JP2007266828A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電素板の他方の主面及び側面に形成されていた容器体接続用電極表面の大部分、及び一方の主面に形成された容器体接続用電極表面の一部との間に、導電性接着材を付着させ、付着させた導電性接着材を加熱固化させた接合形態の圧電振動素子を有する圧電デバイスでは、圧電振動素子の振動運動を導電性接着材が妨害してしまい、圧電振動素子の振動特性に悪影響を与える虞がある。
【解決手段】圧電デバイスにおいて、各素子接続用電極パッドの近傍の凹部空間内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子が凹部空間内の所定の位置に配置された際の、この圧電振動素子の容器体接続用電極が形成されている辺及び容器体接続用電極が形成されている辺と連続する二辺の先端側面部より容器体中央部側にずれて形成されており、且つ該素子接続用電極パッド主面と該容器体接続用電極とは少なくとも一部で対向している圧電デバイス。
【選択図】図2
【解決手段】圧電デバイスにおいて、各素子接続用電極パッドの近傍の凹部空間内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子が凹部空間内の所定の位置に配置された際の、この圧電振動素子の容器体接続用電極が形成されている辺及び容器体接続用電極が形成されている辺と連続する二辺の先端側面部より容器体中央部側にずれて形成されており、且つ該素子接続用電極パッド主面と該容器体接続用電極とは少なくとも一部で対向している圧電デバイス。
【選択図】図2
Description
本発明は、圧電振動子又は圧電発振器等の圧電デバイスに関する。
従来、圧電素板の表面に各種電極を形成した圧電振動素子を、容器体内部に気密状態で搭載した圧電振動子や、この圧電振動子と発振回路を内蔵した集積回路素子等とを同一の容器体内に搭載した形態である圧電発振器、あるいは、特定の周波数帯を分離する圧電フィルタ等の各種圧電デバイスが、携帯用通信機器や電子計算機等の電子機器内に多用されている。
かかる従来の圧電デバイスの一例として、図6に圧電振動子の一形態を示す。圧電デバイスの一つである圧電振動子100に使用される圧電振動素子101は、矩形平板形状の圧電素板102の表裏主面の中央部上に、圧電素板102を励振させるための励振用電極103と、圧電素板102の一短辺近傍に圧電振動素子101を収納する絶縁性の容器体104に形成される素子接続用電極パッド105との接続をとるための一対の容器体接続用電極106と、表裏主面各々の励振用電極103と各容器体接続用電極106とを導通接続する引き出し電極107とを形成して構成される。
圧電振動子100は、上述したような各種電極を表面に形成してなる圧電振動素子101を、絶縁性の容器体104内に形成した凹部空間108内に、凹部空間108内の底面にほぼ平行且つ容器体接続用電極106と素子搭載用電極パッド105が対向するように配置収納し、この容器接続用電極106と素子接続用電極パッド105との間及び周囲に導電性接着材109が塗布されて加熱固化することにより、圧電振動素子101を容器体104に導通固着している。尚、この導電性接着材109は固化することにより圧電振動素子101の容器体104内部においての姿勢保持も行っている。
このような圧電振動素子101を凹部空間108内に搭載した容器体104において、この容器体104の開口部を囲繞する側壁部頂面上に金属製の蓋体110を、容器体104開口部を覆う形態で配置し、蓋体110と容器体104とを接合することで凹部空間108内を気密封止した圧電振動子100が形成される。
又、圧電デバイスの一つである圧電発振器の一形態(不図示)としては、容器体の凹部空間内に段差部を形成し、凹部空間内最下段の底面上に少なくとも発振回路を内蔵した集積回路素子を搭載し、段差部上面に形成した素子接続用電極パッド上に圧電振動素子を搭載し気密封止された形態の圧電発振器も用いられている。
前述のような圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスについては、以下のような先行技術文献が開示されている。
特願2003−273690号公報
特願2005−295103号公報
特願2004−297737号公報
尚、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
従来の圧電デバイスでは、圧電振動素子と容器体との接合に導電性接着材(例えばエポキシ系又はシリコーン系の絶縁性接着樹脂内に導電フィラーとして銀粒子が含有されているもの)を用いる場合、容器体に形成した凹部空間内の底面に、凹部空間内の所定の位置に圧電振動素子を配置した際の、その圧電振動素子の外周部分に対向する底面の位置より容器体内側面側へ延出する形態の素子接続用電極パッドが形成されている。
このような形態の素子接続用電極パッドの表面と、圧電素板の一方の主面から側面を介して素子搭載用電極パッドと対向する他方の主面にまで形成されている容器体接続用電極表面のうちの、圧電素板の他方の主面及び側面に形成されていた容器体接続用電極表面の大部分、及び一方の主面に形成された容器体接続用電極表面の一部との間に、導電性接着材を付着させ、付着させた導電性接着材を加熱固化させることで、圧電振動素子上の所定の電極と素子搭載用電極パッドとを導通させている。
しかし、このような接合形態の圧電振動素子を有する圧電デバイスでは、圧電振動素子の振動運動を固化した導電性接着材が妨害してしまい、圧電振動素子の振動特性に悪影響を与える虞がある。特に、圧電振動素子の主構造部材である矩形平板状の圧電素板の材質が水晶であり、その水晶素板のカットアングルモードがATであり、且つ圧電振動素子の所望する振動モードが厚みすべり振動モードである場合、圧電素板の主振動は厚み方向に対し垂直方向に横すべりする変位を生じる振動(厚み寸法により振動周波数が変わる振動)のため、圧電振動素子の側面に導電性接着材が付着し固化してしまうと、圧電振動素子の厚みすべり振動に与える悪影響がより顕著に大きくなる。
更に圧電デバイスの小型化が進むことにより、圧電振動子内部に搭載する圧電振動素子も必然的に小型化することとなる。そのため、従来の比較的大きいサイズの圧電振動素子では無視できた従来のような導電性接着材の塗布形態も、圧電振動素子の小型化が進むにつれ無視することが出来ない影響を与えるようになってきた。
本発明は上述したような課題を解決するために成したものであり、絶縁材により形成された容器体内には、この容器体の一方の主面に開口した凹部空間が形成されており、この凹部空間内には少なくとも主面形状が概略四角形の圧電振動素子が、凹部空間内表面に形成された主面形状が概略四角形の一対の素子接続用電極パッドと、この素子接続用電極パッドに対応する圧電振動素子に形成された容器体接続用電極とを導電性接着材で機械的且つ電気的に接続することにより収納固着した形態を有する圧電デバイスにおいて、
上記各素子接続用電極パッドの近傍の凹部空間内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子が凹部空間内の所定の位置に配置された際の、この圧電振動素子の容器体接続用電極が形成されている辺及び容器体接続用電極が形成されている辺と連続する二辺の先端側面部より容器体中央部側にずれて形成されており、且つ該素子接続用電極パッド主面と該容器体接続用電極とは少なくとも一部で対向していることを特徴とする圧電デバイスである。
上記各素子接続用電極パッドの近傍の凹部空間内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子が凹部空間内の所定の位置に配置された際の、この圧電振動素子の容器体接続用電極が形成されている辺及び容器体接続用電極が形成されている辺と連続する二辺の先端側面部より容器体中央部側にずれて形成されており、且つ該素子接続用電極パッド主面と該容器体接続用電極とは少なくとも一部で対向していることを特徴とする圧電デバイスである。
又、上述した圧電振動素子の主面形状が矩形状であり、且つこの圧電振動素子の一短辺又は対向する二短辺の先端部近傍の主面上に該容器体接続用電極が形成されていることを特徴とする上記記載の圧電デバイスでもある。
更に、上記凹部空間内の底面形状が四角形であり、この凹部空間内の少なくとも一辺の側面部分に段差部が形成されており、この段差部の上面上に素子接続用電極パッドが形成されていることを特徴とする上記記載の圧電デバイスでもある。
更に又、上述した圧電振動素子の主構造材である圧電素板の材質が水晶であり、この圧電素板のカットアングルモードがATであり、且つ圧電振動素子としての主振動モードが厚みすべり振動モードであることを特徴とする上記記載の圧電デバイスでもある。
上記本発明により、圧電振動素子と容器体との接合に導電性接着材を用いた場合においても、素子接続用電極パッドの表面と、この素子接続用電極パッドの主面に対向する圧電素板の他方の主面に形成された容器体接続用電極表面との間のみに導電性接着材を付着させ、付着させた導電性接着材を加熱固化させることで、圧電振動素子上の電極と素子搭載用電極パッドとを導通させることが可能となる。このような導電接着材の塗布及び固着形態では、導電性接着材は圧電振動素子の側面部分に付着することがないため、圧電振動素子の振動運動を導電性接着材が妨害してすることがなく、圧電振動素子の振動特性に悪影響を与える虞がない。特に、圧電振動素子の主構造部材である矩形平板状の圧電素板の材質が水晶であり、その水晶素板のカットアングルモードがATであり、且つ圧電振動素子の所望する振動モードが厚みすべり振動モードである場合、圧電振動素子の側面に導電性接着材が付着し固化してしまうことがないため、厚みすべり振動に与える悪影響が著しく小さくなる。
更に圧電デバイスの小型化が進み、圧電デバイス内部に搭載する圧電振動素子も小型化した場合でも、本発明を用いた導電性接着材の塗布及び固着形態では、導電性接着材の影響を限りなく小さくすることが可能となる。
因って、本発明を用いることにより、小型化が進んだ圧電デバイスにおいても、圧電振動素子と容器体との接合に用いる導電性接着材の塗布固着による特性悪化が著しく小さい圧電デバイスを提供できる効果を奏する。
以下に、本発明における圧電振動子の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明における圧電デバイスを、圧電デバイスの一形態である圧電振動子の一実施形態を例示した概略部分分解斜視図である。図2は、図1に記載の圧電振動子を組み立てた後、同図記載の仮想切断線A1−A2で切断した場合の概略断面図である。図3は、図1に記載した点線円B部分を拡大して図示した部分拡大断面図である。図4は、本発明における圧電デバイスを、圧電デバイスの一形態である圧電発振器を例示した概略断面図である。図5は、本発明における圧電デバイスを、圧電デバイスの一形態である圧電振動子の他の実施形態を例示した概略断面図である。尚、各図において、同一の符号は同じ対象を示すものとし、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示していない。又、図示したものの寸法も一部誇張して図示しており、特に各部分の厚み寸法は誇張して図示している。
図1は、本発明における圧電デバイスを、圧電デバイスの一形態である圧電振動子の一実施形態を例示した概略部分分解斜視図である。図2は、図1に記載の圧電振動子を組み立てた後、同図記載の仮想切断線A1−A2で切断した場合の概略断面図である。図3は、図1に記載した点線円B部分を拡大して図示した部分拡大断面図である。図4は、本発明における圧電デバイスを、圧電デバイスの一形態である圧電発振器を例示した概略断面図である。図5は、本発明における圧電デバイスを、圧電デバイスの一形態である圧電振動子の他の実施形態を例示した概略断面図である。尚、各図において、同一の符号は同じ対象を示すものとし、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示していない。又、図示したものの寸法も一部誇張して図示しており、特に各部分の厚み寸法は誇張して図示している。
図1乃至図3に開示した圧電デバイスの一つである圧電振動子10に使用される圧電振動素子11は、人工水晶体よりATカットアングルで切り出され外形加工を施すことにより矩形平板形状とした圧電素板12の表裏主面の中央部上に、圧電素板12を励振させるための励振用電極13と、圧電素板102の一短辺近傍に圧電振動素子11を収納する絶縁性の容器体104の凹部空間18内に形成される素子接続用電極パッド15との接続をとるための一対の容器体接続用電極16と、表裏主面各々の励振用電極13と各容器体接続用電極16とを導通接続する引き出し電極17とを形成して構成される。
圧電振動子10は、上述したような各種電極を表面に形成してなる圧電振動素子11を、絶縁性の容器体14内に形成した、この容器体14の一方の主面に開口した凹部空間18内に、凹部空間18内の底面にほぼ平行且つ容器体接続用電極16と素子搭載用電極パッド15が対向するように配置収納し、この容器接続用電極16と素子接続用電極パッド15との間に導電性接着材19が塗布されて加熱固化することにより、圧電振動素子11を容器体14に導通固着している。尚、この導電性接着材19は固化することにより圧電振動素子11の容器体14内部においての姿勢保持も行っている。
上記素子接続用電極パッド15は、容器体14に形成した凹部空間18内の一短辺側側面に形成された段差部20の上面上に一対形成されており、その形態は、各々の素子接続用電極パッド15の近傍の凹部空間内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子11が凹部空間18内の所定の位置に配置された際の、圧電振動素子11の容器体接続用電極16が形成されている辺21a及び容器体接続用電極16が形成されている辺21aと連続する二辺21bの先端側面部より図3に図示したように容器体中央部側にずれて形成されており、且つ素子接続用電極パッド15主面と容器体接続用電極16主面とは一部で重なるように対向している。
このような形態で凹部空間18内に形成された素子接続用電極パッド15により、素子接続用電極パッド15と、この素子接続用電極パッド15の主面に対向する圧電素板12の他方の主面に形成された容器体接続用電極16表面との間のみに導電性接着材を形成付着させる(辺21a及び辺21bの側面部分には導電性接着材19が形成付着していない)ことができ、この付着させた導電性接着材を加熱固化させ、圧電振動素子上の電極と素子搭載用電極パッドとを導通させた場合でも、辺21a及び辺21bの側面部分には導電性接着材19が形成付着し固化していないので、導電性接着材19が圧電振動素子11の主振動である厚みすべり振動を阻害することはない。
このような形態で圧電振動素子11を凹部空間18内に搭載した容器体14において、この容器体14の開口部を囲繞する側壁部頂面上に金属製の蓋体22を、凹部空間18の開口部を覆う形態で配置し、蓋体22と容器体14とを接合することで凹部空間18内を気密封止し圧電振動子10が形成される。
又、図4には他の実施例として、圧電デバイスの一つである圧電発振器において本発明を用いた形態を示した。即ち、図4に示した圧電発振器40は、容器体41の凹部空間42内に段差部43を形成し、凹部空間42内最下段の底面上に少なくとも発振回路を内蔵した集積回路素子44を搭載し、段差部43上面に形成した素子接続用電極パッド15上に圧電振動素子11を導電性接着材19で接合搭載し気密封止された形態である。
このときの素子接続用電極パッド15と圧電振動素子11に形成した容器体接続用電極16との導電性接着材19による接合形態について、素子接続用電極パッド15の形態を、上述した実施例1に開示したものと同様に、各々の素子接続用電極パッド15の近傍の凹部空間42内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子11が凹部空間42内の所定の位置に配置された際の、圧電振動素子11の容器体接続用電極16が形成されている辺21a及び容器体接続用電極16が形成されている辺21aと連続する二辺21bの先端側面部より容器体41中央部側にずれて形成されており、且つ素子接続用電極パッド15主面と容器体接続用電極16主面とは一部で重なるように対向している。このことにより、圧電発振器においても実施例1に開示した圧電振動子における本発明による作用効果と同様な作用効果を奏することが可能となる。
更に図5には、本発明を用いた、圧電デバイスの一形態である圧電振動子の他の実施形態を例示した。即ち、図5に示した圧電振動子50は、容器体51の凹部空間52内の底面上に形成した素子接続用電極パッド15上に圧電振動素子11を導電性接着材19で接合搭載し気密封止された形態である。
このときの素子接続用電極パッド15と圧電振動素子11に形成した容器体接続用電極16との導電性接着材19による接合形態について、素子接続用電極パッド15の形態を、上述した実施例1に開示したものと同様に、各々の素子接続用電極パッド15の近傍の凹部空間52内側面と対向する各辺の形成位置が、圧電振動素子11が凹部空間52内の所定の位置に配置された際の、圧電振動素子11の容器体接続用電極16が形成されている辺21a及び容器体接続用電極16が形成されている辺21aと連続する二辺21bの先端側面部より容器体51中央部側にずれて形成されており、且つ素子接続用電極パッド15主面と容器体接続用電極16主面とは一部で重なるように対向している。このことにより、圧電発振器においても実施例1に開示した圧電振動子における本発明による作用効果と同様な作用効果を奏することが可能となる。
尚、本発明は上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、上記実施例では、矩形平板状の圧電素板の一短辺のみに容器接続用電極を形成して固定端とし、他方の短辺側を自由端とした、所謂片持ち型の圧電振動素子形態を開示したが、他に圧電素板の表裏主面に形成した励振用電極から、圧電素板の対向する二短辺近傍に1つずつ形成した一対の容器体接続用電極へ、表裏で異なる側の容器体接続用電極と引き出し電極で導通した形態の、所謂両持ち型の圧電振動素子を用いた場合においても、その両持ち型圧電振動素子の容器体接続用電極に対応した素子接続用電極パッドに本発明に係る素子接続用電極パッドの形態を用いることで、本発明における作用効果を奏することが可能である。
10,50・・・圧電振動子
11・・・圧電振動素子
12・・・圧電素板
13・・・励振用電極
14,41,51・・・容器体
15・・・素子接続用電極パッド
16・・・容器接続用電極
17・・・引き出し電極
18,42,52・・・凹部空間部
19・・・導電性接着材
20・・・段差部
11・・・圧電振動素子
12・・・圧電素板
13・・・励振用電極
14,41,51・・・容器体
15・・・素子接続用電極パッド
16・・・容器接続用電極
17・・・引き出し電極
18,42,52・・・凹部空間部
19・・・導電性接着材
20・・・段差部
Claims (4)
- 絶縁材により形成された容器体内には該容器体の一方の主面に開口した凹部空間が形成されており、該凹部空間内には少なくとも主面形状が概略四角形の圧電振動素子が、該凹部空間内表面に形成された主面形状が概略四角形の一対の素子接続用電極パッドと、該素子接続用電極パッドに対応する該圧電振動素子に形成された容器体接続用電極とを導電性接着材で機械的且つ電気的に接続することにより収納固着した形態を有する圧電デバイスにおいて、
各該素子接続用電極パッドの近傍の凹部空間内側面と対向する各辺の形成位置が、該圧電振動素子が該凹部空間内の所定の位置に配置された際の、該圧電振動素子の該容器体接続用電極が形成されている辺及び該容器体接続用電極が形成されている該辺と連続する二辺の先端側面部より容器体中央部側にずれて形成されており、且つ該素子接続用電極パッド主面と該容器体接続用電極とは少なくとも一部で対向していることを特徴とする圧電デバイス。 - 該圧電振動素子の主面形状が矩形状であり、且つ該圧電振動素子の一短辺又は対向する二短辺の先端部近傍の主面上に該容器体接続用電極が形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 該凹部空間内の底面形状が四角形であり、該凹部空間内の少なくとも一辺の側面部分に段差部が形成されており、該段差部の上面上に該素子接続用電極パッドが形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 該圧電振動素子の主構造材である圧電素板の材質が水晶であり、該圧電素板のカットアングルモードがATであり、且つ該圧電振動素子としての主振動モードが厚みすべり振動モードであることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
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ID=38639406
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