JP2007298421A - 光学系駆動装置 - Google Patents

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Hiroshi Ezawa
寛 江澤
Yoshiki Adachi
芳樹 足立
Takekazu Terui
武和 照井
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Abstract

【課題】投光レンズを二次元走査するレーザレーダ装置において、レンズホルダの剛性を劣化することなく駆動信号に対する応答特性を向上すること。
【解決手段】発光ダイオード28A,28Bと、この発光ダイオードから発せられた光を平行光束として所定空間領域に投光する投光レンズ10と、この投光レンズを支持するレンズホルダと、このレンズホルダを、基板54に対して移動可能に支持するワイヤバネ48A〜48Hと、上記レンズホルダを、上記投光レンズの光軸と垂直で互いに直交する二方向に駆動するための磁石90A〜90D,92A〜92D及びコイル18,22A,22Bと、を備える光学系駆動装置において、上記レンズホルダを、上記投光レンズ30の取り付け部を有する中空枠構造体とする。
【選択図】図7

Description

本発明は、光学素子を動かす光学系駆動装置に関わり、特に、レーザによる測距装置などに設けられるレンズを動かすことでレーザ光をスキャンする機構に好適な光学系駆動装置に関する。
車両にビデオカメラを搭載して前方や後方を監視する運転補助システムが実用化されている。このシステムは、車載カメラによる撮影画像を車内のモニタ装置に表示するものである。上記ビデオカメラとしてステレオカメラを用いることにより障害物までの距離測定を行うものもあるが、測距機能を独立させた方式として、例えばレーザレーダ装置が知られている。レーザレーダ装置は、レーザ光を走査しつつ投光窓から投光し、障害物からの反射光を受光して距離を算出する測距装置である。
上記のような車間距離等の測定に用いられるレーザレーダ装置において、投光レンズを二次元走査する方式にあっては、高速で安定したレーザビーム走査を達成するためには可動レンズホルダの剛性を高め、周波数応答特性を高めることが必須となる。そのためには、サスペンション定数を最適設定し、レンズホルダの剛性を下げることなく可動部の質量を低下すべく構成する必要がある。
特許文献1には、レーザ光をスキャンして測距する装置において、投光用レンズを備えたレンズホルダを複数本のコイルバネで支持した装置が開示されている。そのように投光用レンズをバネで支持することによって、装置を簡単にでき、小型化、低価格化などを図ることができる。
また、特許文献2には、同じく投光用レンズを備えたレンズホルダを板バネで支持し、板バネの固定部材への結合部近傍にダンプボックスを設け、ダンプボックス内にダンプ剤を充填し、板バネの制振を行っている装置が開示されている。
特開平10−123252号公報 特開平11−83988号公報
上記特許文献1の装置では、レンズを単純に走査するだけであるが、近年、測距の精度を高めるため、投光位置の制御、即ち、投光用レンズの位置制御をかけることが求められている。投光レンズの位置制御をするには、フィードバック制御をかけることになるが、応答速度を高めるには、制御の帯域を高域まで広くする必要がある。更に制御帯域を広げるには、可動部の剛性を高める必要がある。
上記特許文献1に開示の装置では、可動部のレンズホルダの構造については詳細に述べられておらず、単純な直方体形状となっている。これでは、可動部の質量が大きくなり、十分な剛性が確保できないという問題がある。特に、位置センサなどを搭載した場合には、レンズホルダが大きくなり剛性が低下してしまう。
また、上記特許文献2に開示の装置によれば、ダンプ剤により、板バネ起因の共振についてはそれを抑える効果がある。しかしながら、レンズホルダの共振に関しては、板バネの共振でないため、ダンプ剤による共振抑制は期待できない。そのため、上記特許文献2に開示の装置では、制御の帯域を十分に確保することが難しい。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、投光レンズを二次元走査するレーザレーダ装置において、レンズホルダの剛性を劣化することなく駆動信号に対する応答特性を向上することの可能な光学系駆動装置を提供することを目的とする。
本発明の光学系駆動装置の一態様は、
発光素子と、
この発光素子から発せられた光を平行光束として所定空間領域に投光する投光レンズと、
この投光レンズを支持するレンズホルダと、
このレンズホルダを、固定基板に対して移動可能に支持する弾性支持部材と、
上記レンズホルダを、上記投光レンズの光軸と垂直で互いに直交する二方向に駆動する駆動手段と、
を具備し、
上記レンズホルダは、上記投光レンズの取り付け部を有する中空枠構造体であることを特徴とする。
また、本発明の光学系駆動装置の別の態様は、
光学素子と、
この光学素子を保持するホルダと、
このホルダを、上記光学素子の光軸に垂直な方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、
上記ホルダを、上記光学素子の光軸と垂直な方向に移動させる駆動手段と、
を具備し、
上記ホルダは、第1の部材と第2の部材とにより形成され、
上記第1の部材の重心と上記第2の部材の重心とが、上記光学素子の光軸方向にずれている、
ことを特徴とする。
本発明によれば、投光レンズを二次元走査するレーザレーダ装置において、レンズホルダの剛性を劣化することなく駆動信号に対する応答特性を向上することの可能な光学系駆動装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
[第1実施形態]
まず、図1乃至図16を参照して、本発明の第1実施形態に係る光学系駆動装置を説明する。
なお、図1は本第1実施形態に係る光学系駆動装置の斜視図であり、図2は図3のA−A線で切った該光学系駆動装置全体の断面図、図3は図2のC−C線で切った断面図、図4は該光学系駆動装置全体の分解斜視図である。また、図5及び図6はカバーを取った状態の斜視図であり、図7乃至図9はそのカバーを取った状態での各々図3のA−A線、B−B線、図2のC−C線で切った断面斜視図である。図10は該光学系駆動装置における2軸アクチュエータの分解斜視図であり、図11はその2軸アクチュエータの一部分を拡大して示す分解斜視図である。図12は上記2軸アクチュエータの一部分である可動部の断面図であり、図13はその可動部の分解斜視図である。図14は該光学系駆動装置の使用例を説明するための図である。また、図15(A)及び(B)は従来の光学系駆動装置における可動部の構成を示す図であり、図15(C)は本第1実施形態に係る光学系駆動装置における可動部の構成を示す図である。そして、図16は、本実施形態に係る光学系駆動装置のボード線図である。
本第1実施形態に係る光学系駆動装置においては、図11及び図12に示すように、投光レンズ10が、ガラス入りのポリフェニレンサルファイド樹脂で製作されたホルダ12に設けた穴14に固定されている。この場合、投光レンズ10は、上記穴14の内部の段状部16にZ方向に当てつけて接着固定されている。上記ホルダ12のX及びY方向外周には、銅クラッドアルミ線でXコイル18が巻線されている。更に、上記ホルダ12のY方向両端には、上記Xコイル18の巻線の外側から、Yコイル22A,22Bを内側にインサート成形したコイル部組20A,20Bが接着されている。これらコイル部組20A,20Bは、ガラス繊維入りの液晶ポリマー樹脂で成形され、また、上記Yコイル22A,22Bは、銅クラッドアルミ線で巻線されている。
上記ホルダ12には、図13に示すように、基板24が接着固定されている。この基板24の中央には、上記ホルダ12のレンズ取付部を逃げる穴26が設けられている。更に、この基板24には、発光ダイオード28A,28Bが半田付けされ固定されている。また、特に図示はしていないが、上記Xコイル18及びYコイル22A,22Bの端末も、該基板24に半田付けされている。
更に、上記ホルダ12のZ+方向には、カーボン繊維入りの液晶ポリマーで製作されている板30が、上記ホルダ12の段状部32,34A,34Bに当てつけられ、接着固定されている。また、上記ホルダ12には柱部36A,36Bが設けられており、それら柱部36A,36Bが、上記基板24に設けられた穴38A,38Bを貫通し、上記板30に設けられた穴40A,40Bに挿入されている。上記板30と上記ホルダ12とは、この部分でも接着固定されている。
また、上記板30における上記発光ダイオード28A,28BのZ+方向に相当する部分には、スリット42A,42Bが設けられている。これらスリット42A,42Bの長手方向は互いに直交する方向、即ち、図13に示すように、スリット42AはY方向に、スリット42BはX方向となっている。
以上のようなホルダ12及び該ホルダ12に固定された部品よりなる部組を、可動部44と呼ぶ。
また、上記基板24には、穴46A〜46Hが設けられている。そして、図11に示すように、それらの穴46A〜46Hにベリリウム銅製のワイヤバネ48A〜48Hが挿入され、一端が半田付けされている。上記ホルダ12についても、それらワイヤバネ48A〜48Hが通る部分には穴が設けられ、この部分でも接着固定されている。
ここで、上記ワイヤバネ48A〜48Hは、上記基板24を介して、上記Xコイル18、Yコイル22A,22B、発光ダイオード28A,28Bと接続されている。Xコイル18の両端に接続されるワイヤバネが2本、直列に接続されたYコイル22A,22Bの両端に接続されるワイヤバネが2本、2個の発光ダイオード28A,28Bに各々接続されるワイヤバネが2本×2で、計8本のワイヤバネとなっている。
また、上記ワイヤバネ48A〜48Hの他端は、ガラス入りの液晶ポリマー樹脂で製作されたバネ受け50に固定されている。即ち、上記ワイヤバネ48A〜48Hは、そのバネ受け50に設けられた穴52A〜52Dに挿入されている。これらの穴52A〜52Dは、図11では見えないZ−側で、上記ワイヤバネ48A〜48Hより僅かに大きい8つの穴となり、その部分で、それらワイヤバネ48A〜48Hと該バネ受け50とが接着されている。
なお、上記穴52A〜52Dの、上記ワイヤバネ48A〜48Hとバネ受け50を接着している以外の部分には、シリコーンゲルが充填されている。このシリコーンゲルにより、上記ワイヤバネ48A〜48Hの振動のダンピングが取られている。
また、上記ワイヤバネ48A〜48Hは、Z−方向に上記バネ受け50より突出し、基板54に設けられた穴56A〜56Hに挿入され、半田付けされている。上記基板54からはフレキシブル基板58が延び、図示しない制御基板に接続されている。このようにして、上記Xコイル18、Yコイル22A,22B、及び発光ダイオード28A,28Bは、上記ワイヤバネ48A〜48Hを介して、制御基板に接続されている。
また、上記の構成とすることにより、可動部44は、ワイヤバネ48A〜48HによりX方向及びY方向に移動可能に支持されていることになる。ここで、可動部44を単純にX方向及びY方向に移動可能に支持するだけであれば、ワイヤバネは4本で十分である。8本となっているのは、配線として8本必要なためである。8本のワイヤバネが同じ径の場合、全てのワイヤバネが精度良く固定されていないと、動きに悪影響を及ぼす恐れがある。そこで、ワイヤバネ48A,48D,48E,48Hにくらべ、ワイヤバネ48B,48C,48F,48Gの径を細く、即ち、バネ定数を小さくしている。これにより、動きはバネ定数の大きいワイヤバネ48A,48D,48E,48Hが支配的となり、ワイヤバネ48B,48C,48F,48Gの取付誤差を許容することが可能となっている。
また、上記バネ受け50には穴60、上記基板54には穴62がそれぞれ設けられ、上記投光レンズ10への光を通すための光路となっている。
図5乃至図10に示すように、上記バネ受け50は、金属製のベース64に固定されている。このベース64には、穴66A,66Bが設けられ、また、上記バネ受け50にはネジ穴68A,68Bが設けられている。そして、上記穴66A,66Bを介してネジ穴68A,68Bにネジ70A,70Bがねじ込まれることで、上記ベース64に上記バネ受け50が固定されている。また、上記ベース64には、凹部72A,72Bが設けられており、その凹部72Aが上記フレキシブル基板58を通すための逃げとなっている。もう一方の凹部72Bは、上記ベース64を回転対称形状として、取り付け時に180度回転した状態でも良いようにして、組み立て性を改善するために設けられているものである。
更に、上記ベース64には、ネジ穴74A〜74Dが設けられ、そこにステンレス製の柱76A〜76Dのネジ部78A〜78Dがねじ込まれ、固定されている。
上記柱76A〜76DのZ+側にもネジ部80A〜80Dが設けられ、そこに鉄製のヨーク82A,82Bが取り付けられ、そのZ+側には更に、鉄製のヨーク84A,84Bが取り付けられている。それらヨーク82A,82B及び84A,84Bにおける上記ネジ部80A〜80Dへの取付部は、U溝部86A〜86D及び88A〜88Dで、ヨーク82A,82B及び84A,84Bの端部まで開放した形状となっており、上記ネジ部80A〜80DのZ+端から通す必要はなく、XY平面方向からスライドさせて挿入できる。これにより、ホルダ12などと干渉することなく、組み立てすることができる。
また、上記ヨーク82A,82Bには磁石90A,90Bが接着固定され、上記ヨーク84A,84Bには磁石92A,92Bが接着固定されている。これら磁石90A,90B及び92A,92Bの磁極については後述する。
上記柱76A〜76Dのネジ部80A〜80Dの上記ヨーク84A,84BのZ+側には、鉄製の柱94A〜94Dのネジ穴96A〜96Dがねじ込まれ、上記ヨーク82A,82B及び84A,84Bを挟み込んで固定している。なお、上記ネジ部80A〜80Dの上記ヨーク82A,82B,84A,84BのU溝部86A〜86D,88A〜88Dと接する部分は、ネジ部でなく、単純な円柱形状としても良い。円柱形状の方が、精度を向上させることが可能となる。また、上記柱94A〜94Dが、上記柱76A〜76Dと異なり鉄製であるのは、上記ヨーク82A,82B,84A,84B(及び後述するヨーク100A,100B,102A,102B)及び磁石90A,90B(及び後述する磁石90C,90D),92A,92B(及び後述する磁石92C,92D)と共同して磁気回路を形成するためである。
上記柱94A〜94DのZ+側にはネジ部98A〜98Dが設けられおり、そこに鉄製のヨーク100A,100Bが取り付けられ、そのZ+側には更に、鉄製のヨーク102A,102Bが取り付けられている。
但し、これらヨーク100A,100B及びヨーク102A,102Bの上記柱94A〜94Dの上記ネジ部98A〜98Dへの取付の穴104A〜104D及び106A〜106Dは、上記ヨーク82A,82B及び84A,84Bとは異なり、組み立て時に上記ホルダ12と干渉することがないので、端部まで開放した形状でなくて、通常の穴となっている。従って、上記ヨーク100A,100B,102A,102Bは、上記ネジ部98A〜98DのZ+端から通して、組み立てられる。
上記ヨーク100A,100Bには磁石90C,90Dが接着固定され、上記ヨーク102A,102Bには磁石92C,92Dが接着固定されている。これら磁石90C,90D,92C,92Dの磁極については後述する。なお、上記ヨーク102A,102Bは、上記磁石92C,92DのZ方向の位置を適切な位置にずらすため、屈曲部108A,108Bを設け、その部分に上記磁石92C,92Dを接着している。
上記柱94A〜94Dの上記ネジ部98A〜98Dの上記ヨーク102A,102BのZ+側には、ナット110A〜110Dがねじ込まれ、上記ヨーク100A,100B,102A,102Bを挟み込んで固定している。なお、上記ネジ部98A〜98Dの上記ヨーク100A,100B,102A,102Bの穴104A〜104D,106A〜106Dと接する部分は、ネジ部でなく、単純な円柱形状としても良い。円柱形状の方が、精度を向上させることが可能となる。
また、上記ヨーク102A,102Bには、ポジションセンサ112A,112Bが固定された基板114が固定されている。図8より明らかなように、上記ポジションセンサ112A,112Bは、上記可動部44の上記発光ダイオード28A,28BとZ方向に相対しており、その間には、上記板30に設けられたスリット42A,42Bが配される形となっている。Y方向に延びるスリット42Aの側では、該スリット42Aの長手方向と直交する方向のX方向への上記可動部44の動きを上記ポジションセンサ112Aで検出し、X方向に延びるスリット42Bの側では、該スリット42Bの長手方向と直交する方向のY方向への上記可動部44の動きを上記ポジションセンサ112Bで検出しており、そのような向きにそれらポジションセンサ112A,112Bは取り付けられている。
また、上記基板114は、上記ヨーク102A,102Bのネジ穴116A,116Bにネジ118A,118Bで固定されるが、その固定の際に、上記投光レンズ10のXY方向の位置が、後述するレンズ134,136の光軸と一致するなどの所望の位置となったときに、上記ポジションセンサ112A,112Bの出力が0位置を示す出力となるように、XY平面内での位置調整がなされる。
なお、上記基板114は、フレキシブル基板120で、図示しない上記制御基板に接続され、それによって、上記ポジションセンサ112A,112Bはその制御基板と接続されていることになる。
以上のように構成されたベース64上に組み立てられた可動部44を動かす機構を、2軸アクチュエータ122と呼ぶ。
図4乃至図10に示すように、この2軸アクチュエータ122は、アルミダイカスト製の本体124に、上記ベース64に設けられたネジ穴126A〜126Dを用いて、ネジ128A〜128Dによって固定されている。この際、上記投光レンズ10の光軸と後述するレンズ134,136の光軸との傾きが0とするなど、上記投光レンズ10の傾きが所望の値となるように、上記ベース64と上記本体124との間に、図示していないが、薄いスペーサを挟んで、上記本体124に対して上記2軸アクチュエータ122の傾き調整が行われる。
また、図7及び図8から明らかなように、上記本体124に設けられた穴130には、レーザダイオード132が圧入され、固定されている。なお、特に図示はしていないが、このレーザダイオード132も上記制御基板に接続されている。また、該レーザダイオード132については、断面で内部を詳細に描いていない。
上記レーザダイオード132のZ+方向には、レンズ134,136がレンズ枠138を介して、上記本体124に固定されている。上記レンズ枠138は、上記本体124に設けられた穴140に挿入されている。この穴140は、上記レンズ枠138よりも径が5μm程度大きくされており、上記レンズ枠138がZ方向に移動可能となっている。詳細は図示していないが、上記レンズ枠138をZ方向に動かし、上記レンズ134,136の位置を動かして光学特性を調整した後に、上記本体124に固定されている。
上記レンズ枠138は、Z方向に上記バネ受け50に食い込むような形の配置となっている。また、上記レンズ枠138が存在する部分の本体124は、Z+方向に凸形状となっている。これに対して、上記バネ受け50は、凸形状を逃げるような形となっており、隙間142が存在する。この隙間142は、前述した本体124に対して、上記2軸アクチュエータ122を傾き調整したときに干渉を防ぎ、調整しろを確保するためのものである。
また、図1及び図4に示すように、上記2軸アクチュエータ122の破損を防ぐため、ポリカーボネイト製のカバー144がかぶせられている。このカバー144は、該カバー144に設けた穴146A〜146Dと上記本体124に設けたネジ穴148A〜148Dとを用いて、ネジ150A〜150Dによって固定されている。
次に、以上のように構成された本実施形態に係る光学系駆動装置について、その動作を説明する。
図14に本実施形態に係る光学系駆動装置が用いられる装置を簡略に示す。上記レーザダイオード132より発光したレーザ光は、上記レンズ134,136を介し、ワイヤバネ48A〜48Hに支持されたホルダ12の投光レンズ10を矢印152で示すように左右に動かすことにより、矢印154のように左右に振られ、投光される。そして、その投光された光156が障害物158に当たって反射した光160は、受光レンズ162を介してフォトディテクタ164に至り、電気回路により障害物158までの距離が計算される。なお、実際は投光レンズ10は左右だけでなく、上下にも振られ、光156も上下に振られる。
上記投光レンズ10を上下左右に動かす仕組みについて更に詳細に説明する。
図3及び図8に示すように、上記Xコイル18の辺166は磁石90Aと磁石90Cとに挟まれ、上記Xコイル18の辺168は磁石90Bと磁石90Dとに挟まれている。それら磁石90A〜90Dの磁極は図8に記載したとおりであり、上記辺166,168には、矢印で示すような向き170,172の磁界が及ぶ。磁石90Cから磁石90Aに向かった磁束は、ヨーク82A、ヨーク84A及び84B、柱94A及び94C、ヨーク100Aを介して、磁石90Cに戻る。また、磁石90Bから磁石90Dに向かった磁束は、ヨーク100B、柱94B及び94D、ヨーク84A及び84B、ヨーク82Bを介して、磁石90Bに戻る。
Xコイル18の辺166,168に流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向き170,172も逆であるので、発生する力の向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なX方向となる。これにより、Xコイル18に電流を流すことで、ホルダ12及びそれに取り付けられた投光レンズ10をX方向に動かすことができる。
なお、本実施形態では、スペースの関係で、磁石90A,90Bに対して、磁石90C,90DのZ方向寸法を小さくしている。しかしながら、同じ寸法であっても良いことは言うまでもない。
一方、図2、図3及び図7に示すように、上記Yコイル22Aは磁石92Aと磁石92Cとに挟まれ、上記Yコイル22Bは磁石92Bと磁石92Dとに挟まれている。それら磁石92A〜92Dの磁極は図2に記載したとおりであり、表面に2つの磁極が現れるいわゆる異極着磁がなされている(異極着磁の境目は破線で示す)。Yコイル22Aの辺174Aには、矢印で示すような向き178の磁界が及び、辺176Aには、逆向きの矢印で示すような向き180の磁界が及ぶ。Yコイル22Aの辺174Aと176Aとに流れる電流の向きは互いに逆であり、及ぶ磁界の向き178及び180も逆であるので、発生する力の向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なY方向となる。
同様に、Yコイル22Bの辺174B及び176Bには、各々矢印で示すような向き182,184の磁界が及ぶ。Yコイル22Bの辺174Bと176Bとに流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向き182及び184も逆であるので、発生する力の向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なY方向となる。
なお、Yコイル22A,22Bの辺174A,174B,176A,176B以外の辺には、X方向の力が発生するが、向き178,182と向き180,184の磁界から受ける力の向きが逆向きとなりキャンセルするので、X方向に動くことはない。
Yコイル22A,22Bで発生するY方向の力は2つのコイルで同じ向きになるように配線される。これによりYコイル22A,22Bに電流を流すことで、上記ホルダ12及びそれに取り付けられた上記投光レンズ10をY方向に動かすことができる。
上記投光レンズ10のX方向及びY方向の位置は、先に述べたように、発光ダイオード28A,28Bの光をポジションセンサ112A,112Bで受光することにより検出される。この位置情報をもとに制御をかけ、所定の位置に動くように、Xコイル18及びYコイル22A,22Bに電流が流される。
以上のように、本実施形態によれば、投光レンズ10を備えた可動部44を、ホルダ12と板30とより形成している。そして、そのホルダ12と板30とは光軸方向(Z方向)に並んでおり、その重心は板30の方がZ+側となっている。このように可動部44をホルダ12と板30とにより形成しているので、形状の自由度が上がり、壁などの構造物と空間とを適切な位置に配置し、剛性を高め、十分な制御帯域を確保した装置とすることが可能になる。
このとき、Z方向に重心をずらすような形で、ホルダ12と板30とを配しているので、可動部を二体としたことによる副作用での剛性低下が生じることもない。
即ち、Z方向に重心が一致するような形で可動部を二体とした場合には、図15(A)のような形で可動部44をホルダ186,188で構成し、基本的な構成はXY平面内で2分割する形となる。分割線190では一体の場合よりも剛性が低下する。ここで、X方向に駆動すると、図15(B)のように可動部44がX方向にたわむようなモードで共振する。この場合、分割線190の剛性低下の影響が現れ、共振周波数が下がり、十分な制御帯域が確保できない。
これに対して、本実施形態のように、Z方向に重心をずらすような形で可動部を二体とした場合には、図15(C)に示すような形で可動部44をホルダ12(188)と板30(ホルダ186)で構成し、基本的な構成はYZ平面内で2分割する形となる。ここで、X方向に駆動しても、共振でたわんで応力がかかる部分に分割線190はなく、分割線190の剛性低下の影響はない。Y方向の駆動では、たわみの方向がX方向でなく、Y方向となるが、X方向と同様に、共振でたわんで応力がかかる部分に分割線190はなく、分割線190の剛性低下の影響はない。よって、共振周波数が下がり、十分な制御帯域が確保できなくなることはない。
図16に、本実施形態に係る光学系駆動装置のボード線図を示す。以上のように、可動部44をホルダ12と板30とにより形成し、その重心をZ方向にずらすことで、可動部44の剛性を高め、共振周波数を参照番号192で示す周波数から参照番号194で示す周波数に高くでき、制御帯域を高くすることができる。なお、図16の参照番号196は、可動部を支持しているワイヤバネ48A〜48Hの基本共振周波数である。
可動部44が光軸に垂直な2方向、即ちXY方向に動く場合、投光レンズ10、Xコイル18、Yコイル22A,22B、ワイヤバネ48A〜48Hの固定部がXY平面内に広く並ぶような形になり、可動部44がXY平面方向に薄い板状形状になりがちで、剛性が低下し易いが、本実施形態の構成は、剛性を高める対策として、特に効果的である。
また、本実施形態では、図2に示すように、板30とホルダ12とを組み合わせた部分の内部に空間198を持つように構成されている。一般的に同じ質量であれば、中実の直方体形状より、内部に空間を持つ箱状直方体形状のほうが剛性が高く、このように空間198を持たせることにより、より剛性を高めることができる。
更に、ホルダ12に柱部36A,36Bを設け、空間198内で、ホルダ12と板30をZ方向に接続している。これにより、単純な広い空間とするより、中間で接続させることでより剛性を高めることができる。なお、上記空間198内を接続する部分は、円形の柱でなく、長方形の柱や、薄く長く延びるリブ形状であっても良いことは言うまでもない。
また、ホルダ12と板30で形成される上記空間198内には、ワイヤバネ48A〜48Hが半田付けで固定される基板24を配置している。ワイヤバネ48A〜48Hの固定部材を空間198内に配置することにより、固定部分が外側に露出しないので、耐久性、信頼性を向上することができる。
なお、本実施形態では、基板24での半田付けだけでなく、ワイヤバネ48A〜48Hがホルダ12に挿入されている部分でも接着固定しているが、場合によっては、ホルダ12との接着固定なしで基板24での半田付けだけの固定としても良い。その場合、基板24をホルダ12と板30で囲まれる空間198内に配置することで、固定部をホルダ12の外側に限定されることなく、最適な位置とすることも可能となる。
ホルダ12と板30で形成される空間198内の基板24では、Xコイル18、Yコイル22A,22Bとワイヤバネ48A〜48Hの配線も行われる。この配線についても、外側に露出しないので、耐久性、信頼性を向上することができる。
また、ホルダ12と板30で形成される空間198内の基板24には、更に、発光ダイオード28A,28Bが固定されている。発光ダイオード28A,28Bは可動部44に固定する部品の中では大きさが大きい。これを空間198内にうまく配置することで、小型化することができる。また、外側に露出しないので、耐久性、信頼性を向上することもできる。
なお、本実施形態では、ワイヤバネ48A〜48H、Xコイル18、Yコイル22A,22B、発光ダイオード28A,28Bは基板24に固定しているが、基板24以外の固定部材を備え、電線などで配線を行っても良い。基板24を用いた場合は、配線が容易となる。
また、板30の発光ダイオード28A,28BのZ+側には、スリット42A,42Bを設けている。これらスリット42A,42Bにより、ポジションセンサ112A,112Bへの光を絞り、位置検出範囲を広げたり、精度を高めることが可能になる。スリット42A,42Bを持つ部材を別に固定するのでなく、板30に設けることにより、部品点数を削減することができる。小型、軽量化にもつながり、結果として、可動部44の剛性も高めることができる。
上記ホルダ12はポリフェニレンサルファイド樹脂、板30は液晶ポリマー樹脂とどちらも合成樹脂ではあるが、違う材質となっている。このように異なる材質で形成することで、両方の固有共振周波数がずれ、共振の大きさを抑えることができる。また、どちらも合成樹脂とすることで、更なる軽量化が図れるのみならず、形状の自由度も上がり、小型化もし易くなる。
ただし、場合によっては、板30を厚さ0.2mmのステンレス板などの金属としても良い。金属とした場合、剛性が向上し、金属による質量アップを剛性アップが上回るため、結果として、可動部44の共振周波数をより高めることができることもある。
本実施形態では、可動部44をホルダ12と板30とで形成している。板30の形状が平板であることより、これを製作するための型を安価に製作することができ、型代を含めて考えたとき、低価格化を図ることができる。
なお、全体形状によっては、板30を平板でなく、曲げのある板形状、或いは、ホルダ12のような立体的な形状の成型品としても良いことは言うまでもない。
[第2実施形態]
図17(A)は、本発明の第2実施形態に係る光学系駆動装置における可動部44の断面図である。但し、この図は発明の要部のみを示すものであり、上記第1実施形態における図12に示した可動部44と同様の部品には同じ参照番号を付してある。
即ち、本実施形態に係る光学系駆動装置では、上記第1実施形態に係る光学系駆動装置におけるホルダ12とほぼ同じ構成のホルダ200となっている。上記第1実施形態と大きく違うのは、基板24が、Z方向にホルダ200の段状部202に当てつけられていることである。
また、上記第1実施形態における板30は、本実施形態では板形状ではなく、上記ホルダ200のようなZ方向にも凸形状を持つ液晶ポリマー樹脂の成形品のホルダ204となっている。このホルダ204には凸部206が設けられ、Z方向に基板24に当て付けられ、ホルダ204とホルダ200が接着固定されている。
このような本実施形態によれば、基板24をホルダ200とホルダ204とで挟み込み固定しているので、基板24をより強固に固定でき、耐久性、信頼性を向上させることができる。
この他の構成、動作については、上記第1実施形態とほぼ同じである。
[第3実施形態]
図17(B)は、本発明の第3実施形態に係る光学系駆動装置における可動部44の断面図である。但し、この図は発明の要部のみを示すものであり、上記第1実施形態における図12に示した可動部44と同様の部品には同じ参照番号を付してある。
本実施形態では、上記第1実施形態とホルダ12はほぼ同じホルダ208となっている。第1の実施の形態と大きく違うのは、板30が設けられず、基板24のみがZ方向にホルダ208の段状部210に当てつけられている。基板24はガラスエポキシ製となっている。基板24には、第1の実施の形態同様に発光ダイオード28A,28Bが固定されているが、第1の実施の形態と異なり、Z+方向にスリットは用意されていない。
本実施形態に係る光学系駆動装置では、上記第1実施形態に係る光学系駆動装置における板30の代わりに基板24を用い、ホルダ208とで可動部44を形成している。
本実施形態でも、可動部44を、光軸方向(Z方向)に重なるホルダ208と基板24とにより形成することにより、形状の自由度が上がり、剛性を高めることが可能となる。更に、板30の代わりに基板24を用いることで、部品点数を削減することが可能となり、小型、軽量化にもつながり、結果として、更に可動部44の剛性も高めることができる。
この他の構成、動作については、上記第1実施形態とほぼ同じである。
なお、本実施形態の構成では、発光ダイオード28A,28Bとポジションセンサ112A,112Bとの間にスリットが存在しない。これにより、検出範囲が狭まり、能力は落ちるが、位置検出は可能である。
以上、実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
即ち、磁石とコイルの配置はさまざまなものが考えられる。例えば、XコイルもYコイルと同様なコイルと磁石にしても良い。また、Yコイルは2つの磁石で挟み込んでいたが、1つの磁石のみとしても異極着磁された磁石の表面から出て表面に戻る磁界により同様の力を発生できる。これにより、磁石の数を削減することができる。
また、上記本実施形態では、可動部に発光ダイオードを備え、動かない部分にポジションセンサを固定していたが、可動部にポジションセンサ、動かない部分に発光ダイオードという配置でも良い。更に、位置センサは、発光ダイオードとポジションセンサに限られることなく、他の素子も考えられる。例えば、縞模様のスケールを光学的に読み取るものであっても良い。また、投光レンズから投光した光の戻り光により位置情報を得られる場合など、用途によっては、位置検出素子がなくても良いことは言うまでもない。
更に、光学系についても、上記実施形態で説明した構成に限ったことではなく、さまざまな光学系に適用できる。光学素子はレンズに限ったことではなく、回折格子などであっても良い。投光レンズから出射したレーザ光は、投光レンズと異なる別のレンズで受光されるとしたが、再び投光レンズで受光し、受光した光を、例えば、光路分割素子で分離して検出するような光学系であっても良い。
(付記)
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
(1) 発光素子と、
この発光素子から発せられた光を平行光束として所定空間領域に投光する投光レンズと、
この投光レンズを支持するレンズホルダと、
このレンズホルダを、固定基板に対して移動可能に支持する弾性支持部材と、
上記レンズホルダを、上記投光レンズの光軸と垂直で互いに直交する二方向に駆動する駆動手段と、
を具備し、
上記レンズホルダは、上記投光レンズの取り付け部を有する中空枠構造体であることを特徴とする光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(1)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(1)に記載の光学系駆動装置によれば、レンズホルダを中空枠構造体としたので、レンズホルダの剛性を低下させることなく駆動信号に対する応答特性を向上することができる。
(2) 上記レンズホルダは、枠構造を有する第1部材と、平板の第2部材とを含むことを特徴とする(1)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(1)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(2)に記載の光学系駆動装置によれば、レンズホルダを、枠構造を有する第1部材と、平板の第2部材とで構成したので、製造コストを抑えることができる。
(3) 上記第1部材は、射出成形されたプラスチック素材であることを特徴とする(2)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(3)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1実施形態が対応する。
(作用効果)
この(3)に記載の光学系駆動装置によれば、レンズホルダを構成する枠構造部材をプラスチック成形しているので、大量生産に適する。
(4) 上記駆動手段は、上記固定基板に固定接続された固定枠に設けられた永久磁石と、上記レンズホルダに設けられたコイルとを含むことを特徴とする(1)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(4)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(4)に記載の光学系駆動装置によれば、駆動手段を可動コイル型としているので、応答特性に優れる。
(5) 上記弾性支持部材は、上記固定基板と上記レンズホルダとを連結する複数のワイヤバネを含むことを特徴とする(1)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(5)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(5)に記載の光学系駆動装置によれば、支持部材はワイヤバネであるので、加工の必要がなく、製造コストを抑えることができる。
(6) 光学素子と、
この光学素子を保持するホルダと、
このホルダを、上記光学素子の光軸に垂直な方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、
上記ホルダを、上記光学素子の光軸と垂直な方向に移動させる駆動手段と、
を具備し、
上記ホルダは、第1の部材と第2の部材とにより形成され、
上記第1の部材の重心と上記第2の部材の重心とが、上記光学素子の光軸方向にずれている、
ことを特徴とする光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(6)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(6)に記載の光学系駆動装置によれば、第1の部材の重心と第2の部材の重心とが光学素子の光軸方向にずれているので、光学素子を備えたホルダの剛性を高め、十分な制御帯域を確保した高性能な光学系駆動装置とすることができる。
(7) 上記ホルダは、上記光学素子の光軸に垂直な平面方向2方向に移動可能であることを特徴とする(6)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(7)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(7)に記載の光学系駆動装置によれば、光学素子を備えたホルダの剛性を高め、十分な制御帯域を確保した高性能な光学系駆動装置とできる効果をより享受できる。
(8) 上記第1の部材と上記第2の部材とにより囲まれた部分に空間を持つことを特徴とする(6)又は(7)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(8)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(8)に記載の光学系駆動装置によれば、よりいっそう、光学素子を備えたホルダの剛性を高め、十分な制御帯域を確保した高性能な光学系駆動装置とできる。
(9) 上記第1の部材と上記第2の部材とにより囲まれた部分の空間内で、上記第1の部材と上記第2の部材とを上記光学素子の光軸方向に接続するための凸部を、上記第1の部材及び/又は上記第2のホルダが待つことを特徴とする(8)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(9)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1乃至第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(9)に記載の光学系駆動装置によれば、よりいっそう、光学素子を備えたホルダの剛性を高め、十分な制御帯域を確保した高性能な光学系駆動装置とできる。
(10) 上記光学素子の光軸方向に上記第1の部材と第2の部材との間に、上記弾性支持部材の固定部材を配したことを特徴とする(6)乃至(9)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(10)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(10)に記載の光学系駆動装置によれば、耐久性、信頼性を向上できる。
(11) 上記駆動手段は、コイルと磁石による電磁作用を用いたものであり、
上記光学素子を備えた上記ホルダに上記コイルを搭載し、
上記光学素子の光軸方向に上記第1の部材と第2の部材の間に、コイル配線用の固定部材を配した、
ことを特徴とする(6)乃至(9)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(11)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(11)に記載の光学系駆動装置によれば、耐久性、信頼性を向上できる。弾性部材の固定部の位置を最適化できる。
(12) 上記ホルダに、位置を検出するためのセンサの発光部または受光部を備え、
上記光学素子の光軸方向に上記第1の部材と第2の部材の間に、上記センサの発光部または受光部を固定した、
ことを特徴とする(6)乃至(9)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(12)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(12)に記載の光学系駆動装置によれば、小型化でき、また、耐久性、信頼性を向上できる。
(13) 上記固定部材は電気基板であることを特徴とする(10)乃至(12)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(13)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(13)に記載の光学系駆動装置によれば、組立性を向上できる。
(14) 上記固定部材を上記第1の部材と上記第2の部材とで挟み固定したことを特徴とする(10)乃至(13)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(14)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(14)に記載の光学系駆動装置によれば、耐久性、信頼性を向上できる。
(15) 上記ホルダに、位置を検出するためのセンサの発光部を備え、
上記第1の部材或いは上記第2の部材に、上記センサの光を通すスリットを設けた、
ことを特徴とする(6)乃至(14)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(15)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(15)に記載の光学系駆動装置によれば、部品点数を削減し、小型、軽量化できる。
(16) 上記第1の部材の材質と上記第2の部材の材質とが異なることを特徴とする(6)乃至(15)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(16)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(16)に記載の光学系駆動装置によれば、光学素子を備えたホルダの共振の大きさを抑制できる。
(17) 上記第1の部材と上記第2の部材が共に合成樹脂であることを特徴とする(16)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(17)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。
(作用効果)
この(17)に記載の光学系駆動装置によれば、軽量化できる。
(18) 上記第1の部材が合成樹脂であり、上記第2の部材が金属であることを特徴とする(16)に記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(18)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1実施形態が対応する。
(作用効果)
この(18)に記載の光学系駆動装置によれば、よりいっそう、光学素子を備えたホルダの剛性を高め、十分な制御帯域を確保した高性能な光学系駆動装置とできる。
(19) 上記第2の部材は電気基板であることを特徴とする(6)乃至(9)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(19)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(19)に記載の光学系駆動装置によれば、部品点数を削減し、小型、軽量化できる。
(20) 上記第1の部材は箱状であり、上記第2の部材は板状であることを特徴とする(6)乃至(13)、(16)乃至(19)の何れかに記載の光学系駆動装置。
(対応する実施形態)
この(20)に記載の光学系駆動装置に関する実施形態は、第1及び第3実施形態が対応する。
(作用効果)
この(20)に記載の光学系駆動装置によれば、低価格化できる。
図1は本発明の第1実施形態に係る光学系駆動装置の斜視図である。 図2は図3のA−A線で切った第1実施形態に係る光学系駆動装置全体の断面図である。 図3は図2のC−C線で切った断面図である。 図4は第1実施形態に係る光学系駆動装置全体の分解斜視図である。 図5はカバーを取った状態の第1実施形態に係る光学系駆動装置の斜視図である。 図6はカバーを取った状態の第1実施形態に係る光学系駆動装置を背面側から見た斜視図である。 図7はカバーを取った状態の第1実施形態に係る光学系駆動装置を図3のA−A線で切った断面斜視図である。 図8はカバーを取った状態の第1実施形態に係る光学系駆動装置を図3のB−B線で切った断面斜視図である。 図9はカバーを取った状態の第1実施形態に係る光学系駆動装置を図2のC−C線で切った断面斜視図である。 図10は第1実施形態に係る光学系駆動装置における2軸アクチュエータの分解斜視図である。 図11は図10の一部分を拡大して示す分解斜視図である。 図12は図11の一部分である可動部の断面図である。 図13は可動部の分解斜視図である。 図14は第1実施形態に係る光学系駆動装置の使用例を説明するための図である。 図15(A)及び(B)はそれぞれ従来の光学系駆動装置における可動部の構成を示す図であり、図15(C)は第1実施形態に係る光学系駆動装置における可動部の構成を示す図である。 図16は第1実施形態に係る光学系駆動装置のボード線図である。 図17(A)は本発明の第2実施形態に係る光学系駆動装置における可動部の断面図であり、図17(B)は本発明の第3実施形態に係る光学系駆動装置における可動部の断面図である。
符号の説明
10…投光レンズ、 12,186,188,200,204,208…ホルダ、 14,26,38A,38B,40A,40B,46A〜46H,52A〜52D,56A〜56H,60,62,66A,66B,104A〜104D,106A〜106D,130,140,146A〜146D…穴、 16,32,34A,34B,202,210…段状部、 18…Xコイル、 20A,20B…コイル部組、 22A,22B…Yコイル、 24,54,114…基板、 28A,28B…発光ダイオード、 30…板、 36A,36B…柱部、 42A,42B…スリット、 44…可動部、 48A〜48H…ワイヤバネ、 50…バネ受け、 58,120…フレキシブル基板、 64…ベース、 68A,68B,74A〜74D,96A〜96D,116A,116B,126A〜126D,148A〜148D…ネジ穴、 70A,70B,118A,118B,128A〜128D,150A〜150D…ネジ、 72A,72B…凹部、 76A〜76D,94A〜94D…柱、 78A〜78D,80A〜80D,98A〜98D…ネジ部、 82A,82B,84A,84B,100A,100B,102A,102B…ヨーク、 86A〜86D,88A〜88D…U溝部、 90A〜90D,92A〜92D…磁石、 108A,108B…屈曲部、 110A〜110D…ナット、 112A,112B…ポジションセンサ、 122…2軸アクチュエータ、 124…本体、 132…レーザダイオード、 134,136…レンズ、 138…レンズ枠、 142…隙間、 144…カバー、 156,160…光、 158…障害物、 162…受光レンズ、 164…フォトディテクタ、 166,168…Xコイルの辺、 170,172,178,180,182,184…磁界の向き、 174A,174B,176A,176B…Yコイルの辺、 190…分割線、 198…空間、 206…凸部。

Claims (20)

  1. 発光素子と、
    この発光素子から発せられた光を平行光束として所定空間領域に投光する投光レンズと、
    この投光レンズを支持するレンズホルダと、
    このレンズホルダを、固定基板に対して移動可能に支持する弾性支持部材と、
    上記レンズホルダを、上記投光レンズの光軸と垂直で互いに直交する二方向に駆動する駆動手段と、
    を具備し、
    上記レンズホルダは、上記投光レンズの取り付け部を有する中空枠構造体であることを特徴とする光学系駆動装置。
  2. 上記レンズホルダは、枠構造を有する第1部材と、平板の第2部材とを含むことを特徴とする請求項1に記載の光学系駆動装置。
  3. 上記第1部材は、射出成形されたプラスチック素材であることを特徴とする請求項2に記載の光学系駆動装置。
  4. 上記駆動手段は、上記固定基板に固定接続された固定枠に設けられた永久磁石と、上記レンズホルダに設けられたコイルとを含むことを特徴とする請求項1に記載の光学系駆動装置。
  5. 上記弾性支持部材は、上記固定基板と上記レンズホルダとを連結する複数のワイヤバネを含むことを特徴とする請求項1に記載の光学系駆動装置。
  6. 光学素子と、
    この光学素子を保持するホルダと、
    このホルダを、上記光学素子の光軸に垂直な方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、
    上記ホルダを、上記光学素子の光軸と垂直な方向に移動させる駆動手段と、
    を具備し、
    上記ホルダは、第1の部材と第2の部材とにより形成され、
    上記第1の部材の重心と上記第2の部材の重心とが、上記光学素子の光軸方向にずれている、
    ことを特徴とする光学系駆動装置。
  7. 上記ホルダは、上記光学素子の光軸に垂直な平面方向2方向に移動可能であることを特徴とする請求項6に記載の光学系駆動装置。
  8. 上記第1の部材と上記第2の部材とにより囲まれた部分に空間を持つことを特徴とする請求項6又は7に記載の光学系駆動装置。
  9. 上記第1の部材と上記第2の部材とにより囲まれた部分の空間内で、上記第1の部材と上記第2の部材とを上記光学素子の光軸方向に接続するための凸部を、上記第1の部材及び/又は上記第2のホルダが持つことを特徴とする請求項8に記載の光学系駆動装置。
  10. 上記光学素子の光軸方向に上記第1の部材と第2の部材との間に、上記弾性支持部材の固定部材を配したことを特徴とする請求項6乃至9の何れかに記載の光学系駆動装置。
  11. 上記駆動手段は、コイルと磁石による電磁作用を用いたものであり、
    上記光学素子を備えた上記ホルダに上記コイルを搭載し、
    上記光学素子の光軸方向に上記第1の部材と第2の部材の間に、コイル配線用の固定部材を配した、
    ことを特徴とする請求項6乃至9の何れかに記載の光学系駆動装置。
  12. 上記ホルダに、位置を検出するためのセンサの発光部または受光部を備え、
    上記光学素子の光軸方向に上記第1の部材と第2の部材の間に、上記センサの発光部または受光部を固定した、
    ことを特徴とする請求項6乃至9の何れかに記載の光学系駆動装置。
  13. 上記固定部材は電気基板であることを特徴とする請求項10乃至12の何れかに記載の光学系駆動装置。
  14. 上記固定部材を上記第1の部材と上記第2の部材とで挟み固定したことを特徴とする請求項10乃至13の何れかに記載の光学系駆動装置。
  15. 上記ホルダに、位置を検出するためのセンサの発光部を備え、
    上記第1の部材或いは上記第2の部材に、上記センサの光を通すスリットを設けた、
    ことを特徴とする請求項6乃至14の何れかに記載の光学系駆動装置。
  16. 上記第1の部材の材質と上記第2の部材の材質とが異なることを特徴とする請求項6乃至15の何れかに記載の光学系駆動装置。
  17. 上記第1の部材と上記第2の部材が共に合成樹脂であることを特徴とする請求項16に記載の光学系駆動装置。
  18. 上記第1の部材が合成樹脂であり、上記第2の部材が金属であることを特徴とする請求項16に記載の光学系駆動装置。
  19. 上記第2の部材は電気基板であることを特徴とする請求項6乃至9の何れかに記載の光学系駆動装置。
  20. 上記第1の部材は箱状であり、上記第2の部材は板状であることを特徴とする請求項6乃至13、16乃至19の何れかに記載の光学系駆動装置。
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