JP2007268348A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布機構(ノズルユニット2)は、下方に向けて塗布液を吐出するノズル21〜23を有する。第1ボックス71は、内部に空間を有する。ステージ4は、第1ボックス71内において基板Pを載置する。仕切部材9は、第1ボックス71内に配置され、内部に空間が形成される形状でありかつ一方に開口部を有する。第1ガス供給手段(供給管78)は、仕切部材9の内部空間に対して不活性ガスを供給する。ステージ移動機構部5は、基板Pがノズル21〜23の下を通過するとともに開口部から仕切部材9の内部に進入するように、ノズル21〜23および仕切部材9に対して相対的にステージ4を移動させる。
【選択図】図3
Description
2 ノズルユニット
3 液受け部
4 ステージ
5 ステージ移動機構部
6 制御部
9 仕切部材
21〜23 ノズル
71〜73 ボックス
74,78 供給管
Claims (5)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
下方に向けて塗布液を吐出するノズルを有する塗布機構と、
内部に空間を有するボックスと、
前記ボックス内において前記基板を載置するステージと、
前記ボックス内に配置され、内部に空間が形成される形状でありかつ一方に開口部を有する仕切部材と、
前記仕切部材の内部空間に対して不活性ガスを供給する第1ガス供給手段と、
前記基板が前記ノズルの下を通過するとともに前記開口部から前記仕切部材の内部に進入するように、前記ノズルおよび前記仕切部材に対して相対的に前記ステージを移動可能なステージ移動機構とを備える、塗布装置。 - 前記塗布機構は、前記ステージに載置された前記基板と略平行な方向でかつ前記ステージの移動方向と略垂直な方向に前記ノズルを移動可能なノズル移動機構を有し、
前記仕切部材の上面には、前記ノズルが通過する位置に当該ノズルの移動方向に沿って穴が形成され、
前記ステージは、前記開口部を通過してから前記ノズルの下を通過するように移動する、請求項1に記載の塗布装置。 - 前記仕切部材の下面には、前記ステージ移動機構が通過する部分に穴が形成される、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記仕切部材は、前記基板の幅よりも大きい幅を有する遮蔽板をその上面および下面とする、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記ボックスの内壁から当該ボックスの内部空間に対して不活性ガスを供給する第2ガス供給手段をさらに備える、請求項1に記載の塗布装置。
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