JP2007256773A - 包接分子を含有するシクロデキストリンを含むリソグラフィー用下層膜形成組成物 - Google Patents
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Abstract
半導体装置製造のリソグラフィープロセスにおいて使用され、フォトレジストに比べて大きなドライエッチング速度を有し、フォトレジストとのインターミキシングを起こさず、半導体基板上のホールの充填性に優れた有機下層膜を形成するためのリソグラフィー用下層膜形成組成物を提供する。
【解決手段】 包接分子を含有するシクロデキストリンを含むリソグラフィー用下層膜形成組成物。包接分子はハロゲン分子、酸分子、塩基分子、酸発生剤、又は塩基発生剤である。シクロデキストリンは、シクロデキストリンに含有する水酸基を有機基に置き換えた化学修飾シクロデキストリンである。
【選択図】 なし
Description
第2観点として、包接分子がハロゲン分子、酸分子、塩基分子、酸発生剤、又は塩基発生剤である第1観点に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物、
第3観点として、上記シクロデキストリンは、α型、β型、γ型、又はδ型シクロデキストリンである第1観点又は第2観点に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物、
第4観点として、上記シクロデキストリンは、その分子中に含まれる水酸基が式(1):
第5観点として、上記シクロデキストリンは、その分子中に含まれる水酸基が10〜90%の割合で式(1)の有機基に置き換えた化学修飾シクロデキストリンを含む第1観点乃至第4観点のいずれか一つに記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物、
第6観点として、更にポリマーと溶媒を含有する第1観点乃至第5観点のいずれか一つに記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物、
第7観点として、更に架橋性化合物と架橋触媒を含有する第1観点乃至第6観点のいずれか一つに記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物、及び
第8観点として、第1観点乃至第7観点のいずれか一つに記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し、焼成して下層膜を形成する工程、前記下層膜上にフォトレジスト層を形成する工程、前記下層膜と前記フォトレジスト層で被覆された半導体基板を露光する工程、露光後にフォトレジスト層を現像する工程、を含む半導体装置の製造方法である。
そして、本発明の下層膜は、反射防止膜、平坦化膜及びフォトレジストの汚染防止膜等として用いることができる。これにより、半導体装置製造のリソグラフィープロセスにおけるフォトレジストパターンの形成を、容易に、精度良く行なうことができるようになる。
また、その分子中に含まれる水酸基が化学修飾されたシクロデキストリンを用いる場合がケース2であり、その2位、3位及び6位の総水酸基の10〜90%が式(1)で表される有機基で化学修飾されたものである。
シクロデキストリンの水酸基が式(1)〔式(1)中、R1はハロゲン基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、シアノ基及びニトロ基からなる群から選ばれる基で置換されていてもよい炭素原子数1〜10のアルキル基若しくは芳香族基、又は式(2)で表される基を表し、式(2)中、R2はハロゲン基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、シアノ基及びニトロ基からなる群から選ばれる基で置換されていてもよい炭素原子数1〜10のアルキル基または芳香族基を表す。〕で表される有機基に置き換えた化学修飾シクロデキストリンを用いることができる。
上記式(1)において炭素原子数1〜10のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、イソプロピル基、ノルマルペンチル基、シクロヘキシル基及びノルマルオクチル基等である。炭素原子数1〜6のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、イソプロピルオキシ基及びシクロヘキシルオキシ基等である。ハロゲン基としては、クロロ基、フルオロ基、ブロモ基及びヨード基である。芳香族基としては、ベンゼン環、ナフタレン環及びアントラセン環等の炭素環式芳香族基及びピリジン環、ピリミジン環、トリアジン環、チアゾール環、及びイミダゾール環等の含窒素芳香族基等である。
例えば、適当な溶媒中、シクロデキストリンと脱離基を有するアルキル化合物または芳香族化合物とを塩基存在下で反応させることによって、式(1)中のR1が前記炭素原子数1〜10のアルキル基または前記芳香族基であるシクロデキストリン化合物を得ることができる。脱離基を有するアルキル化合物としては、ヨウ化メチル、ヨウ化エチル、2−ヨードプロパン、1−ブロモペンタン、ベンジルブロミド、メトキシメチルクロリド、ブロモアセトニトリル及び1−ブロモオクタン等である。脱離基を有する芳香族化合物としては、2−クロロトリアジン、2−クロロ−4,6−ジメトキシトリアジン及び2−クロロピリミジン、2,4−ジニトロクロロベンゼン等である。また、塩基としては、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、酢酸ナトリウム、炭酸カリウム、ナトリウムメトキシド、ピリジン、4−(N,N−ジメチルアミノ)ピリジン、及びトリエチルアミン等である。
また、包接分子が有機溶媒に可溶性であれば、包接分子を溶解した有機溶媒に上記シクロデキストリンを溶解させ、液体−液体で包接させることができる。
プロピレングリコールモノメチルエーテル74.16gに、ヨウ素を5〜20質量%包接したβ−シクロデキストリン(日宝化学株式会社製、商品名 BCDI、β−シクロデキストリンの末端基割合:β−シクロデキストリンの全ての水酸基が未修飾であり、β−シクロデキストリン自体の水酸基が100%存在していた。)10.0g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(三井サイテック(株)製、商品名パウダーリンク1174)3.50g、ピリジニウム−p−トルエンスルホン酸0.175g及び界面活性剤R−30(大日本インキ化学(株)製)0.10g、を加え、15質量%溶液とした後、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、リソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を調製した。
プロピレングリコールモノメチルエーテル74.16gに、ヨウ素を2〜20質量%包接したβ−シクロデキストリン(日宝化学株式会社製、商品名 BCDI、β−シクロデキストリンの末端基割合:β−シクロデキストリンの全ての水酸基が未修飾であり、β−シクロデキストリン自体の水酸基が100%存在していた。)10.0g、ヘキサメトキシメチロールメラミン(三井サイテック(株)製、商品名サイメル303)3.50g、ピリジニウム−p−トルエンスルホン酸0.175g及び界面活性剤R−30(大日本インキ化学(株)製)0.10g、を加え、15質量%溶液とした後、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、リソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を調製した。
プロピレングリコールモノメチルエーテル74.16gに、p−トルエンスルホン酸を2〜20質量%包接したメチル−β−シクロデキストリン(ワッカーケミー(Wacker−Chemie GmbH)社製、β型の化学修飾シクロデキストリン、商品名CAVASOL W7M、β−シクロデキストリンの末端基割合:β−シクロデキストリンの総水酸基量の50%がメトキシ基に変換され、残り50%は水酸基であった。)10.0g、ヘキサメトキシメチロールメラミン(三井サイテック(株)製、商品名サイメル303)、p−トルエンスルホン酸0.350g及び界面活性剤R−30(大日本インキ化学(株)製)0.10g、を加え、15質量%溶液とした後、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、リソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を調製した。
水684gにクロロトリアジニル−β−シクロデキストリン(ワッカーケミー(Wacker−Chemie GmbH)社製、商品名CAVASOL W7MCT、β−シクロデキストリンの末端基割合:β−シクロデキストリンの総水酸基量の50%が2−クロロトリアジン−4−イル−オキシ基に変換され、残り50%は水酸基であった。)100g、テトラメトキシメチルグリコールウリル20.0g、ピリジニウム−p−トルエンスルホン酸0.6g、及び界面活性剤R−30(大日本インキ化学(株)製)0.10gを加え、15質量%溶液とした後、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、リソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を調製した。
デキストリンエステル化合物(群栄化学工業(株)製、商品名BZ−1、重量平均分子7300、デキストリンの末端基割合:デキストリンの総水酸基量の87%がベンゾエート基であり、残り13%は水酸基であった。)を固形分濃度31%で溶解させた乳酸エチルの溶液10.0gに、テトラメトキシメチルグリコールウリル1.09g、ピリジニウム−p−トルエンスルホン酸0.00546g、界面活性剤R−30(大日本インキ化学(株)製)0.0153g、プロピレングリコールモノメチルエーテル5.26g、及び乳酸エチル5.32gを加え、18質量%溶液とした後、孔径0.05μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いて濾過し、下層膜形成組成物の溶液を調製した。
実施例1〜3、及び比較例1〜2で得たリソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を、それぞれ、スピナーによりシリコンウエハー基板上に塗布した。ホットプレート上、205℃で1分間焼成し、下層膜(膜厚0.70μm)を形成した。これらの下層膜をフォトレジストに使用する溶媒であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに浸漬し、それらの溶媒に不溶であることを確認した。
実施例1〜3、及び比較例1〜2で得たリソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を、それぞれ、スピナーにより、ホール(直径0.13μm、深さ0.80μm)を有する二酸化シリコン(SiO2)絶縁膜を有するウエハー基板上に塗布した。使用した基板は図1に示すようなホールのIso(粗)とDense(密)パターンを有する基板である。Isoパターンは、ホール中心から隣のホール中心までの間隔が、当該ホールの直径の5倍であるパターンである。また、Denseパターンは、ホール中心から隣のホール中心までの間隔が、当該ホールの直径の1倍であるパターンである。
また、ホール内部にボイド(隙間)の発生は観察されず、ホール内部が下層膜で充填されていることが観察された。
[表1]
表1
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
膜厚(nm) 平坦化率(%)
Iso Dense Bias Iso Dense Bias
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
実施例1 710 590 120 100 100 0
実施例2 690 580 110 100 100 0
実施例3 720 600 120 100 100 0
比較例1 700 580 120 100 100 0
比較例2 700 590 110 100 100 0
――――――――――――――――――――――――――――――――――――
実施例1〜3の下層膜のIso(粗)パターン上とDense(密)パターン上での膜厚差(Bias)は小さい。これは、ホール基板上の単位面積当たりのホール数(ホール密度)が、Iso部に比べ大きいDense部においても、下層膜形成組成物の溶液がホール内にスムーズに流れ込んだ為と考えられる。その結果、Iso部とDense部の膜厚差が小さく、かつ平坦化率が大きくなったものと考えられる。
実施例1で調製した下層膜形成組成物溶液をスピナーにより、シリコンウェハー基板上に塗布した。ホットプレート上、205℃で1分間焼成し、下層膜(膜厚0.70μm)を形成した。そして、この下層膜を分光エリプソメーターにより、波長193nmでの屈折率(n値)及び減衰係数(k値)を測定したところ、屈折率(n値)は1.68であり、減衰係数(k値)は0.09であった。
実施例2で調製した下層膜形成組成物溶液をスピナーにより、シリコンウェハー基板上に塗布した。ホットプレート上、205℃で1分間焼成し、下層膜(膜厚0.70μm)を形成した。そして、この下層膜を分光エリプソメーターにより、波長193nmでの屈折率(n値)及び減衰係数(k値)を測定したところ、屈折率(n値)は1.70であり、減衰係数(k値)は0.09であった。
比較例1で調製した下層膜形成組成物溶液をスピナーにより、シリコンウェハー基板上に塗布した。ホットプレート上、205℃で1分間焼成し、下層膜(膜厚0.70μm)を形成した。そして、この下層膜を分光エリプソメーターにより、波長193nmでの屈折率(n値)及び減衰係数(k値)を測定したところ、屈折率(n値)は1.70であり、減衰係数(k値)は0.20であった。
比較例2で調製した下層膜形成組成物溶液をスピナーにより、シリコンウェハー基板上に塗布した。ホットプレート上、205℃で1分間焼成し、下層膜(膜厚0.70μm)を形成した。そして、この下層膜を分光エリプソメーターにより、波長193nmでの屈折率(n値)及び減衰係数(k値)を測定したところ、屈折率(n値)は1.57であり、減衰係数(k値)は0.68であった。
実施例1〜3、及び比較例1〜2で得たリソグラフィー用下層膜形成組成物の溶液を、それぞれ、スピナーによりシリコンウエハー基板上に塗布した。ホットプレート上、205℃で1分間焼成し、下層膜(膜厚0.70μm)を形成した。そしてこれらを、日本サイエンティフィック製RIEシステムES401を用い、ドライエッチングガスとしてCF4を使用した条件下でドライエッチング速度を測定した。
[表2]
表2
――――――――――――
選択比
――――――――――――
実施例1 3.10
実施例2 3.15
実施例3 3.12
比較例1 2.70
比較例2 1.39
――――――――――――
実施例1〜3の下層膜形成組成物から得られた下層膜のエッチング速度は、比較例1〜2のそれに比較してフォトレジストに比較して極めて大きいことが確認された。選択性が3以上を有するレジスト下層膜を見出せた理由は、ヨウ素を包接させたシクロデキストリンを用いたことによる。
Claims (8)
- 包接分子を含有するシクロデキストリンを含むリソグラフィー用下層膜形成組成物。
- 包接分子がハロゲン分子、酸分子、塩基分子、酸発生剤、又は塩基発生剤である請求項1に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物。
- 上記シクロデキストリンは、α型、β型、γ型、又はδ型シクロデキストリンである請求項1又は請求項2に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物。
- 上記シクロデキストリンは、その分子中に含まれる水酸基が式(1):
(式(1)中、R1はハロゲン基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、シアノ基及びニトロ基からなる群から選ばれる基で置換されていてもよい炭素原子数1〜10のアルキル基若しくは芳香族基、又は式(2):
で表される基を表し、式(2)中、R2はハロゲン基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、シアノ基及びニトロ基からなる群から選ばれる基で置換されていてもよい炭素原子数1〜10のアルキル基または芳香族基を表す。)で表される有機基に置き換えた化学修飾シクロデキストリンである請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物。 - 上記シクロデキストリンは、その分子中に含まれる水酸基が10〜90%の割合で式(1)の有機基に置き換えた化学修飾シクロデキストリンを含む請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物。
- 更にポリマーと溶媒を含有する請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物。
- 更に架橋性化合物と架橋触媒を含有する請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のリソグラフィー用下層膜形成組成物を半導体基板上に塗布し、焼成して下層膜を形成する工程、前記下層膜上にフォトレジスト層を形成する工程、前記下層膜と前記フォトレジスト層で被覆された半導体基板を露光する工程、露光後にフォトレジスト層を現像する工程、を含む半導体装置の製造方法。
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---|---|
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008019354A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Nippon Shokubai Co Ltd | 溶剤型コーティング組成物およびその製造方法 |
WO2012153740A1 (ja) * | 2011-05-10 | 2012-11-15 | 株式会社ネオス | ヨウ素-β-シクロデキストリン包接化合物溶液 |
JP2013513719A (ja) * | 2009-12-14 | 2013-04-22 | セルレシン テクノロジーズ, エルエルシー | ポリマー、繊維、フィルム、シートまたは包装からの成熟または熟成抑制剤の放出 |
JP2016028416A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-25 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | ギャップ充填方法 |
US9320288B2 (en) | 2012-11-30 | 2016-04-26 | Cellresin Technologies, Llc | Controlled release compositions and methods of using |
US9353282B2 (en) | 2011-03-27 | 2016-05-31 | Cellresin Technologies, Llc | Cyclodextrin compositions, articles, and methods |
US9421793B2 (en) | 2014-06-26 | 2016-08-23 | Cellresin Technologies, Llc | Electrostatic printing of cyclodextrin compositions |
WO2019012716A1 (ja) | 2017-07-13 | 2019-01-17 | 王子ホールディングス株式会社 | 下層膜形成組成物、パターン形成方法及びパターン形成下層膜形成用コポリマー |
US10182567B2 (en) | 2011-03-27 | 2019-01-22 | Cellresin Technologies, Llc | Cyclodextrin compositions, articles, and methods |
CN109765755A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-05-17 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种光刻胶及其制备方法 |
KR20200118157A (ko) | 2018-02-26 | 2020-10-14 | 오지 홀딩스 가부시키가이샤 | 하층막 형성용 조성물, 패턴 형성 방법, 코폴리머 및 하층막 형성용 조성물용 모노머 |
CN112778437A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-11 | 北京科华微电子材料有限公司 | 一种天然多糖改性树脂及其制备方法和应用、光刻胶 |
CN115403832A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-11-29 | 贵州大学 | 一种基于环糊精封装的抗氧化MXene的制备方法及应用 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043248A1 (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | デキストリンエステル化合物を含有する下層膜形成組成物 |
JP2005181850A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水溶性材料、化学増幅型レジスト及びそれらを用いたパターン形成方法 |
-
2006
- 2006-03-24 JP JP2006082921A patent/JP4706851B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043248A1 (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | デキストリンエステル化合物を含有する下層膜形成組成物 |
JP2005181850A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 水溶性材料、化学増幅型レジスト及びそれらを用いたパターン形成方法 |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008019354A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Nippon Shokubai Co Ltd | 溶剤型コーティング組成物およびその製造方法 |
US9642356B2 (en) | 2009-12-14 | 2017-05-09 | Cellresin Technologies, Llc | Maturation or ripening inhibitor release from polymer, fiber, film, sheet or packaging |
JP2013513719A (ja) * | 2009-12-14 | 2013-04-22 | セルレシン テクノロジーズ, エルエルシー | ポリマー、繊維、フィルム、シートまたは包装からの成熟または熟成抑制剤の放出 |
JP2016028155A (ja) * | 2009-12-14 | 2016-02-25 | セルレシン テクノロジーズ, エルエルシー | ポリマー、繊維、フィルム、シートまたは包装からの成熟または熟成抑制剤の放出 |
US10182567B2 (en) | 2011-03-27 | 2019-01-22 | Cellresin Technologies, Llc | Cyclodextrin compositions, articles, and methods |
USRE49501E1 (en) | 2011-03-27 | 2023-04-25 | Verdant Technologies, Llc | Cyclodextrin compositions, articles, and methods |
US9675069B2 (en) | 2011-03-27 | 2017-06-13 | Cellresin Technologies, Llc | Cyclodextrin compositions, articles, and methods |
US9353282B2 (en) | 2011-03-27 | 2016-05-31 | Cellresin Technologies, Llc | Cyclodextrin compositions, articles, and methods |
JPWO2012153740A1 (ja) * | 2011-05-10 | 2014-07-31 | 株式会社ネオス | ヨウ素−β−シクロデキストリン包接化合物溶液 |
WO2012153740A1 (ja) * | 2011-05-10 | 2012-11-15 | 株式会社ネオス | ヨウ素-β-シクロデキストリン包接化合物溶液 |
US9320288B2 (en) | 2012-11-30 | 2016-04-26 | Cellresin Technologies, Llc | Controlled release compositions and methods of using |
US9713329B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-07-25 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Controlled release compositions and methods of using |
US10212931B2 (en) | 2012-11-30 | 2019-02-26 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Controlled release compositions and methods of using |
US9421793B2 (en) | 2014-06-26 | 2016-08-23 | Cellresin Technologies, Llc | Electrostatic printing of cyclodextrin compositions |
US10376472B2 (en) | 2014-06-26 | 2019-08-13 | Cellresin Technologies, Llc | Electrostatic printing of cyclodextrin compositions |
JP2016028416A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-25 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | ギャップ充填方法 |
KR20200030528A (ko) | 2017-07-13 | 2020-03-20 | 오지 홀딩스 가부시키가이샤 | 하층막 형성 조성물, 패턴 형성 방법 및 패턴 형성 하층막 형성용 코폴리머 |
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