KR101250602B1 - Photosensitive conductive paste and method for producing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 양호한 비저항값과 치밀성을 가지는 박막의 전극 패턴을 형성하는 것이 가능한 감광성 도전 페이스트를 제공한다.
본 발명에 따르면, 유기 결합제와, 은 분말과, 광 중합 단량체와, 광 중합 개시제와, 유기 용제와, 유리 프릿을 함유하는 감광성 도전 페이스트로서, 상기 은 분말은 1차 입경 0.7 ㎛ 이하, 비표면적 1.4 내지 2.0 ㎡/g, 탭 밀도 2.0 내지 5.0 g/㎤를 모두 만족하고, 상기 감광성 도전 페이스트의 15 질량% 이상 35 질량% 미만 함유되어 있으며, 상기 유리 프릿은 평균 입경 0.3 내지 1,5 ㎛, 또한 연화점 530 내지 650 ℃인 것을 특징으로 한다.
The present invention provides a photosensitive conductive paste capable of forming an electrode pattern of a thin film having good resistivity value and compactness.
According to the present invention, there is provided a photosensitive conductive paste containing an organic binder, silver powder, a photopolymerization monomer, a photopolymerization initiator, an organic solvent, and a glass frit, wherein the silver powder has a primary particle size of 0.7 µm or less and a specific surface area. 1.4-2.0 m <2> / g and tap density 2.0-5.0 g / cm <3> are satisfy | filled, and 15 mass% or more and less than 35 mass% of the said photosensitive electrically conductive paste are contained, The said glass frit has an average particle diameter of 0.3-1,5 micrometers, In addition, the softening point is characterized in that the 530 to 650 ℃.

Description

감광성 도전 페이스트 및 그의 제조 방법 {PHOTOSENSITIVE CONDUCTIVE PASTE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}Photosensitive conductive paste and its manufacturing method {PHOTOSENSITIVE CONDUCTIVE PASTE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}

본 발명은, 예를 들면 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라 기재함)의 회로 기판에 어드레스 전극을 형성하기 위해서 이용되는 감광성 도전 페이스트와 그의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to, for example, a photosensitive conductive paste used to form an address electrode on a circuit board of a plasma display panel (hereinafter referred to as a PDP) and a manufacturing method thereof.

일반적으로 회로 기판 상에 전극 등의 도전체 패턴을 형성할 때, 유기 결합제에 금속 분말을 혼합한 도전성 페이스트 재료를, 스크린 인쇄법 등에 의해 회로 기판 상에 인쇄하는 수법이 이용된다(예를 들면, 특허문헌 1 등 참조).Generally, when forming a conductor pattern such as an electrode on a circuit board, a method of printing a conductive paste material obtained by mixing a metal powder with an organic binder on a circuit board by screen printing or the like is used (for example, See Patent Document 1, etc.).

최근, 예를 들면 PDP의 대화면화, 고정밀화에 따라 30 인치를 초과하는 PDP의 회로 기판에서도, 안정적으로 100 ㎛ 이하의 선폭을 가지는 고정밀 어드레스 전극을 형성하는 것이 요구되고 있다. 그러나, 이러한 인쇄 기술로는 대형 회로 기판에서 고정밀 도전체 패턴을 형성하는 것은 곤란하다.In recent years, for example, with large screens and high precision of PDPs, it is required to form high-precision address electrodes having a line width of 100 µm or less stably even on circuit boards of more than 30 inches. However, such a printing technique is difficult to form a high precision conductor pattern on a large circuit board.

따라서, 감광성 도전 페이스트를 이용하고, 포토리소그래피 기술에 의해 도전체 패턴을 형성하는 방법이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2, 특허문헌 3 등 참조). 이러한 방법에 이용되는 감광성 도전 페이스트에서, 도전성 분말로서 은 등의 양도전성의 귀금속이 이용된다. 특히, 대화면의 PDP에 이용하는 경우, 그의 사용량은 크기에 비례하기 때문에, 생산 비용이 증대한다는 문제가 있다. 따라서, 은 분말의 함유량을 감소시키고, 도전체 패턴을 박막화함으로써, 저비용화를 도모하는 것이 검토되고 있다.Therefore, the method of forming a conductor pattern by the photolithographic technique using the photosensitive electrically conductive paste is proposed (for example, refer patent document 2, patent document 3, etc.). In the photosensitive electrically conductive paste used for such a method, electroconductive precious metals, such as silver, are used as electroconductive powder. In particular, when used for a large screen PDP, since the amount of use thereof is proportional to the size, there is a problem that the production cost increases. Therefore, reduction of content of silver powder and thinning of the conductor pattern have been studied to reduce the cost.

그러나, 이러한 은 분말 함유량이 낮은 박막의 도전체 패턴에 있어서, 양호한 치밀성을 얻는 것이 곤란하고, 비저항값이 상승한다는 문제가 있다.However, in the conductor pattern of the thin film with such a low silver powder content, it is difficult to obtain good compactness, and there exists a problem that a specific resistance value rises.

일본 특허 공개 (평)10-269848호 공보(특허 청구의 범위 등)Japanese Patent Laid-Open No. 10-269848 (claims, etc.) 일본 특허 공개 (평)11-224531호 공보(특허 청구의 범위 등)Japanese Patent Laid-Open No. 11-224531 (claims, etc.) 일본 특허 제3520798호 공보(특허 청구의 범위 등)Japanese Patent No. 3520798 (claims, etc.)

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 은 분말의 함유량을 줄이고, 고정밀이며, 양호한 비저항값과 치밀성을 가지는 박막의 도전체 패턴을 형성하는 것이 가능한 감광성 도전 페이스트 및 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and provides a photosensitive conductive paste capable of forming a conductive pattern of a thin film having a high precision, high resistivity and good density, and reducing the content of silver powder. The purpose.

본 발명의 한 양태의 감광성 도전 페이스트는 유기 결합제와, 은 분말과, 광 중합 단량체와, 광 중합 개시제와, 유기 용제와, 유리 프릿을 함유하는 감광성 도전 페이스트이며, 은 분말은 1차 입경 0.7 ㎛ 이하, 비표면적 1.4 내지 2.0 ㎡/g, 탭 밀도 2.0 내지 5.0 g/㎤를 모두 만족하고, 감광성 도전 페이스트의 15 질량% 이상 35 질량% 미만 함유되어 있으며, 유리 프릿은 평균 입경(D50) 0.3 내지 1.5 ㎛, 연화점 530 내지 650 ℃인 것을 특징으로 하는 것이다.The photosensitive conductive paste of one embodiment of the present invention is a photosensitive conductive paste containing an organic binder, silver powder, a photopolymerization monomer, a photopolymerization initiator, an organic solvent, and a glass frit, and the silver powder has a primary particle diameter of 0.7 μm. Hereinafter, the specific surface area of 1.4 to 2.0 m 2 / g and the tap density of 2.0 to 5.0 g / cm 3 are all satisfied, and 15 to 35% by mass of the photosensitive conductive paste is contained, and the glass frit has an average particle diameter (D50) of 0.3 to 1.5 µm, and a softening point of 530 to 650 ° C.

이러한 구성에 의해, 은 분말의 함유량을 줄이면서, 고정밀이고 양호한 비저항값과 치밀성을 가지는 초박막의 도전체 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.By this structure, it becomes possible to form the ultra-thin conductor pattern which has high precision, favorable specific resistance value, and compactness, while reducing content of silver powder.

이러한 감광성 도전 페이스트 중 유리 프릿의 함유량은, 은 분말 100 질량부에 대하여 0.01 내지 35 질량부인 것이 바람직하다. 유리 프릿의 함유량을 이 범위로 함으로써, 형성되는 도전체 패턴에서 또한 양호한 비저항값, 치밀성을 얻을 수 있다. 유리 프릿이 0.01 질량부 미만인 경우는, 기판에 대한 양호한 밀착성을 얻는 것이 곤란해지고, 35 질량부를 초과하면 양호한 치밀성과 비저항값을 얻는 것이 곤란해진다.It is preferable that content of the glass frit in such a photosensitive electrically conductive paste is 0.01-35 mass parts with respect to 100 mass parts of silver powder. By making content of a glass frit into this range, favorable specific resistance value and compactness can also be obtained with the conductor pattern formed. When glass frit is less than 0.01 mass part, it becomes difficult to obtain favorable adhesiveness with respect to a board | substrate, and when it exceeds 35 mass parts, it will become difficult to obtain favorable compactness and a specific resistance value.

본 발명의 한 양태에서, 이러한 감광성 도전 페이스트를 이용하여 도전체 패턴을 형성할 수 있다. 그리고, 얻어진 도전체 패턴에서, 적은 은 분말의 함유량으로, 양호한 비저항값과 치밀성을 가지며, 고정밀인 박막으로 할 수 있다.In one embodiment of the present invention, such a photosensitive conductive paste can be used to form a conductor pattern. And in the obtained conductor pattern, it can be set as a high-definition thin film which has favorable specific resistance value and compactness with content of a little silver powder.

또한, 얻어진 도전체 패턴의 유리 프릿의 함유량을, 은 분말 100 질량부에 대하여 0.01 내지 35 질량부로 함으로써, 보다 양호한 비저항값, 치밀성을 얻을 수 있다.Moreover, more preferable specific resistance value and compactness can be obtained by making content of the glass frit of the obtained conductor pattern into 0.01-35 mass parts with respect to 100 mass parts of silver powder.

그리고, 이러한 도전체 패턴의 막 두께를 1.2 ㎛ 이하로 할 수 있어, 은 분말의 사용량을 줄이고, 비용 절감을 도모하는 것이 가능해진다.And the film thickness of such a conductor pattern can be 1.2 micrometers or less, and it becomes possible to reduce the usage-amount of silver powder, and to aim at cost reduction.

또한, 이러한 도전체 패턴을 PDP에 바람직하게 사용할 수 있다.In addition, such a conductor pattern can be preferably used for PDP.

본 발명의 한 양태에 따르면, 은 분말의 함유량을 줄이고, 고정밀이며 양호한 비저항값과 치밀성을 가지는 박막의 도전체 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.According to one aspect of the present invention, it is possible to reduce the content of silver powder and to form a conductor pattern of a thin film having high precision and good specific resistance value and compactness.

이하 본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment is demonstrated in detail.

본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트는 유기 결합제와, 은 분말과, 광 중합 단량체와, 광 중합 개시제와, 유기 용제와, 유리 프릿을 함유하는 감광성 도전 페이스트로서, 은 분말은 1차 입경 0.7 ㎛ 이하, 비표면적 1.4 내지 2.0 ㎡/g, 탭 밀도 2.0 내지 5.0 g/㎤를 모두 만족하고, 감광성 도전 페이스트의 15 질량% 이상 35 질량% 미만 함유되어 있으며, 유리 프릿은 평균 입경(D50) 0.3 내지 1.5 ㎛, 연화점 530 내지 650 ℃인 것을 특징으로 한다.The photosensitive conductive paste of this embodiment is a photosensitive conductive paste containing an organic binder, silver powder, a photopolymerization monomer, a photopolymerization initiator, an organic solvent, and a glass frit, wherein the silver powder has a primary particle size of 0.7 μm or less, It satisfies all of the specific surface area 1.4-2.0 m <2> / g and tap density 2.0-5.0 g / cm <3>, and contains 15 mass% or more and less than 35 mass% of the photosensitive electrically conductive paste, and the glass frit has an average particle diameter (D50) of 0.3-1.5 micrometers. , Characterized in that the softening point is 530 to 650 ℃.

이러한 감광성 도전 페이스트에 있어서, 은 분말을 분산하고, 기판 상에 도포 가능한 상태로 하고, 또한 패턴 노광에 의해 현상함으로써 도막에 패턴을 형성하기 위해서, 유기 결합제가 이용된다.In such a photosensitive electrically conductive paste, an organic binder is used in order to form a pattern in a coating film by disperse | distributing silver powder, making it applyable on a board | substrate, and developing by pattern exposure.

유기 결합제로는 카르복실기를 가지는 수지, 구체적으로는 그것 자체가 에틸렌성 이중 결합을 가지는 카르복실기 함유 감광성 수지 및 에틸렌성 불포화 이중 결합을 가지지 않는 카르복실기 함유 수지가 모두 사용 가능하다. 바람직하게 사용할 수 있는 수지(올리고머 및 중합체 중 어느 하나일 수도 있음)로는, 이하와 같은 것을 들 수 있다.As the organic binder, both a resin having a carboxyl group, specifically, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenic double bond and a carboxyl group-containing resin not having an ethylenically unsaturated double bond can be used. Examples of the resin (which may be either oligomer or polymer) that can be preferably used include the following ones.

(1) (메트)아크릴산 등의 불포화 카르복실산과, 메틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 이중 결합을 가지는 화합물을 공중합시킴으로써 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(1) Carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing unsaturated carboxylic acids, such as (meth) acrylic acid, and compounds which have unsaturated double bonds, such as methyl (meth) acrylate.

(2) (메트)아크릴산 등의 불포화 카르복실산과, 메틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 이중 결합을 가지는 화합물의 공중합체에 글리시딜(메트)아크릴레이트나 (메트)아크릴산클로라이드 등에 의해, 에틸렌성 불포화기를 팬던트로서 부가시킴으로써 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(2) Ethylene by glycidyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid chloride or the like in a copolymer of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated double bond such as methyl (meth) acrylate Carboxyl group containing photosensitive resin obtained by adding a unsaturated unsaturated group as a pendant.

(3) 글리시딜(메트)아크릴레이트 등의 에폭시기와 불포화 이중 결합을 가지는 화합물과, 메틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 이중 결합을 가지는 화합물의 공중합체에 (메트)아크릴산 등의 불포화 카르복실산을 반응시키고, 생성된 2급의 수산기에 테트라히드로프탈산 무수물 등의 다염기산 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(3) unsaturated carboxyl such as (meth) acrylic acid in a copolymer of a compound having an unsaturated double bond such as methyl (meth) acrylate with an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate; A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by making an acid react and making polybasic acid anhydrides, such as tetrahydrophthalic anhydride, react with the produced | generated secondary hydroxyl group.

(4) 무수 말레산 등의 불포화 이중 결합을 가지는 산 무수물과, 스티렌 등의 불포화 이중 결합을 가지는 화합물의 공중합체에 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트 등의 수산기와 불포화 이중 결합을 가지는 화합물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(4) Compounds having an unsaturated double bond, such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, in a copolymer of an acid anhydride having an unsaturated double bond such as maleic anhydride and a compound having an unsaturated double bond such as styrene Carboxyl group containing photosensitive resin obtained by making it react.

(5) 다관능 에폭시 화합물과 (메트)아크릴산 등의 불포화 카르복실산을 반응시키고, 생성된 2급의 수산기에 테트라히드로프탈산 무수물 등의 다염기산 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(5) The carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by making polyfunctional epoxy compound react with unsaturated carboxylic acids, such as (meth) acrylic acid, and making polybasic acid anhydrides, such as tetrahydrophthalic anhydride, react with the produced | generated secondary hydroxyl group.

(6) 메틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 이중 결합을 가지는 화합물과 글리시딜(메트)아크릴레이트의 공중합체의 에폭시기에 1 분자 중에 1개의 카르복실기를 가지고, 에틸렌성 불포화 결합을 갖지 않는 유기산을 반응시켜, 생성된 2급의 수산기에 다염기산 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(6) An organic acid having one carboxyl group in one molecule of an epoxy group of a copolymer having a unsaturated double bond such as methyl (meth) acrylate and a glycidyl (meth) acrylate and having no ethylenically unsaturated bond. The carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by making it react and making polybasic acid anhydride react with the produced | generated secondary hydroxyl group.

(7) 폴리비닐알코올 등의 수산기 함유 중합체에 다염기 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 수지.(7) Carboxyl group-containing resin obtained by making polybasic anhydride react with hydroxyl-containing polymers, such as polyvinyl alcohol.

(8) 폴리비닐알코올 등의 수산기 함유 중합체에 테트라히드로프탈산 무수물 등의 다염기산 무수물을 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 수지에, 글리시딜(메트)아크릴레이트 등의 에폭시기와 불포화 이중 결합을 가지는 화합물을 더 반응시켜 얻어지는 카르복실기 함유 감광성 수지.(8) A compound having an unsaturated double bond with an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate is further reacted with a carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as tetrahydrophthalic anhydride with a hydroxyl group-containing polymer such as polyvinyl alcohol. Carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by making it stand.

이들 중에서, 특히 (1), (2), (3), (6)의 수지가 바람직하게 이용된다.Among these, especially resin of (1), (2), (3), (6) is used preferably.

또한, (메트)아크릴레이트란, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 혼합물을 총칭하는 용어이고, 이하 다른 유사한 표현에 대해서도 마찬가지이다.In addition, (meth) acrylate is a term which generically refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and it is the same also about another similar expression below.

이러한 카르복실기 함유 감광성 수지 및 카르복실기 함유 수지는 단독으로 또는 혼합하여 이용할 수도 있지만, 어느 경우에도 이들은 합계로, 감광성 도전 페이스트 100 질량부에 대하여 10 내지 50 질량부로 배합되는 것이 바람직하다. 이들 중합체의 배합량이 10 질량부 미만인 경우, 형성하는 도막 중 이들 수지의 분포가 불균일해지기 쉽고, 충분한 광 경화성 및 광 경화 심도를 얻기 어려워지며, 선택적 노광, 현상에 의한 패터닝이 곤란해진다. 한편, 50 질량부를 초과한 경우, 소성시 패턴의 비틀림이나 선폭 수축을 일으키기 쉬워진다.Although these carboxyl group-containing photosensitive resin and carboxyl group-containing resin can be used individually or in mixture, in any case, it is preferable that these are mix | blended in 10-50 mass parts with respect to 100 mass parts of photosensitive electrically conductive pastes in total. When the blending amount of these polymers is less than 10 parts by mass, the distribution of these resins in the coating film to be formed tends to be uneven, and it becomes difficult to obtain sufficient photocurability and photocuring depth, and patterning by selective exposure and development becomes difficult. On the other hand, when it exceeds 50 mass parts, it becomes easy to produce the twist of a pattern at the time of baking, or shrinkage of a line width.

또한, 카르복실기 함유 감광성 수지 및 카르복실기 함유 수지로는, 각각 중량 평균 분자량이 1,000 내지 100,000인 것이 바람직하다. 이들 수지의 중량 평균 분자량이 1,000 미만인 경우, 현상시 도막의 밀착성이 열화하고, 한편 100,000을 초과한 경우, 현상 불량을 일으키기 쉬워진다. 보다 바람직하게는 5,000 내지 70,000이다.Moreover, it is preferable that weight average molecular weights are 1,000-100,000 as carboxyl group-containing photosensitive resin and carboxyl group-containing resin, respectively. When the weight average molecular weight of these resins is less than 1,000, the adhesiveness of the coating film at the time of image development will deteriorate, and when it exceeds 100,000, it will become easy to produce developing defects. More preferably, it is 5,000-70,000.

그리고, 이들 수지의 산가가 50 내지 250 mgKOH/g인 것이 바람직하다. 산가가 50 mgKOH/g 미만인 경우, 알칼리 수용액에 대한 용해성이 불충분하여 현상 불량을 일으키기 쉽고, 한편 250 mgKOH/g을 초과한 경우, 현상시에 도막의 밀착성의 열화나 광 경화부(노광부)의 용해가 발생한다.And it is preferable that the acid value of these resin is 50-250 mgKOH / g. If the acid value is less than 50 mgKOH / g, the solubility in an aqueous alkali solution is insufficient to cause development defects. On the other hand, if the acid value is more than 250 mgKOH / g, deterioration of adhesion of the coating film at the time of development, Dissolution occurs.

또한, 카르복실기 함유 감광성 수지의 이중 결합 당량이 350 내지 2,000 g/당량인 것이 바람직하다. 카르복실기 함유 감광성 수지의 이중 결합 당량이 350 g/당량 미만인 경우, 소성시에 잔사가 남기 쉬워진다. 한편, 2,000 g/당량을 초과한 경우, 현상시 작업 여유도가 좁고, 또한 광 경화시에 고노광량을 필요로 한다. 보다 바람직하게는 400 내지 1,500 g/당량이다.Moreover, it is preferable that the double bond equivalent of carboxyl group-containing photosensitive resin is 350-2,000 g / equivalent. When the double bond equivalent of carboxyl group-containing photosensitive resin is less than 350 g / equivalent, the residue will remain easily at the time of baking. On the other hand, when it exceeds 2,000 g / equivalent, the work margin at the time of image development is narrow, and high exposure amount is required at the time of photocuring. More preferably, it is 400-1,500 g / equivalent.

또한, 본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트에 있어서, 도전체 패턴에 도전성을 부여하기 위해서 은 분말이 이용된다.In addition, in the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment, in order to provide electroconductivity to a conductor pattern, silver powder is used.

은 분말의 1차 입경(SEM 직경)은 0.7 ㎛ 이하로 한다. 1차 입경이 0.7 ㎛ 이하이면, 소성시 수축이 균일하게 일어나고, 라인 형상이 샤프해져 치밀한 막을 형성할 수 있다. 이 1차 입경이 0.7 ㎛보다 크면, 소성 후에 도전 도막에 핀홀이나 간극이 발생하기 쉬워져, 충분한 도전성을 얻기 어려워진다. 하한에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 입경이 작아지면 보다 고가가 되기 때문에, 저비용화라는 관점에서 0.5 ㎛ 이상이 바람직하다.The primary particle diameter (SEM diameter) of silver powder shall be 0.7 micrometer or less. If the primary particle size is 0.7 µm or less, shrinkage occurs uniformly during firing, and the line shape is sharp, thereby forming a dense film. When the primary particle size is larger than 0.7 µm, pinholes and gaps are likely to occur in the conductive coating film after firing, and it becomes difficult to obtain sufficient conductivity. Although there is no restriction | limiting in particular about a minimum, Since it becomes more expensive when a particle diameter becomes small, 0.5 micrometer or more is preferable from a viewpoint of cost reduction.

또한, 본 실시 양태에 있어서, 은 분말의 1차 입경이란, 전자 현미경(SEM)을 이용하여, 랜덤으로 10개의 은 분말을 10,000배에서 관찰, 측정한 평균 입경으로서 구할 수 있다.In addition, in this embodiment, the primary particle diameter of silver powder can be calculated | required as an average particle diameter which observed and measured ten silver powders at random 10,000 times using an electron microscope (SEM).

또한, 그의 비표면적은 1.4 내지 2.0 ㎡/g으로 한다. 이 범위로 함으로써, 광의 산란이 적고, 도막의 하부까지 충분히 경화가 진행되어, 현상시 도막의 박리를 억제할 수 있다.In addition, the specific surface area shall be 1.4-2.0 m <2> / g. By setting it as this range, light scatters little, hardening fully advances to the lower part of a coating film, and peeling of a coating film at the time of image development can be suppressed.

또한, 그의 탭 밀도는 2.0 내지 5.0 g/㎤로 한다. 이 범위로 함으로써, 페이스트의 도포성이 양호하고 치밀한 도전체 패턴을 얻을 수 있다. 보다 바람직하게는 2.4 내지 4.2 g/㎤이다.In addition, the tap density shall be 2.0-5.0 g / cm <3>. By setting it as this range, the paste applicability | paintability is favorable and a compact conductor pattern can be obtained. More preferably, it is 2.4 to 4.2 g / cm <3>.

이러한 은 분말로는 구상, 플레이크상, 덴드라이트상 등 여러가지 형상의 것을 사용할 수 있지만, 광 특성이나 분산성을 고려하면 구상의 것을 이용하는 것이 바람직하다.As such a silver powder, various shapes, such as spherical shape, a flake shape, and a dendrite shape, can be used, but in consideration of optical characteristics and dispersibility, it is preferable to use a spherical thing.

이러한 1차 입경 0.7 ㎛ 이하, 비표면적 1.4 내지 2.0 ㎡/g, 탭 밀도 2.0 내지 5.0 g/㎤ 중 어느 조건도 만족하는 은 분말은, 감광성 도전 페이스트의 15 질량% 이상 35 질량% 미만이 되도록 배합된다. 15 질량%보다 적으면, 소성 후의 전극이 다공성인 상태가 되어, 충분한 도전성을 얻는 것이 곤란해진다. 또한, 35 질량% 이상의 경우, 비용 상승이 된다.The silver powder which satisfies the conditions of such a primary particle diameter of 0.7 micrometer or less, specific surface area 1.4-2.0 m <2> / g, and tap density 2.0-5.0 g / cm <3> is mix | blended so that it may be 15 mass% or more and less than 35 mass% of the photosensitive electrically conductive paste. do. When less than 15 mass%, the electrode after baking becomes a porous state, and it becomes difficult to acquire sufficient electroconductivity. Moreover, when it is 35 mass% or more, it will become a cost increase.

본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트에 있어서, 광 경화성의 촉진 및 현상성을 향상시키기 위해서 광 중합성 단량체가 이용된다.In the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment, in order to promote photocurability and to improve developability, a photopolymerizable monomer is used.

광 중합성 단량체로는, 예를 들면 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리우레탄디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 트리메틸올프로판에틸렌옥사이드 변성 트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 및 상기 아크릴레이트에 대응하는 각 메타크릴레이트류; 프탈산, 아디프산, 말레산, 이타콘산, 숙신산, 트리멜리트산, 테레프탈산 등의 다염기산과 히드록시알킬(메트)아크릴레이트와의 모노-, 디-, 트리- 또는 그 이상의 폴리에스테르 등을 들 수 있다.As a photopolymerizable monomer, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethyleneglycol diacrylate, polyurethane diacrylamide, for example. Latex, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate and the above Methacrylates corresponding to acrylates; Mono-, di-, tri- or more polyesters of polybasic acids such as phthalic acid, adipic acid, maleic acid, itaconic acid, succinic acid, trimellitic acid and terephthalic acid with hydroxyalkyl (meth) acrylates. have.

또한, 광 중합성 단량체는 이들로 한정되는 것은 아니고, 또한 이들을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 이들 광 중합성 단량체 중에서도, 1 분자 중에 2개 이상의 아크릴로일기 또는 메타크릴로일기를 가지는 다관능 단량체가 바람직하다.In addition, a photopolymerizable monomer is not limited to these, Moreover, these can be used individually or in combination of 2 or more types. Among these photopolymerizable monomers, the polyfunctional monomer which has a 2 or more acryloyl group or a methacryloyl group in 1 molecule is preferable.

이러한 광 중합성 단량체의 배합량은, 유기 결합제 100 질량부당 20 내지 100 질량부가 적당하다. 광 중합성 단량체의 배합량이 20 질량부 미만인 경우, 충분한 광 경화성을 얻는 것이 곤란해지고, 한편 100 질량부를 초과하면 도막의 심부에 비해 표면부의 광 경화가 빨라지기 때문에, 경화 불균일을 일으키기 쉬워진다.20-100 mass parts is suitable for the compounding quantity of such a photopolymerizable monomer per 100 mass parts of organic binders. When the compounding quantity of a photopolymerizable monomer is less than 20 mass parts, it becomes difficult to obtain sufficient photocurability, and when it exceeds 100 mass parts, photocuring of the surface part will become quick compared with the core part of a coating film, and it will become easy to produce a hardening nonuniformity.

본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트에 있어서, 패턴 노광에 의해 라디칼을 생성하고, 광 경화를 촉진시키기 위해서 광 중합 개시제가 이용된다.In the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment, in order to generate | occur | produce a radical by pattern exposure and to accelerate photocuring, a photoinitiator is used.

광 중합 개시제로서는, 구체예로는 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르 등의 벤조인과 벤조인알킬에테르류; 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논, 1,1-디클로로아세토페논 등의 아세토페논류; 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1,2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논 등의 아미노아세토페논류; 2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논 등의 안트라퀴논류; 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤 등의 티오크산톤류; 아세토페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈 등의 케탈류; 벤조페논 등의 벤조페논류; 또는 크산톤류; (2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-펜틸포스핀옥사이드, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 에틸-2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스피네이트 등의 포스핀옥사이드류; 각종 퍼옥사이드류를 들 수 있다.As a photoinitiator, As a specific example, Benzoin and benzoin alkyl ether, such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether; Acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone and 1,1-dichloroacetophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone- Aminoacetophenones such as 1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone; Anthraquinones such as 2-methyl anthraquinone, 2-ethyl anthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone, and 1-chloro anthraquinone; Thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; Ketal such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzophenones such as benzophenone; Or xanthones; (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-pentylphosphineoxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine Phosphine oxides such as oxide, ethyl-2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphinate; Various peroxides can be mentioned.

시판품으로는, 예를 들면 치바 재팬사 제조의 이르가큐어 184, 이르가큐어 819, 이르가큐어 907, 이르가큐어 369, 이르가큐어 379, 바스프(BASF)사 제조의 루시린 TPO 등을 들 수 있다. 또한, 이들로 한정되는 것은 아니며, 이들 광 중합 개시제를 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As a commercial item, the Irgacure 184, Irgacure 819, Irgacure 907, Irgacure 369, Irgacure 379, the BASF company made, for example, the Irgacure 184 by Chiba Japan Can be. In addition, it is not limited to these, These photoinitiators can be used individually or in combination of 2 or more types.

이들 광 중합 개시제의 배합 비율은, 유기 결합제 100 질량부당 1 내지 30 질량부가 바람직하다. 1 질량부 미만이면, 충분히 광 경화를 촉진시키는 것이 곤란해지고, 30 질량부를 초과하면 선이 굵어지기 쉬워져, 노광 패턴에 대한 선폭의 재현을 얻기 어려워진다. 보다 바람직하게는 5 내지 20 질량부이다.As for the compounding ratio of these photoinitiators, 1-30 mass parts is preferable per 100 mass parts of organic binders. If it is less than 1 mass part, it will become difficult to fully accelerate photocuring, and when it exceeds 30 mass parts, a line will become thick easily, and it will become difficult to obtain reproduction of the line width with respect to an exposure pattern. More preferably, it is 5-20 mass parts.

이러한 광 중합 개시제는, N,N-디메틸아미노벤조산에틸에스테르, N,N-디메틸아미노벤조산이소아밀에스테르, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 트리에틸아민, 트리에탄올아민 등의 3급 아민류와 같은 광 증감제의 1종 또는 2종 이상과 조합하여 사용할 수 있다.Such photoinitiators are similar to tertiary amines such as N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, triethylamine and triethanolamine. It can be used in combination with 1 type, or 2 or more types of photosensitizers.

또한, 보다 깊은 광 경화 심도가 요구되는 경우, 필요에 따라서 가시 영역에서 라디칼 중합을 개시하는 치바 재팬사 제조 이르가큐어(등록상표) 784(치바 재팬사 제조) 등의 티타노센계 광 중합 개시제나, 로이코 염료 등을 경화 보조제로서 조합하여 사용할 수 있다.Moreover, when deeper photocuring depth is required, titanocene type photoinitiators, such as Irgacure (trademark) 784 (made by Chiba Japan company) by Chiba Japan Inc. which start radical polymerization in a visible region as needed, A leuco dye etc. can be used in combination as a hardening adjuvant.

또한, 이러한 광 중합 개시제와 병용하여, 필요에 따라서 미경화된 광 중합성 단량체를 반응시키기 위해서 열 중합 촉매를 사용할 수 있다. 이 열 중합 촉매는 수분 내지 1 시간 정도의 고온에서의 에이징에 의해, 미경화된 광 중합성 단량체를 반응시킬 수 있다.Moreover, in combination with such a photoinitiator, a thermal polymerization catalyst can be used in order to react an uncured photopolymerizable monomer as needed. This thermal polymerization catalyst can react the uncured photopolymerizable monomer by aging at high temperature for several minutes to 1 hour.

구체적으로는, 과산화벤조일 등의 과산화물, 이소부티로니트릴 등의 아조 화합물이고, 바람직하게는 2.2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스-2-메틸부티로니트릴, 2,2'-아조비스-2,4-디발레로니트릴, 1'-아조비스-1-시클로헥산카르보니트릴, 디메틸-2,2'-아조비스이소부티레이트, 4,4'-아조비스-4-시아노발레르산, 2-메틸-2,2'-아조비스프로판니트릴, 2,4-디메틸-2,2,2',2'-아조비스펜탄니트릴, 1,1'-아조비스(1-아세톡시-1-페닐에탄), 2,2,2',2'-아조비스(2-메틸부탄아미드옥심)디히드로클로라이드 등을 들 수 있으며, 보다 바람직한 것으로는 친환경적인 비시안, 비할로겐 타입의 1,1'-아조비스(1-아세톡시-1-페닐에탄)을 들 수 있다.Specifically, it is an azo compound, such as a peroxide, such as benzoyl peroxide, and isobutyronitrile, Preferably it is 2.2'- azobisisobutyronitrile, 2,2'- azobis-2-methylbutyronitrile, 2, 2'-azobis-2,4-divaleronitrile, 1'-azobis-1-cyclohexanecarbonitrile, dimethyl-2,2'-azobisisobutyrate, 4,4'-azobis-4- Cyanovaleric acid, 2-methyl-2,2'-azobispropanenitrile, 2,4-dimethyl-2,2,2 ', 2'-azobispentanenitrile, 1,1'-azobis (1- Acetoxy-1-phenylethane), 2,2,2 ', 2'-azobis (2-methylbutanamide oxime) dihydrochloride, and the like, and more preferably, an environmentally friendly non-cyanide, non-halogen type. And 1,1'-azobis (1-acetoxy-1-phenylethane).

본 실시 양태의 감광성 도전 페이스트에 있어서, 점도를 조정하고, 균일한 도막을 형성하기 위해서 유기 용제가 이용된다.In the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment, in order to adjust a viscosity and to form a uniform coating film, the organic solvent is used.

유기 용제로는, 구체적으로는 메틸에틸케톤, 시클로헥사논 등의 케톤류; 톨루엔, 크실렌, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류; 셀로솔브, 메틸셀로솔브, 카르비톨, 메틸카르비톨, 부틸카르비톨, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 셀로솔브아세테이트, 부틸셀로솔브아세테이트, 카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 2,2,4-트리메틸-1,3-펜탄디올모노이소부티레이트 등의 에스테르류; 에탄올, 프로판올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 테르피네올 등의 알코올류; 옥탄, 데칸 등의 지방족 탄화수소; 석유 에테르, 석유 나프타, 수소 첨가 석유 나프타, 솔벤트 나프타 등의 석유계 용제를 들 수 있고, 이들을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As an organic solvent, Ketones, such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, specifically; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; Glycol ethers such as cellosolve, methyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether ; Ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate, etc. Esters of; Alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol, propylene glycol and terpineol; Aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; Petroleum solvents, such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha, are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

이러한 유기 용제(유리 슬러리 중 유기 용제를 포함함)는, 감광성 도전 페이스트 중 유기 성분에 대하여, 40 중량% 미만이 되도록 배합되는 것이 바람직하다. 40 중량% 이상이면 점도가 낮아지고 도포성이 악화된다. 또한, 침강 등이 발생하고, 보존 안정성이 저하된다.It is preferable that such an organic solvent (including an organic solvent in a glass slurry) is mix | blended so that it may be less than 40 weight% with respect to the organic component in the photosensitive electrically conductive paste. If it is 40 weight% or more, a viscosity will become low and applicability | paintability will deteriorate. In addition, sedimentation and the like occur, and storage stability is lowered.

또한, 유기 성분이란, 감광성 도전 페이스트 중에 배합되는 유기 화합물(유기 금속 화합물을 포함함)의 것이다. 구체적으로는 유기 결합제, 광 중합 단량체, 광 중합 개시제, 유기 용제 이외에 분산제, 안정제 등 모든 유기 화합물이다.In addition, an organic component is an organic compound (including an organic metal compound) mix | blended in the photosensitive electrically conductive paste. Specifically, it is all organic compounds, such as a dispersing agent and a stabilizer other than an organic binder, a photopolymerization monomer, a photoinitiator, and an organic solvent.

본 실시 양태의 감광성 도전 페이스트에 있어서, 소성 후의 도전체 패턴의 기판에 대한 밀착성을 향상시키기 위해서 유리 프릿이 이용된다.In the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment, in order to improve the adhesiveness with respect to the board | substrate of the conductor pattern after baking, a glass frit is used.

유리 프릿의 평균 입경(D50)은 0.3 내지 1.5 ㎛로 한다. 평균 입경이 0.3 ㎛ 미만이면 수율이 현저히 저하되어 비용이 상승되고, 1.5 ㎛를 초과하면 박막의 형성이나 소성시의 균일한 수축이 곤란해져, 라인 형상이나 치밀성이 열화한다.The average particle diameter (D50) of the glass frit is 0.3 to 1.5 m. If the average particle diameter is less than 0.3 m, the yield is considerably lowered and the cost is increased. If the average particle diameter is more than 1.5 m, uniform shrinkage during formation or firing of the thin film becomes difficult, resulting in deterioration of line shape and compactness.

또한, 유리 프릿의 연화점은 530 내지 650 ℃로 한다. 유리 연화점이 530 ℃ 미만이면, 얻어지는 도전체 패턴에서 충분한 치밀성을 얻는 것이 곤란해지고, 650 ℃를 초과하면 저항값이 상승한다.In addition, the softening point of a glass frit shall be 530-650 degreeC. If the glass softening point is less than 530 ° C, it is difficult to obtain sufficient compactness in the conductor pattern obtained, and if it exceeds 650 ° C, the resistance value rises.

이러한 유리 프릿으로는 산화납, 산화비스무스, 산화아연, 산화리튬 또는 알칼리붕규산염을 주성분으로 하는 것이 바람직하게 이용된다.As such a glass frit, one having lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide, lithium oxide or alkali borosilicate as a main component is preferably used.

산화납을 주성분으로 하는 유리 프릿으로는, 예를 들면 산화물 기준의 질량%로, PbO가 48 내지 82 %, B2O3이 0.5 내지 22 %, SiO2가 3 내지 32 %, Al2O3이 0 내지 12 %, BaO가 0 내지 15 %, TiO2가 0 내지 2.5 %, Bi2O3이 0 내지 25 %의 조성을 가지는 비정질성 유리 프릿을 들 수 있다.A glass frit mainly composed of lead oxide, for example in terms of percent by mass of the oxide-based, PbO 48 to 82%, B 2 O 3 is 0.5 to 22%, SiO 2 is from 3 to 32%, Al 2 O 3 An amorphous glass frit having a composition of 0 to 12%, BaO of 0 to 15%, TiO 2 of 0 to 2.5%, and Bi 2 O 3 of 0 to 25%.

산화비스무스를 주성분으로 하는 유리 프릿으로는, 산화물 기준의 질량%로, Bi2O3이 6 내지 88 %, B2O3이 5 내지 30 %, SiO2가 5 내지 25 %, Al2O3이 0 내지 5 %, BaO가 0 내지 20 %, ZnO가 1 내지 20 %의 조성을 가지는 비정질성 유리 프릿이 바람직하다.As a glass frit containing bismuth oxide as a main component, in mass% on the basis of oxide, Bi 2 O 3 is 6 to 88%, B 2 O 3 is 5 to 30%, SiO 2 is 5 to 25%, and Al 2 O 3 An amorphous glass frit having a composition of 0 to 5%, BaO of 0 to 20% and ZnO of 1 to 20% is preferable.

산화아연을 주성분으로 하는 유리 프릿으로는, 산화물 기준의 질량%로, ZnO가 25 내지 60 %, K2O가 2 내지 15 %, B2O3이 25 내지 45 %, SiO2가 1 내지 7 %, Al2O3이 0 내지 10 %, BaO가 0 내지 20 %, MgO가 0 내지 10 %의 조성을 가지는 비정질성 유리 프릿이 바람직하다.As a glass frit containing zinc oxide as a main component, ZnO is 25 to 60%, K 2 O is 2 to 15%, B 2 O 3 is 25 to 45%, and SiO 2 is 1 to 7 by mass% based on the oxide. An amorphous glass frit having a composition of 0%, Al 2 O 3 of 0 to 10%, BaO of 0 to 20%, and MgO of 0 to 10% is preferred.

이러한 유리 프릿의 배합량은, 은 분말 100 질량부에 대하여 0.01 내지 35 질량부인 것이 바람직하다. 0.01 질량부 미만이면, 소성 후의 도전체 패턴의 기판에 대한 양호한 밀착성을 얻는 것이 곤란해진다. 한편, 35 질량부를 초과하면, 양호한 치밀성과 비저항값을 얻는 것이 곤란해진다. 보다 바람직하게는 1 내지 20 질량부이다. 또한, 이러한 유리 프릿의 열팽창계수 α300은 60 내지 110×10-7인 것이 바람직하다.It is preferable that the compounding quantity of this glass frit is 0.01-35 mass parts with respect to 100 mass parts of silver powder. If it is less than 0.01 mass part, it will become difficult to obtain favorable adhesiveness with respect to the board | substrate of the conductor pattern after baking. On the other hand, when it exceeds 35 mass parts, it will become difficult to obtain favorable density and a specific resistance value. More preferably, it is 1-20 mass parts. Moreover, it is preferable that the thermal expansion coefficient (alpha) 300 of such a glass frit is 60-110x10 <-7> .

이러한 감광성 도전 페이스트에 있어서, 감광성 도전 페이스트 중 유리 프릿을 균일하게 분산하기 위해서, 분산제를 추가로 첨가할 수 있다.In such a photosensitive electrically conductive paste, in order to disperse | distribute the glass frit uniformly in a photosensitive electrically conductive paste, a dispersing agent can be further added.

분산제로는 유리 프릿을 균일하게 분산할 수 있는 것이면 되고, 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 폴리카르복실산형 고분자 계면활성제, 변성 아크릴계 블록 공중합체, 안료 친화성기를 가지는 아크릴 공중합물, 염기성 또는 산성의 안료 흡착기를 가지는 블록 공중합물, 안료 친화성기를 가지는 변성 폴리알콕시레이트, 폴리아미노아마이드염과 폴리에스테르, 극성 산 에스테르와 고분자 알코올의 조합, 산성 중합체의 알킬암모늄염, 안료 친화성기를 가지는 고분자량 블록 공중합체, 특수 변성 우레아 등을 들 수 있지만, 특별히 이것으로 한정되는 것은 아니다.The dispersant may be any one capable of uniformly dispersing the glass frit, and is not particularly limited. For example, polycarboxylic acid type polymer surfactant, modified acrylic block copolymer, acrylic copolymer having a pigment affinity group, block copolymer having a basic or acidic pigment adsorbent, modified polyalkoxylate having a pigment affinity group, poly Aminoamide salt and polyester, a combination of a polar acid ester and a polymer alcohol, the alkylammonium salt of an acidic polymer, a high molecular weight block copolymer which has a pigment affinity group, a special modified urea, etc. are mentioned, but it is not specifically limited to this.

시판되고 있는 분산제(침강을 방지하기 위한 레올로지 컨트롤제도 포함함)에서 특히 바람직하게 사용할 수 있는 것으로는, 모다플로우(몬산토사 제조), 디스퍼빅(Disperbyk)(등록상표)-101, -103, -110, -111, -160, -171, -174, -182, -184, -190, -300, BYK(등록상표)-P105, -P104, -P104S, -240, -410(모두 빅케미사 제조), 에프카(EFKA)-중합체 150, 에프카-44, -63, -64, -65, -66, -71, -764, -766, N(모두 에프카사 제조)을 들 수 있다.Particularly preferably usable in commercially available dispersants (including rheology control agents for preventing sedimentation) are Modaflow (manufactured by Monsanto), Disperbyk (registered trademark) -101, -103, -110, -111, -160, -171, -174, -182, -184, -190, -300, BYK®-P105, -P104, -P104S, -240, -410 Manufactured), EFKA-polymer 150, Efka-44, -63, -64, -65, -66, -71, -764, -766, and N (all are manufactured by Efka Corporation).

또한, 분산제는 이들로 한정되는 것은 아니며, 이들 분산제를 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.In addition, a dispersing agent is not limited to these, These dispersing agents can be used individually or in combination of 2 or more types.

이러한 감광성 도전 페이스트에 있어서, 보존 안정성을 향상시키고, 겔화나 유동성의 저하에 의한 도포 작업성의 악화를 억제하기 위해서, 안정제를 추가로 첨가할 수 있다.In such a photosensitive electrically conductive paste, a stabilizer can be further added in order to improve storage stability and to suppress deterioration of coating workability by gelatinization and fluidity fall.

이러한 안정제로는, 감광성 도전 페이스트 중 은 분말이나 유리 프릿 등의 무기 분말의 성분인 금속 또는 산화물과의 착체화 또는 염 형성 등의 효과가 있는 화합물을 사용할 수 있다.As such a stabilizer, the compound which has the effect of complexing with metal or oxide which is a component of inorganic powders, such as silver powder and glass frit, or salt formation, in a photosensitive electrically conductive paste can be used.

구체적으로는, 예를 들면 질산, 황산, 염산, 붕산 등의 각종 무기산; 포름산, 아세트산, 아세토아세트산, 시트르산, 스테아르산, 말레산, 푸마르산, 프탈산, 벤젠술폰산, 술파민산 등의 각종 유기산; 인산, 아인산, 차아인산, 인산메틸, 인산에틸, 인산부틸, 인산페닐, 아인산에틸, 아인산디페닐, 모노(2-메타크릴로일옥시에틸)애시드포스페이트, 디(2-메타크릴로일옥시에틸)애시드포스페이트 등의 각종 인산 화합물(무기 인산, 유기 인산) 등의 산을 들 수 있다.Specifically, for example, various inorganic acids such as nitric acid, sulfuric acid, hydrochloric acid and boric acid; Various organic acids such as formic acid, acetic acid, acetoacetic acid, citric acid, stearic acid, maleic acid, fumaric acid, phthalic acid, benzenesulfonic acid and sulfamic acid; Phosphoric acid, phosphorous acid, hypophosphorous acid, methyl phosphate, ethyl phosphate, butyl phosphate, phenyl phosphate, ethyl phosphite, diphenyl phosphite, mono (2-methacryloyloxyethyl) acid phosphate, di (2-methacryloyloxyethyl Acids, such as various phosphoric acid compounds (inorganic phosphoric acid and organic phosphoric acid), such as an acid phosphate, are mentioned.

또한, 안정제는 이들로 한정되는 것은 아니고, 또한 이들을 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 이러한 안정제는 무기 분말 100 질량부에 대하여 0.1 내지 10 질량부의 비율로 첨가하는 것이 바람직하다.In addition, a stabilizer is not limited to these and can also use these individually or in combination of 2 or more types. It is preferable to add such a stabilizer in the ratio of 0.1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of inorganic powders.

또한, 안정제로서 붕산을 배합하는 경우, 25 ℃의 물 100 g에 대한 용해도가 20 g 이하인 소수성 용매를 이용하는 것이 바람직하다. 물에 대한 용해도가 높은 유기 용매를 이용하면, 유기 용매 중에 용해된 물이 유리 프릿 중에 포함되는 금속을 이온화시켜, 겔화의 원인이 된다.In addition, when boric acid is mix | blended as a stabilizer, it is preferable to use the hydrophobic solvent whose solubility with respect to 100 g of water at 25 degreeC is 20 g or less. If an organic solvent having high solubility in water is used, water dissolved in the organic solvent ionizes the metal contained in the glass frit, causing gelation.

또한 본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트에 있어서, 필요에 따라서 실리콘계, 아크릴계 등의 소포·레벨링제, 도막의 밀착성 향상을 위한 실란 커플링제 등의 다른 첨가제를 배합할 수 있다. 또한, 필요에 따라서 공지된 산화 방지제나 보존시의 열적 안정성을 향상시키기 위한 열 중합 금지제 등을 첨가할 수도 있다.Moreover, in the photosensitive electrically conductive paste of this embodiment, other additives, such as a vesicle-leveling agent, such as a silicone type and an acryl type, and a silane coupling agent for improving the adhesiveness of a coating film, can be mix | blended as needed. Moreover, if necessary, a known antioxidant, a thermal polymerization inhibitor for improving the thermal stability at the time of storage, etc. can also be added.

본 실시 형태에 있어서, 이와 같이 구성되는 감광성 도전 페이스트는 각 성분을 혼합함으로써 제조되지만, 유리 프릿을 미립자화하여 균일하게 분산시키기 위해서, 미리 유리 슬러리를 제조하는 것이 바람직하다.In this embodiment, although the photosensitive electrically conductive paste comprised in this way is manufactured by mixing each component, in order to make a glass frit fine and to disperse | distribute it uniformly, it is preferable to manufacture a glass slurry previously.

우선, 연화점 530 내지 650 ℃의 유리 프릿과, 유기 용제와, 분산제 등을 혼합하고, 이를 습식 분산함으로써, 유리 프릿의 평균 입경(D50) 0.3 내지 1.5 ㎛의 유리 슬러리를 제조한다. 또한, 유리 슬러리란, 유리 미립자가 액체 중에 분산(또는 현탁)된 상태에 있는 용액을 나타내며, 분산시에 유리가 분쇄된 것을 포함한다.First, the glass slurry of the soft frit point 530-650 degreeC, an organic solvent, a dispersing agent, etc. are mixed, and it is wet-dispersed, and the glass slurry of 0.3-1.5 micrometers of average particle diameters (D50) of a glass frit is manufactured. In addition, a glass slurry shows the solution in which the glass fine particle disperse | distributed (or suspended) in the liquid, and includes the thing by which the glass was grind | pulverized at the time of dispersion.

이러한 유리 슬러리의 제조에 이용되는 습식 분산기로는 샌드밀, 볼밀, 비드밀, 아트라이터 등을 들 수 있지만, 생산성, 분산성으로부터 비드밀이 바람직하다. 분산제는 습식 분산(분쇄도 포함함)시에 첨가할 수도, 나중에 첨가할 수도 있지만, 유리 프릿의 함유량이 높으면 점성도 높아지기 때문에, 습식 분산(분쇄도 포함함)시에, 감점(減點) 효과가 높은 분산제를 첨가하는 것이 바람직하다.Examples of the wet disperser used for the production of such glass slurry include sand mills, ball mills, bead mills, attritors, and the like, but bead mills are preferable from productivity and dispersibility. The dispersant may be added at the time of wet dispersion (including pulverization) or at a later time. However, since the viscosity of the glass frit is high, the dispersant may have a deterioration effect at the time of wet dispersion (including pulverization). Preference is given to adding high dispersants.

또한, 유리 슬러리는 핀홀 등의 발생이 없는 치밀한 막을 형성하기 위해서, 그의 분쇄도에 따른 고정밀 여과를 하는 것이 바람직하다. 이 때, 98 질량% 여과 정밀도 2 내지 40 ㎛가 되는 여과 필터를 이용하는 것이 바람직하다.In addition, the glass slurry is preferably subjected to high-precision filtration according to the degree of grinding thereof in order to form a dense film without the occurrence of pinholes or the like. At this time, it is preferable to use the filtration filter used as 98 mass% filtration accuracy of 2-40 micrometers.

이와 같이 하여 제조된 유리 슬러리에 유기 결합제와, 광 중합 단량체와, 광 중합 개시제와, 유기 용제와, 소정의 은 분말을 혼합함으로써, 감광성 도전 페이스트를 제조한다. 이 때, 교반기에 의해 교반한 후, 3축 롤밀 등에 의해 연육하여 페이스트화할 수 있다.The photosensitive electrically conductive paste is manufactured by mixing an organic binder, a photopolymerization monomer, a photoinitiator, an organic solvent, and predetermined | prescribed silver powder to the glass slurry produced in this way. At this time, after stirring with a stirrer, it can be made into a paste by a triaxial roll mill or the like.

이와 같이 하여 제조된 감광성 도전 페이스트는 스크린 인쇄법, 바 코더, 블레이드 코터 등 적절한 도포 방법으로, 예를 들면 PDP의 전면 기판이 되는 유리 기판 등의 기판에 도포하여 도막을 형성한다.The photosensitive conductive paste thus prepared is applied to a substrate such as a glass substrate, which becomes a front substrate of a PDP, by a suitable coating method such as a screen printing method, a bar coder or a blade coater to form a coating film.

이어서, 얻어진 도막을 지촉 건조성을 얻기 위해서, 열풍 순환식 건조로, 원적외선 건조로 등에서, 예를 들면 약 70 내지 120 ℃에서 5 내지 40 분 정도 건조시키고, 유기 용제를 증발시켜 태크 프리의 도막(건조 도막)을 형성한다. 이 때, 미리 감광성 도전 페이스트를 필름 상에 도포, 건조하고, 드라이 필름을 형성한 경우에는 드라이 필름을 기판 상에 라미네이트할 수도 있다.Subsequently, in order to obtain a touch drying property, the obtained coating film is dried in a hot air circulation drying furnace, a far-infrared drying furnace, etc., for example at about 70 to 120 ° C. for about 5 to 40 minutes, and the organic solvent is evaporated to obtain a tack-free coating film (drying). Coating film). At this time, when a photosensitive electrically conductive paste is apply | coated on a film previously, and a dry film is formed, you may laminate a dry film on a board | substrate.

그리고, 얻어진 건조 도막을 패턴 노광한다. 노광 방법으로는, 소정의 노광 패턴을 가지는 네가티브 마스크를 이용한 접촉 노광 및 비접촉 노광이 가능하다. 노광 광원으로는 할로겐 램프, 고압 수은등, 레이저 광, 메탈할라이드 램프, 블랙 램프, 무전극 램프 등이 사용된다. 노광량으로는 100 내지 800 mJ/㎠ 정도가 바람직하다.And the obtained dry coating film is pattern-exposed. As the exposure method, contact exposure and non-contact exposure using a negative mask having a predetermined exposure pattern are possible. As the exposure light source, a halogen lamp, a high pressure mercury lamp, a laser light, a metal halide lamp, a black lamp, an electrodeless lamp and the like are used. As an exposure amount, about 100-800 mJ / cm <2> is preferable.

또한, 소정 패턴에 노광된 도막을 현상한다. 현상 방법으로는 스프레이법, 침지법 등이 이용된다. 현상액으로는, 감광성 도전 페이스트의 카르복실기 함유 수지의 카르복실기가 비누화되고, 미경화부(미노광부)를 제거할 수 있으면 된다. 예를 들면, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 규산나트륨 등의 금속 알칼리 수용액이나, 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 아민 수용액, 특히 약 1.5 중량% 이하 농도의 묽은 알칼리 수용액이 바람직하게 이용된다. 또한, 현상 후에 불필요한 현상액의 제거를 위해, 수세나 산 중화를 행하는 것이 바람직하다.Furthermore, the coating film exposed to the predetermined pattern is developed. As the developing method, a spray method, an immersion method, or the like is used. As the developing solution, the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin of the photosensitive conductive paste may be saponified, and the uncured portion (unexposed portion) may be removed. For example, aqueous metal alkali solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate and sodium silicate, and aqueous amine solutions such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, in particular, diluted aqueous alkali solution at a concentration of about 1.5% by weight or less. Is preferably used. Further, in order to remove unnecessary developing solution after development, it is preferable to conduct the acid treatment or acid neutralization.

그리고, 패턴이 현상된 기판을 소성하여, 도전체 패턴을 형성한다. 소성 조건은, 예를 들면 공기 분위기하 또는 질소 분위기하에서, 약 400 내지 600 ℃로 할 수 있다. 이 때, 승온 속도는 20 ℃/분 이하로 설정하는 것이 바람직하다. Then, the substrate on which the pattern is developed is fired to form a conductor pattern. Firing conditions can be about 400-600 degreeC, for example in air atmosphere or nitrogen atmosphere. At this time, it is preferable to set the temperature increase rate to 20 degrees C / min or less.

<실시예><Examples>

이하, 실시예 및 비교예를 들어 본 실시 양태에 대해서 구체적으로 설명하지만, 본 발명이 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this embodiment is demonstrated concretely, this invention is not limited to these Examples.

(유기 결합제의 합성)(Synthesis of Organic Binder)

온도계, 교반기, 적하 로트 및 환류 냉각기를 구비한 플라스크에 메틸메타크릴레이트와 메타크릴산을 0.76:0.24의 몰비로 투입하고, 용매로서 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 촉매로서 아조비스이소부티로니트릴을 넣고, 질소 분위기하에 80 ℃에서 2 내지 6 시간 동안 교반하여, 수지 용액을 얻었다.Methyl methacrylate and methacrylic acid were charged to a flask equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping lot, and a reflux condenser at a molar ratio of 0.76: 0.24, and dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent and azobisisobutyronitrile as a catalyst. It put, and stirred at 80 degreeC for 2 to 6 hours in nitrogen atmosphere, and obtained the resin solution.

이 수지 용액을 냉각하고, 중합 금지제로서 메틸하이드로퀴논, 촉매로서 테트라부틸포스포늄브로마이드를 이용하여, 글리시딜메타크릴레이트를 95 내지 105 ℃에서 16 시간의 조건에서, 상기 수지의 카르복실기 1 몰에 대하여 0.12 몰의 비율의 부가 몰비로 부가 반응시키고, 냉각 후 취출하여 유기 결합제 A를 얻었다.The resin solution was cooled, and glycidyl methacrylate was used at 95 to 105 캜 for 16 hours using methylhydroquinone as a polymerization inhibitor and tetrabutylphosphonium bromide as a catalyst. The reaction was carried out at an addition molar ratio of 0.12 mol relative to, and after cooling, the organic binder A was taken out.

얻어진 유기 결합제는 중량 평균 분자량이 약 10,000, 고형분 산가가 59 mgKOH/g, 이중 결합 당량이 950이었다. 또한, 중량 평균 분자량의 측정은 펌프 LC-6AD(시마즈 세이사꾸쇼사 제조)와 칼럼 쇼덱스(Shodex)(등록상표) KF-804, KF-803, KF-802(쇼와 덴꼬사 제조)를 3개 연결한 고속 액체 크로마토그래피에 의해 측정하였다.The organic binder obtained had a weight average molecular weight of about 10,000, a solid acid value of 59 mgKOH / g, and a double bond equivalent of 950. In addition, the measurement of a weight average molecular weight measures pump LC-6AD (made by Shimadzu Corporation) and column Shodex (trademark) KF-804, KF-803, and KF-802 (made by Showa Denko). It measured by the high speed liquid chromatography which connected three.

(유리 슬러리의 제조)(Production of Glass Slurry)

하기 표 1에 나타내는 (F-1) 내지 (F-4)의 유리 프릿 50 질량부와, 유기 용제 49 질량부와, 분산제 1 질량부를 혼합하고, 이를 비드밀에 의해 습식 분산함으로써, 표 1에 나타내는 평균 입경(D50)의 유리 프릿을 포함하는 유리 슬러리를 제조하였다.50 mass parts of glass frits of (F-1)-(F-4) shown in following Table 1, 49 mass parts of organic solvents, and 1 mass part of dispersing agents are mixed, and this is wet-dispersed by the bead mill, and it shows in Table 1 The glass slurry containing the glass frit of the average particle diameter (D50) shown was produced.

유기 결합제 A 및 상기 유리 슬러리 또는 유리 프릿 (F-5)를 이용하여, 각 성분을 하기 표 2, 3에 나타내는 조성비로 배합하고, 교반기에 의해 교반한 후, 3축 롤밀에 의해 연육하여 페이스트화를 행하고, 실시예 1 내지 5 및 비교예 1 내지 5의 각 감광성 도전 페이스트를 제조하였다. 또한, 표 2는 은 분말의 매개변수를 변동시킨 것, 표 3은 유리 프릿의 매개변수를 변동시킨 것을 나타낸다.Using the organic binder A and the said glass slurry or glass frit (F-5), each component was mix | blended in the composition ratio shown to Tables 2 and 3 below, stirred with a stirrer, and then ground by a triaxial roll mill to paste into paste. And photosensitive conductive pastes of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5 were prepared. In addition, Table 2 shows that the parameter of the silver powder was changed, and Table 3 shows the parameter of the glass frit was changed.

Figure 112010062591008-pat00001
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Figure 112010062591008-pat00002
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Figure 112010062591008-pat00003
Figure 112010062591008-pat00003

*1: CA 카르비톨아세테이트(다우 케미컬사 제조)* 1: CA Carbitol Acetate (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.)

*2: TMPTA 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트(닛본 가야꾸 제조)* 2: TMPTA trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Nippon Kayaku)

*3: Irg 369(치바 재팬사 제조)* 3: Irg 369 (made by Chiba Japan)

*4: 모다플로우(몬산토 케미컬사 제조)* 4: Modaflow (Monsanto Chemical Co., Ltd.)

*5: P-1M(교에이샤 가가꾸 제조)* 5: P-1M (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)

또한, 유리 프릿의 평균 입경은 호리바 레이저 회절/산란식 입도 분포 측정 장치 LA-920에서 측정하였다.In addition, the average particle diameter of the glass frit was measured by the Horiba laser diffraction / scattering particle size distribution analyzer LA-920.

이와 같이 하여 제조된 각 감광성 도전 페이스트를 이용하여 시험편을 제조하였다.The test piece was produced using each photosensitive electrically conductive paste manufactured in this way.

(시험편 제조)(Test piece production)

유리 기판 상에 각 감광성 도전 페이스트를 200 메쉬의 폴리에스테르 스크린을 이용하여 전체면에 도포하고, IR 건조로에서 100 ℃에서 20 분간 건조하여 건조 도막을 형성하였다.Each photosensitive electrically conductive paste was apply | coated to the whole surface using the 200-mesh polyester screen on the glass substrate, and it dried for 20 minutes at 100 degreeC in IR drying furnace, and formed the dry coating film.

이어서, 광원으로서 쇼트아크 램프를 이용하고, 네가티브 마스크를 통해 건조 도막 상의 적산 광량이 300 mJ/㎠가 되도록 패턴 노광한 후, 0.4 중량%의 탄산나트륨 수용액을 이용하여 현상을 행하고, 수세하였다.Subsequently, using a short arc lamp as a light source, pattern exposure so that the accumulated light amount on a dry coating film might be 300 mJ / cm <2> through a negative mask, image development was performed using the 0.4 weight% sodium carbonate aqueous solution, and it washed with water.

이와 같이 하여 패턴이 형성된 기판을 공기 분위기하에서 590 ℃에서 10 분간, 승온 속도 14 ℃/분으로 소성하고, 각 평가용 도전체 패턴이 형성된 시험편을 제조하였다.Thus, the board | substrate with a pattern was baked at 590 degreeC for 10 minutes in air atmosphere at the temperature increase rate of 14 degreeC / min, and the test piece in which the conductor pattern for each evaluation was formed was produced.

이와 같이 하여 제조된 각 시험편을 이용하여, 이하와 같이 평가를 행하였다.Evaluation was performed as follows using each test piece manufactured in this way.

(막 두께)(Film thickness)

각 시험편에서의 도전체 패턴의 막 두께를 표면 조도계(SE700, 고사까 겡뀨쇼 제조)를 이용하여 측정하였다.The film thickness of the conductor pattern in each test piece was measured using the surface roughness meter (SE700, manufactured by Kosaka Shosho).

(치밀성)(Density)

각 시험편에서의 선폭 300 ㎛의 도전체 패턴에 대해서, 투과광을 이용하여 광학 현미경(STM5-MJS, 올림푸스사 제조)으로 배율 500으로 도전체 패턴을 관찰하고, 치밀성을 평가하였다. 평가 기준은 이하와 같다.About the conductor pattern of 300 micrometers of line widths in each test piece, the conductor pattern was observed by the optical microscope (STM5-MJS, Olympus company) at the magnification 500 using the transmitted light, and the density was evaluated. The evaluation criteria are as follows.

조밀: 도전체 패턴이 조밀하고 균일하게 제조되어 있다.Dense: The conductor pattern is made dense and uniform.

성김: 도전체 패턴이 성기고 불균일하게 되어 있다. Roughness: The conductor pattern is sparse and uneven.

(비저항값)(Resistance value)

0.4×10 cm의 라인 패턴에서의 저항값과 막 두께를 측정하고, 비저항값을 산출하였다. 비저항값은 미리옴 하에테스터(히오끼(HIOKI) 3540 mΩ, 히오끼사 제조)에 의해 측정하였다.The resistance value and the film thickness in the line pattern of 0.4x10 cm were measured, and the specific resistance value was computed. The specific resistance value was measured by a myriam under tester (HIOKI 3540 mΩ, manufactured by Hioki Co., Ltd.).

이들 평가 결과를 하기 표 4, 5에 나타낸다. These evaluation results are shown in Tables 4 and 5 below.

Figure 112010062591008-pat00004
Figure 112010062591008-pat00004

Figure 112010062591008-pat00005
Figure 112010062591008-pat00005

표 4, 표 5에 나타낸 실시예 1 내지 5로부터, 본 실시 형태의 감광성 도전 페이스트를 이용함으로써, 양호한 치밀성, 비저항값을 가지는 박막의 도전체 패턴을 형성할 수 있다는 것을 알 수 있다.From Examples 1 to 5 shown in Tables 4 and 5, it can be seen that by using the photosensitive conductive paste of the present embodiment, a conductor pattern of a thin film having good density and specific resistance can be formed.

한편, 본 실시 형태의 은 분말의 조건을 만족하지 않는 비교예 1, 2에서는 양호한 치밀성, 비저항값이 얻어지지 않는다는 것을 알 수 있다. 또한, 유리 프릿의 연화점이 본 실시 형태의 범위 밖인 비교예 3, 4에서는 양호한 치밀성이 얻어지지 않는다는 것을 알 수 있다. 또한, 유리 프릿의 상대 은 분말비가 큰 비교예 5에서는, 양호한 비저항값이 얻어지지 않는다는 것을 알 수 있다.On the other hand, in the comparative examples 1 and 2 which do not satisfy | fill the conditions of the silver powder of this embodiment, it turns out that favorable density and a specific resistance value are not obtained. Moreover, it turns out that favorable compactness is not obtained in the comparative examples 3 and 4 whose softening point of a glass frit is out of the range of this embodiment. In addition, in the comparative example 5 in which the relative ratio of glass frit is large, it turns out that a favorable specific resistance value is not obtained.

Claims (6)

유기 결합제와, 은 분말과, 광 중합 단량체와, 광 중합 개시제와, 유기 용제와, 유리 프릿을 함유하는 감광성 도전 페이스트로서,
상기 은 분말은 1차 입경 0.7 ㎛ 이하, 비표면적 1.4 내지 2.0 ㎡/g, 탭 밀도 2.0 내지 5.0 g/㎤를 모두 만족하고, 상기 감광성 도전 페이스트의 15 질량% 이상 35 질량% 미만 함유되어 있으며,
상기 유리 프릿은 평균 입경(D50) 0.3 내지 1.5 ㎛, 연화점 530 내지 650 ℃인 것을 특징으로 하는 감광성 도전 페이스트.
As a photosensitive electrically conductive paste containing an organic binder, silver powder, a photopolymerization monomer, a photoinitiator, an organic solvent, and a glass frit,
The silver powder satisfies a primary particle size of 0.7 μm or less, a specific surface area of 1.4 to 2.0 m 2 / g, and a tap density of 2.0 to 5.0 g / cm 3, and contains 15% by mass to 35% by mass of the photosensitive conductive paste.
The glass frit has an average particle diameter (D50) of 0.3 to 1.5 µm and a softening point of 530 to 650 ° C.
제1항에 있어서, 상기 유리 프릿의 함유량은, 상기 은 분말 100 질량부에 대하여 0.01 내지 35 질량부인 것을 특징으로 하는 감광성 도전 페이스트.The photosensitive conductive paste according to claim 1, wherein the content of the glass frit is 0.01 to 35 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the silver powder. 제1항 또는 제2항에 기재된 감광성 도전 페이스트를 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 도전체 패턴.It formed using the photosensitive electrically conductive paste of Claim 1 or 2, The conductor pattern characterized by the above-mentioned. 제3항에 있어서, 상기 도전체 패턴 중 상기 유리 프릿의 함유량은, 상기 은 분말 100 질량부에 대하여 0.01 내지 35 질량부인 것을 특징으로 하는 도전체 패턴.The conductor pattern according to claim 3, wherein the content of the glass frit in the conductor pattern is 0.01 to 35 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the silver powder. 제3항에 있어서, 도전체 패턴의 막 두께가 1.2 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 도전체 패턴.The conductor pattern according to claim 3, wherein the thickness of the conductor pattern is 1.2 µm or less. 제3항에 기재된 도전체 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.The conductor pattern of Claim 3 is provided, The plasma display panel characterized by the above-mentioned.
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