JP2007283458A - 長尺研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物8を調製する工程、面材10、16を送り出しつつ、該面材上の所定位置に光透過領域形成材料14を連続的又は間欠的に吐出する工程、光透過領域形成材料が配設されていない前記面材上に前記気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した前記光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物を硬化させることにより、光透過領域と研磨領域とが一体成形された長尺研磨層を作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む長尺研磨パッドの製造方法。
【選択図】図2
Description
作製した気泡分散ウレタン組成物及び光透過領域形成材料の粘度は、JIS K7117−1に準拠して測定した。測定装置は、B型回転粘度計(東機産業社製、TV−10H)を用いた。測定条件は、ローター:H3、ローター回転数:2.5〜100min−1、及び組成物温度:吐出温度に調整、である。
トルエンジイソシアネート(2,4−体/2,6−体=80/20の混合物、TDI−80)32重量部、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート(HMDI)8重量部、ポリテトラメチレングリコール(数平均分子量:1006、PTMG−1000)54重量部、及びジエチレングリコール(DEG)6重量部を混合し、80℃で120分間加熱撹拌してイソシアネート末端プレポリマー(イソシアネート当量:2.1meq/g)を作製した。該イソシアネート末端プレポリマー100重量部、シリコン系界面活性剤(東レ・ダウシリコーン社製、SH−192)3重量部を混合して60℃に温度調節した混合物Aを調製した。該混合物A80重量部、及び120℃で溶融した4,4’−メチレンビス(o−クロロアニリン)(イハラケミカル社製、イハラキュアミンMT)20重量部を混合チャンバー内で混合し、同時に空気を混合物中に機械的に撹拌することにより分散させて気泡分散ウレタン組成物Aを調製した。
TDI−80(28重量部)、HMDI(3重量部)、PTMG−1000(67重量部)、及びDEG(2重量部)を混合し、80℃で120分間加熱撹拌してイソシアネート末端プレポリマーを作製した。60℃に温度調節した該イソシアネート末端プレポリマー(100重量部)と120℃で溶融したイハラキュアミンMT(19重量部)とを混合して光透過領域形成材料Bを調製した。
PETフィルムからなり、剥離処理を施した面材(厚さ188μm、幅100cm)を送り出しつつ、該面材の中央部に吐出ヘッドから前記光透過領域形成材料B(65℃、粘度:2.5Pa・s)を間欠的に吐出し、その他の部分にミキシングヘッドから前記気泡分散ウレタン組成物A(80℃、粘度:1Pa・s)を連続的に吐出した。そして、PETフィルムからなり、剥離処理を施した別の面材(厚さ188μm、幅100cm)で光透過領域形成材料B及び気泡分散ウレタン組成物Aを覆い、ニップロールを用いて厚さを均一に調整した。その後、80℃に加熱することにより両組成物を硬化させて、多数の光透過領域(幅:約1.5cm、長さ:約4cm)とポリウレタン発泡体からなる研磨領域とが一体成形された長尺研磨層(厚さ:2mm)を作製した。その後、該長尺研磨層を7mの長さで裁断し、面材を剥離し、80℃で6時間ポストキュアして長尺研磨シートを得た。次に、バフ機(アミテック社製)を使用して該シートの表面バフ処理をし、厚み精度を整えた。そして、該長尺研磨シートの研磨層表面に溝加工機(東邦鋼機社製)を用いて溝加工を施した。さらに該長尺研磨シートの裏面に、光透過領域に対応する貫通孔を有するクッション層を積層して長尺積層研磨パッドを作製した。
表面バフ掛けをして厚さ0.8mmに調整したポリエチレンフォーム(東レ社製、トーレペフ)からなり、中央部に幅1cmの連続した貫通孔を有するクッション層(幅100cm)を送り出しつつ、該貫通孔内及び貫通孔上に堆積するように吐出ヘッドから前記光透過領域形成材料B(65℃、粘度:2.5Pa・s)を連続的に吐出し、その他の部分にミキシングヘッドから前記気泡分散ウレタン組成物A(80℃、粘度:1Pa・s)を連続的に吐出した。そして、PETフィルムからなり、剥離処理を施した面材(厚さ188μm、幅100cm)で光透過領域形成材料B及び気泡分散ウレタン組成物Aを覆い、ニップロールを用いて厚さを均一に調整した。その後、80℃に加熱することにより両組成物を硬化させて、光透過領域(研磨表面側の幅:約1.5cm)とポリウレタン発泡体からなる研磨領域とが一体成形された長尺積層シート(研磨層の厚さ:2mm)を作製した。その後、該長尺積層シートを7mの長さで裁断し、面材を剥離し、80℃で6時間ポストキュアして長尺積層研磨シートを得た。次に、バフ機(アミテック社製)を使用して該シートの表面バフ処理をし、厚み精度を整えた。そして、該長尺積層研磨シートの研磨層表面に溝加工機(東邦鋼機社製)を用いて溝加工を施して長尺積層研磨パッドを作製した。
表面バフ掛けをして厚さ0.8mmに調整したポリエチレンフォーム(東レ社製、トーレペフ)からなり、中央部に幅1cm及び長さ4cmの貫通孔を一定間隔で多数有するクッション層(幅100cm)を送り出しつつ、該貫通孔内及び貫通孔上に堆積するように吐出ヘッドから前記光透過領域形成材料B(65℃、粘度:2.5Pa・s)を間欠的に吐出し、その他の部分にミキシングヘッドから前記気泡分散ウレタン組成物A(80℃、粘度:1Pa・s)を連続的に吐出した。そして、PETフィルムからなり、剥離処理を施した面材(厚さ188μm、幅100cm)で光透過領域形成材料B及び気泡分散ウレタン組成物Aを覆い、ニップロールを用いて厚さを均一に調整した。その後、80℃に加熱することにより両組成物を硬化させて、光透過領域(研磨表面側の幅:約1.5cm、長さ:約4cm)とポリウレタン発泡体からなる研磨領域とが一体成形された長尺積層シート(研磨層の厚さ:2mm)を作製した。その後、該長尺積層シートを7mの長さで裁断し、面材を剥離し、80℃で6時間ポストキュアして長尺積層研磨シートを得た。次に、バフ機(アミテック社製)を使用して該シートの表面バフ処理をし、厚み精度を整えた。そして、該長尺積層研磨シートの研磨層表面に溝加工機(東邦鋼機社製)を用いて溝加工を施して長尺積層研磨パッドを作製した。
2:研磨定盤
3:研磨剤(スラリー)
4:被研磨材(半導体ウエハ)
5:支持台(ポリシングヘッド)
6、7:回転軸
8:気泡分散ウレタン組成物
9:ミキシングヘッド
10、16:面材
11:クッション層
12:コンベア
13:貫通孔
14:光透過領域形成材料
15:吐出ヘッド
17、20:ロール
18:長尺(積層)研磨パッド
19a:供給ロール
19b:回収ロール
Claims (10)
- メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材を送り出しつつ、該面材上の所定位置に光透過領域形成材料を連続的又は間欠的に吐出する工程、光透過領域形成材料が配設されていない前記面材上に前記気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した前記光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物を硬化させることにより、光透過領域と研磨領域とが一体成形された長尺研磨層を作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む長尺研磨パッドの製造方法。
- 前記光透過領域形成材料は、吐出時の粘度が1〜30Pa・sである請求項1記載の長尺研磨パッドの製造方法。
- 前記気泡分散ウレタン組成物は、吐出時の粘度が1〜20Pa・sである請求項1又は2記載の長尺研磨パッドの製造方法。
- 前記光透過領域は、熱硬化性樹脂からなる請求項1〜3のいずれかに記載の長尺研磨パッドの製造方法。
- 前記熱硬化性樹脂は、ポリウレタン樹脂である請求項4記載の長尺研磨パッドの製造方法。
- メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、連続的又は間欠的に設けられた貫通孔を有するクッション層を送り出しつつ、該貫通孔内及び貫通孔上に堆積するように光透過領域形成材料を吐出する工程、光透過領域形成材料が配設されていない前記クッション層上に前記気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、吐出した前記光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物上に面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ光透過領域形成材料及び気泡分散ウレタン組成物を硬化させることにより、光透過領域と研磨領域とが一体成形された長尺積層シートを作製する工程、及び長尺積層シートを裁断する工程を含む長尺積層研磨パッドの製造方法。
- 前記光透過領域形成材料は、吐出時の粘度が1〜30Pa・sである請求項6記載の長尺積層研磨パッドの製造方法。
- 前記気泡分散ウレタン組成物は、吐出時の粘度が1〜20Pa・sである請求項6又は7記載の長尺積層研磨パッドの製造方法。
- 前記光透過領域は、熱硬化性樹脂からなる請求項6〜8のいずれかに記載の長尺積層研磨パッドの製造方法。
- 前記熱硬化性樹脂は、ポリウレタン樹脂である請求項9記載の長尺積層研磨パッドの製造方法。
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