JP2007294126A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 導電層と該導電層上に配置された電子放出膜とを備える電子放出素子であって、
   前記導電層が、（Ａ）複数の第１領域と、（Ｂ）前記複数の第１領域の各々の間に設けられた、前記第１領域よりも高抵抗な第２領域とを、少なくとも有する表面を備えており、
   前記電子放出膜が、前記複数の第１領域に跨り、且つ、前記導電層の前記表面を覆っている、ことを特徴とする電子放出素子。
2. 前記電子放出素子は基体の表面上に配置されており、前記複数の第１領域は前記基体の表面と前記電子放出膜との間に配置されており、前記複数の第１領域と前記基体の表面との間に、前記第１領域よりも低抵抗な第３領域が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の電子放出素子。
3. 前記複数の第１領域の各々は柱状の領域であり、前記柱状の領域は、前記基体の表面に対して垂直に配向している、ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子放出素子。
4. 前記電子放出膜の主体の抵抗率が、前記第１領域の抵抗率よりも高く、前記第２領域の抵抗率よりも低い、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電子放出素子。
5. 前記電子放出膜の主成分が炭素であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電子放出素子。
6. 前記電子放出膜の主体が、１×１０^８Ω・ｃｍ以上１×１０^１４Ω・ｃｍ以下の抵抗率を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電子放出素子。
7. 前記電子放出膜が金属を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電子放出素子。
8. 前記電子放出膜の膜厚をｄ’、前記複数の第１領域のうちの隣合う２つの第１領域の間の最短距離をＷ’−Ｗ、前記第１領域の比抵抗をρ _３ 、前記第２領域の比抵抗をρ _４ 、前記電子放出膜の比抵抗をρ _５ 、定数をｋとした時に、下記式（１）を満たすことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の電子放出素子。
   

   
9. 前記第１領域が、金属を含むことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の電子放出素子。
10. 前記第１領域が、Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｔａ、ＴａＮ、ＡｌＮ、ＴｉＡｌＮのいずれかから選択された材料を含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の電子放出素子。
11. 前記第２領域が、前記第１領域を構成する材料の酸化物であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の電子放出素子。
12. 複数の電子放出素子を備える電子源と、該電子源から放出された電子が照射されることで発光する発光体と、を具備する画像表示装置であって、前記複数の電子放出素子の各々が請求項１乃至１１のいずれか１項の電子放出素子であることを特徴とする画像表示装置。