JP2007258064A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の電子顕微鏡装置又は荷電粒子ビーム装置を配置してウェハに荷電粒子線を照射してウェハを検査する。複数の電子顕微鏡装置を配置する場合、ウェハの表面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸と、裏面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸と、側面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸とが一致しないように複数の電子顕微鏡装置が互いに離して配置されている。
【選択図】 図2
Description
Electron Journal 2006年 2月号 第84頁〜第86頁
2 回転テーブル
3 カメラ
4 エッジ上面観察用の小型電子顕微鏡装置
5 エッジ側面観察用の小型電子顕微鏡装置
6 エッジ裏面観察用の小型電子顕微鏡装置
Claims (12)
- 複数の電子顕微鏡装置又は荷電粒子ビーム装置を配置してウェハに荷電粒子線を照射してウェハを検査する検査装置において、
複数の電子顕微鏡装置又は荷電粒子ビーム装置が、ウェハの表面側、裏面側、側面側において互いに空間的に離して配置されていることを特徴とする検査装置。 - 複数の電子顕微鏡装置を配置してウェハに荷電粒子線を照射してウェハを検査する検査装置において、
ウェハの表面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸と、裏面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸とが一致しない形で、複数の電子顕微鏡装置が互いに離して配置されていることを特徴とする検査装置。 - 複数の電子顕微鏡装置を配置してウェハに荷電粒子線を照射してウェハを検査する検査装置において、
ウェハの表面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸と、側面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸とが互いに空間的に離して配置されていることを特徴とする検査装置。 - 複数の電子顕微鏡装置を配置してウェハに荷電粒子線を照射してウェハを検査する検査装置において、
ウェハの裏面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸と、側面側に配置した電子顕微鏡装置の光軸とが互いに空間的に離して配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3又は4のいずれか1項に記載の検査装置において、
少なくとも2つの電子顕微鏡装置の荷電粒子線をパルス状にし、パルスの間隔あるいはパルスの位相を異なるようにし、夫々の電子顕微鏡装置から得られる信号について、上記パルスに対して同期検波を行なうようにしたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3又は4のいずれか1項に記載の検査装置において、
少なくとも1つの電子顕微鏡装置は、磁界型レンズを有するものであり、他の電子顕微鏡装置は静電型レンズを有するものであることを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3、4又は5のいずれか1項に記載の検査装置において、
電子顕微鏡装置は静電型レンズを有するものであることを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3、4又は5のいずれか1項に記載の検査装置において、
静電型レンズを有する電子顕微鏡装置の内部に、2次電子検出器が配置されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6、7又は8のいずれか1項に記載の検査装置において、
ウェハのエッジ上面観察用の光学顕微鏡が、アライメント及び高速検査のために用いられることを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6、7又は8のいずれか1項に記載の検査装置において、
ウェハのエッジ上面観察用の光学顕微鏡が、ズーム、若しくは、少なくとも2つの倍率の切り替え機能を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6、7又は9のいずれか1項に記載の検査装置において、複数の電子顕微鏡装置又は荷電粒子ビーム装置の配置位置は、可変であることを特徴とする検査装置。
- 光学式のウェハエッジ検査装置を用いて検出した欠陥の位置座標を入力し、当該位置座標を荷電粒子線を用いてレビューする機能を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の検査装置。
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