JP2000304613A - 分光装置 - Google Patents
分光装置Info
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- JP2000304613A JP2000304613A JP11113558A JP11355899A JP2000304613A JP 2000304613 A JP2000304613 A JP 2000304613A JP 11113558 A JP11113558 A JP 11113558A JP 11355899 A JP11355899 A JP 11355899A JP 2000304613 A JP2000304613 A JP 2000304613A
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- Japan
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- beam shape
- wavelength dispersion
- light
- dispersion element
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化が可能な分光装置を実現する。
【解決手段】 波長分散素子を用いた分光装置におい
て、入射光を平行光にするコリメーティングレンズと、
このコリメーティングレンズからの平行光のビームの断
面を拡張するビーム形状補正手段と、このビーム形状補
正手段の出力光を波長分散させる波長分散素子と、この
波長分散素子の出力を集光するフォーカシングレンズ
と、このフォーカシングレンズの出力光を検出する光検
出器とを設ける。
て、入射光を平行光にするコリメーティングレンズと、
このコリメーティングレンズからの平行光のビームの断
面を拡張するビーム形状補正手段と、このビーム形状補
正手段の出力光を波長分散させる波長分散素子と、この
波長分散素子の出力を集光するフォーカシングレンズ
と、このフォーカシングレンズの出力光を検出する光検
出器とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長分散素子を用
いた分光装置に関し、特に波長特性の高分解能化が可能
な分光装置に関する。
いた分光装置に関し、特に波長特性の高分解能化が可能
な分光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の分光装置では入射光を波長分散素
子である回折格子等に照射して波長分散された光を光検
出器で受光することにより波長毎に光を分離して検出す
るものである。
子である回折格子等に照射して波長分散された光を光検
出器で受光することにより波長毎に光を分離して検出す
るものである。
【０００３】図５はこのような従来の分光装置の一例を
示す構成図である。図５において１は外部から光源の出
力光、若しくは、光ファイバからの出射光が入射される
入射端、２はコリメーティングレンズ、３は回折格子等
の波長分散素子、４はフォーカシングレンズ、５はフォ
トダイオードアレイ等を用いた光検出器である。
示す構成図である。図５において１は外部から光源の出
力光、若しくは、光ファイバからの出射光が入射される
入射端、２はコリメーティングレンズ、３は回折格子等
の波長分散素子、４はフォーカシングレンズ、５はフォ
トダイオードアレイ等を用いた光検出器である。
【０００４】入射端１からの出力光はコリメーティング
レンズ２により平行光に変換されて波長分散素子３に入
射される。波長分散素子３からの波長分散された光はフ
ォーカシングレンズ４により集光されて光検出器５に入
射される。
レンズ２により平行光に変換されて波長分散素子３に入
射される。波長分散素子３からの波長分散された光はフ
ォーカシングレンズ４により集光されて光検出器５に入
射される。
【０００５】ここで、図５に示す従来例の動作を説明す
る。回折格子等の波長分散素子３に入射された光はその
波長により回折角が異なるので、それぞれ異なる方向に
回折光として出射され、フォーカシングレンズ４により
光検出器５を構成する各受光素子にそれぞれ集光され
る。
る。回折格子等の波長分散素子３に入射された光はその
波長により回折角が異なるので、それぞれ異なる方向に
回折光として出射され、フォーカシングレンズ４により
光検出器５を構成する各受光素子にそれぞれ集光され
る。
【０００６】例えば、図５中”ＦＰ０１”、”ＦＰ０
２”及び”ＦＰ０３”に位置する受光素子では異なる波
長の光が集光される。
２”及び”ＦＰ０３”に位置する受光素子では異なる波
長の光が集光される。
【０００７】回折格子等の波長分散素子３の回折の次数
を”ｍ”、回折格子等の波長分散素子３の格子定数を”
ｄ”、回折格子等の波長分散素子３への入射角及び出射
角を”ｉ”及び”θ”、波長を”λ”とすれば、 ｍλ／ｄ＝sinｉ＋sinθ （１） となる。
を”ｍ”、回折格子等の波長分散素子３の格子定数を”
ｄ”、回折格子等の波長分散素子３への入射角及び出射
角を”ｉ”及び”θ”、波長を”λ”とすれば、 ｍλ／ｄ＝sinｉ＋sinθ （１） となる。
【０００８】さらに、フォーカシングレンズ４の焦点距
離を”ｆ１”、光検出器５の受光素子の素子間隔を”Pi
tch”とし、式（１）を微分すれば、 ｄλ／ｄθ＝（ｄ／ｍ）・cosθ ＝ｄλ・ｆ１／Pitch （２） となる。
離を”ｆ１”、光検出器５の受光素子の素子間隔を”Pi
tch”とし、式（１）を微分すれば、 ｄλ／ｄθ＝（ｄ／ｍ）・cosθ ＝ｄλ・ｆ１／Pitch （２） となる。
【０００９】例えば、”λ＝１．５５［μｍ］”、格子
定数の本数”９００［ｌｉｎｅ／ｍｍ］”及び”３２
［ｎｍ］”の波長範囲で”１９０個”の受光素子とすれ
ば、平均波長分散は”３２／１９０＝約０．１７［ｎ
ｍ］”となる。
定数の本数”９００［ｌｉｎｅ／ｍｍ］”及び”３２
［ｎｍ］”の波長範囲で”１９０個”の受光素子とすれ
ば、平均波長分散は”３２／１９０＝約０．１７［ｎ
ｍ］”となる。
【００１０】従って、”Pitch＝５０［μｍ］”に対し
て”ｆ１＝１００［ｍｍ］”とすると、式（２）から出
射角θは”約７２°”となり、式（１）から入射角ｉ
は"約２６°”となる。
て”ｆ１＝１００［ｍｍ］”とすると、式（２）から出
射角θは”約７２°”となり、式（１）から入射角ｉ
は"約２６°”となる。
【００１１】また、コリメーティングレンズ２として焦
点距離ｆ２が”５０ｍｍ”のものを用いると回折格子等
の波長分散素子３の使用領域は入射端１の開口数及び波
長分散素子３への入射角で決まり、”１１．１［ｍ
ｍ］”の長軸の楕円となる。
点距離ｆ２が”５０ｍｍ”のものを用いると回折格子等
の波長分散素子３の使用領域は入射端１の開口数及び波
長分散素子３への入射角で決まり、”１１．１［ｍ
ｍ］”の長軸の楕円となる。
【００１２】Ｒｅｉｌｅｉｇｈ基準による理論分解能”
λ／Δλ”は波長分散素子３である回折格子の総溝本数
で求まるので” ９００×１１．１≒１００００ （３） であり、 λ／Δλ＝１．５５／Δλ＝１００００ （４） ∴Δλ＝１．５５／１００００≒０．１５［ｎｍ］ （５） となる。
λ／Δλ”は波長分散素子３である回折格子の総溝本数
で求まるので” ９００×１１．１≒１００００ （３） であり、 λ／Δλ＝１．５５／Δλ＝１００００ （４） ∴Δλ＝１．５５／１００００≒０．１５［ｎｍ］ （５） となる。
【００１３】また、結像の大きさ”ω”は、回折光のビ
ーム幅を”３．４［ｍｍ］”、フォーカシングレンズ４
に入射する光の半径と焦点距離との比を”ＮＡ”とすれ
ば、 ω＝２・λ／（π・ＮＡ） （６） となる。
ーム幅を”３．４［ｍｍ］”、フォーカシングレンズ４
に入射する光の半径と焦点距離との比を”ＮＡ”とすれ
ば、 ω＝２・λ／（π・ＮＡ） （６） となる。
【００１４】式（６）から結像の大きさは”５９［μ
ｍ］”なり、分解能は平均波長分散”０．１７ｎｍ／５
０μｍ”との積で”０．２［ｎｍ］”となり、理論分解
能“Δλ＝０．１５［ｎｍ］”をやや下回り適切な値と
なる。
ｍ］”なり、分解能は平均波長分散”０．１７ｎｍ／５
０μｍ”との積で”０．２［ｎｍ］”となり、理論分解
能“Δλ＝０．１５［ｎｍ］”をやや下回り適切な値と
なる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図５に示す従
来例では式（５）から分かるように分解能は回折格子等
の波長分散素子３で使用される領域の大きさに依存して
いるため、分解能を向上させるためには光学系を構成す
る光学部品を小さくすることが困難であり、装置の小型
化が困難であると言った問題点があった。従って本発明
が解決しようとする課題は、小型化が可能な分光装置を
実現することにある。
来例では式（５）から分かるように分解能は回折格子等
の波長分散素子３で使用される領域の大きさに依存して
いるため、分解能を向上させるためには光学系を構成す
る光学部品を小さくすることが困難であり、装置の小型
化が困難であると言った問題点があった。従って本発明
が解決しようとする課題は、小型化が可能な分光装置を
実現することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、波長分
散素子を用いた分光装置において、入射光を平行光にす
るコリメーティングレンズと、このコリメーティングレ
ンズからの前記平行光のビームの断面を拡張するビーム
形状補正手段と、このビーム形状補正手段の出力光を波
長分散させる波長分散素子と、この波長分散素子の出力
を集光するフォーカシングレンズと、このフォーカシン
グレンズの出力光を検出する光検出器とを備えたことに
より、光学系を大きくすることなく分解能の向上が図れ
るので小型化が可能になる。
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、波長分
散素子を用いた分光装置において、入射光を平行光にす
るコリメーティングレンズと、このコリメーティングレ
ンズからの前記平行光のビームの断面を拡張するビーム
形状補正手段と、このビーム形状補正手段の出力光を波
長分散させる波長分散素子と、この波長分散素子の出力
を集光するフォーカシングレンズと、このフォーカシン
グレンズの出力光を検出する光検出器とを備えたことに
より、光学系を大きくすることなく分解能の向上が図れ
るので小型化が可能になる。
【００１７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明である分光装置において、前記波長分散手段が、回折
格子であることにより、光学系を大きくすることなく分
解能の向上が図れるので小型化が可能になる。
明である分光装置において、前記波長分散手段が、回折
格子であることにより、光学系を大きくすることなく分
解能の向上が図れるので小型化が可能になる。
【００１８】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明である分光装置において、前記ビーム形状補正手段
が、プリズムであることにより、光学系を大きくするこ
となく分解能の向上が図れるので小型化が可能になる。
明である分光装置において、前記ビーム形状補正手段
が、プリズムであることにより、光学系を大きくするこ
となく分解能の向上が図れるので小型化が可能になる。
【００１９】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明である分光装置において、前記ビーム形状補正手段
が、前記コリメーティングレンズからの前記平行光を同
一平面上で相対する方向に１回づつ屈折するように同一
屈折角の２つのプリズムを配置したことにより、屈折角
の温度特性を補償することが可能になる。
明である分光装置において、前記ビーム形状補正手段
が、前記コリメーティングレンズからの前記平行光を同
一平面上で相対する方向に１回づつ屈折するように同一
屈折角の２つのプリズムを配置したことにより、屈折角
の温度特性を補償することが可能になる。
【００２０】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明である分光装置において、前記ビーム形状補正手段と
前記波長分散素子を一体化したことにより、格子定数の
小さな波長分散素子を用いる可能性があり、互いの位置
の調整が不要になるので信頼性が向上する。
明である分光装置において、前記ビーム形状補正手段と
前記波長分散素子を一体化したことにより、格子定数の
小さな波長分散素子を用いる可能性があり、互いの位置
の調整が不要になるので信頼性が向上する。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る分光装置の一実施例を示
す構成図である。図１において１，２，３，４及び５は
図５と同一符号を付してあり、６はプリズム等のビーム
形状補正手段である。
説明する。図１は本発明に係る分光装置の一実施例を示
す構成図である。図１において１，２，３，４及び５は
図５と同一符号を付してあり、６はプリズム等のビーム
形状補正手段である。
【００２２】入射端１からの出力光はコリメーティング
レンズ２により平行光に変換されビーム形状補正手段６
を介して回折格子等の波長分散素子３に入射される。回
折格子等の波長分散素子３からの回折光はフォーカシン
グレンズ４により集光されて光検出器５に入射される。
レンズ２により平行光に変換されビーム形状補正手段６
を介して回折格子等の波長分散素子３に入射される。回
折格子等の波長分散素子３からの回折光はフォーカシン
グレンズ４により集光されて光検出器５に入射される。
【００２３】ここで、図１に示す実施例を図２を用いて
説明する。図２はプリズム等のビーム形状補正手段６の
動作を説明する説明図であり、また、基本的な動作は図
５に示す従来例と同様であるので説明は省略する。
説明する。図２はプリズム等のビーム形状補正手段６の
動作を説明する説明図であり、また、基本的な動作は図
５に示す従来例と同様であるので説明は省略する。
【００２４】図２において入射角を”θｉ”、出射角
を”θｏ”、入射光断面を”Ｗｉ”、出射光断面を”Ｗ
ｏ”、ビーム形状補正手段６の媒質の屈折率を”ｎ”と
した場合、空気中では、 Ｗｏ／Ｗｉ＝cosθｏ／cosθｉ （７） sinθｏ＝sinθｉ／ｎ （８） なる関係を有する。
を”θｏ”、入射光断面を”Ｗｉ”、出射光断面を”Ｗ
ｏ”、ビーム形状補正手段６の媒質の屈折率を”ｎ”と
した場合、空気中では、 Ｗｏ／Ｗｉ＝cosθｏ／cosθｉ （７） sinθｏ＝sinθｉ／ｎ （８） なる関係を有する。
【００２５】例えば、ビーム形状補正手段６の媒質の屈
折率ｎを”１．５”、入射角θｉを”６０°”とした場
合、式（８）から屈折角θｏは”約３５°”となり、図
２中”ＩＳ０１”に示す入射光断面”Ｗｉ”と図２中”
ＯＳ０１”に示す出射光断面”Ｗｏ”との比”Ｗｏ／Ｗ
ｉ”は式（７）から”約１．６”となり、回折格子等の
波長分散素子に入射されるビーム形状が”約１．６倍”
に拡張される。
折率ｎを”１．５”、入射角θｉを”６０°”とした場
合、式（８）から屈折角θｏは”約３５°”となり、図
２中”ＩＳ０１”に示す入射光断面”Ｗｉ”と図２中”
ＯＳ０１”に示す出射光断面”Ｗｏ”との比”Ｗｏ／Ｗ
ｉ”は式（７）から”約１．６”となり、回折格子等の
波長分散素子に入射されるビーム形状が”約１．６倍”
に拡張される。
【００２６】このため、波長分解能も約１．６倍向上し
て従来例の”０．２［ｎｍ］”に対して”０．１２５
［ｎｍ］”となる。
て従来例の”０．２［ｎｍ］”に対して”０．１２５
［ｎｍ］”となる。
【００２７】この結果、回折格子等の波長分散素子３の
前段に入射光のビームの断面を拡張するビーム形状補正
手段６を設けることにより、同一形状の波長分散素子で
あっても波長分解能を向上させることが可能になる。言
い換えれば、光学系を大きくすることなく分解能の向上
が図れるので小型化が可能になる。
前段に入射光のビームの断面を拡張するビーム形状補正
手段６を設けることにより、同一形状の波長分散素子で
あっても波長分解能を向上させることが可能になる。言
い換えれば、光学系を大きくすることなく分解能の向上
が図れるので小型化が可能になる。
【００２８】なお、図１に示す実施例ではビーム形状補
正手段６として１つのプリズムを用いているが同一屈折
角のプリズムを２つ用いることにより、屈折角の温度特
性を補償することが可能になる。
正手段６として１つのプリズムを用いているが同一屈折
角のプリズムを２つ用いることにより、屈折角の温度特
性を補償することが可能になる。
【００２９】図３はビーム形状補正手段として同一形状
のプリズムを２つ用いた場合を示す説明図である。図３
において７ａ及び７ｂは同一屈折角のプリズムであり、
７ａ及び７ｂはビーム形状補正手段５０を構成してい
る。
のプリズムを２つ用いた場合を示す説明図である。図３
において７ａ及び７ｂは同一屈折角のプリズムであり、
７ａ及び７ｂはビーム形状補正手段５０を構成してい
る。
【００３０】図３中”ＩＬ０１”に示す入射光はプリズ
ム７ａによって紙面時計回りに屈折角”θｏ’”で屈折
されて図３中”ＯＬ０１”に示す出射光となる。さら
に、図３中”ＯＬ０１”に示す出射光はプリズム７ｂに
より紙面反時計回りに屈折角”θｏ’’”で屈折されて
図３中”ＯＬ０２”に示す出射光となる。
ム７ａによって紙面時計回りに屈折角”θｏ’”で屈折
されて図３中”ＯＬ０１”に示す出射光となる。さら
に、図３中”ＯＬ０１”に示す出射光はプリズム７ｂに
より紙面反時計回りに屈折角”θｏ’’”で屈折されて
図３中”ＯＬ０２”に示す出射光となる。
【００３１】すなわち、同一平面上で相対する方向に１
回づつ屈折されるため図３中”ＩＬ０１”に示す入射光
と図３中”ＯＬ０２”に示す出射光との角度は同一であ
り、且つ、ビーム形状が大きくなる。
回づつ屈折されるため図３中”ＩＬ０１”に示す入射光
と図３中”ＯＬ０２”に示す出射光との角度は同一であ
り、且つ、ビーム形状が大きくなる。
【００３２】このため、プリズム７ａ及び７ｂの温度特
性により屈折角が変動しても互いにその変動分は相殺さ
れるので、屈折角の温度特性の補償ができることにな
る。
性により屈折角が変動しても互いにその変動分は相殺さ
れるので、屈折角の温度特性の補償ができることにな
る。
【００３３】また、図１に示す実施例ではビーム形状補
正手段６と波長分散素子３を別個に記載しているが一体
化したものであっても構わない。図４はこのような波長
分散素子と一体化したプリズム等のビーム形状補正手段
の一例を示す構成図である。
正手段６と波長分散素子３を別個に記載しているが一体
化したものであっても構わない。図４はこのような波長
分散素子と一体化したプリズム等のビーム形状補正手段
の一例を示す構成図である。
【００３４】図４において３ａは回折格子等の波長分散
素子、８は波長分散素子３ａに一体形成されたプリズム
等のビーム形状補正手段である。図４中”ＩＬ１１”に
示す入射光は図４中”Ｓ００１”に示すビーム形状補正
手段８の表面で屈折してビームの断面が拡張されて端面
に設けられた波長分散素子３ａに入射する。波長分散素
子３ａで生じた回折光はビーム形状補正手段８内を伝播
して図４中”Ｓ００２”に示す表面で再び屈折して図４
中”ＯＬ１１”に示す出射光として出射される。
素子、８は波長分散素子３ａに一体形成されたプリズム
等のビーム形状補正手段である。図４中”ＩＬ１１”に
示す入射光は図４中”Ｓ００１”に示すビーム形状補正
手段８の表面で屈折してビームの断面が拡張されて端面
に設けられた波長分散素子３ａに入射する。波長分散素
子３ａで生じた回折光はビーム形状補正手段８内を伝播
して図４中”Ｓ００２”に示す表面で再び屈折して図４
中”ＯＬ１１”に示す出射光として出射される。
【００３５】この場合には、波長分散素子とビーム形状
補正手段とを一体化することにより、ビーム形状補正手
段８を構成する媒質内で回折が発生するため、格子定
数”ｄ”の小さな波長分散素子を用いる可能性がある。
また、一体化することにより互いの位置の調整が不要に
なるので信頼性が向上する。
補正手段とを一体化することにより、ビーム形状補正手
段８を構成する媒質内で回折が発生するため、格子定
数”ｄ”の小さな波長分散素子を用いる可能性がある。
また、一体化することにより互いの位置の調整が不要に
なるので信頼性が向上する。
【００３６】また、波長分散素子とビーム形状補正手段
を一体化する場合には波長分散素子３ａをビーム形状補
正手段８に貼りつけても、ビーム形状補正手段８に直接
形成しても構わない。
を一体化する場合には波長分散素子３ａをビーム形状補
正手段８に貼りつけても、ビーム形状補正手段８に直接
形成しても構わない。
【００３７】また、波長分散素子としては回折格子を例
示したが、回折格子のみならずエシュレ格子であっても
同様に用いることが可能である。
示したが、回折格子のみならずエシュレ格子であっても
同様に用いることが可能である。
【００３８】また、ビーム形状補正手段としてはプリズ
ムを例示したが、プリズムのみならず回折格子であって
も同様に用いることが可能である。
ムを例示したが、プリズムのみならず回折格子であって
も同様に用いることが可能である。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１，２及
び請求項３の発明によれば、回折格子等の波長分散素子
の前段に入射光のビーム形状を拡張するビーム形状補正
手段を設けることにより、同一形状の波長分散素子であ
っても波長分解能を向上させることが可能になる。言い
換えれば、光学系を大きくすることなく分解能の向上が
図れるので小型化が可能になる。
本発明によれば次のような効果がある。請求項１，２及
び請求項３の発明によれば、回折格子等の波長分散素子
の前段に入射光のビーム形状を拡張するビーム形状補正
手段を設けることにより、同一形状の波長分散素子であ
っても波長分解能を向上させることが可能になる。言い
換えれば、光学系を大きくすることなく分解能の向上が
図れるので小型化が可能になる。
【００４０】また、請求項４の発明によれば、ビーム形
状補正手段として同一屈折角のプリズムを２つ用いるこ
とにより、屈折角の温度特性を補償することが可能にな
る。
状補正手段として同一屈折角のプリズムを２つ用いるこ
とにより、屈折角の温度特性を補償することが可能にな
る。
【００４１】また、請求項５の発明によれば、波長分散
素子とビーム形状補正手段とを一体化することにより、
ビーム形状補正手段を構成する媒質内で回折が発生する
ため、格子定数の小さな波長分散素子を用いる可能性が
ある。また、一体化することにより互いの位置の調整が
不要になるので信頼性が向上する。
素子とビーム形状補正手段とを一体化することにより、
ビーム形状補正手段を構成する媒質内で回折が発生する
ため、格子定数の小さな波長分散素子を用いる可能性が
ある。また、一体化することにより互いの位置の調整が
不要になるので信頼性が向上する。
【図１】本発明に係る分光装置の一実施例を示す構成図
である。
である。
【図２】ビーム形状補正手段の動作を説明する説明図で
ある。
ある。
【図３】ビーム形状補正手段として同一形状のプリズム
を２つ用いた場合を示す説明図である。
を２つ用いた場合を示す説明図である。
【図４】波長分散素子と一体化したプリズム等のビーム
形状補正手段の一例を示す構成図である。
形状補正手段の一例を示す構成図である。
【図５】従来の分光装置の一例を示す構成図である。
１ 入射端 ２ コリメーティングレンズ ３，３ａ 波長分散素子 ４ フォーカシングレンズ ５ 光検出器 ６，８，５０ ビーム形状補正手段 ７ａ，７ｂ プリズム
Claims (5)
- 【請求項１】波長分散素子を用いた分光装置において、 入射光を平行光にするコリメーティングレンズと、 このコリメーティングレンズからの前記平行光のビーム
の断面を拡張するビーム形状補正手段と、 このビーム形状補正手段の出力光を波長分散させる波長
分散素子と、 この波長分散素子の出力を集光するフォーカシングレン
ズと、 このフォーカシングレンズの出力光を検出する光検出器
とを備えたことを特徴とする分光装置。 - 【請求項２】前記波長分散手段が、 回折格子であることを特徴とする請求項１記載の分光装
置。 - 【請求項３】前記ビーム形状補正手段が、 プリズムであることを特徴とする請求項１記載の分光装
置。 - 【請求項４】前記ビーム形状補正手段が、 前記コリメーティングレンズからの前記平行光を同一平
面上で相対する方向に１回づつ屈折するように同一屈折
角の２つのプリズムを配置したことを特徴とする請求項
１記載の分光装置。 - 【請求項５】前記ビーム形状補正手段と前記波長分散素
子を一体化したことを特徴とする請求項１記載の分光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11113558A JP2000304613A (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11113558A JP2000304613A (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | 分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000304613A true JP2000304613A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14615340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11113558A Withdrawn JP2000304613A (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | 分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000304613A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6885447B2 (en) | 2002-10-18 | 2005-04-26 | Yokogawa Electric Corporation | Spectrometer and optical spectrum analyzer |
| JP2011081132A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Olympus Corp | 分散素子、分光装置、及び波長選択スイッチ |
| CZ305559B6 (cs) * | 2014-12-10 | 2015-12-09 | Meopta- optika, s.r.o. | Optická soustava zobrazovacího spektrografu s vysokým rozlišením pro Ramanovu spektroskopii v hluboké UV oblasti záření |
| CZ305560B6 (cs) * | 2014-12-10 | 2015-12-09 | Meopta- optika, s.r.o. | Optická soustava zobrazovacího spektrografu s vysokým rozlišením pro Ramanovu spektroskopii v hluboké UV oblasti záření |
-
1999
- 1999-04-21 JP JP11113558A patent/JP2000304613A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6885447B2 (en) | 2002-10-18 | 2005-04-26 | Yokogawa Electric Corporation | Spectrometer and optical spectrum analyzer |
| JP2011081132A (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Olympus Corp | 分散素子、分光装置、及び波長選択スイッチ |
| CZ305559B6 (cs) * | 2014-12-10 | 2015-12-09 | Meopta- optika, s.r.o. | Optická soustava zobrazovacího spektrografu s vysokým rozlišením pro Ramanovu spektroskopii v hluboké UV oblasti záření |
| CZ305560B6 (cs) * | 2014-12-10 | 2015-12-09 | Meopta- optika, s.r.o. | Optická soustava zobrazovacího spektrografu s vysokým rozlišením pro Ramanovu spektroskopii v hluboké UV oblasti záření |
| US10190912B2 (en) | 2014-12-10 | 2019-01-29 | Meopata—Optika, S.R.O. | Optical system of a high-resolution imaging spectrograph for deep UV Raman spectroscopy |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040311 |
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