号の径SP1,SP3は1つの受光素子の大きさよりも大きくなり、これが原因で波長分解能の低下、及び波長分解能の波長依存性が引き起こされる。
これに対し、図2(b)に示す通り、X軸に対する受光面15aの角度θを0°以外の所定の角度に設定した場合において、波長λ2の光信号が受光面15aに結像するようフォトダイオードアレイモジュール15のY方向の位置が調整されているときには、波長λ1,λ2,λ3の光信号の焦点距離は図2(a)の場合と同様に長短があるが、波長λ1,λ2,λ3の光信号の何れもが受光面15aに結像する。この結果、波長λ1,λ2,λ3の光信号の径SP1,SP2,SP3はほぼ等しい大きさとなり、しかも全ての波長λ1,λ2,λ3の光信号の径SP1,SP2,SP3が1つの受光素子の大きさよりも小さくなる。よって、本実施形態では、波長分解能の低下、及び波長分解能の波長依存性が引き起こされることはない。
図1に戻り、波長演算装置16は、フォトダイオードアレイモジュール15から出力される測定データから被測定光の波長毎の光パワーを求める。尚、本実施形態の光信号測定装置10においても、図6に示す光信号測定装置100と同様に、被測定光をランダム偏光(非偏光)にするための減偏光子103を備えた構成であっても良い。
フォトダイオードアレイモジュール15のX軸に対する角度θの設定は、被測定信号の測定前(例えば、光信号測定装置10の出荷時の最終調整時)に行う。この角度θの設定を手動で行う場合は、例えば予め波長特性が既知の基準光を光ファイバ11から射出させつつ、作業者がフォトダイオードアレイモジュール15を回転させ、或いはY方向に移動させながらフォトダイオードアレイモジュール15の出力の総和(積分値)の変化をモニタし、その積分値が最大となる位置にフォトダイオードアレイモジュール15を固定することで行う。
以上説明した光信号測定装置10を用いた被測定光の測定は以下の手順で行われる。まず、光ファイバ11の端部11aから被測定光を射出させる。光ファイバ11から射出された被測定光は、コリメートレンズ12で平行光に変換される。コリメートレンズ12を透過した被測定光は回折格子13に入射し、回折格子13によって波長毎に分光される。即ち、波長毎に異なる角度で回折されることにより分光される。回折格子13によって分光された被測定光は、集光レンズ14によって集光されてフォトダイオードアレイモジュール15の受光面に結像する。このとき、分光された被測定光は、波長毎に受光面の異なる位置に結像する。
これにより、フォトダイオードアレイモジュール15の各受光素子からは、被測定光の光パワーに対応する電流(光電流)が出力される。尚、図1では図示を省略しているが、フォトダイオードアレイモジュール15は電圧変換部及びA/D変換部を備えており、各受光素子から出力された光電流は電圧変換部によって電圧に変換され、A/D変換部によってディジタル信号に変換される。ディジタル信号に変換された信号(測定データ)は波長演算装置16に出力され、波長演算装置16において被測定光の波長毎の光パワーが求められる。
具体的には、フォトダイオードアレイモジュール15の各受光素子に割り当てられた波長から被測定光の波長を求め、この波長とフォトダイオードアレイモジュール15からの測定データとを対応付ける。これにより、波長毎の光パワーを示すグラフが求められる。そして、波長演算装置16は、このグラフを液晶表示装置等の表示装置(図示省略)に表示し、或いは外部の装置(図示省略)に出力する。このように、被測定光が複数の波長の光信号を含んでいても、被測定光は回折格子13によって波長毎に異なる角度で回折されてフォトダイオードアレイモジュール15の受光面の異なる位置に結像されるため、回折格子13を固定したままで(回転させることなく)複数の波長の光信号を同時に測定することができる。
以上の通り、本実施形態では、フォトダイオードアレイモジュール15の受光面15aがX軸に対して所定の角度θに設定されているため、広い波長範囲を波長分解能を低下させることなく均一な波長分解能で測定することができる。また、本実施形態では受光面15aの角度を調整するだけであるので、色収差を補正するためのレンズを設計して組み込む場合に比べてコストの上昇及び装置の大型化を招くことはない。
〔第2実施形態〕
図3は、本発明の第2実施形態による光信号測定装置の要部構成を示す図である。尚、図3において、図1に示した構成と同一の構成については同一の符号を付してある。図2に示す通り、本実施形態の光信号測定装置20は、光ファイバ11、コリメートレンズ12、回折格子13、集光レンズ14、フォトダイオードアレイモジュール15、及び波長演算装置16に加えて、回転移動機構21、駆動装置22、積分器23、及び制御装置24を備える。
回転駆動機構21は、フォトダイオードアレイモジュール15がXY面内で回転可能であり、且つフォトダイオードアレイモジュール15がY方向に移動可能なようにフォトダイオードアレイモジュール15を載置する。駆動装置22は、制御装置24の制御の下で回転駆動機構21を駆動し、フォトダイオードアレイモジュール15をXY面内で回転させ、或いはY方向に移動させる。積分器23は、波長演算装置16で求められた被測定光の波長毎の光パワーを積分し、その値を出力する。制御装置24は、積分器23から出力される値に基づいて駆動装置22を制御し、フォトダイオードアレイモジュール15の角度θ及びY方向の位置を制御する。
上記構成において、例えば予め波長特性が既知の基準光を光ファイバ11の射出端11aから射出させると、その基準光はコリメートレンズ12を介して回折格子13に入射し、回折格子13によって波長毎に分光される。回折格子13によって分光された被測定光は、集光レンズ14によって集光されてフォトダイオードアレイモジュール15の受光面に結像する。このとき、分光された被測定光は、波長毎に受光面の異なる位置に結像する。
これにより、フォトダイオードアレイモジュール15の各受光素子からは、測定データが出力されて波長演算装置16に入力され、波長演算装置16において被測定光の波長毎の光パワーが求められる。波長演算装置16で求められた波長毎の光パワーは、積分器23で積分され、その積分値が制御装置24に入力される。制御装置24は、駆動装置22を制御してフォトダイオードアレイモジュール15をXY面内で回転させ、或いはY方向に移動させながら積分器23から出力される積分値の変化をモニタし、その積分値が最大となる位置にフォトダイオードアレイモジュール15を固定する。
前述した第1実施形態では、光信号測定装置10の出荷時における最終調整時に角度θ等を調整してフォトダイオードアレイモジュール15の位置を固定していたため、出荷後は調整を行うことができなかった。しかしながら、本実施形態によれば、出荷後においてもフォトダイオードアレイモジュール15の調整を行うことができるため、定期的にフォトダイオードアレイモジュール15の調整を行うことで、光信号測定装置20の性能を高いレベルに維持することができる。また、本実施形態によれば、出荷時の角度θの調整を自動で行うことができるという利点もある。
〔第3実施形態〕
図4は、本発明の第3実施形態による光信号測定装置の要部構成を示す図である。尚、図4において、図1又は図3に示した構成と同一の構成については同一の符号を付してある。図4に示す通り、本実施形態の光信号測定装置30は、光ファイバ11、コリメートレンズ12、回折格子13、集光レンズ14、フォトダイオードアレイモジュール15、波長演算装置16、回転移動機構21、及び駆動装置22に加えて、入力装置31、記憶装置32、及び制御装置33を備える。
入力装置31は、テンキー等の各種操作キーを備えており、使用者の操作に応じた操作信号を出力する。記憶装置32は、信号光の波長と集光レンズ14による集光位置(焦点位置)のずれ量との関係を記憶する。図5は、記憶装置32に記憶される信号光の波長と集光レンズ14による焦点位置のずれ量との関係の一例を示す図である。尚、図5においては縦軸に信号光の波長をとり、横軸に焦点位置のずれ量をとってある。図5に示す例では、焦点位置は波長の変化に伴って変化するが、そのずれ量は波長の変化に対して非線形的に変化していることがわかる。記憶装置32は、図5に示すような波長と焦点位置のずれ量との関係を記憶する。
制御装置33は、入力装置31から入力された信号光の波長と記憶装置32の記憶内容とに基づいてその信号光の焦点位置を求め、その焦点位置がフォトダイオードアレイモジュール15の受光面上に位置するように駆動装置22を制御する。つまり、使用者が測定すべき信号光の波長を指定した場合に、その波長で最も高い波長分解能が得られるようにフォトダイオードアレイモジュール15を調整する。
図5に示す通り、集光レンズ14による焦点位置は波長の変化に比例して変化する訳ではなく非線形に変化するため、フォトダイオードアレイモジュール15の受光面15aの角度を調整しても波長範囲の全てに亘って最も高い波長分解能が得られている訳ではない。但し、最も高い波長分解能が得られていないといっても、ある程度の波長分解能は得られている。本実施形態の光信号測定装置30は、極力高い分解能で測定を行おうとする使用者の要望に応えるものである。
上記構成において、使用者が入力装置31を入力して信号光の波長を入力すると、その波長を指定する操作信号が制御装置33に入力される。この操作信号が入力されると、制御装置33は、記憶装置32からその操作信号で指定される波長における焦点位置ずれ量を取得する。そして、取得した焦点位置ずれ量に応じて駆動装置22を駆動し、フォトダイオードアレイモジュール15のXY面内における回転量及びY方向における位置の少なくとも一方を制御する。これにより、その波長の信号光は、フォトダイオードアレイモジュール15の受光面上に結像することになる。
尚、フォトダイオードアレイモジュール15のXY面内における回転量を制御する場合には、図5に示す波長と焦点位置ずれ量との関係のみではなく、例えば波長毎の球面収差、批点収差等の特性を記憶装置32に記憶させておき、これらの特性も考慮して制御するのが望ましい。かかる制御を行うことにより、使用者に指定された波長以外の波長についての波長分解能をおおきく低下させることなく測定することができる。
以上説明した本発明の第3実施形態によれば、前述した第1実施形態で得られる効果に加えて、使用者の指定する波長をより高い波長分解能で測定することができるという効果がある。尚、第2実施形態の光信号測定装置20と第3実施形態の光信号測定装置30を組み合わせると、定期的にフォトダイオードアレイモジュール15の調整を行うことができるとともに、特定波長をより高い波長分解能で測定することが可能となる。
以上、本発明の実施形態による光信号測定装置及び方法について説明したが、本発明は上記実施形態に制限される訳ではなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、集光レンズ14により焦点距離誤差が生ずる場合を例に挙げて説明したが、コリメートレンズ12が原因が焦点距離誤差が生ずる場合にも、フォトダイオードアレイモジュール15を同様の方法で調整することにより波長分解能の低下、及び波長分解能の波長依存性を防止することができる。
本発明の第1実施形態による光信号測定装置の要部構成を示す図である。 集光された被測定光がフォトダイオードアレイモジュール15の受光面15aに結像する様子を模式的に示す図である。 本発明の第2実施形態による光信号測定装置の要部構成を示す図である。 本発明の第3実施形態による光信号測定装置の要部構成を示す図である。 記憶装置32に記憶される信号光の波長と集光レンズ14による焦点位置のずれ量との関係の一例を示す図である。 従来のポリクロメータ型の光信号測定装置の要部構成を示す図である。
符号の説明
10,20,30 光信号測定装置
13 回折格子
14 集光レンズ
15 フォトダイオードアレイモジュール
21 回転移動機構
24 制御装置
31 入力装置
32 記憶装置
33 制御装置

Claims (8)

  1. 複数波長の光信号を含む被測定光を波長毎に異なる角度で射出する波長分散素子と、前記波長分散素子から射出される前記被測定光を集光する集光素子と、前記集光素子で集光される前記被測定光を検出する光検出素子とを備え、複数波長の光信号を波長毎に測定する光信号測定装置において、
    前記光検出素子は、集光される前記被測定光がほぼ同一の径となるように、その受光面が前記集光素子で集光される前記被測定光の進行方向に沿う第1方向に交差する第2方向に対して所定の角度をなすよう配置されていることを特徴とする光信号測定装置。
  2. 前記光検出素子の前記第1方向における位置及び前記受光面の前記第2方向に対する角度の少なくとも一方を調整可能な調整機構を備えることを特徴とする請求項1記載の光信号測定装置。
  3. 前記光検出素子の検出結果に基づいて、前記調整機構を駆動して前記光検出素子の前記第1方向における位置及び前記受光面の前記第2方向に対する角度の少なくとも一方を制御する制御装置を備えることを特徴とする請求項2記載の光信号測定装置。
  4. 前記光検出素子の検出結果を積分する積分器を備えており、
    前記制御装置は、前記積分器の積分値が最大となるように前記調整機構を制御することを特徴とする請求項3記載の光信号測定装置。
  5. 測定すべき前記信号光の波長を入力する入力装置と、
    前記信号光の波長と前記集光素子による集光位置のずれ量との関係を記憶する記憶装置と、
    前記入力装置から入力された前記信号光の波長と前記記憶装置の記憶内容とに基づいて、測定すべき前記信号光の集光位置を求め、当該集光位置が前記光検出素子の受光面上に位置するように前記調整機構を制御する制御装置と
    を備えることを特徴とする請求項2記載の光信号測定装置。
  6. 複数波長の光信号を含む被測定光を波長分散素子で波長毎に異なる角度で射出し、前記波長分散素子から射出された前記被測定光を集光素子で集光し、前記集光素子で集光される前記被測定光を光検出素子で検出する光信号測定方法において、
    前記被測定光を測定する前に、集光される前記被測定光がほぼ同一の径となるように、受光面が前記集光素子で集光される前記被測定光の進行方向に沿う第1方向に交差する第2方向に対して所定の角度をなすよう前記光検出素子を配置する工程を含むことを特徴とする光信号測定方法。
  7. 前記光検出素子の検出結果を積分する工程と、
    前記積分値が最大となるように前記光検出素子の前記第1方向における位置及び前記受光面の前記第2方向に対する角度の少なくとも一方を調整する工程と
    を含むことを特徴とする請求項6記載の光信号測定方法。
  8. 前記信号光の波長と前記集光素子による集光位置のずれ量との関係を予め記憶する工程と、
    測定すべき前記信号光の波長を入力する工程と、
    入力された前記信号光の波長と前記予め記憶させた内容とに基づいて、測定すべき前記信号光の集光位置を求め、当該集光位置が前記光検出素子の受光面上に位置するように前記光検出素子を調整する工程と
    を含むことを特徴とする請求項6記載の光信号測定方法。
JP2006148314A 2006-05-29 2006-05-29 光信号測定装置及び方法 Withdrawn JP2007316007A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006148314A JP2007316007A (ja) 2006-05-29 2006-05-29 光信号測定装置及び方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006148314A JP2007316007A (ja) 2006-05-29 2006-05-29 光信号測定装置及び方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007316007A true JP2007316007A (ja) 2007-12-06

Family

ID=38849983

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006148314A Withdrawn JP2007316007A (ja) 2006-05-29 2006-05-29 光信号測定装置及び方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007316007A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014007291A1 (ja) * 2012-07-04 2014-01-09 住友電気工業株式会社 分光撮像装置調整方法および分光撮像システム
JP5903700B1 (ja) * 2015-05-07 2016-04-13 株式会社ジェネシア マルチチャンネル分光器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0694528A (ja) * 1992-09-09 1994-04-05 Shimadzu Corp 分光分析装置
JPH10227693A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Nec Corp 分光計
JP2000055733A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Soma Kougaku:Kk マルチチャンネル分光計
JP2003204302A (ja) * 2002-01-08 2003-07-18 Yokogawa Electric Corp Wdm信号モニタ
JP2006047270A (ja) * 2004-07-05 2006-02-16 Shimadzu Corp 波長可変単色光源

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0694528A (ja) * 1992-09-09 1994-04-05 Shimadzu Corp 分光分析装置
JPH10227693A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Nec Corp 分光計
JP2000055733A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Soma Kougaku:Kk マルチチャンネル分光計
JP2003204302A (ja) * 2002-01-08 2003-07-18 Yokogawa Electric Corp Wdm信号モニタ
JP2006047270A (ja) * 2004-07-05 2006-02-16 Shimadzu Corp 波長可変単色光源

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014007291A1 (ja) * 2012-07-04 2014-01-09 住友電気工業株式会社 分光撮像装置調整方法および分光撮像システム
CN104718440A (zh) * 2012-07-04 2015-06-17 住友电气工业株式会社 分光成像装置调整方法和分光成像系统
JP5903700B1 (ja) * 2015-05-07 2016-04-13 株式会社ジェネシア マルチチャンネル分光器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7397561B2 (en) Spectroscopy system
JP5966982B2 (ja) 共焦点計測装置
CN1498340A (zh) 基于可变滤波器的光学分光计
JP2010060548A (ja) ハイパースペクトル走査装置およびその方法
JP5541972B2 (ja) 走査型共焦点顕微鏡
JP2012127901A (ja) 分光検出装置
JP2006138734A (ja) 光スペクトラムアナライザ
JP6615604B2 (ja) 共焦点変位計
JP4645176B2 (ja) 分光顕微鏡装置
JP2009121986A (ja) 分光装置
JP2000304614A (ja) 分光装置
JP2007316007A (ja) 光信号測定装置及び方法
KR101620594B1 (ko) 다기능 분광장치
JP5016571B2 (ja) 光スペクトルモニタ
JP5558927B2 (ja) 分光器
JP2006343223A (ja) フォトダイオードアレイ
JP2006189640A (ja) レーザ走査型顕微鏡
US11976971B2 (en) Spectrograph recycling
US11092727B2 (en) High-resolution single photodiode spectrometer using a narrowband optical filter
US20150153247A1 (en) Optical sensor interrogation system a method of manufacturing the optical sensor interrogation system
JP2008107274A (ja) 焦点位置測定装置
JP3861792B2 (ja) 分光方法
JP4122514B2 (ja) 分光装置
JP2005062202A (ja) 分光装置
JP2000304613A (ja) 分光装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20090210

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Effective date: 20110421

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110510

A761 Written withdrawal of application

Effective date: 20110524

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761