JP2007270261A - 蒸着装置、蒸着方法、有機ｅｌ装置の製造方法、及び蒸着用セル - Google Patents

Abstract

【課題】有機材料の蒸着において蒸着材料の分解を防止し、かつ、蒸着速度を安定化させるための技術を提供する。
【解決手段】有機材料の蒸着処理において蒸着材料をより均一に加熱する。そのための蒸着装置は、蒸着材料を加熱及び蒸発させる蒸着用るつぼと、当該蒸着用るつぼの周囲に設けられた第１のヒータと、当該蒸着用るつぼの底部から当該蒸着用るつぼの開口部に向けて設けられた第２のヒータとを備えている。このように有機材料を中央部および周辺部の両方より加熱する構造とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、蒸着技術に関する。

有機ＥＬ素子等の各種素子の製造技術として、基板上に所望の材料を蒸着させる手法が広く採用されている。このような蒸着を行う際には、蒸着用セルのるつぼ（蒸着用るつぼ）に蒸着させたい所望の材料（蒸着材料）を入れておいて加熱することで、蒸着材料を蒸発させる。

なお、蒸着材料としてより高温な場所へと移動するガリウムヒ素等といった特殊な材料を用いた場合には、蒸着材料が蒸着用るつぼの壁面に沿って這い出ることにより、ヒータが短絡し使用不可能となるといった問題があった。そこで、このような問題を解決するために、蒸着用るつぼに底部から開口部に向かって突起を設け、その先端部だけを加熱する技術が提案されている（例えば、特許文献１）。

ところで、図１０は一般的な蒸着用セル１１０の断面図であるが、蒸着用セル１１０は、蒸着用るつぼ１１２と、蒸着用るつぼ１１２の周囲にコイルが巻き付けられて形成された加熱用のヒータ（加熱用ヒータ）１１３と、放熱を防ぐリフレクタ１１４とを備えて構成されている。このような蒸着用セル１１０では、蒸着用るつぼ１１２内の底部に蒸着材料１０９が充填された状態で、加熱用ヒータ１１３によって蒸着用るつぼ１１２が加熱されることで、蒸着材料１０９が蒸発し放出される。

特開平２−２４３５８９号公報 特開２００５−２８１７１０号公報 特開２００５−４８２４４号公報 特開２００４−２１１１１０号公報

しかしながら、上記一般的な蒸着用セル１１０では、蒸着用るつぼ１１２内で蒸着材料が均一に加熱され難く、対象物に対する蒸着の速度（レート）が安定し難いといった問題があった。また、蒸着材料１０９のうちの蒸着用るつぼ１１２の壁面から離隔した部分は加熱され難いため、この部分を蒸発させるために加熱用ヒータ１１３の発熱量を上昇させると、蒸着材料が有機材料の場合には、有機材料の分解が懸念される。

このような問題は、上記特許文献１に記載された技術や蒸着処理一般に生じる問題である。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、蒸着処理において蒸着材料をより均一に加熱するための技術を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、蒸着装置であって、蒸着材料を加熱及び蒸発させる蒸着用るつぼと、前記蒸着用るつぼの周囲に設けられた第１のヒータと、前記蒸着用るつぼの底部から当該蒸着用るつぼの開口部に向けて設けられた第２のヒータとを備えることを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１に記載の蒸着装置であって、前記第２のヒータが、前記底部から前記開口部付近にかけて設けられたことを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の蒸着装置であって、前記蒸着用るつぼが、前記第２のヒータを被覆する部分を有することを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３の何れかに記載の蒸着装置であって、前記第１のヒータにおいて発熱材料が配置される第１の間隔と、前記第２のヒータにおいて発熱材料が配置される第２の間隔とが略同一であることを特徴とする。

また、請求項５の発明は、蒸着装置における蒸着方法であって、(a)周囲に第１のヒータが設けられ且つ底部から開口部に向けて第２のヒータが設けられた蒸着用るつぼの底部付近に対して、前記第２のヒータの高さを超えないように、蒸着材料を充填するステップと、(b)前記(a)ステップにおいて前記底部付近に対して充填された蒸着材料を、前記第１及び第２のヒータによって加熱及び蒸発させるステップとを備えることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、(i)請求項５に記載の蒸着方法を用いて、基板上に予め形成された第１の電極上に１以上の有機層を形成するステップと、(ii)前記１以上の有機層上に第２の電極を形成するステップとを備えることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法である。

また、請求項７の発明は、(I)請求項１から請求項４のいずれかに記載の蒸着装置を用いて、基板上に予め形成された第１の電極上に１以上の有機層を形成するステップと、(II)前記１以上の有機層上に第２の電極を形成するステップとを備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法である。

また、請求項８の発明は、蒸着用セルであって、蒸着材料を加熱及び蒸発させる蒸着用るつぼと、前記蒸着用るつぼの周囲に設けられた第１のヒータと、前記蒸着用るつぼの底部から当該蒸着用るつぼの開口部に向けて設けられた第２のヒータとを備えることを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、蒸着用るつぼの周囲だけでなく底部から当該蒸着用るつぼの開口部に向けてヒータを設けることで、蒸着処理において蒸着材料をより均一に加熱することができる。

また、請求項２に記載の発明によれば、蒸着用るつぼの底部から開口部付近にかけてヒータを設けることで、蒸着用るつぼの開口部付近における蒸着材料の析出に起因した開口部の狭窄を抑制することができる。

また、請求項３に記載の発明によれば、蒸着用るつぼの底部から開口部に向けて設けられたヒータが蒸着用るつぼによって被覆されているため、蒸着用るつぼの底部から開口部に向けて設けられたヒータの劣化を抑制することができる。また、例えば、ヒータが汚れ難くなるため、ヒータのメンテナンスを簡略化することができる。

また、請求項４に記載の発明によれば、蒸着用るつぼの周囲に設けられたヒータにおいて発熱材料が配置される間隔と、蒸着用るつぼの底部から開口部に向けて設けられたヒータにおいて発熱材料が配置される間隔とが略同一であるため、蒸着処理において蒸着材料をより確実かつ均一に加熱することができる。

また、請求項５に記載の発明によれば、周囲に第１のヒータが設けられ且つ底部から開口部に向けて第２のヒータが設けられた蒸着用るつぼの底部に対し、第２のヒータの高さを超えないように蒸着材料を充填して、蒸着材料を第１及び第２のヒータによって加熱及び蒸発させるような構成を採用することで、蒸着処理において蒸着材料をより均一に加熱することができる。

また、請求項６に記載の発明によれば、周囲に第１のヒータが設けられ且つ底部から開口部に向けて第２のヒータが設けられた蒸着用るつぼの底部に対し、第２のヒータの高さを超えないように蒸着材料を充填して、蒸着材料を第１及び第２のヒータによって加熱及び蒸発させることで、第１の電極上に１以上の有機層を形成し、更に、当該１以上の有機層上に第２の電極を形成するような構成を採用することで、蒸着材料をより均一に加熱することができるため、有機層の膜厚が精度良く調整された有機ＥＬ装置を製造することができる。

また、請求項７に記載の発明によれば、請求項６に記載の発明と同様な効果を得ることができる。

また、請求項８に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様な効果を得ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

＜蒸着装置の概略構成＞
図１は、本発明の実施形態に係る蒸着装置１の概略構成を示す模式図である。なお、図１及び図１以降の図では、各構成が配置される方向を明確化するためにＸＹＺの直交する３軸を適宜付している。

図１で示すように、蒸着装置１は、チャンバ２と、蒸着用セル１０とを備えており、有機ＥＬ装置を構成する有機層を基板５上に蒸着するための装置である。

チャンバ２は、基板５を収納できるように構成されており、チャンバ２内において、基板５はマグネットプレート３とメタルマスク７との間で挟持されて固定される。チャンバ２は、基板５に対する蒸着処理が行われる際に、内部が減圧状態（例えば、真空状態）に保持される。

マグネットプレート３は、電磁石等を備えて構成され、磁力の発生と解除とを適宜切り替えることができる。メタルマスクは７は、有機ＥＬ装置の各有機ＥＬ素子に対応する多数の開口が設けられたものである。蒸着装置１では、チャンバ２内の中央部の比較的上方において、マグネットプレート３がフェライト系ステンレス鋼等によって構成されるメタルマスク７を磁力によって吸引することで、基板５がマグネットプレート３とメタルマスク７との間で挟持される。

蒸着用セル１０は、基板５に対して蒸着させるための材料（蒸着材料）を加熱することで蒸発させるものである。蒸着用セル１０から蒸発した蒸着材料は、基板５に向けて放出され（図１中矢印）、メタルマスク７に設けられた多数の開口を介して基板５上に適宜蒸着される。なお、基板５のうち、蒸着材料が蒸着される対象の領域を以下「蒸着対象領域」とも称する。

以下、蒸着用セル１０の構成について説明する。

＜蒸着用セルの構成＞
図２及び図３は、本発明の実施形態に係る蒸着用セル１０の構成を例示する図である。図２は、蒸着用セル１０を正面方向（側方）から見た断面図であり、図３は、蒸着用セル１０を上方から見た平面模式図である。なお、図２は、図３の線Ｘ−Ｙに沿って切断した断面図である。

蒸着用セル１０は、蒸着用るつぼ１２と、加熱用ヒータ１３と、リフレクタ１４とを備えている。

蒸着用るつぼ１２は、耐熱性のある材料（例えばアルミナ）によって構成され、蒸着材料を加熱及び蒸発させる深皿である。

図２及び図３に示すように、この蒸着用るつぼ１２は、略円形状のＸＹ断面を有し、内側に略円柱状の穴部１２Ｃｖを有し、当該穴部１２Ｃｖの上端（図２中で＋Ｚ方向の端部）には開口部１２ｈが設けられている。また、蒸着用るつぼ１２は、穴部１２Ｃｖの底部１２ｂの略中央部から開口部１２ｈに向けて突起した突起部１２ｄを有している。つまり、穴部１２Ｃｖの底部１２ｂ近傍では、略ドーナツ状の凹み部が形成されている。

蒸着用るつぼ１２で蒸発させる蒸着材料としては、例えば、有機ＥＬ装置において発光する有機層を構成する発光有機材料（ＡＬｑ３、ルブレン、ＮＰＢ、ＣｕＰｃ等）が挙げられる。これらの発光有機材料を蒸発させるためには、約４００〜５００℃まで蒸着用るつぼ１２を加熱する必要があるため、ここで言う耐熱性のある材料とは、少なくとも約４００〜５００℃までの加熱に耐えられる材料である。

加熱用ヒータ１３は、蒸着用るつぼ１２の周囲に設けられたヒータ（周囲ヒータ）１３ａと、突起部１２ｄの内側に設けられたヒータ（中央ヒータ）１３ｂとを備えている。

周囲ヒータ１３ａは、蒸着用るつぼ１２の周囲（主に側方の外周）に配置され、例えば、蒸着用るつぼ１２の側面の周囲に巻き付けられた加熱用のコイルに適宜電流を流すことで、蒸着用るつぼ１２を加熱するヒータである。

中央ヒータ１３ｂは、例えば、突起部１２ｄ内に配置された棒状部材１３ｐの周囲に巻き付けられた加熱用のコイル（加熱用コイル）に電流を流すことで、蒸着用るつぼ１２を加熱するヒータである。つまり、中央ヒータ１３ｂが、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂから開口部１２ｈに向けて設けられている。そして、中央ヒータ１３ｂは、蒸着用るつぼ１２を構成する一部分である突起部１２ｄによって被覆されている。

また、ここでは、穴部１２Ｃｖの底部１２ｂ付近に充填された蒸着材料を、周囲ヒータ１３ａと中央ヒータ１３ｂとによってほぼ均一に加熱するように、加熱用コイルの巻き方を同様なものとしている。つまり、周囲ヒータ１３ａ及び中央ヒータ１３ｂが、蒸着処理を行う際に、蒸着材料のうちの周囲ヒータ１３ａ及び中央ヒータ１３ｂの近傍に位置する部分をそれぞれ略同一の温度まで加熱するような構造を有している。

図２では、発熱材料である加熱用コイルの断面が、小さな円で示されている。そして、周囲ヒータ１３ａにおいて加熱用コイルが螺旋状に配置される間隔（巻き付けられるピッチ）と、中央ヒータ１３ｂにおいて加熱用コイルが螺旋状に配置される間隔（巻き付けられるピッチ）とが略同一となっている。

リフレクタ１４は、加熱用ヒータ１３から発せられる熱を逃がさないように効率良く蒸着用るつぼ１２側に伝達するためのものである。

＜有機ＥＬ装置の製造における蒸着処理工程＞
次に、有機ＥＬ装置の製造工程において、上述の蒸着装置１を用いて蒸着材料を蒸着することで有機層を成膜する蒸着処理工程について簡単に説明する。

図４及び図５は、図２及び図３で示した蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂに蒸着材料を充填する様子を示す図である。

（１）まず、図４及び図５に示すように、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂ付近に対して、蒸着材料９を充填する。このとき蒸着材料９は、中央ヒータ１３ｂの高さを超えない程度の高さまで充填される。

（２）次に、チャンバ２の内部を真空状態とする。

（３）その次に、真空状態とされたチャンバ２の内部に、第１電極が被覆された１枚の基板５を搬入する。

（４）そして、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂ付近に対して充填された蒸着材料９を、周囲ヒータ１３ａ及び中央ヒータ１３ｂの双方によって均一に加熱することで、蒸着材料９を蒸発させる。このとき、基板５上に予め形成された第１の電極上に蒸着材料である有機物が蒸着され、有機層が形成される。

（５）更に、加熱用ヒータ１３による加熱を停止して、１つの基板５に対する蒸着処理を終了する。

（６）最後に、チャンバ２の外部に１枚の基板５を搬出する。

ここでは、（２）〜（６）の工程が時間順次に繰り返されることで、チャンバ２の真空状態を維持したまま、複数の基板５に対して時間順次に有機層を成膜することができる。なお、ここで成膜される有機層は、少なくとも発光する発光有機層を含む１以上の有機層によって形成される。

有機膜が形成された基板５については、成膜された有機層上に第２電極層を被着させることにより、複数の有機ＥＬ素子を基板上に形成するとともに、必要に応じて保護膜や封止基板等を有機ＥＬ素子上に配置することにより、有機ＥＬ装置が完成する。

以上のように、本発明の実施形態に係る蒸着装置１では、蒸着用るつぼ１２の周囲だけでなく蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂから当該蒸着用るつぼ１２の開口部１２ｈに向けて中央ヒータ１３ｂを設けている。

このような構成を採用すると、図１０（先行技術）では、蒸着用るつぼ１１２の底部に充填された蒸着材料１０９においてヒータからかなり離隔した部分が発生していたのに対して、図４に示すように、加熱用ヒータ１３と、蒸着材料９のうちで加熱用ヒータ１３から最も離隔した部分との距離を短縮することができる。したがって、蒸着用セル１０において蒸着材料をより均一に加熱することができる。また、ヒータからかなり離隔した蒸着材料も蒸発させようとして、加熱し過ぎて蒸着材料が分解してしまうといった不具合も回避することができる。

また、図１０で示した先行技術では、蒸着用セル１１０の真上において蒸着される蒸着材料の膜厚が他の位置よりも厚くなる傾向があるため、例えば、蒸着用セル１１０の斜め上方に配置される位置に対してしか均一な膜厚で蒸着材料を蒸着することができなかった。これに対して、本発明の実施形態に係る蒸着装置１では、図５に示すように、突起部１２ｄの存在により、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂにおいて蒸着材料９が輪状に充填されるため、蒸着材料９が蒸発する位置（蒸着源）が分散したのと同じ状態を得ることができる。つまり、複数の蒸着源を配置したのと等価な状態を得ることができる。その結果、蒸着用セル１０の上方のより広い範囲において均一な膜厚で蒸着材料を対象物に対して蒸着することができる。したがって、大型の有機ＥＬ装置の作成も可能となる。

更に、加熱用ヒータ１３による熱源が多くなっているため、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂを少々拡大しても、蒸着材料を均一に加熱することができる。よって、ほぼ同じ加熱に係る出力に対して、蒸着用るつぼ１２の開口部１２ｈの大口径化を図ることができ、結果として、更に、広範囲の対象物に対して均一な膜厚で蒸着材料を蒸着することができる。

また、本発明の実施形態に係る蒸着装置１では、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂから開口部１２ｈに向けて設けられた中央ヒータ１３ｂが蒸着用るつぼ１２の突起部１２ｄによって被覆されている。このため、中央ヒータ１３ｂが直接剥き出された状態で配置されている場合よりも劣化し難くなる。更に、中央ヒータ１３ｂが汚れ難くなるため、中央ヒータ１３ｂのメンテナンス等に要する手間を簡略化することができる。

また、周囲ヒータ１３ａにおいて発熱材料である加熱用コイルが螺旋状に巻き付けられる間隔（巻き付けピッチ）と、中央ヒータ１３ｂにおいて発熱材料である加熱用コイルが螺旋状に巻き付けられる間隔（巻き付けピッチ）とが略同一となっている。このため、蒸着用セル１０において蒸着材料９をより確実かつ均一に加熱することができる。

また、蒸着処理工程において、蒸着用るつぼ１２の底部１２ｂに対し、中央ヒータ１３ｂの高さを超えないように蒸着材料９を充填して、当該蒸着材料９を周囲ヒータ１３ａと中央ヒータ１３ｂとによって加熱及び蒸発させる。このような構成を採用することで、蒸着処理において蒸着材料９をより均一に加熱することができる。

また、上記蒸着処理工程を利用することで、有機層の膜厚が精度良く調整された有機ＥＬ装置を製造することができる。

＜変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。

◎例えば、上述した実施形態では、中央ヒータ１３ｂが蒸着用るつぼ１２の突起部１２ｄによって被覆されていたが、これに限られず、例えば、中央ヒータ１３ｂが蒸着用るつぼ１２に被覆されていなくても良い。

図６は、中央ヒータ１３ｂが蒸着用るつぼ１２Ａに被覆されていない蒸着用セル１０Ａを例示する図である。なお、図６では、図２と同様な部分については同じ符号を付して説明を省略する。

図６に示すように、蒸着用るつぼ１２Ａは、図１０で示した従来の蒸着用るつぼ１１２と同様な形状を有する単純な深皿となっている。そして、蒸着用るつぼ１１２の底部１２ｂから開口部１２ｈに向けて中央ヒータ１３ｂが立設されている。なお、図６では、アルミナ等の耐熱性を有する材料１５が中央ヒータ１３ｂの劣化を防ぐ為に塗布されている構成を示しているが、蒸着用るつぼ１２Ａの内部で、中央ヒータ１３ｂが直接剥き出しのまま立設されても良い。

但し、中央ヒータ１３ｂの劣化の抑制並びにメンテナンスの容易化といった観点から言えば、上記実施形態のように、中央ヒータ１３ｂが蒸着用るつぼ１２によって被覆されている方が好ましい。

◎また、上記実施形態では、蒸着用るつぼ１２内において、中央ヒータ１３ｂが穴部１２Ｃｖの深さの半分程度の高さしか有していなかったが、これに限られず、例えば、中央ヒータ１３ｂが、底部１２ｂから開口部１２ｈ付近にかけて設けられるようにしても良い。なお、中央ヒータ１３ｂが開口部１２ｈよりも高い位置まで設けられても構わない。

図７は、中央ヒータ１３ｂが、底部１２ｂから開口部１２ｈ付近にかけて設けられた蒸着用セル１０Ｂを例示する図である。なお、図７では、図２と同様な部分については同じ符号を付して説明を省略する。

図７に示すように、蒸着用るつぼ１２Ｂは、蒸着用るつぼ１２Ｂの底部１２ｂから開口部１２ｈ付近にかけて中央ヒータ１３ｂが設けられている。そして、ここでは、突起部１２Ｂｄも、中央ヒータ１３ｂとともに、底部１２ｂから開口部１２ｈ付近にかけて設けられている。

一般に、図１０で示したような従来の蒸着用るつぼ１１２では、蒸着用るつぼ１１２の開口部付近で蒸発した蒸着材料が冷却されて、開口部付近の内壁に析出し、開口部の狭窄や閉塞を招く為、結果的に、均一な蒸着を阻害したり、蒸着速度の低下を招来する。しかしながら、図７で示したような構成を採用すると、蒸着用るつぼ１２Ｂの開口部１２ｈ付近が、中央ヒータ１３ｂによって加熱されるため、開口部１２ｈ付近に蒸着材料が析出し難くなる。したがって、開口部１２ｈ付近における蒸着材料の析出に起因した開口部の狭窄や閉塞を抑制することができる。

◎また、上記実施形態では、中央ヒータ１３ｂを蒸着用るつぼ１２で被覆するために、蒸着用るつぼ１２に突起部１２ｄを設けたが、これに限られない。例えば、図８及び図９に示すように、蒸着用るつぼ１２Ｃが、中央ヒータ１３ｂの周囲を取り囲む部分１２Ｃｄを有するが、中央ヒータ１３ｂの直上には、蒸着用るつぼ１２Ｃが存在していないような構成としても良い。つまり、図９に示すように、蒸着用るつぼ１２Ｃを上方から見たときに、蒸着用るつぼ１２Ｃがドーナツ状の形状を有するようにしても良い。なお、図８は、図９の線ＸＸ−ＹＹに沿って切断した断面図である。

本発明の実施形態に係る蒸着装置の概略構成を示す模式図である。 本発明の実施形態に係る蒸着用セルを側方から見た断面模式図である。 本発明の実施形態に係る蒸着用セルを上方から見た平面模式図である。 蒸着用るつぼ底部に蒸着材料を充填した状態を示す模式図である。 蒸着用るつぼ底部に蒸着材料を充填した状態を示す模式図である。 変形例に係る蒸着用セルを側方から見た断面模式図である。 変形例に係る蒸着用セルを側方から見た断面模式図である。 変形例に係る蒸着用セルを側方から見た断面模式図である。 変形例に係る蒸着用セルを上方から見た平面模式図である。 従来の蒸着用セルを側方から見た断面模式図である。

符号の説明

１ 蒸着装置
５ 基板
９，１０９ 蒸着材料
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１１０ 蒸着用セル
１２ｂ 底部
１２ｄ，１２Ｂｄ，１２２ 突起部
１２ｈ 開口部
１３，１１３ 加熱用ヒータ
１３ａ 周囲ヒータ
１３ｂ 中央ヒータ

Claims (8)

1. 蒸着装置であって、
   蒸着材料を加熱及び蒸発させる蒸着用るつぼと、
   前記蒸着用るつぼの周囲に設けられた第１のヒータと、
   前記蒸着用るつぼの底部から当該蒸着用るつぼの開口部に向けて設けられた第２のヒータと、
   を備えることを特徴とする蒸着装置。
2. 請求項１に記載の蒸着装置であって、
   前記第２のヒータが、前記底部から前記開口部付近にかけて設けられたことを特徴とする蒸着装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の蒸着装置であって、
   前記蒸着用るつぼが、前記第２のヒータを被覆する部分を有することを特徴とする蒸着装置。
4. 請求項１から請求項３の何れかに記載の蒸着装置であって、、
   前記第１のヒータにおいて発熱材料が配置される第１の間隔と、前記第２のヒータにおいて発熱材料が配置される第２の間隔とが略同一であることを特徴とする蒸着装置。
5. 蒸着装置における蒸着方法であって、
   (a)周囲に第１のヒータが設けられ且つ底部から開口部に向けて第２のヒータが設けられた蒸着用るつぼの底部付近に対して、前記第２のヒータの高さを超えないように、蒸着材料を充填するステップと、
   (b)前記(a)ステップにおいて前記底部付近に対して充填された蒸着材料を、前記第１及び第２のヒータによって加熱及び蒸発させるステップと、
   を備えることを特徴とする蒸着方法。
6. (i)請求項５に記載の蒸着方法を用いて、基板上に予め形成された第１の電極上に１以上の有機層を形成するステップと、
   (ii)前記１以上の有機層上に第２の電極を形成するステップと、
   を備えることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
7. (I)請求項１から請求項４のいずれかに記載の蒸着装置を用いて、基板上に予め形成された第１の電極上に１以上の有機層を形成するステップと、
   (II)前記１以上の有機層上に第２の電極を形成するステップと、
   を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
8. 蒸着用セルであって、
   蒸着材料を加熱及び蒸発させる蒸着用るつぼと、
   前記蒸着用るつぼの周囲に設けられた第１のヒータと、
   前記蒸着用るつぼの底部から当該蒸着用るつぼの開口部に向けて設けられた第２のヒータと、
   を備えることを特徴とする蒸着用セル。

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