JP2007227699A - 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の磁性領域2と、第2の磁性領域3と、第1の磁性領域2と第2の磁性領域3とを接続していると共に、基板表面に平行な一方向と直交する方向に関する長さが第1の磁性領域2及び第2の磁性領域3よりも短い微小くびれ部4とで構成される連続体を形成する。微小くびれ部4は、RFスパッタエッチングによって狭小化された30nm以下の幅のものである。第1の磁性領域2及び第2の磁性領域3における微小くびれ部4近傍の区域の外形線は、それぞれ、微小くびれ部4を頂点として90°以下の角度をなすように形成される。
【選択図】図1
Description
2 第1の磁性領域
3 第2の磁性領域
4 微小くびれ部
21 基板
22 レジスト部
23 磁性体層
24 バリ
25 電源
26 Arイオン
27 電子
Claims (3)
- 第1の磁性領域と第2の磁性領域とが微小くびれ部を介した連続体として形成された磁気抵抗効果素子の製造方法であって、
絶縁性の基体の表面上に、前記第1の磁性領域、前記表面上において前記第1の磁性領域とは異なる位置にある前記第2の磁性領域、及び、前記第1の磁性領域と前記第2の磁性領域とを接続していると共に前記表面内において前記表面に平行な一方向と直交する方向に関する長さが前記第1の磁性領域及び前記第2の磁性領域よりも短い前記微小くびれ部を有する導電性の磁性体層を形成する磁性体層形成工程と、
前記第1の磁性領域と前記第2の磁性領域とが前記微小くびれ部において分断されることがないように、前記磁性体層にRFスパッタエッチングを施すスパッタエッチング工程とを備えていることを特徴とする磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 前記磁性体層形成工程が、
前記基体の前記表面上に、前記第1の磁性領域、前記第2の磁性領域及び前記微小くびれ部を有する前記磁性体層とは逆パターンのレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層から露出した前記表面上に前記磁性体層を形成する工程と、
前記レジスト層を除去する工程とを有していることを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子の製造方法。 - 絶縁性の基体の表面上に、第1の磁性領域と第2の磁性領域とが微小くびれ部を介した連続体として形成された磁気抵抗効果素子であって、
前記表面に直交する平面視において、前記第1の磁性領域及び前記第2の磁性領域における前記微小くびれ部近傍の区域の外形線が、それぞれ、前記微小くびれ部を頂点として90°以下の角度をなしていることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
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JPS60173891A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気抵抗効果形薄膜の形成方法 |
JP2003101101A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法、磁気検出素子並びに磁気記録再生素子 |
JP2005109241A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法並びに磁気ヘッド |
JP2006196708A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Institute Of Physical & Chemical Research | 磁気情報記録素子、磁気情報記録媒体および磁気情報記録素子の磁壁生成方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60173891A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気抵抗効果形薄膜の形成方法 |
JP2003101101A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法、磁気検出素子並びに磁気記録再生素子 |
JP2005109241A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法並びに磁気ヘッド |
JP2006196708A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Institute Of Physical & Chemical Research | 磁気情報記録素子、磁気情報記録媒体および磁気情報記録素子の磁壁生成方法 |
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