JP2007258333A - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性の高い配線基板、及び、信頼性の高い配線基板を効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】ベース基板10を用意する工程と、ベース基板10の表面に導電パターン20を形成する工程と、導電パターン20の表面にすずを含有するめっき層22を形成して、電気的接続部24を形成する工程と、電気的接続部24の基端部の側面を覆うように、電気的接続部24よりも薄い樹脂層40を形成する工程と、を含む。
【選択図】図5
【解決手段】ベース基板10を用意する工程と、ベース基板10の表面に導電パターン20を形成する工程と、導電パターン20の表面にすずを含有するめっき層22を形成して、電気的接続部24を形成する工程と、電気的接続部24の基端部の側面を覆うように、電気的接続部24よりも薄い樹脂層40を形成する工程と、を含む。
【選択図】図5
Description
本発明は、配線基板及びその製造方法に関する。
表面にすずめっき層が形成された配線パターンを有する配線基板が知られている。そして、配線基板に電子部品を実装して電子機器を製造することが知られている。
配線基板に電子部品を実装する工程で、配線パターンの剥離が生じにくくすることができれば、信頼性の高い電子機器を製造することが可能になる。
特開2004−146846号公報
本発明の目的は、配線パターン(電気的接続部)の剥離が生じにくい、信頼性の高い配線基板及びこれを効率よく製造する方法を提供することにある。
(1)本発明に係る配線基板の製造方法は、
ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に導電パターンを形成する工程と、
前記導電パターンの表面にすずを含有するめっき層を形成して、電気的接続部を形成する工程と、
前記電気的接続部の基端部を覆うように、前記電気的接続部よりも薄い樹脂層を形成する工程と、
を含む。
ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に導電パターンを形成する工程と、
前記導電パターンの表面にすずを含有するめっき層を形成して、電気的接続部を形成する工程と、
前記電気的接続部の基端部を覆うように、前記電気的接続部よりも薄い樹脂層を形成する工程と、
を含む。
本発明によると、配線基板に電子部品を実装する工程で、ベース基板と導電パターン(電気的接続部)との剥離が起こりにくい、信頼性の高い配線基板を効率よく製造することができる。
(2)本発明に係る配線基板の製造方法は、
ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に導電パターンを形成する工程と、
前記導電パターンの基端部を覆うように、前記導電パターンよりも薄い樹脂層を形成する工程と、
前記導電パターンの表面における前記樹脂層からの露出部に、すずを含有するめっき層を形成する工程と、
を含む。
ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に導電パターンを形成する工程と、
前記導電パターンの基端部を覆うように、前記導電パターンよりも薄い樹脂層を形成する工程と、
前記導電パターンの表面における前記樹脂層からの露出部に、すずを含有するめっき層を形成する工程と、
を含む。
本発明によると、配線基板に電子部品を実装する工程で、ベース基板と導電パターンとの剥離が起こりにくい、信頼性の高い配線基板を効率よく製造することができる。
(3)本発明に係る配線基板の製造方法は、
ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に複数の溝を形成する工程と、
前記複数の溝に沿って延びる複数の導電パターンを、それぞれが、前記溝の内側に配置される第1の部分と前記ベース基板上に配置される第2の部分とを有するように、かつ、前記第1の部分が前記溝の内壁面と接触するように形成する工程と、
前記導電パターンの表面にすずを含有するめっき層を形成する工程と、
を含む。
ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に複数の溝を形成する工程と、
前記複数の溝に沿って延びる複数の導電パターンを、それぞれが、前記溝の内側に配置される第1の部分と前記ベース基板上に配置される第2の部分とを有するように、かつ、前記第1の部分が前記溝の内壁面と接触するように形成する工程と、
前記導電パターンの表面にすずを含有するめっき層を形成する工程と、
を含む。
本発明によると、配線基板に電子部品を実装する工程で、ベース基板と導電パターン(電気的接続部)との剥離が起こりにくい、信頼性の高い配線基板を効率よく製造することができる。
(4)この配線基板の製造方法において、
前記導電パターンに前記めっき層を形成することによって電気的接続部を形成し、
前記めっき層を形成する工程の後に、前記電気的接続部の基端部を覆うように、前記電気的接続部よりも薄い樹脂層を形成する工程をさらに含んでもよい。
前記導電パターンに前記めっき層を形成することによって電気的接続部を形成し、
前記めっき層を形成する工程の後に、前記電気的接続部の基端部を覆うように、前記電気的接続部よりも薄い樹脂層を形成する工程をさらに含んでもよい。
(5)この配線基板の製造方法において、
前記めっき層を形成する工程の前に、前記導電パターンの基端部を覆うように、前記導電パターンよりも薄い樹脂層を形成する工程をさらに含み、
前記めっき層を形成する工程では、前記めっき層を、前記導電パターンの表面における前記樹脂層からの露出部に形成してもよい。
前記めっき層を形成する工程の前に、前記導電パターンの基端部を覆うように、前記導電パターンよりも薄い樹脂層を形成する工程をさらに含み、
前記めっき層を形成する工程では、前記めっき層を、前記導電パターンの表面における前記樹脂層からの露出部に形成してもよい。
(6)この配線基板の製造方法において、
前記導電パターンを、前記第1及び第2の部分が同じ幅になるように形成してもよい。
前記導電パターンを、前記第1及び第2の部分が同じ幅になるように形成してもよい。
(7)この配線基板の製造方法において、
前記導電パターンを、前記第2の部分が前記第1の部分よりも幅が広くなるように形成してもよい。
前記導電パターンを、前記第2の部分が前記第1の部分よりも幅が広くなるように形成してもよい。
(8)本発明に係る配線基板は、上記のいずれかの方法によって製造されてなる。
以下、本発明を適用した実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。ただし、本発明は、以下の内容を自由に組み合わせた技術を含むものとする。
(第1の実施の形態)
図1〜図6(B)は、本発明を適用した第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明するための図である。
図1〜図6(B)は、本発明を適用した第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明するための図である。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図1に示す、ベース基板10を用意することを含む。ベース基板10の材料や構造は特に限定されず、既に公知となっているいずれかの基板を利用してもよい。ベース基板10は、フレキシブル基板であってもよく、リジッド基板であってもよい。あるいは、ベース基板10は、テープ基板であってもよい。ベース基板10は、積層型の基板であってもよく、あるいは、単層の基板であってもよい。また、ベース基板10の外形も特に限定されるものではない。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図2(A)及び図2(B)に示すように、ベース基板10の表面に導電パターン20を形成することを含む。なお、図2(A)はベース基板10及び導電パターン20の上視図であり、図2(B)は、図2(A)のIIB−IIB線断面の一部拡大図である。
導電パターン20の材料は、特に限定されるものではない。導電パターン20は、例えば、銅(Cu)、クローム(Cr)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、チタンタングステン(Ti−W)、アルミニウム(Al)、ニッケルバナジウム(NiV)、タングステン(W)のうちのいずれかの材料で形成されていてもよい。なお、導電パターン20は、単層の金属層であってもよく、複数層の金属層であってもよい。また、導電パターン20を製造する方法も特に限定されるものではなく、既に公知となっているいずれかの方法を適用してもよい。なお、導電パターン20の断面形状についても特に限定されるものではないが、例えば図2(B)に示すように、上端部が基端部よりも幅が狭くなっていてもよい。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図3に示すように、導電パターン20を部分的に覆うレジスト層30を形成する工程を含んでいてもよい。レジスト層30は、導電パターン20のうち、他の電子部品(半導体チップや他の配線基板等)との電気的な接続に利用される部分のみが露出するように形成してもよい。
なお、レジスト層30を形成する工程は、後述するめっき層22を形成する工程や、樹脂層40を形成する工程の前後のいずれに行ってもよい。
また、本発明は、レジスト層30を形成する工程を含まない配線基板の製造方法に適用してもよい。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図4に示すように、導電パターン20の表面に、すずを含有するめっき層22を形成することを含む。本工程により、電気的接続部24を形成する。すなわち、導電パターン20におけるめっき層22が形成された部分とめっき層22とをあわせて、電気的接続部24と称してもよい。電気的接続部24は、他の電子部品との電気的な接続に利用される部分であってもよい。また、導電パターン20とめっき層22とをあわせて、配線パターンと称してもよい。なお、導電パターン20を部分的に覆うレジスト層30が形成されている場合、めっき層22は、導電パターン20におけるレジスト層30からの露出部(のみ)を覆うように形成する。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図5に示すように、電気的接続部24の基端部(基端部の表面あるいは側面)を覆うように、電気的接続部24よりも薄い樹脂層40を形成することを含む。樹脂層40は、電気的接続部24の基端部におけるめっき層22の表面を覆うように形成する。樹脂層40は、電気的接続部24の上端部(上端面)を露出させるように形成する。樹脂層40は、導電パターン20よりも薄くなるように形成してもよい。なお、樹脂層40の「厚み」とは、樹脂層40の、ベース基板10の厚み方向、あるいは、導電パターン20の高さ方向の幅を指す。
樹脂層40を形成する方法は特に限定されるものではない。例えば、ベース基板10上にペースト状の樹脂材料を設け、これを硬化させることによって、樹脂層40を形成してもよい。樹脂材料は、予めペースト状をなす材料を利用してもよく、フィルム状の材料を溶融させることによって、ベース基板10上でペースト状にしてもよい。
また、樹脂層40の材料についても特に限定されるものではない。樹脂層40として、ベース基板10(あるいはレジスト層30)と同じ材料を利用してもよい。
以上の工程によって、図5に示す配線基板1を製造してもよい。この方法によると、配線基板1に他の電子部品(例えば半導体チップ)を実装する場合でも電気的接続部24(導電パターン20)の剥離が生じにくい配線基板を、効率よく製造することができる。以下、その効果について説明する。
図6(A)及び図6(B)は、配線基板1に、バンプ52を有する半導体チップ50を搭載する工程について説明するための図である。なお、半導体チップ50の構造は特に限定されるものではない。半導体チップ50は、例えばシリコンチップであってもよい。半導体チップ50には、集積回路が形成されていてもよい。集積回路の構成は特に限定されないが、例えば、トランジスタ等の能動素子や、抵抗、コイル、コンデンサ等の受動素子を含んでいてもよい。バンプ52は、半導体チップ50の内部と電気的に接続されていてもよい。バンプ52は、集積回路と電気的に接続されていてもよい。あるいは、集積回路に電気的に接続されていないバンプを含めて、バンプ52と称してもよい。バンプ52は、アルミニウム又は銅等で形成されたパッド上に形成されていてもよい。バンプ52は、また、少なくとも表面は金によって形成されていてもよい。
はじめに、図6(A)に示すように、電気的接続部24とバンプ52とが対向するように、配線基板1と半導体チップ50との位置合わせを行う。そして、図6(B)に示すように、配線基板1と半導体チップ50とを近接させ、電気的接続部24(めっき層22)とバンプ52とを接触させて、共晶合金部25を形成する。例えば、電気的接続部24とバンプ52とを押圧して加熱し、超音波振動を印加することによって、共晶合金部25を形成してもよい。共晶合金部25によって、電気的接続部24(導電パターン20)とバンプ52とを、電気的・物理的に強固に接合することができる。なお、本工程では、導電パターン20とバンプ52とを接触させてもよい。
ところで、共晶合金がベース基板10と導電パターン20(電気的接続部24)との間に形成されてしまうと、ベース基板10と導電パターン20(電気的接続部24)との剥離が生じることがある。導電パターン20がベース基板10から剥離すれば、電気的接続部24の断線や、隣り合う導電パターン間での電気的なショートが発生するおそれがある。特に、すずめっきがなされた配線パターンによると、共晶合金が生成されやすい。そのため、配線基板の信頼性を高めるためには、共晶合金が配線パターンとベース基板との間に回り込みにくい構成とすることが重要である。
ところで、配線基板1によると、電気的接続部24(めっき層22)の基端部(基端部の表面あるいは側面)を覆うように樹脂層40が形成される。そして、めっき層22における樹脂層40に覆われた部分は、共晶合金の生成のために利用されにくい。そのため、電気的接続部24の基端部付近では、めっき層が維持され、共晶合金が形成されにくくなる。このことから、配線基板1によると、電子部品を実装する際に、電気的接続部24(導電パターン20)の基端部に共晶合金が生成されることを防止することができる。そのため、配線基板1によると、電子部品を実装する際に、ベース基板10と電気的接続部24(導電パターン20)との間に共晶合金が形成されることが防止され、ベース基板10と電気的接続部24(導電パターン20)とが剥離しにくくなる。
そして、本発明によると、ベース基板10と電気的接続部24(導電パターン20)との剥離が発生しにくい配線基板1を、効率よく製造することができる。
(第2の実施の形態)
以下、本発明を適用した第2の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図7及び図8は、本実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明するための図である。
以下、本発明を適用した第2の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図7及び図8は、本実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明するための図である。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図7に示すように、樹脂層42を形成することを含む。本実施の形態では、樹脂層42を、導電パターン20の基端部(基端部の表面あるいは側面)を覆うように形成する。樹脂層42は、導電パターン20よりも薄くなるように形成する。すなわち、樹脂層42は、導電パターン20の上端部(上端面)が露出するように形成する。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図8に示すように、すずを含有するめっき層26を形成することを含む。本実施の形態では、めっき層26を形成する工程は、樹脂層42を形成する工程の後に行う。そして、めっき層26は、導電パターン20の表面における樹脂層42からの露出部に形成する。めっき層26は、導電パターン20の表面における樹脂層42からの露出部を覆うように形成してもよい。導電パターン20を部分的に覆うレジスト層30が形成されている場合、めっき層26は、レジスト層30からの露出部のみに形成してもよい。そして、導電パターン20とめっき層26とをあわせて、電気的接続部と称してもよい。
以上の工程によって、図8に示す配線基板2を製造してもよい。配線基板2によると、めっき層26が、導電パターン20の基端部を避けて形成される。そのため、配線基板2に電子部品を実装する際に、導電パターン20の基端部に共晶合金が形成されることを防止することができる。そのため、ベース基板10と導電パターン20との間に共晶合金が形成されることを防止することができ、ベース基板10と導電パターン20との剥離を防止することができる。
そして、本実施の形態に係る配線基板の製造方法によると、信頼性の高い配線基板2を効率よく製造することが可能になる。
(第3の実施の形態)
以下、本発明を適用した第3の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図9(A)〜図11は、本実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明するための図である。
以下、本発明を適用した第3の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図9(A)〜図11は、本実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明するための図である。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、ベース基板10の表面に複数の溝12を形成することを含む(図9(B)参照)。ベース基板10に溝12を形成する方法は特に限定されないが、例えば、図9(A)に示すように、ベース基板10に開口を有するマスク14を形成し、ベース基板10におけるマスク14からの露出部を部分的に除去(エッチング)することによって、図9(B)に示すように、溝12を形成してもよい。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、溝12に沿って延びる複数の導電パターン60を形成することを含む。導電パターン60は、第1の部分62と第2の部分64とを有するように形成する。ここで、第1の部分62とは、溝12の内側に配置される部分であり、第2の部分64とは、ベース基板10上に配置される部分である。なお、導電パターン60は、第1の部分62が溝12の内壁面と接触するように形成する。すなわち、導電パターン60は、第1の部分62が、溝12と同じ幅になるように形成してもよい。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法では、図10に示すように、導電パターン60を、第1及び第2の部分62,64が同じ幅になるように形成してもよい。例えば、マスク14の開口の内側に導電パターン60を形成することで、第1及び第2の部分62,64を同じ幅に形成することができる。ただし、導電パターン60は、第1及び第2の部分62,64の幅が異なるように形成してもよい。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図11に示すように、すずを含有するめっき層66を形成することを含む。めっき層66は、導電パターン60のうち、第2の部分64の表面に形成する。めっき層66は、第2の部分64の表面を覆うように形成してもよい。導電パターン60を部分的に覆うレジスト層30が形成されている場合、めっき層66は、導電パターン60(第2の部分64)におけるレジスト層30からの露出部のみに形成してもよい。これにより、電気的接続部65を形成してもよい。すなわち、導電パターン60におけるめっき層66が形成された部分とめっき層66とをあわせて、電気的接続部65と称してもよい。また、導電パターン60とめっき層66とをあわせて、配線パターンと称してもよい。なお、本工程は、マスク14を除去する工程の後に行ってもよい(図11参照)。本工程は、例えば、マスク14を除去し、レジスト層30を形成した後に行ってもよい。
以上の工程によって、図11に示す、配線基板3を製造してもよい。配線基板3によると、導電パターン60は、基端部(第1の部分62)が、ベース基板10の溝12の内側に形成される。そのため、配線基板3に電子部品を実装する際に、第1の部分62の周囲に共晶合金が形成されることを防止することができる。そのため、配線基板3に電子部品を実装する際に、ベース基板10と導電パターン60(第1の部分62)との間に共晶合金が形成されることを防止することができ、ベース基板10と導電パターン60(電気的接続部65)との剥離を防止することができる。
また、配線基板3によると、導電パターン60が、基端部(第1の部分62)が溝12の内側に入り込むように形成されることから、導電パターン60とベース基板10との接触面積が広くなり、導電パターン60(第1の部分62)とベース基板10との剥離を防止することができる。
そして、本実施の形態に係る配線基板の製造方法によると、信頼性の高い配線基板3を効率よく製造することが可能になる。
(変形例)
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図12に示すように、電気的接続部65の基端部を覆う樹脂層68を形成することをさらに含んでいてもよい。
本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、図12に示すように、電気的接続部65の基端部を覆う樹脂層68を形成することをさらに含んでいてもよい。
あるいは、本実施の形態に係る配線基板の製造方法は、導電パターン60にめっき層を形成する工程の前に、第2の部分64の基端部(基端部の表面)を覆う樹脂層70を形成してもよい(図13参照)。このとき、樹脂層70は、第2の部分64よりも薄くなるように形成してもよい。樹脂層70は、例えば、マスク14を薄くすることによって形成してもよい。そして、図13に示すように、導電パターン60における樹脂層70からの露出部に、めっき層72を形成する。
あるいは、本実施の形態に係る配線基板の製造方法では、導電パターン80を形成してもよい(図14参照)。導電パターン80は、第1の部分82と、第2の部分84とを含む。導電パターン80は、第2の部分84が第1の部分82よりも幅が広くなるように形成する。そして、本実施の形態に係る配線基板の製造方法では、図14に示すように、第2の部分84を覆うように、めっき層86を形成してもよい。
これらの変形例を適用した場合でも、ベース基板10と電気的接続部(導電パターン)とが剥離しにくい配線基板を、効率よく製造することができる。
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
1…配線基板、 2…配線基板、 3…配線基板、 10…ベース基板、 14…マスク、 20…導電パターン、 22…めっき層、 24…電気的接続部、 25…共晶合金部、 26…めっき層、 30…レジスト層、 40…樹脂層、 42…樹脂層、 50…半導体チップ、 52…バンプ、 60…導電パターン、 62…第1の部分、 64…第2の部分、 65…電気的接続部、 66…めっき層、 68…樹脂層、 70…樹脂層、 72…めっき層、 80…導電パターン、 82…第1の部分、 84…第2の部分、 86…めっき層
Claims (8)
- ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に導電パターンを形成する工程と、
前記導電パターンの表面にすずを含有するめっき層を形成して、電気的接続部を形成する工程と、
前記電気的接続部の基端部を覆うように、前記電気的接続部よりも薄い樹脂層を形成する工程と、
を含む配線基板の製造方法。 - ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に導電パターンを形成する工程と、
前記導電パターンの基端部を覆うように、前記導電パターンよりも薄い樹脂層を形成する工程と、
前記導電パターンの表面における前記樹脂層からの露出部に、すずを含有するめっき層を形成する工程と、
を含む配線基板の製造方法。 - ベース基板を用意する工程と、
前記ベース基板の表面に複数の溝を形成する工程と、
前記複数の溝に沿って延びる複数の導電パターンを、それぞれが、前記溝の内側に配置される第1の部分と前記ベース基板上に配置される第2の部分とを有するように、かつ、前記第1の部分が前記溝の内壁面と接触するように形成する工程と、
前記導電パターンの表面にすずを含有するめっき層を形成する工程と、
を含む配線基板の製造方法。 - 請求項3記載の配線基板の製造方法において、
前記導電パターンに前記めっき層を形成することによって電気的接続部を形成し、
前記めっき層を形成する工程の後に、前記電気的接続部の基端部を覆うように、前記電気的接続部よりも薄い樹脂層を形成する工程をさらに含む配線基板の製造方法。 - 請求項3記載の配線基板の製造方法において、
前記めっき層を形成する工程の前に、前記導電パターンの基端部を覆うように、前記導電パターンよりも薄い樹脂層を形成する工程をさらに含み、
前記めっき層を形成する工程では、前記めっき層を、前記導電パターンの表面における前記樹脂層からの露出部に形成する配線基板の製造方法。 - 請求項3から請求項5のいずれかに記載の配線基板の製造方法において、
前記導電パターンを、前記第1及び第2の部分が同じ幅になるように形成する配線基板の製造方法。 - 請求項3から請求項5のいずれかに記載の配線基板の製造方法において、
前記導電パターンを、前記第2の部分が前記第1の部分よりも幅が広くなるように形成する配線基板の製造方法。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の方法によって製造された配線基板。
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