JP2007274348A - ラーメモード水晶振動子の製造方法 - Google Patents
ラーメモード水晶振動子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、水晶素子を形成する板状の水晶材料の一主面に電極を形成する工程と、複数個が連なるガラス材料から成る凹状形状を持つ容器体の凹状内面にプロテクト膜を形成する工程と、前記水晶素子と前記容器体の凹状開口部表面で接合する工程と、接合された状態の前記水晶素子表面からラーメモード水晶振動子のパターンニングを行う工程と、前記水晶素子の残る一主面に電極を形成する工程と、個々のラーメモード水晶振動子の形態に分割する工程とから成るラーメモード水晶振動子の製造方法である。また、上述する水晶素子にパターンニングする工程にはウェットエッチング工法を用いることにより課題を解決する。
【選択図】 図4
Description
圧電素板を基板にした水晶素子1で、その基板の辺比の一方の寸法を1(L)としたとき、もう一方の寸法が整数比(1(L)〜n)を満たす板の四隅に無振動部を有することにラーメモード振動子の特徴がある。図1に示すように正方形板の場合は四隅が節となって向かい合う2辺Aが正方形の中心方向に変位したときはもう一方の2辺Bが正方形の外方向に変位し、また向かい合う2辺Aが正方形の外方向に変位したときはもう一方の2辺Bが正方形の中心方向に変位する振動形態である。
なお、図5(e)に点線で示したが、実際のラーメモード水晶振動子は最終的には蓋体を被した形態となる。
2 電極
3 容器体
4 開口部
5 ラーメモード水晶振動子
Claims (2)
- 矩形状の水晶素子に電荷を加えたときに、前記水晶素子の角部4点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じる、LQ1Tカットあるいは、LQ2Tカットの水晶基板から成り、振動部、支持部、接続部で構成するラーメモード水晶振動子の製造方法おいて、
前記水晶素子を形成する板状の水晶材料の一主面に電極を形成する工程と、複数個が連なるガラス材料から成る凹状形状を持つ容器体の該凹状内面にプロテクト膜を形成する工程と、前記水晶素子と前記容器体の凹状開口部表面で接合する工程と、接合された状態の前記水晶素子表面からラーメモード水晶振動子のパターンニングを行う工程と、前記水晶素子の残る一主面に電極を形成する工程と、個々のラーメモード水晶振動子の形態に分割する工程とから成るラーメモード水晶振動子の製造方法。 - 請求項1において、水晶素子にパターンニングする工程にはウェットエッチング工法が用いられていることを特徴とするラーメモード水晶振動子の製造方法。
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