JP2007231938A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102713287B (zh) * 2009-12-28 2015-04-15 株式会社爱发科 真空排气装置、真空排气方法及基板处理装置
JP6009193B2 (ja) * 2012-03-30 2016-10-19 株式会社荏原製作所 真空排気装置
JP6484601B2 (ja) 2016-11-24 2019-03-13 株式会社Kokusai Electric 処理装置及び半導体装置の製造方法
GB201715151D0 (en) * 2017-09-20 2017-11-01 Edwards Ltd A drag pump and a set of vacuum pumps including a drag pump
JP2023000161A (ja) * 2021-06-17 2023-01-04 エドワーズ株式会社 希ガス回収システム、及び、希ガス回収方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09125227A (ja) * 1995-10-27 1997-05-13 Tokyo Electron Ltd 真空排気装置及び真空処理装置
DE19821634A1 (de) * 1998-05-14 1999-11-18 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor
JP4669257B2 (ja) * 2000-03-29 2011-04-13 株式会社日立国際電気 半導体製造方法、基板処理方法、及び基板処理装置
JP4672204B2 (ja) * 2001-08-03 2011-04-20 エドワーズ株式会社 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ
US7500822B2 (en) * 2004-04-09 2009-03-10 Edwards Vacuum, Inc. Combined vacuum pump load-lock assembly

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