JP2007229554A - 除塵クリーナの性能評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】標準ワークとして準備するブロック体1の表面には、複数の微細溝11が所定のピッチpで互いに平行に直線状に延在させて配設されており、それら各微細溝11内に樹脂ビーズ2を筆3により塗り込むようにして略均等に充填し、この状態のブロック体1表面に沿って除塵クリーナ5を走行させて微細溝11内の樹脂ビーズ2を吸引清掃し、この清掃後のブロック体1表面に残存する樹脂ビーズ2を顕微鏡観察によりカウントし、除塵クリーナ5のワーク面方向に対する性能を評価する。
【選択図】 図1
Description
例えば、最終段階の顕微鏡観察による除塵性能評価において、観察位置を変更して複数回の観察を実施し、それらの平均値を評価値としてもよく、これにより、より正確な性能評価を実施できる。
11、61a〜61d 微細溝
2 微細粒子(樹脂ビーズ)
3 筆
4 刷毛
5 除塵クリーナ
Claims (6)
- 気流により除塵を行うドライ洗浄方式のクリーナの除塵性能を評価する方法であって、
複数の微細溝が所定のパターンで配設された表面を備えるブロック体を準備し、
前記微細溝内に複数の微細粒子を略均等に配置し、
微細粒子が配置された前記ブロック体表面を評価すべき除塵クリーナによりクリーニングし、
クリーニングした表面の一定面積当たりに残存する微細粒子の観察に基づき前記除塵クリーナの除塵性能を評価することを特徴とする除塵クリーナの性能評価方法。 - 前記ブロック体として、表面に幅と深さが共に35±3μmの直線に延在する微細溝が160±10μmピッチで平行に延在させて配設されたセラミック製のブロック体を準備し、前記微細溝内に平均粒径が6.9±0.5μmの樹脂ビーズからなる微細粒子を略均等に配置することを特徴とする請求項1に記載の除塵クリーナの性能評価方法。
- 前記樹脂ビーズが微細溝内に配置されたブロック体をクリーニングした後、該ブロック体表面の一定面積当たりに残存する微細粒子を計数して前記除塵クリーナの除塵性能を評価することを特徴とする請求項2に記載の除塵クリーナの性能評価方法。
- 前記ブロック体として、表面に断面が何れもV字型をなし深さが異なる複数種類の直線に延在する微細溝が互いに平行に配設されたブロック体を準備することを特徴とする請求項1に記載の除塵クリーナの性能評価方法。
- 前記樹脂ビーズが微細溝内に配置されたブロック体をクリーニングした後、該ブロック体表面の各微細溝毎の残存微細粒子の分布に基づき前記除塵クリーナの除塵性能を評価することを特徴とする請求項4に記載の除塵クリーナの性能評価方法。
- 前記除塵クリーナは、液晶表示パネルにおける配線端子アレイ部のクリーニングに用いる超音波気流により除塵を行うクリーナであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のうちの何れかに記載の除塵クリーナの性能評価方法。
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Citations (5)
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2006
- 2006-02-28 JP JP2006051398A patent/JP2007229554A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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