JP2007285805A - 磁気エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気媒体と磁気センサとを有する磁気エンコーダであって、前記磁気センサは、少なくとも強磁性固定層と、強磁性自由層と、前記強磁性固定層と前記強磁性自由層に挟まれた非磁性層を有するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を備え、前記磁気抵抗効果素子は略長方形をなし、前記強磁性固定層の着磁方向、前記磁気抵抗効果素子の短手方向、前記磁気媒体の着磁方向および前記相対的移動方向が同じであるとともに、前記磁気抵抗効果素子の層間結合磁界Hintが異方性磁界Hk以上であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
0<Hint−Hk<Ms×λ/(2w)+δ
の関係を満たすことがこのましい。ここでいうHkは素子形状加工する前のSVGMR膜の異方性磁界である。
本発明に係る磁気エンコーダは、図14で示した構成と同様に、磁気媒体1と、該媒体に対して所定の間隔で対向して相対的に移動する磁気センサ2とを有し、前記磁気媒体が前記磁気センサとの相対的移動方向に交互に多極着磁されている。前記磁気センサは、図1に示すように、少なくとも強磁性固定層5と、強磁性自由層6と、前記強磁性固定層と前記強磁性自由層に挟まれた非磁性層7を有するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子(SVGMR素子)を備える。
磁気エンコーダのセンサ素子寸法は、素子幅に比べて素子長さが圧倒的に長いため、素子幅が狭くなると形状異方性は長手方向により強く加わるようになる。これは素子の反磁界Hdが大きくなるためである。ここで、Hdは反磁界係数Nと自由層の飽和磁化Msとの積で表される。エンコーダ素子の場合、Nの値は素子長さLと膜厚tの積に比例、素子幅wに反比例することから、Lとtが一定の場合、HdはN=A/wなる定数Aを用いて、次式のように表現できる。
Hd=N×Ms=(A×Ms)/w (式1)
ここでいう「膜厚」とは、AMR素子の場合は強磁性層の膜厚そのものであり、NiFe換算で20〜30nmである。SVGMR素子の場合は強磁性自由層の膜厚と等価であり、同じくNiFe換算にして4〜5nmであることから、同じ長さの素子をAMR膜とSVGMR膜とで作製する場合、AMR素子のNはSVGMR素子の約5〜6倍だと言える。SVGMR膜のHkとを区別するためSVGMR素子の異方性磁界をHk *とおくと、実施形態1から次の関係が言える。
Hint=Hk *+δ (式2)
ここでδは不感磁界(A/m)で、SVGMR素子が抵抗変化を示さない磁界の大きさを意味する。理想的にはδ=0が望ましい。しかしながら,素子形成時のばらつきや自由層保磁力(Hcf)が存在することを考えると、たとえばHcfが大きい場合はMRループがヒステリシスを示し、Hint<Hk *となる懸念がある。この場合は素子出力が膜のMR比よりも低下することから,δはHcfよりも大きな値を示すようにδ>Hcfに設定することが好ましい。また不感領域が大きいということは弱磁界でセンサ出力が得られないことを意味するので、δは磁気センサが検知する磁気媒体からの漏洩磁界以下とする必要があり、具体的には実施形態1から鑑みてδの最大範囲は概ね4000A/m(50Oe相当)程度とすることが好ましい。Hk *は膜自身のHkと素子形状で決定される反磁界Hdとの和、すなわちHk *=Hk+Hdで表されることから、NとAおよびwの関係および式1と式2から次の関係が成り立つ。
A=w×(Hint−Hk−δ)/Ms (式3)
また、素子幅wは、第1の要請として、磁気媒体の着磁ピッチλよりも小さいことが必要であるが、高MR比を得るために上述のように第1の素子群と第2の素子群をλ/2離間させて配置するためには、素子幅wはλ/2未満、すなわちw<λ/2とすることが必要になる。この式とNとAおよびwの関係(0<A<w)から0<A<λ/2が得られる。したがって、かかる式と式3より、高MR比を得る素子配置の観点からは、次式が満足されることが好ましい。
0<w×(Hint−Hk)/Ms<λ/2+δ×w/Ms (式4)
または
0<Hint−Hk<Ms×λ/(2w)+δ (式5)
(w:素子幅(μm)、Hint:SVGMR膜の層間結合磁界(A/m)、Hk:素子形状加工前のSVGMR膜の異方性磁界(A/m)、Ms:自由層の飽和磁化(A/m=103emu/cm3)、λ:磁気媒体の着磁ピッチ(μm)、δ:素子の不感磁界(A/m))
式4を満たすようなHintとHkの組み合わせを示すSVGMR膜を用いることで、素子形状に加工した場合においても異方性磁界Hk *の増加によるセンサ感度低下を抑え、SVGMR膜と同等の抵抗変化率を示すSVGMR素子を得ることができ、かつ従来のAMR素子を凌ぐ高感度の磁気センサが実現できる。
SVGMRセンサでは図6に示されるブリッジ回路の出力を利用しており、複数の感磁素子からの出力を合成したものとなる。したがって、素子間の干渉を排除するためには素子幅wは小さいことが好ましい。しかし、式2に示されるように素子感度を決定するための磁場Hkの効果と素子幅wの効果が打ち消しあう構成となっているために、素子幅の最適値はSVGMR膜の特性によって変化する。図11および図12にSVGMR膜のHkについて、素子幅の最適値が変化する様子を示す。図11では素子加工する前のHk=700A/m、図12では同じくHk=350A/mのSVGMR膜を用いたセンサ出力で、それぞれ膜のHintがHint=700、1050、および1400A/mの条件となっている。また、図12にはHint=2800A/mのデータも示した。素子幅wの減少はHkの増加の原因となるため、素子感度が低下して再生出力は減少する。同時に、素子幅wの減少は素子抵抗を大きくするため、再生出力は増加する。したがって、これら2つの効果の兼ね合いによって出力が変化し、センサに対する最適素子幅も左右されることになる。
5:強磁性固定層 6:強磁性自由層 7:非磁性層
21、22、23、24:SVGMR素子 25、26:素子列
Claims (6)
- 磁気媒体と、該磁気媒体に対して所定の間隔で対向して相対的に移動する磁気センサとを有し、前記磁気媒体が前記磁気センサとの相対的移動方向に交互に多極着磁されている磁気エンコーダであって、前記磁気センサは、少なくとも強磁性固定層と、強磁性自由層と、前記強磁性固定層と前記強磁性自由層に挟まれた非磁性層を有するスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を備え、前記磁気抵抗効果素子は略長方形をなし、前記強磁性固定層の着磁方向、前記磁気抵抗効果素子の短手方向、前記磁気媒体の着磁方向および前記相対的移動方向が同じであるとともに、前記磁気抵抗効果素子を構成する磁気抵抗効果膜の層間結合磁界Hintが異方性磁界Hk以上であることを特徴とする磁気エンコーダ。
- 前記層間結合磁界Hintが、前記磁気センサが検知する磁気媒体からの漏洩磁界以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気エンコーダ。
- 前記層間結合磁界Hintと前記異方性磁界Hkとの和が前記漏洩磁界以下であることを特徴とする請求項2に記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気媒体は、隣り合う一対の着磁領域の着磁方向の長さをピッチ2λとして多極着磁されており、
前記磁気センサは、それぞれ2n個(nは自然数)の前記磁気抵抗効果素子が前記相対的移動方向にピッチλで配置され、かつ直列に接続された第1の素子列と第2の素子列とを備え、
前記第1の素子列の一端と前記第2の素子列の一端とは、距離(m+1/2)×λで離間しており、
前記第1の素子列の一端は電源に、前記第1の素子列の他端は前記第2の素子列の一端に接続され、前記第2の素子列の他端は接地され、
前記第1の素子列の他端と前記第2の素子列の一端との接続部分から中点電位を検出することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の磁気エンコーダ。 - 異方性磁界Hkが500A/m以下であることを特徴とする請求項4に記載の磁気エンコーダ。
- 前記磁気抵抗効果素子の素子幅をw(μm)、SVGMR膜の層間結合磁界をHint(A/m)、異方性磁界をHk(A/m)、強磁性自由層の飽和磁化をMs(A/m=103emu/cm3)、磁気媒体の着磁ピッチをλ(μm)、素子の不感磁界をδ(A/m)とした場合、前記δは0以上で、かつ前記磁気センサが検知する磁気媒体からの漏洩磁界以下であるとともに、
0<Hint−Hk<Ms×λ/(2w)+δ
の関係を満たすことを特徴とする請求項4に記載の磁気エンコーダ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013024830A1 (ja) | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 日立金属株式会社 | エンコーダ |
CN104697555A (zh) * | 2013-12-10 | 2015-06-10 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置、磁性编码器装置及磁传感器 |
WO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000113418A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-21 | Hitachi Ltd | スピンバルブ効果に基づく磁気抵抗効果型ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置 |
JP2000180524A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Tdk Corp | 磁界センサ |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000113418A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-21 | Hitachi Ltd | スピンバルブ効果に基づく磁気抵抗効果型ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置 |
JP2000180524A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Tdk Corp | 磁界センサ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013024830A1 (ja) | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 日立金属株式会社 | エンコーダ |
CN104697555A (zh) * | 2013-12-10 | 2015-06-10 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置、磁性编码器装置及磁传感器 |
WO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
WO2015087726A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、磁気式エンコーダ装置、および磁気センサ |
JPWO2015087725A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2017-03-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置、および磁気式エンコーダ装置 |
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