JP2007271882A - 光モジュールおよびその製造方法 - Google Patents

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裕行 岩崎
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Abstract

【課題】簡素な構成でありながら複数の光ファイバと複数の光学素子との良好な接続状態を容易に実現することのできる光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュール1Aは、光軸Z1に沿って、素子アレイ10とホルダ20と光ファイバアレイ30とを備える。素子アレイ10は、光軸Z1に沿った方向(Z軸方向)と、光軸Z1を回転中心とした回転方向10Rとにおいて調整自在となるようにホルダ20によって保持されている。このため、光ファイバアレイ30についての回転方向の調整を行うことなく、素子アレイ10と光ファイバアレイ30との良好な光学的結合を実現することができる。特に、発光素子11および光ファイバ32が2次元配列されている場合に好適である。
【選択図】図1

Description

本発明は、発光素子からの光を光ファイバに入射し、または光ファイバからの光を受光素子に入射するように構成された光モジュールおよびその製造方法に関する。
従来より、光通信の分野において、発光素子や受光素子などの光学デバイスと、光ファイバとを光学的に結合させる光モジュールが使用されている。光通信によれば、電気通信に比べて高速かつ大量のデータ伝送を行うことが可能である。その一方で、光通信を行う場合、電気通信を行う場合よりも伝送経路において高精度な接続が要求される。
このような要求に対し、一般的には、アクティブアライメントという技術を用いて対応している。具体的には、例えば発光素子から発光した光を光ファイバに入射するとともに、光ファイバの射出端からの出力をモニタし、その出力が最大になるように発光素子および光ファイバを相対的に移動させて両者を固定するという手法である(例えば特許文献1参照)。
特開平7−30207号公報
また、上記とは異なる方法として、V溝などを利用したパッシブアライメントという技術も最近では用いられるようになっている(例えば特許文献2参照)。
特開平11−295561号公報
しかしながら、上記特許文献1のようなアクティブアライメントに基づく接続方法では、比較的高精度な接続が可能であるものの、調整に大幅な時間を要する。このため作業効率が悪く、特に複数の接続を行う場合にはコストの面において非常に不利である。
一方、上記特許文献2のようなパッシブアライメント技術に基づく接続方法によれば、アクティブアライメント技術に比べて調整時間の短縮が可能である。しかしながら、この方法については、互いに一次元配列された複数の光ファイバおよび複数の光デバイス同士を接続する場合には適用可能であるものの、光ファイバおよび光デバイスが各々2次元配列されている場合に適用することは困難である。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、簡素な構成でありながら複数の光ファイバと複数の光学素子との良好な接続状態を容易に実現することのできる光モジュールを提供すると共に、そのような光モジュールをより簡便に製造することのできる光モジュールの製造方法を提供することにある。
本発明の光モジュールは、複数の発光素子または複数の受光素子が配列されてなる素子アレイと、複数の発光素子または複数の受光素子と光の授受を各々行う複数の光ファイバが配列されてなる光ファイバアレイと、素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備え、素子アレイおよび光ファイバアレイの少なくとも一方が、光ファイバの光軸に沿った光軸方向と、光軸に平行な回転軸を回転中心とした回転方向とにおいて調整自在に保持されるようにしたものである。なお、複数の光ファイバは、各々の端面が同一平面に含まれるように配列され、かつ、各々の光軸が少なくともその端面近傍において互いに平行をなすように配列されたものである。ここでいう平行とは完全平行が理想ではあるが、それに限定されるものではなく実質的に平行である状態という。例えば、製造誤差等のずれを含む概念である。
本発明の光モジュールでは、素子アレイおよび光ファイバアレイのうちの少なくとも一方が、光軸方向と、光軸に平行な回転軸を回転中心とした回転方向とにおいて調整自在となるように保持部材によって保持されている。このため、素子アレイまたは光ファイバアレイの少なくとも一方について、その端面における発光素子または受光素子あるいは光ファイバの配列位置を観察しながら、それらの配列位置を保持部材の基準位置に合わせることが可能である。すなわち、素子アレイまたは光ファイバアレイと、光軸方向および回転方向における保持部材との相対位置を調整し、決定することが容易である。ここで、素子アレイまたは光ファイバアレイのいずれか一方を回転方向において調整しておけば、他方についての回転方向の調整は不要である。
本発明の光モジュールでは、素子アレイおよび光ファイバアレイの少なくとも一方が、光軸と直交する2軸方向において調整自在に保持されていることが望ましい。また、保持部材は、発光素子からの各射出光を集光し、対応する光ファイバの一端面に各光束を導くように機能する集光レンズ、または光ファイバからの各射出光を集光し、対応する受光素子の端面に各光束を導くように機能する集光レンズをさらに保持していることが望ましい。さらに、発光素子または受光素子が光軸と直交する面内において2次元配列されている場合には、複数の光ファイバの端面についても複数の発光素子または複数の受光素子と対応するように2次元配列されていることが望ましい。
本発明における第1の光モジュールの製造方法は、複数の発光素子が配列されてなる素子アレイと、発光素子からの光を受光するように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であり、以下の2つの工程(A),(B)を含むものである。
(A)保持部材の一端部に素子アレイを組み込んだのち、発光素子からの各射出光を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、素子アレイを光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に光軸に沿って移動させることにより、素子アレイを保持部材の基準位置に合わせる工程。
(B)保持部材の他端部に光ファイバアレイを組み込んだのち、光軸と直交する2軸方向に沿って光ファイバアレイを移動させることにより、保持部材と光ファイバアレイとの相対位置を調整する工程。
本発明における第2の光モジュールの製造方法は、複数の受光素子が配列されてなる素子アレイと、受光素子へ光を入射させるように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であり、以下の2つの工程(C),(D)を含むものである。
(C)保持部材の一端部に素子アレイを組み込んだのち、受光素子からの各反射光を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、素子アレイを光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に光軸に沿って移動させることにより、素子アレイを保持部材の基準位置に合わせる工程。
(D)保持部材の他端部に光ファイバアレイを組み込んだのち、光軸と直交する2軸方向に沿って光ファイバアレイを移動させることにより、保持部材と光ファイバアレイとの相対位置を調整する工程。
本発明における第1および第2の光モジュールの製造方法では、発光素子または受光素子の配列位置を観察しながら光軸方向および回転方向における保持部材との相対位置を調整したのち、光軸と直交する2軸方向における保持部材と光ファイバアレイとの相対位置を調整するようにしたので、光ファイバアレイについては、回転方向の調整が不要となる。
本発明における第3の光モジュールの製造方法は、複数の発光素子が配列されてなる素子アレイと、発光素子からの射出光を受光するように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であり、以下の2つの工程(E),(F)を含むものである。
(E)保持部材の一端部に光ファイバアレイを組み込んだのち、光ファイバからの光の各々を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、光ファイバアレイを光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に光軸に沿って移動させることにより、光ファイバアレイを保持部材の基準位置に合わせる工程。
(F)保持部材の他端部に素子アレイを組み込んだのち、光軸と直交する2軸方向に沿って素子アレイを移動させることにより、保持部材と素子アレイとの相対位置を調整する工程。
本発明における第4の光モジュールの製造方法は、複数の受光素子が配列されてなる素子アレイと、受光素子へ光を入射させるように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であり、以下の2つの工程(G),(H)を含むものである。
(G)保持部材の一端部に光ファイバアレイを組み込んだのち、光ファイバからの光の各々を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、光ファイバアレイを光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に光軸に沿って移動させることにより、光ファイバアレイを保持部材の基準位置に合わせる工程。
(H)保持部材の他端部に前記素子アレイを組み込んだのち、光軸と直交する2軸方向に沿って素子アレイを移動させることにより、保持部材と素子アレイとの相対位置を調整する工程。
本発明における第3および第4の光モジュールの製造方法では、光ファイバの配列位置を観察しながら光軸方向および回転方向における保持部材との相対位置を調整したのち、光軸と直交する2軸方向における保持部材と素子アレイとの相対位置を調整するようにしたので、素子アレイについては、回転方向の調整が不要となる。
本発明の光モジュールによれば、保持部材が、複数の発光素子または複数の受光素子が配列されてなる素子アレイおよび複数の光ファイバが配列されてなる光ファイバアレイの少なくとも一方を、光軸方向および回転方向において調整自在に保持するようにしたので、素子アレイまたは光ファイバアレイの少なくとも一方と、光軸方向および回転方向における保持部材との相対位置を容易に調整し、決定することができる。このため、素子アレイまたは光ファイバアレイのいずれか一方についての回転方向の調整をすれば、他方についての回転方向の調整を行うことなく素子アレイと光ファイバアレイとの良好な光学的結合を実現することができる。特に、発光素子または受光素子、および光ファイバが2次元配列されている場合に好適である。
本発明における第1および第2の光モジュールの製造方法によれば、発光素子からの各射出光または受光素子からの各反射光を検出してそれらの配列位置を観察しながら光軸方向および回転方向の調整を行うことにより素子アレイを保持部材の基準位置に合わせたのち、光軸と直交する2軸方向に沿って光ファイバアレイを移動させることにより保持部材と光ファイバアレイとの相対位置を調整するようにしたので、比較的容易に回転方向の位置合わせを行うことができ、素子アレイと光ファイバアレイとの良好な光学的結合を実現することができる。
本発明における第3および第4の光モジュールの製造方法によれば、光ファイバからの光を各々検出してそれらの配列位置を観察しながら光軸方向および回転方向の調整を行うことにより光ファイバアレイを保持部材の基準位置に合わせたのち、光軸と直交する2軸方向に沿って素子アレイを移動させることにより保持部材と素子アレイとの相対位置を調整するようにしたので、比較的容易に回転方向の位置合わせを行うことができ、素子アレイと光ファイバアレイとの良好な光学的結合を実現することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
[第1の実施の形態]
まず、図1および図2を参照して、本発明における第1の実施の形態としての光モジュールの構成について説明する。図1は、本実施の形態の光モジュール1Aの構成を表す断面図である。なお、図1には、後述する本実施の形態の変形例としての光モジュール1Bについても併せて示す。図2は、光モジュール1Aの要部の位置関係を模式的に表す概略斜視図である。光モジュール1Aは、光軸Z1に沿って、素子アレイ10とホルダ20と光ファイバアレイ30とを備えたものである。
素子アレイ10は、例えば9つの発光素子11(11A〜11H,11J)が本体12に埋設されたものである。図2に示したように、9つの発光素子11は、光軸Z1と直交する面内において2次元配列されている(図2では、3行×3列の配列状態を例示している)。なお、図1では、発光素子11および光ファイバ32について各々3つずつ含む断面を示している。発光素子11としては、例えば発光ダイオードや半導体レーザなどを用いることができる。本体12には給電線13,14が接続されており、発光素子11に発光エネルギーが供給されるようになっている。さらに、素子アレイ10は、光軸Z1に沿った方向(Z軸方向)と、光軸Z1に平行な回転軸(ここでは光軸Z1)を回転中心とした回転方向10Rとにおいて調整自在となるようにホルダ20によって保持されている。具体的には、本体12は、そのフランジ部分を除いた部分が円柱状をなすように構成されており、その円柱状の部分における外周面12Sがホルダ20の一端側に設けられた係合部22の内周面22Nと密接しながら回転方向10Rにおいて回転可能に保持されている。同時に、本体12は、その外周面12Sを内周面22と密接させながら光軸Z1方向に移動可能に保持されている。なお、図1に示した本体12およびホルダ20の形状は一例に過ぎず、他の形状をなすようにしてもよい。
ホルダ20は、光軸Z1に沿って延在する貫通孔を有する円筒状をなすものであり、その貫通孔の中央部分には球状の集光レンズ21(以下、単にレンズ21という。)が固定配置されている。なお、レンズ21としては、球状以外の正レンズを用いることも可能である。また、単一のレンズに限らず、複数のレンズによって構成してもよい。
光ファイバアレイ30は、円筒状のホルダ31と、9本の光ファイバ32(32A〜32H,32J)と、フェルール33とを有しており、ホルダ20における、素子アレイ10が保持された端部と反対側の端部に保持されている。光ファイバ32は、図2に示したように、発光素子11に対応して2次元配列された状態(3行×3列の配列状態)でフェルール33に接着固定されている。円柱状の輪郭をなすフェルール33は、その外周面33Sをホルダ31の内周面31Nと密接させながら光軸Z1方向に沿って移動可能に保持されている。また、ホルダ31は、ホルダ20における素子アレイ10とは反対側の端面23と接し、光軸Z1と直交する2軸方向(図1におけるX軸方向およびY軸方向)に沿って移動可能に保持されている。このような構成により、光ファイバアレイ30は、ホルダ20に対し、X軸方向,Y軸方向およびZ軸方向において調整自在となっている。その一方で、素子アレイ10とは異なり、回転方向10Rにおいて回転することはできず、ホルダ20に対する光ファイバ32の配列位置が常に同じ向きとなるように保持されている。
次に、光モジュール1Aの作用について説明する。
図1に示したように、発光素子11を発光させると、発光端面11Tからの射出光束φ1はレンズ21を透過することによって集光され、集光光束φ2となる。なお、図1では、9つの発光素子11のうちの中央に位置する発光素子11Aから射出する射出光束φ1、および9本の光ファイバ32のうちの中央に位置する光ファイバ32Aへ入射する集光光束φ2についてのみ図示し、他の射出光束および集光光束については図示を省略している。集光光束φ2は光ファイバ32の端面34に到達したのち、各光ファイバ32のコア部に入射され、クラッド部との境界面において全反射を繰り返しながらコア部を伝播していくこととなる。
本実施の形態では、素子アレイ10が、ホルダ20によって回転方向10Rに沿って回転自在に保持されていることから、9つの発光素子11の配列位置(配列の向き)を適切に調整することができる。ホルダ20の向きと光ファイバ32の配列の向きとの関係は常に一定であることから、発光素子11の配列位置をホルダ20の基準位置に合致するように調整すれば、結果として各発光素子11からの射出光がレンズ21を介して対応する光ファイバ32に入射するようになっている。さらに、素子アレイ10は、ホルダ20に対して光軸Z1方向に沿って移動可能となっているので、発光端面12Tとレンズ21との距離を変化させることにより倍率調整を行うこともできる。一方、光ファイバアレイ30がホルダ20によって3軸方向に移動可能に保持されていることから、次のような調整が可能である。すなわち、X軸方向およびY軸方向に沿って光ファイバ32を移動させることにより光軸調整(光軸合わせ)を行うことができ、Z軸方向に沿って光ファイバ32を移動させることにより端面34とレンズ21との距離を適正化し、ピント調整を行うことができるのである。これらの結果、発光素子11と光ファイバ32との良好な光学的結合を実現することができる。すなわち、図2に示したように、例えば、発光素子11Aからの射出光はレンズ21を経由したのち対応する光ファイバ32Aに入射され、発光素子11Bからの射出光はレンズ21を経由したのち対応する光ファイバ32Bに入射される。他の発光素子11C〜11H,11Jからの射出光についても同様に、光ファイバ32C〜32H,32Jへ各々入射される。なお、図2では、視覚的な煩雑さを避けるため、発光素子11A〜11Eから光ファイバ32A〜32Eへ向かう光線のみを示す。
次に、図1および図2に加え、図3〜図5を参照して光モジュール1Aの製造方法について説明する。図3は、光モジュール1Aの製造方法における製造工程全体を示した流れ図であり、図4は、図3に示した製造工程の一部を説明するための概略構成図である。さらに、図5は、図3に示した製造工程の一部を説明するための説明図である。
まず、レンズ21が配置されたホルダ20の係合部22に本体12を挿入するようにして、素子アレイ10をホルダ20に組み込む(ステップS101)。
次いで、各発光素子11の発光端面11Tから射出したのちレンズ21を透過した集光光束φ2を観察しながら、素子アレイ10の位置調整を行う(ステップS102)。具体的には、例えば図4に示したように光軸Z1上にカメラ50を配置して集光光束φ2を検出(撮影)することにより発光素子11の配置状態を示す映像を取得し、図5(A)に示したように、モニタ51に表示させる。図5(A)における黒丸「●」で示したスポット52(52A〜52E)は、発光素子11A〜11Eにそれぞれ対応する集光光束φ2の像である。このような画像をカメラ50によって連続的に取得しながら、素子アレイ10を光軸Z1を中心として回転させることにより発光素子11A〜11H,11Jの配列の向きを調整する。ここでは、例えば図5(A)の矢印5Rの方向にスポット52の配列を回転させる。モニタ51には、スポット52が本来あるべき位置、すなわち基準位置53(53A〜53E)を同時予め表示しておく。図5(B)に示したように、素子アレイ10の回転操作を行っただけでは、スポット52の全てが基準位置53と一致しない場合がある。このため、さらに、素子アレイ10を光軸Z1に沿って移動させることにより倍率調整を行い、図5(C)のようにスポット52を基準位置53と一致させる。
素子アレイ10とホルダ20との位置調整を終えたのち、ホルダ20の他端部に光ファイバアレイ30を組み込む(ステップS103)。
そののち、代表的な光ファイバ32の端面34に入射する集光光束φ2の光量レベルが基準値以上となるように光ファイバアレイ30の位置調整を行う(ステップS104)。具体的には、X軸方向およびY軸方向に沿ってホルダ31を移動させることにより光軸調整(光軸合わせ)を行ったのち、フェルール33と一体化された光ファイバ32をZ軸方向に沿って移動させることにより端面34とレンズ21との距離を適正化(ピント位置調整)する。ここでは、例えば配列の中央に位置する光ファイバ32Aと、配列の四隅に位置する光ファイバ32B〜32Eとについて、端面34と反対側の端面から射出する光(図示せず)の光量レベルを測定し、それらが全て基準値以上となるような位置を見つけるようにする。
最後に、全ての光ファイバ32に入射する集光光束φ2の光量レベルが基準値以上となるように光ファイバアレイ30の位置を微調整する(ステップS105)。
このように、本実施の形態における光モジュール1Aの製造方法によれば、発光素子11の配列位置を観察しながら光軸Z1方向および回転方向10Rにおける素子アレイ10とホルダ20との相対位置調整を行ったのち、3軸方向におけるホルダ20と光ファイバアレイ30との相対位置調整を行うようにしたので、光ファイバアレイ30については、回転方向の調整が不要となる。よって、最初から光量レベルを測定しながら位置合わせを行う場合などと比べ、比較的容易に回転方向の位置合わせを行うことができ、素子アレイ10と光ファイバアレイ30との良好な光学的結合を実現することができる。
<変形例1>
続いて、本実施の形態における変形例(変形例1)について説明する。本実施の形態では、複数の発光素子11が配列された素子アレイ10を備えた光モジュール1Aについて説明したが、本変形例としての光モジュール1B(図1参照)のように、発光素子11の替わりに複数の受光素子41(41A〜41H,41J)が配列された素子アレイ40を備えるようにしてもよい。その場合、光ファイバ32(32A〜32H,32J)から射出された射出光束φ3がレンズ21によって集光光束φ4となり、受光素子41の受光端面41Tに入射することとなる。
図6を参照して、受光素子41を有する素子アレイ10を備えた光モジュール1Bの製造方法について説明する。図6は、光モジュール1Bの製造方法における製造工程全体を示した流れ図である。
まず、レンズ21が配置されたホルダ20の係合部22に本体12を挿入するようにして、素子アレイ40をホルダ20に組み込む(ステップS201)。
次いで、各受光素子41の受光端面41Tから射出したのちレンズ21を透過した集光光束φ2を観察しながら、素子アレイ40の位置調整を行う(ステップS202)。ここでいう、受光端面41Tから射出したのち・・・(略)・・・集光光束φ2とは、受光端面41Tを照明等で照射して得られる反射光である。具体的な調整の方法については、上記実施の形態と同様である。
素子アレイ10とホルダ20との位置調整を終えたのち、ホルダ20の他端部に光ファイバアレイ30を組み込む(ステップS203)。
そののち、代表的な受光素子41の受光端面41Tにおいて検出される集光光束φ4の受光量レベルが基準値以上となるように光ファイバアレイ30の位置調整を行う(ステップS204)。ここでは、例えば配列の中央に位置する受光素子と、配列の四隅に位置する受光素子とについて、各々の受光量レベルを測定し、それらが全て基準値以上となるような位置を見つけるようにする。
最後に、全ての受光素子41に入射する集光光束φ4の受光量レベルが基準値以上となるように光ファイバアレイ30の位置を微調整する(ステップS205)。
このように発光素子11を受光素子41に置き換えた場合であっても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
[第2の実施の形態]
続いて、図7を参照して、本発明における第2の実施の形態としての光モジュールの構成について説明する。図7は、本実施の形態の光モジュール1Cの構成を表す断面図である。なお、図7には、後述する本実施の形態の変形例としての光モジュール1Dについても併せて示す。光モジュール1Cは、光軸Z1に沿って、素子アレイ60とホルダ70と光ファイバアレイ80とを備えたものである。
素子アレイ60は、光軸Z1と直交する面内において2次元配列され例えば9つの発光素子11が本体15に埋設されたものである。本体15には給電線13,14が接続されており、発光素子11に発光エネルギーが供給されるようになっている。本体15は、おおよそ円筒状をなした枠部16によって、光軸Z1に沿った方向(Z軸方向)に調整自在に保持されている。さらに、枠部16は、ホルダ70における端面71と接し、光軸Z1と直交する2軸方向(図7におけるX軸方向およびY軸方向)に沿って移動可能に保持されている。このような構成により、素子アレイ60は、ホルダ20に対し、X軸方向,Y軸方向およびZ軸方向において調整自在となっている。
ホルダ70は、光軸Z1に沿って延在する貫通孔を有する円筒状をなすものであり、その貫通孔の中央部分には球状の集光レンズ72(以下、単にレンズ72という。)が固定配置されている。なお、レンズ72としては、球状以外の正レンズを用いることも可能であ。また、単一のレンズに限らず、複数のレンズによって構成してもよい。
光ファイバアレイ80は、円筒状のホルダ81と、9本の光ファイバ82と、フェルール83とを備えたものである。ホルダ81は、ホルダ70における、素子アレイ60が保持された端部と反対側の端部に固定されている。光ファイバ82は、発光素子11に対応して2次元配列された状態(3行×3列の配列状態)でフェルール83に接着固定されている。円柱状の輪郭をなすフェルール83は、その外周面83Sをホルダ81の内周面81Nと密接させながら光軸Z1方向に沿って移動自在に保持されている。さらに、フェルール83は、光軸Z1に平行な回転軸(ここでは光軸Z1)を回転中心とした回転方向80Rにおいて回転自在となっている。
次に、光モジュール1Cの作用について説明する。
図7に示したように、発光素子11を発光させると、発光端面11Tからの射出光束φ1はレンズ72を透過することによって集光され、集光光束φ2となる。集光光束φ2は光ファイバ82の端面84に到達したのち、各光ファイバ82のコア部に入射され、クラッド部との境界面において全反射を繰り返しながらコア部を伝播していくこととなる。
本実施の形態では、光ファイバアレイ80が、ホルダ70によって回転方向80Rに沿って回転自在に保持されていることから、9つの光ファイバ82の配列位置(配列の向き)を適切に調整することができる。ホルダ70の向きと発光素子11の配列の向きとの関係は常に一定であることから、光ファイバ82の配列位置をホルダ70の基準位置に合致するように調整すれば、結果として各発光素子11からの射出光がレンズ72を介して対応する光ファイバ82に入射するようになっている。さらに、光ファイバアレイ80はホルダ70に対して光軸Z1方向に沿って移動可能となっているので、端面84とレンズ72との距離を変化させることによりピント調整を行うことができる。一方、素子アレイ60が枠部16によって3軸方向に移動可能に保持されていることから、次のような調整が可能である。すなわち、X軸方向およびY軸方向に沿って発光素子11を移動させることにより光軸調整(光軸合わせ)を行うことができ、Z軸方向に沿って発光素子11を移動させることにより発光端面11Tとレンズ72との距離を適正化し、倍率調整を行うことができるのである。これらの結果、発光素子11と光ファイバ82との良好な光学的結合を実現することができる。
次に、図7に加え、図8を参照して光モジュール1Cの製造方法について説明する。図8は、光モジュール1Cの製造方法における製造工程全体を示した流れ図である。
まず、レンズ72を配置されたホルダ70の一端部に、光ファイバアレイ80を組み込む(ステップS301)。
次いで、各光ファイバ82の端面84から射出したのち(または各光ファイバ82の端面84において反射したのち)レンズ72によって集光された集光光束φ4を観察しながら、光ファイバアレイ80の位置調整を行う(ステップS302)。具体的には、光軸Z1上にカメラを配置して集光光束φ4を検出(撮影)することにより光ファイバ82の配置状態を示す映像を連続的にしながら、光ファイバアレイ80を光軸Z1を中心として回転させ、配列の向きを調整する。ここでは、集光光束φ4を得るにあたり、例えば端面84とは反対側の端面(図示せず)から各光ファイバ82に光を入射してもよいし、あるいは、各光ファイバ82の端面84に外部光を照射するようにしてもよい。
光ファイバアレイ80とホルダ70との位置調整を終えたのち、ホルダ70の他端部に、複数の発光素子11が配列された素子アレイ60を組み込む(ステップS303)。
そののち、各発光素子11を発光させ、レンズ72を介して代表的な光ファイバ82の端面84に入射する集光光束φ2の光量レベルが基準値以上となるように素子アレイ60の位置調整を行う(ステップS304)。具体的には、X軸方向およびY軸方向に沿って枠部16を移動させることにより光軸調整(光軸合わせ)を行ったのち、本体15と一体化された発光素子11をZ軸方向に沿って移動させることにより発光端面11Tとレンズ72との距離を適正化(倍率調整)する。ここでは、例えば配列の中央に位置する光ファイバと、配列の四隅に位置する光ファイバとについて、端面84と反対側の端面から射出する光(図示せず)の光量レベルを測定し、それらが全て基準値以上となるような位置を見つけるようにする。
最後に、全ての光ファイバ82の端面84に入射する集光光束φ2の光量レベルが基準値以上となるように素子アレイ60の位置を微調整する(ステップS305)。
このように、本実施の形態における光モジュール1Cの製造方法によれば、光ファイバ82の配列位置を観察しながら光軸Z1方向および回転方向80Rにおける素光ファイバアレイ80とホルダ70との相対位置調整を行ったのち、3軸方向におけるホルダ70と素子アレイ60との相対位置調整を行うようにしたので、素子アレイ60については、回転方向の調整が不要となる。よって、最初から光量レベルを測定しながら位置合わせを行う場合などと比べ、比較的容易に回転方向の位置合わせを行うことができ、素子アレイ60と光ファイバアレイ80との良好な光学的結合を実現することができる。
<変形例2>
続いて、本実施の形態における変形例(変形例2)について説明する。本実施の形態では、複数の発光素子11が配列された素子アレイ60を備えた光モジュール1Cについて説明したが、本変形例としての光モジュール1D(図7参照)のように、発光素子11の替わりに複数の受光素子41が配列された素子アレイ90を備えるようにしてもよい。その場合、光ファイバ82から射出された射出光束φ3がレンズ72によって集光光束φ4となり、受光素子41の受光端面41Tに入射することとなる。
図9を参照して、受光素子41を有する素子アレイ90を備えた光モジュール1Dの製造方法について説明する。図9は、光モジュール1Dの製造方法における製造工程全体を示した流れ図である。
まず、レンズ72が配置されたホルダ70の一端部に、光ファイバアレイ80を組み込む(ステップS401)。
次いで、各光ファイバ82の端面84から射出したのち(または各光ファイバ82の端面84において反射したのち)レンズ72によって集光された集光光束φ4を観察しながら、光ファイバアレイ80の位置調整を行う(ステップS402)。具体的な調整の方法については、上記実施の形態と同様である。
光ファイバアレイ80とホルダ70との位置調整を終えたのち、ホルダ70の他端部に、複数の受光素子41が配列された素子アレイ90を組み込む(ステップS403)。
そののち、代表的な受光素子41の受光端面41Tにおいて検出される集光光束φ4の受光量レベルが基準値以上となるように素子アレイ90の位置調整を行う(ステップS404)。ここでは、例えば配列の中央に位置する受光素子と、配列の四隅に位置する受光素子とについて、各々の受光量レベルを測定し、それらが全て基準値以上となるような位置を見つけるようにする。
最後に、全ての受光素子41に入射する集光光束φ4の受光量レベルが基準値以上となるように素子アレイ90の位置を微調整する(ステップS405)。
このように発光素子11を受光素子41に置き換えた場合であっても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
以上、いくつかの実施の形態および変形例を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では発光素子,受光素子および光ファイバをそれぞれ3行×3列の2次元配列としたが、これに限定されるものではなく、他の配列形態も取り得るものである。また、素子アレイ、保持部材および光ファイバアレイの構造(形状)は、図1および図7に示したものに限定されるものではない。例えば、図1の光モジュール1Aは、図10に示した光モジュール1Eのような構造を有するものとしてもよい。
また、上記実施の形態では、素子アレイまたは光ファイバアレイのいずれか一方が光軸方向および回転方向に調整自在に保持され、かつ、他方が光軸と直交する2軸方向において調整自在に保持された機構としたが、これに限定されるものではない。例えば素子アレイおよび光ファイバアレイの双方が光軸方向、回転方向および光軸と直交する2軸方向の全てにおいて調整自在に保持されていてもよい。あるいは、素子アレイまたは光ファイバアレイのいずれか一方が光軸方向、回転方向および光軸と直交する2軸方向の全てにおいて調整自在となっており、他方が固定となっていてもよい。
本発明における第1の実施の形態としての光モジュール1A、およびその変形例である光モジュール1Bの構成を表す断面図である。 図1に示した光モジュール1Aの要部の位置関係を模式的に表す概略斜視図である。 光ファイバの構成を表す断面図である。 光モジュール1Aの製造方法における製造工程を表す流れ図である。 図3に示した製造工程の一部を説明するための概略構成図である。 図3に示した製造工程の一部を説明するための説明図である。 光モジュール1Bの製造方法における製造工程を表す流れ図である。 本発明における第2の実施の形態としての光モジュール1C、およびその変形例である光モジュール1Dの構成を表す断面図である。 光モジュール1Cの製造方法における製造工程を表す流れ図である。 光モジュール1Dの製造方法における製造工程を表す流れ図である。 光モジュール1Aの他の変形例としての光モジュール1Eの構成を表す断面図である。
符号の説明
1A〜1E…光モジュール、10,40,60,90…素子アレイ、11…発光素子、41…受光素子、20,70…ホルダ、21,72…レンズ、30,80…光ファイバアレイ、32,82…光ファイバ。

Claims (14)

  1. 複数の発光素子または複数の受光素子が配列されてなる素子アレイと、
    前記複数の発光素子または複数の受光素子と光の授受を各々行う複数の光ファイバが配列されてなる光ファイバアレイと、
    前記素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材と
    を備え、
    前記素子アレイおよび光ファイバアレイの少なくとも一方が、前記光ファイバの光軸に沿った光軸方向と、前記光軸に平行な回転軸を回転中心とした回転方向とにおいて調整自在に保持されている
    ことを特徴とする光モジュール。
  2. 前記素子アレイおよび光ファイバアレイの少なくとも一方が、前記光軸と直交する2軸方向において調整自在に保持されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。
  3. 前記素子アレイが回転方向において調整自在に保持されており、前記光ファイバアレイが前記光軸と直交する2軸方向において調整自在に保持されている
    ことを特徴とする請求項2に記載の光モジュール。
  4. 前記光ファイバアレイが回転方向において調整自在に保持されており、前記素子アレイが前記光軸と直交する2軸方向において調整自在に保持されている
    ことを特徴とする請求項2に記載の光モジュール。
  5. 前記保持部材は、前記発光素子からの各射出光を集光し、対応する前記光ファイバの一端面に各光束を導くように機能する集光レンズ、または前記光ファイバからの各射出光を集光し、対応する前記受光素子の端面に各光束を導くように機能する集光レンズをさらに保持している
    ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の光モジュール。
  6. 前記発光素子または受光素子は、光軸と直交する面内において2次元配列されており、
    前記複数の光ファイバの端面は、前記複数の発光素子または複数の受光素子と対応するように2次元配列されている
    ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の光モジュール。
  7. 複数の発光素子が配列されてなる素子アレイと、前記発光素子からの光を受光するように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、前記素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であって、
    前記保持部材の一端部に前記素子アレイを組み込んだのち、前記発光素子からの各射出光を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、前記素子アレイを前記光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に前記光軸に沿って移動させることにより、前記素子アレイを前記保持部材の基準位置に合わせる工程と、
    前記保持部材の他端部に前記光ファイバアレイを組み込んだのち、前記光軸と直交する2軸方向に沿って前記光ファイバアレイを移動させることにより、前記保持部材と前記光ファイバアレイとの相対位置を調整する工程と
    を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
  8. 前記光ファイバの全てに入射する前記射出光の光量レベルが基準値以上となるように前記保持部材と前記光ファイバアレイとの相対位置を調整する
    ことを特徴とする請求項7に記載の光モジュールの製造方法。
  9. 複数の受光素子が配列されてなる素子アレイと、前記受光素子へ光を入射させるように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、前記素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であって、
    前記保持部材の一端部に前記素子アレイを組み込んだのち、前記受光素子からの各反射光を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、前記素子アレイを前記光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に前記光軸に沿って移動させることにより、前記素子アレイを前記保持部材の基準位置に合わせる工程と、
    前記保持部材の他端部に前記光ファイバアレイを組み込んだのち、前記光軸と直交する2軸方向に沿って前記光ファイバアレイを移動させることにより、前記保持部材と前記光ファイバアレイとの相対位置を調整する工程と
    を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
  10. 前記光ファイバから射出光を発生させ、前記受光素子の全てにおける前記射出光の光量レベルが基準値以上となるように前記保持部材と前記光ファイバアレイとの相対位置を調整する
    ことを特徴とする請求項9に記載の光モジュールの製造方法。
  11. 複数の発光素子が配列されてなる素子アレイと、前記発光素子からの射出光を受光するように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、前記素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であって、
    前記保持部材の一端部に前記光ファイバアレイを組み込んだのち、前記光ファイバからの光を各々検出してそれらの配列位置を観察しつつ、前記光ファイバアレイを前記光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に前記光軸に沿って移動させることにより、前記光ファイバアレイを前記保持部材の基準位置に合わせる工程と、
    前記保持部材の他端部に前記素子アレイを組み込んだのち、前記光軸と直交する2軸方向に沿って前記素子アレイを移動させることにより、前記保持部材と素子アレイとの相対位置を調整する工程と
    を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
  12. 前記発光素子から射出光を発生させ、前記光ファイバの全てに入射する前記射出光の光量レベルが基準値以上となるように前記保持部材と前記素子アレイとの相対位置を調整する
    ことを特徴とする請求項11に記載の光モジュールの製造方法。
  13. 複数の受光素子が配列されてなる素子アレイと、前記受光素子へ光を入射させるように位置する光ファイバが複数配列されてなる光ファイバアレイと、前記素子アレイおよび光ファイバアレイを保持する保持部材とを備えた光モジュールの製造方法であって、
    前記保持部材の一端部に前記光ファイバアレイを組み込んだのち、前記光ファイバからの光を各々を検出してそれらの配列位置を観察しつつ、前記光ファイバアレイを前記光ファイバの光軸に平行な回転軸を中心として回転させると共に前記光軸に沿って移動させることにより、前記光ファイバアレイを前記保持部材の基準位置に合わせる工程と、
    前記保持部材の他端部に前記素子アレイを組み込んだのち、前記光軸と直交する2軸方向に沿って前記素子アレイを移動させることにより、前記保持部材と素子アレイとの相対位置を調整する工程と
    を含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
  14. 前記光ファイバから射出光を発生させ、前記受光素子の全てにおける前記射出光の光量レベルが基準値以上となるように前記保持部材と前記素子アレイとの相対位置を調整する
    ことを特徴とする請求項13に記載の光モジュールの製造方法。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011075592A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Mitsubishi Electric Corp 受光モジュールおよび受光モジュールの製造方法
JP2012173551A (ja) * 2011-02-22 2012-09-10 Canare Electric Co Ltd 半導体光スイッチチップ及び光スイッチモジュール
JP2013127651A (ja) * 2013-03-27 2013-06-27 Mitsubishi Electric Corp 受光モジュール
US20160047996A1 (en) * 2014-08-13 2016-02-18 Finisar Corporation Lens receptacles
WO2016061129A1 (en) * 2014-10-13 2016-04-21 Finisar Corporation Multi-lens optical components
WO2016069789A1 (en) * 2014-10-28 2016-05-06 Finisar Corporation Multi-channel optoelectronic subassemblies
US9612414B2 (en) 2014-08-13 2017-04-04 Finisar Corporation Multi-channel optoelectronic subassemblies
US9804349B2 (en) 2014-08-13 2017-10-31 Finisar Corporation Multi-lens optical components
US9848498B2 (en) 2014-08-13 2017-12-19 Finisar Corporation Optoelectronic subassembly with components mounted on top and bottom of substrate
US9854687B2 (en) 2014-08-13 2017-12-26 Finisar Corporation Multi-layer substrates including thin film signal lines
JPWO2021090514A1 (ja) * 2019-11-08 2021-05-14

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011075592A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Mitsubishi Electric Corp 受光モジュールおよび受光モジュールの製造方法
JP2012173551A (ja) * 2011-02-22 2012-09-10 Canare Electric Co Ltd 半導体光スイッチチップ及び光スイッチモジュール
JP2013127651A (ja) * 2013-03-27 2013-06-27 Mitsubishi Electric Corp 受光モジュール
US9874704B2 (en) 2014-08-13 2018-01-23 Finisar Corporation Ferrule assemblies
US9848498B2 (en) 2014-08-13 2017-12-19 Finisar Corporation Optoelectronic subassembly with components mounted on top and bottom of substrate
US20160047996A1 (en) * 2014-08-13 2016-02-18 Finisar Corporation Lens receptacles
US9612414B2 (en) 2014-08-13 2017-04-04 Finisar Corporation Multi-channel optoelectronic subassemblies
US9804349B2 (en) 2014-08-13 2017-10-31 Finisar Corporation Multi-lens optical components
US9854687B2 (en) 2014-08-13 2017-12-26 Finisar Corporation Multi-layer substrates including thin film signal lines
WO2016061129A1 (en) * 2014-10-13 2016-04-21 Finisar Corporation Multi-lens optical components
CN107111083A (zh) * 2014-10-28 2017-08-29 菲尼萨公司 多通道光电子组件
JP2017534920A (ja) * 2014-10-28 2017-11-24 フィニサー コーポレイション マルチチャンネル光電子サブアセンブリ及び方法
WO2016069789A1 (en) * 2014-10-28 2016-05-06 Finisar Corporation Multi-channel optoelectronic subassemblies
CN107111083B (zh) * 2014-10-28 2019-07-26 菲尼萨公司 多通道光电子组件
JPWO2021090514A1 (ja) * 2019-11-08 2021-05-14
WO2021090514A1 (ja) * 2019-11-08 2021-05-14 株式会社島津製作所 光通信装置
WO2021090480A1 (ja) * 2019-11-08 2021-05-14 株式会社島津製作所 光通信装置
JP7266255B2 (ja) 2019-11-08 2023-04-28 株式会社島津製作所 光通信装置

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