JPH0694528A - 分光分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 アレー形光検出器の基板と入口スリットとが
干渉するのを防ぎ、かつアレー形光検出器上で最適な結
像を得られるように焦点合わせを容易に行なうことがで
きるようにする。 【構成】 凹面回折格子１６の分散側に平面反射鏡２２
が設けられ、平面反射鏡２２による反射光を受光する位
置にアレー形光検出器２０が設けられ、アレー形光検出
器２０は測定波長範囲の中心波長の回折光が回折格子１
６の中心から進む方向に対して平行になるように受光面
の方向が定められたている。平面反射鏡２２とアレー形
光検出器２０は一体のホルダ２６に取りつけられ、ホル
ダ２６は測定波長範囲の中心波長の回折光が回折格子１
６の中心から進む方向とアレー形光検出器２０の受光面
との平行関係を維持した状態で摺動可能にこの分光器に
取りつけられている。ポリクロメータケース１０の開口
部にすき間が生ずることなくアレー形光検出器２０の受
光面上での回折光の結像を調整することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は種々の試料の透過吸収測
定や反射吸収測定を測定する分光分析装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】分光分析装置に用いる分光及び検出部と
しては、シリコンホトダイオードアレーやＰｂＳアレー
などのアレー形光検出器をポリクロメータと組み合わせ
て、短時間に広い波長範囲のスペクトル測定ができるよ
うにしたものがある。その基本的な構成は図９に示され
る通りである。ポリクロメータ１では入口スリット２に
結像して入射した測定光が凹面回折格子３で回折され、
その回折光がアレー形光検出器４上に結像し、検出器４
の位置に対応して多数の波長の光強度が検出される。ア
レー形光検出器４としては、可視・紫外用の分光分析装
置ではシリコンホトダイオードアレーを用いるのが一般
的であり、また近赤外波長域ではＰｂＳなどのアレー形
光検出器が用いられている。これらの光検出器の取りつ
けには、信号処理系などの周辺回路又はコネクタなどを
含む基板５上に光検出器を実装し、その基板５をポリク
ロメータ１のケースに取りつけている。

【０００３】可視・紫外又は近赤外域の光を試料に照射
し、その反射特性又は透過特性を測定して試料を定量的
又は定性的に分析する分光分析装置においては、測定精
度を向上させるために光学系統を測定光と参照光を有す
るダブルビーム方式としたものがある。また、分光分析
装置の応用として光ファイバを用いた遠隔測定を行なう
ことができるようにしたものが知られている。これは分
光分析装置からの測定光を光ファイバによって装置外部
に導出し、装置に取りつけることの困難な大型試料や不
定形の試料の測定を行なったり、パイプラインや生産ラ
インなど流動又は移動する試料を連続的に測定するため
などに用いられている。この目的に使用される光ファイ
バには、素線を束ねた所謂バンドル光ファイバと、素線
のままの光ファイバとがあるが、いずれの場合も光ファ
イバへの光束の導入部、試料照射部、試料からの反射光
又は透過光を別の光ファイバで受ける受光部、及び受光
した光を分光分析装置の測光部に導入する手段などが必
要である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図９に示されるような
ポリクロメータ形分光器においては、回路基板５は回路
構成やアレー形光検出器４の種類などにもよるが、ある
程度の大きさをもち、特にアレー形光検出器４がＰｂＳ
素子の場合には半導体プロセスによってマルチプレクサ
やプリアンプなどを一体的に成形することが困難である
ため、大きな外づけ回路が必要となり、基板５の寸法が
かなりの大きさになる。基板寸法が大きい場合には光学
系の設計によっては基板５と入口スリット２が干渉して
装置を構成することができない場合が生じる。その問題
を解決するためには、回折角θが大きくなるように光学
系を設計することが考えられる。しかし、回折角θを大
きくとると、回折格子分光器の特性によって広い波長範
囲の光を限定された長さのアレー形光検出器４上に分散
させることが困難になる。この点は、特に測定波長範囲
の広い近赤外用の装置において大きな問題となる。例え
ば可視形の装置の測定範囲は高々３５０〜７００ｎｍ
で、幅では３５０ｎｍ程度であるのに対し、近赤外形の
装置では例えば１０００〜２５００ｎｍ、幅では１５０
０ｎｍの波長範囲の分散が要求される。この範囲をカバ
ーするためには回折格子の溝本数や焦点距離の最適化と
合わせて、回折角をなるべく小さくしなければならない
ので、基板５と入口スリット２の干渉の問題は簡単には
解決しない。

【０００５】さらに、別の問題としてアレー形光検出器
５の位置調整がある。回折格子などの光学素子や機械部
品の誤差などによってアレー形光検出器４上で最適な結
像が得られない場合には、アレー形光検出器４を図９の
矢印Ａ方向に移動させて焦点合わせを行なう必要があ
る。しかし、基板５とポリクロメータケースとの間にす
き間が生じて光洩れなどの問題が起こらないように、基
板５をＡ方向に移動させる構造を実現することは極めて
困難である。

【０００６】分光測定装置の測定部に設けられた試料の
反射特性の測定と、光ファイバを用いた遠隔測定とは全
く別の装置によって行なわれるか、又は同一の装置でこ
れらの２つの測定モードを切り換える場合には測光部や
測光部への光導入部などを大幅に交換することにより初
めて可能になるように構成されているのが一般的であ
る。そのため高価な分光分析装置本体を２台用意する必
要があったり、又は測定モードを変える度に非常な手間
と時間をかけて装置の一部を他のユニットに交換する必
要がある。特に測光系にポリクロメータを使用した分光
分析装置では、光ファイバ方式で測定する場合に光ファ
イバを通過する測定用光束と光ファイバを通過しない参
照用光束の２光束をポリクロメータに導入するための光
学系を構成することが困難であった。

【０００７】本発明の第１の目的は、ポリクロメータと
アレー形光検出器とを組み合わせた分光器において、ア
レー形光検出器の基板と入口スリットとが干渉するのを
防ぎ、かつアレー形光検出器上で最適な結像を得られる
ように焦点合わせを容易に行なうことができるようにす
ることである。本発明の第２の目的は、ダブルビーム方
式の分光分析装置において、測定部に設けた試料の反射
測定と、光ファイバを用いた遠隔測定とを容易に切り換
えることができるようにすることである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の分光分析装置
は、回折格子と、その回折格子の分散側に設けられ回折
光を反射して検出器側に向けて屈曲する平面反射鏡と、
その平面反射鏡による反射光を受光する位置に設けら
れ、測定波長範囲の中心波長の回折光が回折格子の中心
から進む方向に対して平行になるように受光面の方向が
定められたアレー形光検出器とを備え、平面反射鏡とア
レー形光検出器が一体のホルダに取りつけられ、測定波
長範囲の中心波長の回折光が回折格子の中心から進む方
向とアレー形光検出器受光面との平行関係を維持した状
態でホルダがアレー形光検出器受光面と平行な方向に摺
動可能に取りつけられている分光器を備えたものであ
る。

【０００９】測定光と参照光の２光束を有する本発明の
分光分析装置においては、測定部として、拡散反射測定
用試料が設置される開口、試料面上に結像する測定光を
入射させる測定光入射用光束導入用開孔、導入位置に結
像する参照光を試料以外の部分へ入射させる参照光入射
用光束導入用開孔及び分光器への光導入用開孔を有する
第１の積分球と、試料への測定光照射側光ファイバの入
射端が設置された開口部、測定光照射側光ファイバの入
射端面上に結像する入射測定光を入射させる測定光入射
用光束導入用開孔、導入位置に結像する参照光を測定光
照射側光ファイバの入射端面以外の部分へ入射させる参
照光入射用光束導入用開孔、分光器への光導入用開孔及
び試料からの測定光を受光する測定側光ファイバの端面
を分光器への光導入用開孔に対向した位置に配置した開
口部を有する第２の積分球とが交換可能に備えられてい
る。

【００１０】

【実施例】図１は一実施例の分光器を表わす。ポリクロ
メータケース１０の入口には視野レンズ１２を経て入口
スリット１４が設けられており、測定光は視野レンズ１
２及び入口スリット１４を通過してポリクロメータに入
射する。入射した測定光を回折するために、凹面回折格
子１６がホルダ１８によってポリクロメータケース１０
に固定されて支持されている。ポリクロメータケース１
０の壁面で、入口スリット１４が設けられている壁面と
は異なる壁面にアレー形光検出器２０が配置され、回折
格子１６によって回折された光をアレー形光検出器２０
の方向へ反射し屈曲させて導くために平面鏡２２が配置
されている。回折格子１６によって回折された光は平面
鏡２２によって反射され屈曲されてアレー形光検出器２
０の受光面上に入口スリット１４の単色像を結像する。
アレー形光検出器２０は周辺回路、コネクタなどととも
に基板２４に実装されている。

【００１１】基板２４と平面鏡２２は一体に成形された
ホルダ２６上に取りつけられている。ホルダ２６は鋳物
などの方法によって概略形状が成形され、平面鏡２２の
取りつけ面、基板２４の取りつけ面及びポリクロメータ
ケース１０との摺動面などが高精度に機械加工されたも
のである。ホルダ２６はポリクロメータケース１０の壁
面にあけられた開口部からミラー部分をポリクロメータ
内部に挿入する形で取りつけられている。ポリクロメー
タケース１０の開口はホルダ６の平面部及び図示されて
いない蓋によって塞がれ、内部は完全に遮光された状態
となっている。

【００１２】ホルダ２６とポリクロメータケース１０は
面当りになっており、取りつけねじ２８で仮止めされ、
ホルダ２６はポリクロメータケース１０の壁面に沿って
矢印Ｂ方向に摺動可能となっている。ねじ２８と押し圧
バネを併用してもよい。ポリクロメータケース１０の壁
面形状及び回折格子１６、平面鏡２２の光学設計は、測
定範囲の中心波長λ₀の回折格子１６の中心からの回折
方向と、アレー形光検出器２０の受光面とが平行になる
ように設計されている。ホルダ２６上で取りつけねじ２
８と反対側にはホルダ２６を矢印Ｂ方向に微調整するた
めに、ポリクロメータケース１０に対してホルダ２６を
移動させる微調整ねじ３０とホルダ２６を取りつけねじ
２８方向へ付勢する余圧バネ３２が設けられている。

【００１３】微調整ねじ３０を回転させることにより、
アレー形光検出器２０と平面鏡２２は一体をなして矢印
Ｂ方向に移動する。このとき、回折格子１６と平面鏡２
２の距離ａのみが変化し、平面鏡２２とアレー形光検出
器２０との間隔ｂは変化しない。また特定波長の回折光
がアレー形光検出器２０の受光面となす角も変化しな
い。したがって、アレー形光検出器２０のこのような移
動により回折格子１６からアレー形光検出器２０までの
距離を容易に調整することができ、この調整によってポ
リクロメータケース１０の開口部にすき間が生ずる問題
も発生させずにアレー形光検出器２０の受光面上での回
折光の結像を調整することができる。

【００１４】アレー形光検出器２０が実装されている基
板２４の背面には、アレー形光検出器２０や基板２４の
温度を調節するための温調ユニット３４が設けられてい
る。温調ユニット３４は伝熱板３６、電子冷熱素子とし
てのペルチェ素子３８及び放熱器４０から構成されてい
る。ペルチェ素子３８の電子冷熱効果によって伝熱板３
６を介してアレー形光検出器２０及び基板２４を冷却す
ることにより、温度変化によるアレー形光検出器２０の
ドリフトを防ぎ、また特にアレー形光検出器２０がＰｂ
Ｓアレー形光検出器である場合にはＳ／Ｎ比の改善など
の効果が期待できる。

【００１５】図２及び図３は図１の実施例においてアレ
ー形光検出器２０の温調ユニットを別のものにした例で
ある。図２は図１に対応した方向から見た図であり、図
３は図２のＸ方向から見た図である。この実施例では、
電子冷熱素子３８の放熱を、ヒートパイプ４２とそのヒ
ートパイプ４２に設けられた放熱フィン４４を介して行
なうようにしたものである。これによりアレー形光検出
器２０及び基板２４の放熱効果をより高め、また光学系
近傍での不要な熱の発生を抑えることができる。

【００１６】図１から図３に示される分光器によれば、
これら複雑な温調ユニットを取りつけた基板２４であっ
ても、ホルダ２６がポリクロメータケース１０に面当り
で取りつけられているため、位置の調整が容易に行なえ
るとともに、アレー形光検出器２０や基板２４を確実に
固定することができる。図２及び図３のような長尺のヒ
ートパイプ４２を基板２４の背面に取りつけた場合で
も、基板２４の固定及び位置調整を簡単で確実に行なう
ことができる。温調ユニット３４は、特性の温度依存性
の大きい近赤外用のアレー形光検出器において特に重要
である。

【００１７】図４から図７により拡散反射測定モードと
光ファイバを用いた遠隔測定モードを容易に切り換える
ことのできる分光分析装置の実施例を示す。図４と図５
は拡散反射測定用積分球を装着した場合、図６と図７は
光ファイバ利用の積分球を装着した場合を表わしてい
る。両測定モードは積分球を含む測定部でのみ構成が異
なっており、それ以外の構成は両測定モードについて共
通である。図４と図５についてまず説明する。集光系５
０を備えた光源５２からの光束が開孔５４上にフィラメ
ント像を結像する。５６は開孔５４によって制限された
光束を再び集光する集光レンズであり、集光レンズ５６
を経た光束を測定光５８と参照光６０に分割するために
ビームスプリッター６２が配置されている。ビームスプ
リッター６２で２分割された光束は、それぞれチョッパ
６４上に開孔５４の像を結像する。チョッパ６４はモー
タ６６により回転し、測定光５８と参照光６０を交互に
断続させることによってダブルビーム測光用の光束を作
成する。

【００１８】測定光５８と参照光６０はそれぞれの球面
反射鏡６８と７０によって集光されて拡散反射測定用積
分球７２に導入される。積分球７２は内面が使用波長域
で十分高い反射率をもつ材質でコーティングされた拡散
反射面の中空球である。反射鏡７０は参照光６０を積分
球入射窓７４上に開孔５４の像ができるように結像さ
せ、これにより窓７４の位置での光束寸法を小さくして
積分球７２の開孔比率を下げ、積分球７２の平均化効果
及び測光系に導入される光量を向上させている。窓７４
から入射した参照光６０は、積分球７２の対向する内球
面を照射し、球面によって拡散反射される。一方、測定
光５８は反射鏡６８によって積分球７２の拡散反射測定
用開孔７６の面上に開孔５４の像を結像するように集光
される。測定窓７６上には試料７８がホルダ８０によっ
て担持され、図示されていない押し圧機構によって積分
球７２の面に押し圧されている。試料７８は主として粉
末固体であるが、板状や液体のものなども測定すること
ができる。測定光５６が試料７６の面上に結像すること
によって、試料面上に明瞭な輪郭をもつ像を形成して、
測定範囲を明確化することができる。試料７８によって
拡散反射された測定光は積分球７２の内面で捉えられ
る。

【００１９】積分球７２の底部にはポリクロメータ８２
に測定光及び参照光を導入する導入孔があけられてお
り、その導入孔からポリクロメータ８２の視野レンズ１
２及び入口スリット１４を経てポリクロメータ８２に光
が導入される。ポリクロメータ８２は図１に示されたも
のであり、入口スリット１４を経て回折格子１６に入射
した光が分散され、平面鏡２２を経てアレー形光検出器
２０へ入射して測定がなされるものである。

【００２０】積分球７２は台８４に取りつけられてお
り、図に示されていないピンなどによって位置決めされ
たうえ、取りつけねじ８６で固定されている。ねじ８６
を緩めることにより、積分球７２を容易に脱着すること
ができる。台８４は連結脚８８を介してポリクロメータ
８２に接続されている。

【００２１】図６と図７は図４と図５の積分球７２を光
ファイバ利用の積分球９０に交換し、遠隔測定モードと
したものである。取りつけねじ８６を緩めて積分球７２
が積分球９０と交換されている。積分球９０には積分球
７２と同様に、測定光入射用開孔７５、参照光入射用開
孔７４が設けられている。参照光６０は図５，６の拡散
反射測定の場合と同様に開孔７４に結像して積分球９０
に入射する。

【００２２】一方、積分球９０の拡散反射測定部に相当
する位置には照射側バンドル光ファイバ９２が取りつけ
金具９４によって固定されている。バンドル光ファイバ
９２の入射端面は反射鏡６８（図４参照）によって開孔
５４の像が形成される位置に一致するようになってお
り、測定光束を照射側バンドル光ファイバ９２に効率よ
く取り込むことができる。バンドル光ファイバ９２の他
端は試料９６に向けて設置され、バンドル光ファイバ９
２に導入された光束によって試料９６が照射される。

【００２３】試料９６を透過した光は受光側バンドル光
ファイバ９８によって受光され、再び分光分析装置本体
に導入される。バンドル光ファイバ９８の他端は取りつ
け金具１００を介して積分球９０のポリクロメータ入口
スリット１４に対向する面に取りつけられている。取り
つけ金具１００の内部には集光レンズ１０２が設けられ
ており、バンドル光ファイバ９８の端面の像を入口スリ
ット１４上に結像させて、バンドル光ファイバ９８から
の光を効率よくポリクロメータ８２に導くようになって
いる。

【００２４】この測定モードによれば、照射側バンドル
光ファイバ９２の入射端面に開孔５４の像を、またポリ
クロメータ入口スリット１４上に受光側バンドル光ファ
イバ９８の端面の像をそれぞれ形成することにより、効
率よく測定光を取り込むことができる。ポリクロメータ
８２に入射した測定光は、図４，５の拡散反射測定の場
合と同様に、アレー形光検出器２０によって測光され
る。また、参照光も図４，５の拡散反射の場合と同様に
積分球９０の内球面で拡散反射された光がポリクロメー
タ８２に取り込まれ、同様に測定される。このように、
図４から図７の実施例では、測定光と参照光の光路を一
致させなくても積分球の拡散反射の効果によって、ポリ
クロメータ８２に２つの光束を導入することが可能であ
り、精度、安定性の優れたダブルビーム測定を行なうこ
とができる。しかも、この際、光ファイバによって減衰
の大きい測定用光束をより有効にポリクロメータ８２に
導入することができる。

【００２５】受光側バンドル光ファイバ９８の取りつけ
としては、図６，７のようにポリクロメータ８２の入口
スリット１４に対向する位置ではなく、積分球９０上の
他の位置に取りつけて測定光で積分球９０の内壁面を照
射し、ポリクロメータ８２に間接的に光を導入する方法
も可能である。しかし、その場合にはバンドル光ファイ
バ９８から出射する光を有効にポリクロメータ８２に取
り込むことが困難であり、光量の損失が多くなる。

【００２６】図８は更に他の実施例を表わしたものであ
り、試料の拡散反射測定モードと光ファイバ利用の遠隔
測定モードとを積分球を交換することなしに実施できる
ようにした例を示したものである。積分球１１０は基本
的には図４から図７に示された積分球７２や９０と同じ
であるが、ポリクロメータ入口スリットに対向する面上
にファイバ用開孔１１２を有し、その開孔１１２の周囲
と、拡散反射測定用開口７６の周囲にねじ穴１１４を有
している。開口１１２は内側を高反射率拡散反射光とさ
れた蓋１１６又は受光側バンドル光ファイバ９８の取り
つけ金具１１８がねじ１２０で取りつけられるようにな
っている。開口７８には試料７８が充填されたホルダ８
０又は照射側バンドル光ファイバ９２が取りつけ金具１
２２を介して、取りつけねじ１２４によって取りつけら
れるようになっている。

【００２７】図８の実施例では、拡散反射測定を行なう
ときは、開口１１２を蓋１１６で閉じ、開口７６には試
料７８を充填したホルダ８０をねじ１２４で取りつけて
測定を行なう。一方、光ファイバ利用の測定時には蓋１
１６を外し、受光側ファイバ９８を取りつけ金具１１８
を介してねじ１２０で取りつけ、開口７６にはホルダ８
０を外して金具１２２を介してねじ１２４で照射側ファ
イバ９２を取りつける。これにより、光ファイバによる
測定が可能となる。図８の実施例では拡散反射測定と光
ファイバによる測定とを一部の部品を交換するのみで切
り換えることができるようになり、積分球の交換までは
不要になる。

【００２８】以上の例では光ファイバは照射側、受光側
ともにバンドル光ファイバを用いる場合を例にして説明
しているが、これは光量の損失を抑えるためである。特
に受光側ファイバは積分球側の出射端を入口スリット１
４と相似形状とすることにより、ファイバ出射光を有効
にポリクロメータ８２に導入することができる。一方、
素材が高価な光ファイバをなるべく長くしてより離れた
位置での測定を可能とするために、バンドルを構成する
素線を減らしたり、又は素線１本だけを用いることも可
能である。その場合には光量の損失は大きくなるが、安
価に長尺の光ファイバを利用した測定をすることが可能
となる。このような、少ない本数のバンドル光ファイバ
又は素線の光ファイバを用いる場合であっても、本発明
により、光ファイバへの光束の導入又は光ファイバから
ポリクロメータへの光束の導入を効率的に行ない、かつ
参照側の光束もポリクロメータに導入したダブルビーム
方式の測光が可能である。

【００２９】

【発明の効果】本発明の分光器では、回折格子の分散側
に回折光を反射してアレー形光検出器検出器側に屈曲さ
せる平面反射鏡を設け、その平面反射鏡とアレー形光検
出器を一体のホルダに取りつけ、アレー形光検出器の受
光面の方向を測定波長範囲の中心波長の回折光が回折格
子の中心から進む方向に対して平行になるように維持し
てそのしホルダを摺動可能にしたので、そのホルダを移
動させることにより、回折格子と平面鏡の距離のみを変
化させ、回折格子からアレー形光検出器までの距離を容
易に調整することができるようになる。この調整によっ
てポリクロメータケースの開口部にすき間が生ずること
なくアレー形光検出器の受光面上での回折光の結像を調
整することができるようになる。

【００３０】本発明の分光測定装置では、拡散反射測定
用試料が設置される第１の積分球と光ファイバを利用す
る第２の積分球とを交換可能に備えているので、拡散反
射測定モードと光ファイバを用いた遠隔測定モードを容
易に切り換えることができる。また、測定光と参照光の
光路を一致させなくても積分球の拡散反射の効果によっ
て、分光器に２つの光束を導入することが可能であり、
精度、安定性の優れたダブルビーム測定を行なうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例の分光器を示す正面断面図である。

【図２】他の実施例の分光器を示す正面断面図である。

【図３】図２をＸ方向から見た上面図である。

【図４】分光分析装置の一実施例を拡散反射測定モード
で表わした平面断面図である。

【図５】図４の要部正面断面図である。

【図６】分光分析装置の同実施例を光ファイバを用いた
遠隔測定モードで表わした要部平面断面図である。

【図７】図６の要部正面断面図である。

【図８】分光分析装置の他の実施例の要部を示す分解斜
視図である。

【図９】従来の分光器を示す正面断面図である。

【符号の説明】

１０ ポリクロメータケース １４ 入口スリット １６ 凹面回折格子 ２０ アレー形光検出器 ２２ 平面鏡 ２６ ホルダ ３０ 微調整ねじ ５８ 測定光 ６０ 参照光 ７２，９０ 積分球 ７８ 試料 ８２ ポリクロメータ ９２，９８ バンドル光ファイバ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分光器を備えた分析装置において、前記
   分光器は、回折格子と、前記回折格子の分散側に設けら
   れ回折光を反射して検出器側に向けて屈曲する平面反射
   鏡と、前記平面反射鏡による反射光を受光する位置に設
   けられ、測定波長範囲の中心波長の回折光が前記回折格
   子の中心から進む方向に対して平行になるように受光面
   の方向が定められたアレー形光検出器とを備え、前記平
   面反射鏡とアレー形光検出器が一体のホルダに取りつけ
   られ、測定波長範囲の中心波長の回折光が前記回折格子
   の中心から進む方向と前記アレー形光検出器受光面との
   平行関係を維持した状態で前記ホルダが前記アレー形光
   検出器受光面と平行な方向に摺動可能にこの分光器に取
   りつけられていることを特徴とする分光分析装置。
2. 【請求項２】 測定光と参照光の２光束を有する分光分
   析装置において、測定部として、拡散反射測定用試料が
   設置される開口、前記試料面上に結像する測定光を入射
   させる測定光入射用光束導入用開孔、導入位置に結像す
   る参照光を前記試料以外の部分へ入射させる参照光入射
   用光束導入用開孔及び分光器への光導入用開孔を有する
   第１の積分球と、試料への測定光照射側光ファイバの入
   射端が設置された開口部、前記測定光照射側光ファイバ
   の入射端面上に結像する入射測定光を入射させる測定光
   入射用光束導入用開孔、導入位置に結像する参照光を前
   記測定光照射側光ファイバの入射端面以外の部分へ入射
   させる参照光入射用光束導入用開孔、分光器への光導入
   用開孔及び試料からの測定光を受光する測定側光ファイ
   バの端面を前記分光器への光導入用開孔に対向した位置
   に配置した開口部を有する第２の積分球とを交換可能に
   備えていることを特徴とする分光分析装置。