JP2007240393A - 表面電位計および表面電位測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面電位計1は、試料載置部11、振動電極12、振動部13および昇降機構14を備える。試料載置部11は導電面111を有し、振動電極12が振動すると導電面111から変位電流が取得される。制御部2は、変位電流がコンピュータ3が指定する値となるように電極電位を制御し、さらに変位電流を変更しつつ電極電位を繰り返し取得することにより変位電流と電極電位との関係が取得される。変位電流と電極電位との関係は振動電極12と試料9との間の距離を変更して複数回行われ、振動電極12と試料9との間の距離に依存しない電極電位が基準電位として求められ、基準電極に基づいて試料9の表面電位が求められる。これにより、振動電極12とその周囲の構造との間の浮遊容量の影響を測定から取り除くことができ、容易に精度の高い測定を行うことができる。
【選択図】図2
Description
2 制御部
3 コンピュータ
9 試料
11 試料載置部
12 振動電極
13 振動部
14 昇降機構
31 メモリ
111 導電面
231 振幅変更回路
S11〜S18 ステップ
Claims (12)
- 試料の表面電位を測定する表面電位計であって、
板状の試料が載置される導電面を有する試料載置部と、
非接触にて前記試料の表面に対向する振動電極と、
前記試料に向かう方向に前記振動電極を振動させる振動部と、
前記振動電極を振動させた際の前記導電面からの変位電流と前記振動電極の電極電位との関係を取得する制御部と、
変位電流と電極電位との関係を変化させる測定条件を変更する測定条件変更手段と、
複数の測定条件に対応する変位電流と電極電位との複数の関係から前記試料の表面電位を求める演算部と、
を備えることを特徴とする表面電位計。 - 請求項1に記載の表面電位計であって、
前記制御部が、フィードバック制御により、変位電流の値を指定電流値とする電極電位を取得することを特徴とする表面電位計。 - 請求項2に記載の表面電位計であって、
変位電流と電極電位との関係が取得される際に、電極電位が直接的に取得されることを特徴とする表面電位計。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の表面電位計であって、
前記測定条件変更手段が、前記振動電極と前記試料の表面との間の距離を変更する機構であることを特徴とする表面電位計。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の表面電位計であって、
前記測定条件変更手段が、前記振動電極の振幅を変更する回路であることを特徴とする表面電位計。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の表面電位計であって、
前記演算部が、前記複数の測定条件に対応する変位電流と電極電位との前記複数の関係から、前記複数の測定条件に依存しない前記振動電極の基準電位を求め、前記基準電位に基づいて前記試料の表面電位を求めることを特徴とする表面電位計。 - 請求項6に記載の表面電位計であって、
予め設定された値を記憶するメモリをさらに備え、
前記演算部が、前記基準電位に対して前記予め設定された値を加算または減算することにより前記試料の表面電位を求めることを特徴とする表面電位計。 - 請求項6または7に記載の表面電位計であって、
前記基準電位が、前記複数の測定条件における電極電位の範囲外であることを特徴とする表面電位計。 - 試料の表面電位を測定する表面電位測定方法であって、
a)試料載置部の導電面上に試料を載置し、振動電極を非接触にて前記試料の表面に対向させる工程と、
b)前記試料に向かう方向に前記振動電極を振動する工程と、
c)前記振動電極を振動させた際の前記導電面からの変位電流と前記振動電極の電極電位との関係を取得する工程と、
d)変位電流と電極電位との関係を変化させる測定条件を変更して前記c)工程を繰り返す工程と、
e)前記c)工程および前記d)工程により取得された、複数の測定条件に対応する変位電流と電極電位との複数の関係から前記試料の表面電位を求める工程と、
を備えることを特徴とする表面電位測定方法。 - 請求項9に記載の表面電位測定方法であって、
前記d)工程において、前記振動電極と前記試料の表面との間の距離が変更されることを特徴とする表面電位測定方法。 - 請求項9に記載の表面電位測定方法であって、
前記d)工程において、前記振動電極の振幅が変更されることを特徴とする表面電位測定方法。 - 請求項9ないし11のいずれかに記載の表面電位測定方法であって、
前記e)工程において、前記複数の測定条件に対応する変位電流と電極電位との前記複数の関係から、前記複数の測定条件に依存しない前記振動電極の基準電位が求められ、前記基準電位に基づいて前記試料の表面電位が求められることを特徴とする表面電位測定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065057A JP4873689B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 表面電位計および表面電位測定方法 |
US11/715,846 US7598746B2 (en) | 2006-03-10 | 2007-03-09 | Surface voltmeter and surface voltage measurement method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065057A JP4873689B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 表面電位計および表面電位測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007240393A true JP2007240393A (ja) | 2007-09-20 |
JP4873689B2 JP4873689B2 (ja) | 2012-02-08 |
Family
ID=38517140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006065057A Expired - Fee Related JP4873689B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 表面電位計および表面電位測定方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7598746B2 (ja) |
JP (1) | JP4873689B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009192497A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面電位測定方法および表面電位計 |
JP2009222548A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面電位測定方法および表面電位計 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010020011A1 (de) * | 2010-05-10 | 2011-11-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Konstant-Spannungs-Sensor |
JP6000783B2 (ja) * | 2011-10-05 | 2016-10-05 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH08153762A (ja) | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Nec Corp | 2層膜接触電位差測定装置及び2層膜接触電位差の測定 方法 |
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-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006065057A patent/JP4873689B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070216418A1 (en) | 2007-09-20 |
JP4873689B2 (ja) | 2012-02-08 |
US7598746B2 (en) | 2009-10-06 |
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