JP2007273976A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5670017B2 (ja) * 2008-10-03 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置
JP5344143B2 (ja) * 2008-12-11 2013-11-20 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子
JP6212741B2 (ja) * 2013-03-01 2017-10-18 株式会社ユーテック 配向基板
JP6201128B2 (ja) * 2013-03-01 2017-09-27 株式会社ユーテック 配向基板、配向膜基板の製造方法、スパッタリング装置及びマルチチャンバー装置
JP6478023B2 (ja) * 2014-03-18 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、圧電アクチュエーター装置、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波測定装置
JP6497712B2 (ja) * 2017-02-27 2019-04-10 アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 配向基板、配向膜基板の製造方法、スパッタリング装置及びマルチチャンバー装置
JP6497713B2 (ja) * 2017-03-14 2019-04-10 アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 配向基板、配向膜基板の製造方法、スパッタリング装置及びマルチチャンバー装置
JP6481138B2 (ja) * 2017-04-28 2019-03-13 アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 配向膜基板の製造方法、スパッタリング装置及びマルチチャンバー装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08186182A (ja) * 1994-12-28 1996-07-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 強誘電体薄膜素子
JP2003270602A (ja) * 2002-03-18 2003-09-25 Fujitsu Ltd 亜鉛ニオブ酸鉛−チタン酸鉛混晶系強誘電体単結晶を用いた電気光学効果素子及びそれを用いた光スイッチ
JP4812244B2 (ja) * 2002-10-21 2011-11-09 京セラ株式会社 印刷ヘッド
JP4548597B2 (ja) * 2005-03-25 2010-09-22 セイコーエプソン株式会社 圧電素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッドの製造方法およびインクジェットプリンタの製造方法
JP2007088445A (ja) * 2005-08-23 2007-04-05 Canon Inc 圧電体、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び圧電体の製造方法

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