JP2007264270A - Photosetting conductive composition, baked product pattern and plasma display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと略称する)のガラス基板や、電気回路配線基板用のセラミクス基板等に精細な電極回路を形成するのに有用なアルカリ現像型の光硬化性導電組成物、それを用いて形成した電極、電気回路を形成した焼成物パターン、及びその焼成物パターンを有するプラズマディスプレイパネルに関するものである。 The present invention relates to an alkali developing type photocurable conductive composition useful for forming a fine electrode circuit on a glass substrate of a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP) or a ceramic substrate for an electric circuit wiring board. The present invention relates to a product, an electrode formed using the product, a fired product pattern in which an electric circuit is formed, and a plasma display panel having the fired product pattern.
基板上に導電体のパターン層を形成する方法として、非感光性の有機バインダーに金属粉末を混合したペースト材料、例えば乾燥型の導電性ペーストを、スクリーン印刷等の印刷技術を用いて基板上にパターン化させる方法がある。 As a method of forming a pattern layer of a conductor on a substrate, a paste material in which a metal powder is mixed with a non-photosensitive organic binder, for example, a dry conductive paste, is applied onto the substrate using a printing technique such as screen printing. There is a method of patterning.
しかしながら、かかる印刷技術を用いてパターン化させる方法では、低コストで作業性は良くなるものの工業的に安定して100μm以下の線幅を有する導電体パターンを形成することは困難であった。
そのため最近では、光硬化性導電組成物を用いフォトリソグラフィー技術を利用した導電体パターンの形成方法が提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、光硬化性導電組成物の場合、導電性粉末を焼成により焼結させて導電性を得るため、焼成後に得られる焼成物の導電性は、用いられる導電性金属の真の抵抗値から考えると2倍以上の高い抵抗値となってしまうという問題があった。
Therefore, recently, a method for forming a conductor pattern using a photocurable conductive composition and utilizing a photolithography technique has been proposed (see Patent Document 1).
However, in the case of a photocurable conductive composition, since conductive powder is sintered by firing to obtain conductivity, the conductivity of the fired product obtained after firing is considered from the true resistance value of the conductive metal used. There was a problem that the resistance value would be twice or more.
本発明は、このような従来技術が抱える課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、焼成物の導電性に優れる光硬化性導電組成物を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、前記光硬化性導電組成物を用いて形成した電極、及び電気回路を形成した導電性に優れた焼成物パターンを提供することにある。
さらに、本発明の他の目的は、前記光硬化性導電組成物を用いて形成した電極、及び電気回路を形成した導電性に優れた焼成物パターンを有するプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
The present invention has been made in order to solve such problems of the prior art, and a main object of the present invention is to provide a photocurable conductive composition having excellent conductivity of a fired product.
Another object of the present invention is to provide an electrode formed using the photocurable conductive composition and a fired product pattern excellent in conductivity formed with an electric circuit.
Furthermore, another object of the present invention is to provide a plasma display panel having an electrode formed by using the photocurable conductive composition and a fired product pattern having an excellent electrical conductivity in which an electric circuit is formed.
前記目的を達成するために、本発明の光硬化性導電組成物の基本的な第一の態様は、(A)熱硬化性成分、(B)導電性粉末、(C)有機バインダー、(D)光重合性モノマー、及び(E)光重合開始剤を含有する焼成用光硬化性導電組成物であって、(A)熱硬化性成分の配合量が(C)有機バインダー100質量部に対して0.1〜100質量部であることを特徴としている。
このような本発明の光硬化性導電組成物は、ペースト状形態であってもよく、また予めフィルム状に製膜したドライフィルムの形態であってもよい。
また、本発明によれば、このような光硬化性導電組成物を用いて形成した電極、及び電気回路を形成した焼成物パターンが提供される。
さらに、本発明によれば、このような光硬化性組成物を用いて形成した電極、及び電気回路を形成した焼成物パターンを有するプラズマディスプレイパネルが提供される。
In order to achieve the above object, the basic first aspect of the photocurable conductive composition of the present invention includes (A) a thermosetting component, (B) a conductive powder, (C) an organic binder, (D A photocurable conductive composition for firing containing a) a photopolymerizable monomer, and (E) a photopolymerization initiator, wherein the blending amount of (A) thermosetting component is (C) 100 parts by mass of the organic binder. And 0.1 to 100 parts by mass.
Such a photocurable conductive composition of the present invention may be in the form of a paste or may be in the form of a dry film previously formed into a film.
Moreover, according to this invention, the electrode formed using such a photocurable conductive composition, and the baked material pattern which formed the electrical circuit are provided.
Furthermore, according to the present invention, there is provided a plasma display panel having an electrode formed using such a photocurable composition and a fired product pattern on which an electric circuit is formed.
本発明の光硬化性導電組成物によれば、比抵抗値の低い焼成物パターンの形成が可能となり、パターンの膜厚を薄くしても抵抗値の上昇を低く抑えることができる。その結果、本発明によれば、導電体パターンの薄膜化が可能となり、導電体パターンを有する部材の製造コスト削減にとって極めて有用である。
また、導電体の薄膜化が可能となる結果、深部硬化性の悪い光硬化性導電組成物にとっては、解像性の面で極めて有利となり更なる高精細パターンの形成が可能となる。
According to the photocurable conductive composition of the present invention, a fired product pattern having a low specific resistance value can be formed, and an increase in resistance value can be suppressed even if the pattern film thickness is reduced. As a result, according to the present invention, it is possible to reduce the thickness of the conductor pattern, which is extremely useful for reducing the manufacturing cost of a member having the conductor pattern.
In addition, as a result of being able to reduce the thickness of the conductor, it is extremely advantageous in terms of resolution for a photocurable conductive composition having poor deep-part curability, and further high-definition patterns can be formed.
発明者は、前記目的の実現に向けて鋭意研究した結果、光硬化性導電組成物に熱硬化性成分を添加すると、抵抗値が低く導電性に優れた焼成物パターンを形成しうることを見出した。
通常、焼成タイプの導電組成物には、焼成性の観点から焼成性の悪い熱硬化性成分は配合しないことが常識である。しかし、発明者は、組成物中の熱硬化性成分の配合量を限定することにより、焼成性の悪さに起因するブリスターの発生や抵抗値の上昇が抑えられることを見出した。
抵抗値が低く導電性に優れた焼成物パターンを形成しうる理由として、(1)熱硬化性成分の熱硬化収縮、(2)硬化物の焼失して行く過程での焼成収縮、及び(3)焼失温度の変化、が導電粉末の焼結に何らかの影響をあたえるためと思われる。その結果、本発明によれば、抵抗値が低く導電性に優れた焼成物パターンを形成しうる光硬化性導電組成物を提供することができる。
しかも、このような本発明の光硬化性導電組成物を用いた焼成物パターンは、高精細でかつ低電気抵抗であり極めて有用なものである。
As a result of intensive research aimed at realizing the above object, the inventors have found that when a thermosetting component is added to the photocurable conductive composition, a fired product pattern having a low resistance value and excellent conductivity can be formed. It was.
Usually, it is common knowledge that a thermosetting component having poor baking properties is not blended with a baking type conductive composition from the viewpoint of baking properties. However, the inventor has found that by limiting the blending amount of the thermosetting component in the composition, generation of blisters and increase in resistance value due to poor baking properties can be suppressed.
The reason why a fired product pattern having a low resistance value and excellent conductivity can be formed is as follows: (1) thermosetting shrinkage of the thermosetting component, (2) firing shrinkage in the process of burning the cured product, and (3 ) It seems that the change in the burning temperature has some influence on the sintering of the conductive powder. As a result, according to the present invention, a photocurable conductive composition capable of forming a fired product pattern having a low resistance value and excellent conductivity can be provided.
In addition, a fired product pattern using such a photocurable conductive composition of the present invention is extremely useful with high definition and low electrical resistance.
このような本発明の光硬化性導電組成物において、前記熱硬化性成分(A)としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、オキセタン化合物、及びそれらの変性樹脂が挙げられ、これらを単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。 In such a photocurable conductive composition of the present invention, the thermosetting component (A) includes epoxy resin, phenol resin, melamine resin, alkyd resin, polyurethane resin, polyester resin, acrylic resin, polyimide resin, oxetane. Examples thereof include compounds and modified resins thereof, and these can be used alone or in combination of two or more.
これらの熱硬化性成分のなかでも、特にオキシラン環を有する化合物を好適に用いることができ、例えば、ビスフェノールA型、水添ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ビスフェノールAのノボラック型、ビフェノール型、ビキシレノール型、トリスフェノールメタン型、N−グリシジル型、αートリグリシジルイソシアネート、βートリグリシジルイソシアヌレート、脂環式エポキシなど、公知慣用のエポキシ樹脂が挙げられるが、特定のものに限定されるものではなく、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Among these thermosetting components, a compound having an oxirane ring can be suitably used. For example, bisphenol A type, hydrogenated bisphenol A type, bisphenol F type, bisphenol S type, phenol novolac type, cresol novolak Type, bisphenol A novolak type, biphenol type, bixylenol type, trisphenolmethane type, N-glycidyl type, α-triglycidyl isocyanate, β-triglycidyl isocyanurate, alicyclic epoxy, etc. Although it is mentioned, it is not limited to a specific thing, These can be used individually or in combination of 2 or more types.
これらの熱硬化性成分(A)の配合割合は、前記有機バインダー100質量部当り0.1〜100質量部が適当であり、好ましくは、10〜90質量部である。これら熱硬化性成分の配合量が0.1質量部未満では充分に低い比抵抗値が得られ難く、一方、100質量部を超えると、焼成工程でブリスターの発生や抵抗値の上昇を招きやすくなり好ましくない。
尚、本明細書において、ブリスターとは、焼成工程において塗膜中の有機成分がガス化して塗膜を持ち上げ、焼成塗膜にふくれができる現象をいう。
The blending ratio of these thermosetting components (A) is suitably from 0.1 to 100 parts by weight, preferably from 10 to 90 parts by weight, per 100 parts by weight of the organic binder. When the blending amount of these thermosetting components is less than 0.1 parts by mass, it is difficult to obtain a sufficiently low specific resistance value. On the other hand, when it exceeds 100 parts by mass, blisters are likely to be generated and the resistance value is likely to increase in the firing process. It is not preferable.
In the present specification, the blister refers to a phenomenon in which organic components in the coating film are gasified in the baking step to lift the coating film and cause the baking coating to bulge.
導電性粉末(B)は、組成物において導電性を付与するものであればいかなるものでも用いることができる。このような導電性粉末としては、AgやAu、Pt、Pd、Ni、Cu、Al、Sn、Pb、Zn、Fe、Ir、Os、Rh、W、Mo、Ru等の単体とその合金の他、その酸化物、酸化錫(SnO2)、酸化インジウム(In2O3)、ITO(Indium Tin Oxide)などを用いることができる。導電性粉末の形状としては、球状、フレーク状、デントライト状など種々のものを用いることができ、特に光特性や分散性を考慮すると球状のものを用いるのが好ましい。 Any conductive powder (B) may be used as long as it imparts conductivity in the composition. Examples of such conductive powder include simple substances such as Ag, Au, Pt, Pd, Ni, Cu, Al, Sn, Pb, Zn, Fe, Ir, Os, Rh, W, Mo, Ru, and alloys thereof. The oxide thereof, tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), ITO (Indium Tin Oxide), or the like can be used. As the shape of the conductive powder, various shapes such as a spherical shape, a flake shape, and a dentlite shape can be used. In particular, it is preferable to use a spherical shape in consideration of optical characteristics and dispersibility.
このような導電性粉末は、その平均粒径が0.05〜4μm、好ましくは0.1〜2μmであることが好ましい。この理由は、平均粒径が0.05μm未満では、光の透過性が悪くなりパターン形成が困難になる。一方、平均粒径が4μmを超えると、ラインの直線性が得られなくなるからである。
このような導電性粉末の配合量は、溶剤を除く組成物中に50〜90質量%の割合とする。導電性粉末の配合量が上記範囲よりも少ない場合、導電体パターンの充分な導電性が得られず、一方、上記範囲を超えて多量になると、基材との密着性が悪くなるので好ましくない。
Such conductive powder has an average particle size of 0.05 to 4 μm, preferably 0.1 to 2 μm. This is because if the average particle size is less than 0.05 μm, the light transmittance is poor and pattern formation becomes difficult. On the other hand, if the average particle diameter exceeds 4 μm, line linearity cannot be obtained.
The blending amount of such conductive powder is 50 to 90% by mass in the composition excluding the solvent. When the blending amount of the conductive powder is less than the above range, sufficient conductivity of the conductor pattern cannot be obtained. On the other hand, when the amount exceeds the above range, the adhesion with the base material is deteriorated, which is not preferable. .
次に、有機バインダー(C)としては、カルボキシル基を有する樹脂、具体的にはそれ自体がエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂及びエチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のいずれも使用可能である。
このカルボキシル基含有感光性樹脂及びカルボキシル基含有樹脂は、単独でまたは混合して用いてもよいが、いずれの場合でもこれらは合計で組成物全量の1〜20質量%の割合で配合することが好ましい。これらのポリマーの配合量が上記範囲より少ない場合、形成する皮膜中の上記樹脂の分布が不均一になり易く、充分な光硬化性および光硬化深度が得られ難く、選択的露光、現像によるパターニングが困難となる。一方、上記範囲よりも多い場合、焼成時のパターンのよれや線幅収縮を生じ易くなるので好ましくない。
Next, the organic binder (C) has a carboxyl group-containing resin, specifically, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond and an ethylenically unsaturated double bond. Any carboxyl group-containing resin can be used.
These carboxyl group-containing photosensitive resins and carboxyl group-containing resins may be used alone or in combination, but in any case, they may be blended in a proportion of 1 to 20% by mass of the total amount of the composition. preferable. When the blending amount of these polymers is less than the above range, the distribution of the resin in the film to be formed tends to be non-uniform, and it is difficult to obtain sufficient photocurability and photocuring depth, and patterning by selective exposure and development. It becomes difficult. On the other hand, when the amount is larger than the above range, it is not preferable because the pattern is distorted or the line width is easily shrunk during firing.
また、上記カルボキシル基含有感光性樹脂及びカルボキシル基含有樹脂としては、それぞれ重量平均分子量が1,000〜100,000、好ましくは5,000〜70,000であり、かつ酸価が50〜250mgKOH/gであることが好ましい。さらに、カルボキシル基含有感光性樹脂の場合、その二重結合当量が350〜2,000g/当量、好ましくは400〜1,500g/当量のものが好適に用いることができる。上記樹脂の重量平均分子量が1,000未満の場合、現像時の皮膜の密着性に悪影響を与え、一方、100,000を超えた場合、現像不良を生じ易いので好ましくない。また、酸価が50mgKOH/g未満の場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が不充分で現像不良を生じ易く、一方、250mgKOH/gを超えた場合、現像時に皮膜の密着性の劣化や光硬化部(露光部)の溶解が生じるので好ましくない。さらに、カルボキシル基含有感光性樹脂の場合、感光性樹脂の二重結合当量が350g/当量未満の場合、焼成時に残渣が残り易くなり、一方、2,000g/当量を超えた場合、現像時の作業余裕度が狭く、また光硬化時に高露光量を必要とするので好ましくない。 The carboxyl group-containing photosensitive resin and the carboxyl group-containing resin each have a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000, preferably 5,000 to 70,000, and an acid value of 50 to 250 mgKOH / It is preferable that it is g. Furthermore, in the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, those having a double bond equivalent of 350 to 2,000 g / equivalent, preferably 400 to 1,500 g / equivalent can be suitably used. When the weight average molecular weight of the resin is less than 1,000, it adversely affects the adhesion of the film during development. On the other hand, when it exceeds 100,000, development failure tends to occur, which is not preferable. When the acid value is less than 50 mg KOH / g, the solubility in an alkaline aqueous solution is insufficient and the development is likely to be poor. On the other hand, when the acid value exceeds 250 mg KOH / g, the adhesion of the film is deteriorated during development or the photocured part ( This is not preferable because dissolution of the exposed portion) occurs. Furthermore, in the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, if the double bond equivalent of the photosensitive resin is less than 350 g / equivalent, a residue tends to remain during firing, whereas if it exceeds 2,000 g / equivalent, This is not preferable because the work margin is narrow and a high exposure amount is required during photocuring.
本発明において光重合性モノマー(D)は、組成物の光硬化性の促進及び現像性を向上させるために用いる。光重合性モノマー(D)としては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート,2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリウレタンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及び上記アクリレートに対応する各メタクリレート類;フタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、こはく酸、トリメリット酸、テレフタル酸等の多塩基酸とヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとのモノ−、ジ−、トリ−又はそれ以上のポリエステルなどが挙げられるが、特定のものに限定されるものではなく、またこれらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの光重合性モノマーの中でも、1分子中に2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する多官能モノマーが好ましい。 In the present invention, the photopolymerizable monomer (D) is used for promoting the photocurability of the composition and improving the developability. Examples of the photopolymerizable monomer (D) include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyurethane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, penta Erythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, trimethylolpropane propylene oxide modified triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and each methacrylate corresponding to the above acrylate; phthalic acid , Adipic acid, maleic acid, octopus Examples include mono-, di-, tri- or higher polyesters of polybasic acids such as acids, succinic acid, trimellitic acid, terephthalic acid, and hydroxyalkyl (meth) acrylate, but are limited to specific ones. These are not intended, and these can be used alone or in combination of two or more. Among these photopolymerizable monomers, polyfunctional monomers having two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule are preferable.
このような光重合性モノマー(D)の配合量は、前記有機バインダー(カルボキシル基含有感光性樹脂及び/又はカルボキシル基含有樹脂)(C)100質量部当り、20〜120質量部が適当である。光重合性モノマー(D)の配合量が上記範囲よりも少ない場合、組成物の充分な光硬化性が得られ難くなり、一方、上記範囲を超えて多量になると、皮膜の深部に比べて表面部の光硬化が早くなるため硬化むらを生じ易くなる。 The amount of such photopolymerizable monomer (D) is suitably 20 to 120 parts by mass per 100 parts by mass of the organic binder (carboxyl group-containing photosensitive resin and / or carboxyl group-containing resin) (C). . When the blending amount of the photopolymerizable monomer (D) is less than the above range, it is difficult to obtain sufficient photocurability of the composition. On the other hand, when the amount exceeds the above range, the surface is larger than the deep part of the film. Since the photo-curing of the part is accelerated, uneven curing is likely to occur.
前記光重合開始剤(E)の具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシー2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシー2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン等のアミノアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;又はキサントン類;(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エチル−2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィネイト等のフォスフィンオキサイド類;各種パーオキサイド類などが挙げられ、これら公知慣用の光重合開始剤を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの光重合開始剤(E)の配合割合は、前記有機バインダー(カルボキシル基含有感光性樹脂及び/又はカルボキシル基含有樹脂)(B)100質量部当り、1〜30質量部が適当であり、好ましくは、5〜20質量部である。
Specific examples of the photopolymerization initiator (E) include benzoin and benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2, Acetophenones such as 2-diethoxy-2-phenylacetophenone and 1,1-dichloroacetophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1 -Aminoacetophenones such as butanone; 2-methyla Anthraquinones such as traquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, etc. Thioxanthones; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzophenones such as benzophenone; or xanthones; (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-pentylphosphine oxide, bis (2,4,4) 6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethyl-2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphine Phosphine oxide such as preparative; various peroxides and the like can be used alone or in combination of two or more of these conventionally known photopolymerization initiator.
The blending ratio of these photopolymerization initiators (E) is suitably 1 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the organic binder (carboxyl group-containing photosensitive resin and / or carboxyl group-containing resin) (B), Preferably, it is 5-20 mass parts.
また、上記のような光重合開始剤(E)は、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の三級アミン類のような光増感剤の1種あるいは2種以上と組み合わせて用いることができる。
さらに、より深い光硬化深度を要求される場合、必要に応じて、可視領域でラジカル重合を開始するチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュアー784等のチタノセン系光重合開始剤、ロイコ染料等を硬化助剤として組み合わせて用いることができる。
The photopolymerization initiator (E) is composed of N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, triethylamine, triethanolamine. It can be used in combination with one or more photosensitizers such as tertiary amines.
Furthermore, when a deeper photocuring depth is required, a titanocene photopolymerization initiator such as Irgacure 784 manufactured by Ciba Specialty Chemicals, which starts radical polymerization in the visible region, and leuco dyes are cured as necessary. It can be used in combination as an auxiliary agent.
本発明の光硬化性導電組成物は、必要に応じて軟化点400〜600℃のガラス粉末(F)を、本発明の光硬化性導電組成物の特性を損なわない量的割合で配合することができる。
ガラス粉末は、焼成後の導体回路との密着性向上のために、導電性粉末(B)100質量部当り、50質量部以下、好ましくは10質量部以下の割合で配合することができる。この理由は、その配合量が上記範囲よりも多いと焼成後に充分な導通が得られず、好ましくない。このガラス粉末としては、そのガラス転移点(Tg)が300〜500℃で、ガラス軟化点(Ts)が400〜600℃のものが好ましい。ガラス粉末の軟化点が400℃より低いと、有機バインダーを包み込み易くなり、残存する有機バインダーが分解することによって組成物中にブリスターが生じ易くなるので好ましくない。また、解像度の点からは、平均粒径10μm以下、好ましくは3μm以下のガラス粉末を用いることが好ましい。
In the photocurable conductive composition of the present invention, a glass powder (F) having a softening point of 400 to 600 ° C. is blended in a quantitative ratio that does not impair the characteristics of the photocurable conductive composition of the present invention, if necessary. Can do.
The glass powder can be blended at a ratio of 50 parts by mass or less, preferably 10 parts by mass or less per 100 parts by mass of the conductive powder (B) in order to improve the adhesion with the conductor circuit after firing. The reason is that if the blending amount is larger than the above range, sufficient conduction cannot be obtained after firing, which is not preferable. As this glass powder, that whose glass transition point (Tg) is 300-500 degreeC and whose glass softening point (Ts) is 400-600 degreeC is preferable. When the softening point of the glass powder is lower than 400 ° C., the organic binder is likely to be encapsulated, and the remaining organic binder is decomposed, so that blisters are easily generated in the composition. From the viewpoint of resolution, it is preferable to use glass powder having an average particle size of 10 μm or less, preferably 3 μm or less.
上記ガラス粉末としては、酸化鉛、酸化ビスマス、又は酸化亜鉛などを主成分とする非結晶性フリットが好適に使用できる。 As the glass powder, an amorphous frit mainly composed of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide or the like can be preferably used.
本発明においては、光硬化性導電組成物に多量の無機粉末を配合した場合、得られる組成物の保存安定性が悪く、ゲル化や流動性の低下により塗布作業性が悪くなる傾向がある。従って、本発明の組成物では、組成物の保存安定性向上のため、無機粉末の成分である金属あるいは酸化物粉末との錯体化あるいは塩形成などの効果のある化合物を、安定剤として添加することができる。安定剤としては、硝酸、硫酸、塩酸、ホウ酸等の各種無機酸;ギ酸、酢酸、アセト酢酸、クエン酸、ステアリン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、ベンゼンスルホン酸、スルファミン酸等の各種有機酸;リン酸、亜リン酸、次亜リン酸、リン酸メチル、リン酸エチル、リン酸ブチル、リン酸フェニル、亜リン酸エチル、亜リン酸ジフェニル、モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)アシッドホスフェート等の各種リン酸化合物(無機リン酸、有機リン酸)などの酸が挙げられ、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 In the present invention, when a large amount of inorganic powder is blended in the photocurable conductive composition, the storage stability of the resulting composition is poor, and the coating workability tends to be poor due to gelation and fluidity deterioration. Therefore, in the composition of the present invention, in order to improve the storage stability of the composition, a compound having an effect of complexing or forming a salt with a metal or oxide powder which is a component of the inorganic powder is added as a stabilizer. be able to. Stabilizers include various inorganic acids such as nitric acid, sulfuric acid, hydrochloric acid, and boric acid; various types such as formic acid, acetic acid, acetoacetic acid, citric acid, stearic acid, maleic acid, fumaric acid, phthalic acid, benzenesulfonic acid, and sulfamic acid Organic acids: phosphoric acid, phosphorous acid, hypophosphorous acid, methyl phosphate, ethyl phosphate, butyl phosphate, phenyl phosphate, ethyl phosphite, diphenyl phosphite, mono (2-methacryloyloxyethyl) acid Acids, such as various phosphoric acid compounds (inorganic phosphoric acid, organic phosphoric acid), such as a phosphate, are mentioned, It can use individually or in combination of 2 or more types.
本発明においては、組成物を希釈することによりペースト化し、容易に塗布工程を可能とし、次いで乾燥させて造膜し、接触露光を可能とさせるために、適宜の量の有機溶剤を配合することができる。具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、テルピネオールなどのアルコール類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレート等が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 In the present invention, the composition is made into a paste by diluting, enabling an easy coating process, then drying to form a film, and blending an appropriate amount of an organic solvent to enable contact exposure. Can do. Specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, di Glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate , Esters such as 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate; Alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol, propylene glycol, and terpineol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha, 2,2,4 -Trimethyl- 1, 3-pentanediol monoisobutyrate etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.
本発明の光硬化性導電組成物は、上記成分以外に、エポキシ樹脂等の熱硬化触媒を配合することができる。熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;2−エチルイミダゾリンなどのイミダゾリン誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ヒドラジド、セバシン酸ヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などが挙げられるが、これらに限られるものではなく、熱硬化性成分の硬化反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。 The photocurable conductive composition of the present invention can contain a thermosetting catalyst such as an epoxy resin in addition to the above components. Examples of the thermosetting catalyst include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1- Imidazole derivatives such as (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; imidazoline derivatives such as 2-ethylimidazoline; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4 -Amine compounds such as -methoxy-N, N-dimethylbenzylamine and 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic hydrazide and sebacic acid hydrazide; phosphorus compounds such as triphenylphosphine It is, but not limited thereto as long as it promotes the curing reaction of the thermosetting component, may be used alone, or two or more thereof.
また、密着性付与剤としても機能するグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化触媒と併用することができる。 Guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2 S-triazine derivatives such as -vinyl-4,6-diamino-S-triazine / isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct can also be used, Preferably, a compound that also functions as an adhesion-imparting agent can be used in combination with the thermosetting catalyst.
本発明の光硬化性導電組成物は、 また、密着性、硬度等の特性を上げる目的で、必要に応じて、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、無定形シリカ、タルク、クレー、カオリン、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、ガラス繊維、炭素繊維、雲母粉などの公知慣用の無機フィラーを配合できる。 The photo-curable conductive composition of the present invention is also used for the purpose of improving properties such as adhesion and hardness, and if necessary, barium sulfate, barium titanate, silicon oxide powder, amorphous silica, talc, clay, kaolin. In addition, known inorganic fillers such as magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, glass fiber, carbon fiber, and mica powder can be blended.
さらに、必要に応じて、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、tert−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の熱重合禁止剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤などの公知慣用の密着性付与剤、分散助剤のような添加剤類を配合することができる。 Furthermore, if necessary, known and conventional thermal polymerization inhibitors such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, tert-butylcatechol, pyrogallol and phenothiazine, known conventional thickeners such as fine silica, organic bentonite and montmorillonite, silicone type, Additives such as anti-foaming agents and / or leveling agents such as fluorine-based and polymer-based, commonly used adhesion imparting agents such as imidazole-based, thiazole-based, triazole-based, and silane coupling agents, and dispersion aids Can be blended.
本発明の光硬化性導電組成物は、予めフィルム状に成膜されている場合には基板上にラミネートすればよいが、ペースト状組成物の場合、スクリーン印刷法、バーコーター、ブレードコーターなど適宜の塗布方法で基板、例えばPDPの前面基板となるガラス基板に塗布し、次いで指触乾燥性を得るために熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉等で例えば約60〜120℃で5〜40分程度乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。その後、選択的露光、現像、焼成を行なって所定のパターンの電極回路を形成する。 The photocurable conductive composition of the present invention may be laminated on a substrate when it is previously formed into a film, but in the case of a paste-like composition, a screen printing method, a bar coater, a blade coater, etc. The coating method is applied to a substrate, for example, a glass substrate serving as a front substrate of a PDP, and then in order to obtain a touch-drying property, for example, in a hot air circulation drying furnace, a far infrared drying furnace, etc. Dry about a minute to evaporate the organic solvent to obtain a tack-free coating. Thereafter, selective exposure, development, and baking are performed to form an electrode circuit having a predetermined pattern.
露光工程としては、所定の露光パターンを有するネガマスクを用いた接触露光及び非接触露光が可能である。露光光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、無電極ランプなどが使用される。露光量としては50〜1000mJ/cm2程度が好ましい。 As the exposure step, contact exposure and non-contact exposure using a negative mask having a predetermined exposure pattern are possible. As the exposure light source, a halogen lamp, a high-pressure mercury lamp, a laser beam, a metal halide lamp, an electrodeless lamp, or the like is used. The exposure amount is preferably about 50 to 1000 mJ / cm 2 .
現像工程としてはスプレー法、浸漬法等が用いられる。現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウムなどの金属アルカリ水溶液や、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアミン水溶液、特に約1.5質量%以下の濃度の希アルカリ水溶液が好適に用いられるが、組成物中のカルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基がケン化され、未硬化部(未露光部)が除去されればよく、上記のような現像液に限定されるものではない。また、現像後に不要な現像液の除去のため、水洗を行なうことが好ましい。 As the development process, a spray method, an immersion method, or the like is used. Developers include aqueous alkali metal solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate and sodium silicate, and aqueous amine solutions such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, especially about 1.5% by mass or less. A dilute alkaline aqueous solution having a concentration of 1 is preferably used, as long as the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin in the composition is saponified and the uncured part (unexposed part) is removed. It is not limited to. Moreover, it is preferable to wash with water in order to remove an unnecessary developer after development.
焼成工程においては、現像後の基板を空気中又は窒素雰囲気下で約500〜620℃の加熱処理を行ない、所望のパターンを形成する。
焼成後のパターンの膜厚は、1〜6μmであることが好ましく、焼成膜厚が上記範囲よりも薄くなるとパターンの断線、ピンホールなどが起こりやすく充分な導通を得ることが難しく、焼成膜厚が上記範囲を超えて厚くなるとパターン形成が難しくなり好ましくない。
In the baking step, the substrate after development is subjected to heat treatment at about 500 to 620 ° C. in air or in a nitrogen atmosphere to form a desired pattern.
The film thickness of the pattern after firing is preferably 1 to 6 μm. When the fired film thickness is thinner than the above range, pattern disconnection, pinholes and the like are likely to occur, and it is difficult to obtain sufficient conduction. If the thickness exceeds the above range, pattern formation becomes difficult, which is not preferable.
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」は、特に断りのない限りすべて質量部であるものとする。 EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated concretely based on an Example, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the following Example. In the following, “parts” are all parts by mass unless otherwise specified.
下記の表1に示す熱硬化性成分、有機バインダー、及び導電性粉末を用いて、組成物例1〜8並びに比較組成物例1〜2を以下に示す組成比にて配合し、攪拌機により攪拌後、3本ロールミルにより練肉してペースト化を行なった。 Using the thermosetting component, the organic binder, and the conductive powder shown in Table 1 below, Composition Examples 1 to 8 and Comparative Composition Examples 1 and 2 were blended at the composition ratio shown below, and stirred with a stirrer. Thereafter, paste was formed by kneading with a three-roll mill.
有機バインダーとしては、三菱レイヨン社製のカルボキシル基含有樹脂PB−383(Tg=63℃、酸価=176mgKOH/g、重量平均分子量=26、000)を2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートに溶解し、固形分40wt%としたものを用いた。
導電性粉末としては、平均粒径=1.7μmの銀粉末を使用した。
As an organic binder, a carboxyl group-containing resin PB-383 (Tg = 63 ° C., acid value = 176 mgKOH / g, weight average molecular weight = 26,000) manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd. was used as 2,2,4-trimethyl-1,3. -What was melt | dissolved in the pentanediol monoisobutyrate and made solid content 40 wt% was used.
As the conductive powder, a silver powder having an average particle size of 1.7 μm was used.
(組成物例1)
有機バインダー 250.0部
トリメチロールプロパントリアクリレート 90.0部
2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−
2−モルフォリノプロパン−1−オン 15.0部
銀粉 500.0部
熱硬化性成分(A−1) 16.0部
リン酸エステル 2.0部
消泡・レベリング剤(XL490−50:伊藤製油社製) 6.0部
(Composition Example 1)
Organic binder 250.0 parts Trimethylolpropane triacrylate 90.0 parts 2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]-
2-morpholinopropan-1-one 15.0 parts Silver powder 500.0 parts Thermosetting component (A-1) 16.0 parts Phosphate ester 2.0 parts Antifoam / leveling agent (XL490-50: Ito Oil) 6.0 parts)
(組成物例2)
熱硬化性成分(A−1)の配合量を40.0部としたこと以外は組成物例1と同様の成分組成とした。
(Composition Example 2)
The component composition was the same as that of Composition Example 1 except that the amount of the thermosetting component (A-1) was 40.0 parts.
(組成物例3)
熱硬化性成分(A−1)の配合量を80.0部としたこと以外は組成物例1と同様の成分組成とした。
(Composition Example 3)
It was set as the component composition similar to the composition example 1 except having set the compounding quantity of the thermosetting component (A-1) to 80.0 parts.
(組成物例4)
熱硬化性成分(A−1)を熱硬化性成分(A−2)に置き換えたこと以外は、組成物例2と同様の成分組成とした。
(Composition Example 4)
The component composition was the same as that of Composition Example 2 except that the thermosetting component (A-1) was replaced with the thermosetting component (A-2).
(組成物例5)
熱硬化性成分(A−1)を熱硬化性成分(A−3)に置き換えたこと以外は、組成物例2と同様の成分組成とした。
(Composition Example 5)
The component composition was the same as that of Composition Example 2 except that the thermosetting component (A-1) was replaced with the thermosetting component (A-3).
(組成物例6)
熱硬化性成分(A−1)を熱硬化性成分(A−4)に置き換えたこと以外は、組成物例2と同様の成分組成とした。
(Composition Example 6)
The component composition was the same as that of Composition Example 2 except that the thermosetting component (A-1) was replaced with the thermosetting component (A-4).
(組成物例7)
熱硬化性成分(A−1)を熱硬化性成分(A−5)に置き換えたこと以外は、組成物例2と同様の成分組成とした。
(Composition Example 7)
The component composition was the same as that of Composition Example 2 except that the thermosetting component (A-1) was replaced with the thermosetting component (A-5).
(組成物例8)
熱硬化性成分(A−1)を熱硬化性成分(A−6)に置き換えたこと以外は、組成物例2と同様の成分組成とした。
(Composition Example 8)
The component composition was the same as that of Composition Example 2 except that the thermosetting component (A-1) was replaced with the thermosetting component (A-6).
(比較組成物例1)
熱硬化性成分(A−1)を除くこと以外は、組成物例1と同様の成分組成とした。
(Comparative composition example 1)
It was set as the component composition similar to the composition example 1 except remove | excluding a thermosetting component (A-1).
(比較組成物例2)
熱硬化性成分(A−1)の配合量を120部としたこと以外は組成物例1と同様の成分組成とした。
(Comparative composition example 2)
The component composition was the same as that of Composition Example 1 except that the amount of the thermosetting component (A-1) was 120 parts.
このようにして得られた組成物例1〜8及び比較組成物例1〜2の各ペーストについて、焼成後膜厚、抵抗値の測定、比抵抗値、ブリスターの評価を行った。 その評価方法は、以下の通りである。 About each paste of composition example 1-8 obtained by doing in this way and comparative composition example 1-2, the film thickness after baking, the measurement of a resistance value, a specific resistance value, and blister evaluation were performed. The evaluation method is as follows.
ガラス基板上に、評価用ペーストを100メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布し、次いで、熱風循環式乾燥炉にて90℃で25分間乾燥して指触乾燥性の良好な皮膜を形成した。その後、パターン寸法4mm×100mmのラインが形成できるネガマスクを用いて、組成物上の積算光量が800mJ/cm2となるように露光した後、液温30℃の0.5wt%Na2CO3水溶液を用いて現像を行ない、水洗した。最後に空気雰囲気下にて5℃/分で昇温し、560℃で5分間焼成して試験片を作製した。 On the glass substrate, the evaluation paste was applied to the entire surface using a 100 mesh polyester screen, and then dried at 90 ° C. for 25 minutes in a hot air circulating drying oven to form a film having good touch drying properties. . Then, using the negative mask capable of forming a line pattern dimensions 4 mm × 100 mm, after the accumulated amount of the composition was exposed so as to 800mJ / cm 2, 0.5wt% Na 2 CO 3 aqueous solution temperature 30 ° C. Development was carried out using and washed with water. Finally, the temperature was raised at 5 ° C./min in an air atmosphere and baked at 560 ° C. for 5 minutes to prepare a test piece.
膜厚:
上記試験片を用いて表面粗さ計(小坂研究所社製 SE−30H)により膜厚を測定した。
Film thickness:
The film thickness was measured with a surface roughness meter (SE-30H manufactured by Kosaka Laboratory Ltd.) using the above test piece.
抵抗値:
上記試験片を用いてテスター(HIOKI 3540 mΩ HITESTER)により抵抗値を測定した。
Resistance value:
The resistance value was measured with a tester (HIOKI 3540 mΩ HITESTER) using the test piece.
比抵抗値:
得られた膜厚、抵抗値の値から下記計算式に従い比抵抗値を算出した。
比抵抗値ρ(Ω・cm)=
膜厚(cm)×パターン幅(cm)×抵抗値R(Ω)/厚さl(cm)
Specific resistance value:
The specific resistance value was calculated from the obtained film thickness and resistance value according to the following formula.
Specific resistance value ρ (Ω · cm) =
Film thickness (cm) x pattern width (cm) x resistance value R (Ω) / thickness l (cm)
ブリスター:
焼成物パターンについてブリスターの有無を目視評価した。
Blister:
The fired product pattern was visually evaluated for the presence of blisters.
これらの評価結果を、表2に示す。
These evaluation results are shown in Table 2.
表2及び表3に示す結果から明らかなように、本発明の組成物に係るペーストによれば、比較組成物例のペーストに比べて充分に比抵抗値の低いパターンを形成できることが判った。従って、本発明によれば、導電体パターンの薄膜化が可能となる。また、熱硬化性成分が多くなるとブリスターが発生し、熱硬化性成分がないと比抵抗値が高いという傾向であった。 As is apparent from the results shown in Tables 2 and 3, it was found that the paste according to the composition of the present invention can form a pattern having a sufficiently low specific resistance value as compared with the paste of the comparative composition example. Therefore, according to the present invention, the conductor pattern can be thinned. In addition, when the thermosetting component is increased, blisters are generated, and when there is no thermosetting component, the specific resistance value tends to be high.
なお、上記評価用ペーストについて、現像後のライン形状、焼成後のライン形状、ライン抵抗を評価したが、いずれも問題はなかった。これらの評価に使用する基板は、ガラス基板上に評価用ペーストを200メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布し、次いで、熱風循環式乾燥炉にて90℃で25分間乾燥して指触乾燥性の良好な皮膜を形成した。その後、ライン/スペース=100/100μmとなるネガフィルムを用いて組成物上の積算光量が500mJ/cm2となるように露光した後、液温30℃の0.5wt%Na2CO3水溶液を用いて現像を行ない、水洗した。最後に空気雰囲気下にて5℃/分で昇温し、600℃で5分間焼成して基板を作製した。 In addition, about the said paste for evaluation, although the line shape after image development, the line shape after baking, and line resistance were evaluated, all did not have a problem. The substrates used for these evaluations were coated on the entire surface of a glass substrate with an evaluation paste using a 200-mesh polyester screen, and then dried in a hot air circulation oven at 90 ° C. for 25 minutes to dry the touch. A film having good properties was formed. Then, after the integrated quantity of light on the composition using a negative film as a line / space = 100/100 [mu] m was exposed to a 500 mJ / cm 2, the 0.5wt% Na 2 CO 3 aqueous solution temperature 30 ° C. It was used for development and washed with water. Finally, the temperature was raised at 5 ° C./min in an air atmosphere and baked at 600 ° C. for 5 minutes to produce a substrate.
これらの基板ついて、現像まで終了したパターンを顕微鏡観察し、ラインに不規則なばらつきがなく、よれ等がないかどうかで評価し、焼成後のライン形状については、焼成まで終了したパターンを顕微鏡観察し、ラインに不規則なばらつきがなく、よれ等がないかどうかで評価したがいずれも問題なかった。
For these substrates, the pattern that has been completed until development is observed with a microscope, and the lines are evaluated for irregularity and distortion, and for the line shape after firing, the pattern that has been completed until firing is observed with a microscope. However, the lines were evaluated for irregularity and no distortions, but none of them was a problem.
Claims (6)
The plasma display panel which has the baked material pattern which formed the electrode or the electric circuit using the photocurable conductive composition of any one of the said Claims 1 thru | or 3.
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