JP2007250903A - ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 137
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 58
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 71
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 71
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 229910003811 SiGeC Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 28
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 28
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 21
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 13
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 9
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910005705 Ge—B Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/1004—Base region of bipolar transistors
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- H—ELECTRICITY
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66234—Bipolar junction transistors [BJT]
- H01L29/66242—Heterojunction transistors [HBT]
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/73—Bipolar junction transistors
- H01L29/737—Hetero-junction transistors
- H01L29/7371—Vertical transistors
- H01L29/7378—Vertical transistors comprising lattice mismatched active layers, e.g. SiGe strained layer transistors
Abstract
【解決手段】ベース領域がSiGe混晶からなるSiGe−HBTであって、ベース領域は、コレクタ領域1及びエミッタ領域6と接合する真性ベース領域3と、真性ベース領域3とベース電極5とを接続する外部ベース領域4とで構成されている。真性ベース領域3及び外部ベース領域4には、一導電型の第1の不純物がドープされているとともに、外部ベース領域4には、第2の不純物がさらにドープされている。第1の不純物は、その原子半径がSiの原子半径よりも小さいもの(例えば、ボロン等)、第2の不純物は、その原子半径が第1の原子半径よりも大きなもの(例えば、Ge、In、Ga等)が選ばれる。
【選択図】図3
Description
図3は、本発明の第1の実施形態に係るヘテロ接合バイポーラトランジスタの構成を模式的に示した断面図である。ここでは、高速化に適したポリシリコン引き出し電極を用いたトランジタ構造を採用している。従って、基本的な構成は、図6に示した構成と同じである。
7.5×(Bext−Bint)=(x2−x1)・・・・式1
の関係を満たした場合、外部ベース領域4は、ボロンによる格子定数の縮小が完全に打ち消された状態になる。
上記の実施形態では、第2の不純物としてGeを用いたが、GeはSiGeに対してp型またはn型不純物として作用しない。一方、第2の不純物は、外部ベース領域4にドープされた第1の不純物の濃度と同程度に、外部ベース領域4に導入する必要があり、特に、第2の不純物をイオン注入で導入する場合には、結晶欠陥等の発生に留意する必要がある。
上述のように、本発明における第2の不純物を高濃度に外部ベース領域4に導入した場合、格子間シリコンの放出によるボロンの増速拡散が生じるおそれがある。そこで、本発明の目的である真性ベース領域3に内在する格子歪み量の減少を防止することに加え、ボロンの増速拡散を抑制する手段を講じることは、安定した性能を有するヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供する上で有用である。
本発明は、高濃度にドープされた外部ベース領域4の真性ベース領域3に対する引っ張り応力に起因して、真性ベース領域3に内在する格子歪み量が減少するという知見に基づきなされたものであるが、高濃度にドープされた外部ベース領域4は、コレクタ領域1に対しても引っ張り応力を与えている。
2 分離領域
3 真性ベース領域
4 外部ベース領域
5 ベース電極
6 エミッタ領域
7 絶縁膜
8 エミッタ引き出し電極
13 レジストマスク
20 ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(SiGe−HBT)
101 コレクタ領域
102 分離領域
103 真性ベース領域
104 外部ベース領域
105 ベ−ス電極
106 エミッタ領域
107 絶縁膜
108 エミッタポリシリコン電極
109 シリサイド層
110 コンタクトホール
111 金属配線
Claims (15)
- ベース領域がSiGe混晶からなるヘテロ接合バイポーラトランジスタであって、
前記ベース領域は、コレクタ領域及びエミッタ領域と接合する真性ベース領域と、該真性ベース領域とベース電極とを接続する外部ベース領域とで構成されており、
前記真性ベース領域及び前記外部ベース領域には、一導電型の第1の不純物がドープされているとともに、前記外部ベース領域には、第2の不純物がさらにドープされており、
前記外部ベース領域には、前記真性ベース領域よりも高濃度な前記第1の不純物がドープされ、
前記第1の不純物の原子半径は、Siの原子半径よりも小さく、
前記第2の不純物の原子半径は、Siの原子半径よりも大きい
ことを特徴とする、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 前記第1の不純物は、ボロンであることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記第2の不純物は、Ge、In、Ga、Alからなる群より選ばれた一の原子であることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記外部ベース領域にドープされた前記第1の不純物の濃度は、5E19cm-3以上であることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記真性ベース領域と前記外部ベース領域との境界面には、前記真性ベース領域および前記外部ベース領域にドープされた前記第1の不純物の濃度差による引っ張り応力が内在し、該引っ張り応力は、前記外部ベース領域にドープされた第2の不純物により緩和されていることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記外部ベース領域にドープされている前記第2の不純物の濃度ピークは、前記外部ベース領域にドープされている前記第1の不純物の濃度ピークと略一致していることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記外部ベース領域にドープされている前記第2の不純物の濃度ピークは、前記外部ベース領域と前記コレクタ領域との境界面にもさらに有していることを特徴とする、請求項6に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記外部ベース領域には、カーボンからなる第3の不純物がさらにドープされていることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記外部ベース領域にドープされているカーボンからなる第3の不純物の濃度ピークは、前記外部ベース領域にドープされている前記第1の不純物の濃度ピークと略一致していることを特徴とする、請求項8に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- 前記第2の不純物がGeからなり、
前記真性ベース領域が、Si(1-x1)Gex1の組成を有するSiGe混晶からなり、
前記外部ベース領域が、Si(1-x2)Gex2の組成を有するSiGe混晶(x1<x2)からなることを特徴とする、請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 前記第1の不純物がボロンからなり、
前記外部ベース領域のGe濃度x2が、
7.5×(Bext−Bint)≦(x2−x1)(Bextは外部ベ−ス領域のボロン濃度、Bintは真性ベース領域のボロン濃度を表す)
であることを特徴とする、請求項10に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 前記SiGe混晶は、SiGeCを含むことを特徴とする請求項1に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
- Si半導体層からなるコレクタ領域上に、一導電型の第1の不純物がドープされたSiGe混晶からなる真性ベース領域を形成する行程と、
前記真性ベース領域上に、Si半導体層からなるエミッタ領域を形成する行程と、
前記真性ベース領域の一部に、前記第1の不純物をさらにドープして、前記真性ベース領域よりも高濃度な前記第1の不純物がドープされた外部ベース領域を形成する行程と、
前記外部ベース領域に、第2の不純物をさらにドープする行程と
を含み、
前記第1の不純物の原子半径は、Siの原子半径よりも小さく、
前記第2の不純物の原子半径は、Siの原子半径よりも大きい
ことを特徴とする、ヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法。 - 前記第1の不純物は、ボロンであることを特徴とする、請求項13に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法。
- 前記第2の不純物は、Ge、In、Ga、Alからなる群より選ばれた一の原子であることを特徴とする、請求項13に記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006073381A JP2007250903A (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 |
US11/706,338 US7859030B2 (en) | 2006-03-16 | 2007-02-15 | Heterojunction bipolar transistor and fabrication method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006073381A JP2007250903A (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007250903A true JP2007250903A (ja) | 2007-09-27 |
JP2007250903A5 JP2007250903A5 (ja) | 2008-10-30 |
Family
ID=38516929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006073381A Pending JP2007250903A (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7859030B2 (ja) |
JP (1) | JP2007250903A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9799736B1 (en) | 2016-07-20 | 2017-10-24 | International Business Machines Corporation | High acceptor level doping in silicon germanium |
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JP2504205B2 (ja) | 1989-07-24 | 1996-06-05 | 株式会社村田製作所 | インダクタンス部品 |
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JP2001332563A (ja) | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バイポーラトランジスタ及びその製造方法 |
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-
2006
- 2006-03-16 JP JP2006073381A patent/JP2007250903A/ja active Pending
-
2007
- 2007-02-15 US US11/706,338 patent/US7859030B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7859030B2 (en) | 2010-12-28 |
US20070215979A1 (en) | 2007-09-20 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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