JP2007218737A - アイパターン測定方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アイパターンの所定範囲の時間方向ヒストグラムから2つのピークを抽出し、これらピークの各々について、最大値を取る領域を分割してこの領域の電圧方向のヒストグラムを求め、このヒストグラムの分散値が最小になる点を時間軸のクロス点Tcrossing1、Tcrossing2とし、平均値を電圧軸のクロス点Vcrossingとする。また、Tcrossing1、Tcrossing2間の所定範囲の電圧方向ヒストグラムを求め、上側の平均値をVtop、下側の平均値をVbaseとした。特殊な形状のアイパターンでも、正確に特性を測定できる。
【選択図】 図1
Description
一連の電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割し、この分割したデータを重ね書きしてアイパターンを作成して、このアイパターンの特性を測定するアイパターン測定方法において、
前記アイパターンの開口部の内側に任意の上限値と下限値を設定し、前記アイパターンの電圧方向のヒストグラムを作成するステップを含むことを特徴とする。
一連の電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割し、この分割したデータを重ね書きしてアイパターンを作成して、このアイパターンの特性を測定するアイパターン測定方法において、
前記アイパターンの全域について電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの下側のピーク位置を仮のbase、上側のピーク位置を仮のtopとする第1の工程と、
前記仮のtop、仮のbaseの間の所定の範囲について、時間方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの過去側から順番に2つのピークを抽出する第2の工程と、
前記第2の工程で抽出した2つのピークの各々について、最大値を取る範囲を複数の領域に分割し、この分割した領域の各々について電圧方向のヒストグラムを作成し、これらのヒストグラムのうち、分散値が最も小さいヒストグラムの前記分割した領域の位置をそれぞれTcrossing1、Tcrossing2とし、分散値の平均値をVcrossingとする第3の工程と、
前記Tcrossing1およびTcrossing2の間の所定の範囲について、電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの前記Vcrossingより上側の平均値をVtop、下側の平均値をVbaseとする第4の工程と、
を具備したものである。
前記第2の工程における所定の範囲を、仮のbaseと仮のtopで挟まれた領域の20〜80%の範囲としたものである。
前記第4の工程における所定の範囲を、Tcrossing1とTcrossing2で挟まれた領域の40〜60%の範囲としたものである。ノイズの影響を除去できる。
複数のアイパターンについて前記Tcrossing1、Tcrossing2、Vcrossing、Vtop、Vbaseを求め、これらの値の統計量を演算するようにしたものである。
一連の電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割し、この分割したデータを重ね書きしてアイパターンを作成して、このアイパターンの特性を測定するアイパターン測定装置において、
前記電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割したデータからアイパターンデータを作成して出力するアイパターン作成部と、
前記アイパターン作成部が作成したアイパターンデータが入力され、アイパターン全域について電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの下側のピーク位置および上側のピーク位置から仮のbaseおよび仮のtopを算出する仮top/base算出部と、
前記仮top/base算出部および前記アイパターン作成部の出力が入力され、前記仮のtopおよび仮のbaseで挟まれた領域内の、所定範囲について時間方向のヒストグラムを作成する時間方向ヒストグラム作成部と、
前記時間方向ヒストグラム作成部が作成したヒストグラムデータが入力され、このヒストグラムの過去側から2つのピークを抽出するピーク抽出部と、
前記ピーク抽出部および前記アイパターン作成部の出力が入力され、前記ピーク抽出部が検出したピークについて、最大値を取る範囲を複数の領域に分割し、この分割した領域の各々について電圧方向のヒストグラムを作成し、これらのヒストグラムのうち、分散値が最も小さいヒストグラムの前記分割した領域の位置をそれぞれTcrossing1、Tcrossing2とし、分散値の平均値をVcrossingとして、これらの値を出力するクロス点検出部と、
前記クロス点検出部および前記アイパターン作成部の出力が入力され、前記Tcrossing1、Tcrossing2間の所定範囲の電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの前記Vcrossingより上方の平均値をVtop、下方の平均値をVbaseとして、これらの値を出力するVtop/Vbase算出部と、
前記クロス点検出部および前記Vtop/Vbase算出部の出力が入力され、これらの入力値を表示し、また外部に出力する出力部と、
を具備したものである。
前記時間方向ヒストグラム作成部が使用する、仮のtopと仮のbase間の所定範囲を設定する設定部を具備したものである。
アイパターンの所定範囲の時間方向ヒストグラムから2つのピークを抽出し、これらピークの各々について、最大値を取る領域を分割してこの領域の電圧方向のヒストグラムを求め、このヒストグラムの分散値が最小になる点をTcrossing1、Tcrossing2とし、平均値をVcrossingとする。また、Tcrossing1、Tcrossing2間の所定範囲の電圧方向ヒストグラムを求め、上側の平均値をVtop、下側の平均値をVbaseとする。
23 メモリ
30、31 ヒストグラムのピーク
32〜34 ヒストグラムの作成範囲
40 アイパターン作成部
41 仮top/base算出部
42 設定部
43 時間方向ヒストグラム作成部
44 ピーク抽出部
45 クロス点検出部
46 Vtop/Vbase算出部
47 出力部
Claims (7)
- 一連の電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割し、この分割したデータを重ね書きしてアイパターンを作成して、このアイパターンの特性を測定するアイパターン測定方法において、
前記アイパターンの開口部の内側に任意の上限値と下限値を設定し、前記アイパターンの電圧方向のヒストグラムを作成するステップを含むことを特徴とするアイパターン測定方法。 - 一連の電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割し、この分割したデータを重ね書きしてアイパターンを作成して、このアイパターンの特性を測定するアイパターン測定方法において、
前記アイパターンの全域について電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの下側のピーク位置を仮のbase、上側のピーク位置を仮のtopとする第1の工程と、
前記仮のtop、仮のbaseの間の所定の範囲について、時間方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの過去側から順番に2つのピークを抽出する第2の工程と、
前記第2の工程で抽出した2つのピークの各々について、最大値を取る範囲を複数の領域に分割し、この分割した領域の各々について電圧方向のヒストグラムを作成し、これらのヒストグラムのうち、分散値が最も小さいヒストグラムの前記分割した領域の位置をそれぞれTcrossing1、Tcrossing2とし、分散値の平均値をVcrossingとする第3の工程と、
前記Tcrossing1およびTcrossing2の間の所定の範囲について、電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの前記Vcrossingより上側の平均値をVtop、下側の平均値をVbaseとする第4の工程と、
を具備したことを特徴とするアイパターン測定方法。 - 前記第2の工程における所定の範囲は、仮のbaseと仮のtopで挟まれた領域の20〜80%の範囲であることを特徴とする請求項2記載のアイパターン測定方法。
- 前記第4の工程における所定の範囲は、Tcrossing1とTcrossing2で挟まれた領域の40〜60%の範囲であることを特徴とする請求項2若しくは請求項3記載のアイパターン測定方法。
- 複数のアイパターンについて前記Tcrossing1、Tcrossing2、Vcrossing、Vtop、Vbaseを求め、これらの値の統計量を演算するようにしたことを特徴とする請求項2若しくは請求項4いずれかに記載のアイパターン測定方法。
- 一連の電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割し、この分割したデータを重ね書きしてアイパターンを作成して、このアイパターンの特性を測定するアイパターン測定装置において、
前記電圧信号を所定の周波数を有するクロックに基づいて分割したデータからアイパターンデータを作成して出力するアイパターン作成部と、
前記アイパターン作成部が作成したアイパターンデータが入力され、アイパターン全域について電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの下側のピーク位置および上側のピーク位置から仮のbaseおよび仮のtopを算出する仮top/base算出部と、
前記仮top/base算出部および前記アイパターン作成部の出力が入力され、前記仮のtopおよび仮のbaseで挟まれた領域内の、所定範囲について時間方向のヒストグラムを作成する時間方向ヒストグラム作成部と、
前記時間方向ヒストグラム作成部が作成したヒストグラムデータが入力され、このヒストグラムの過去側から2つのピークを抽出するピーク抽出部と、
前記ピーク抽出部および前記アイパターン作成部の出力が入力され、前記ピーク抽出部が検出したピークについて、最大値を取る範囲を複数の領域に分割し、この分割した領域の各々について電圧方向のヒストグラムを作成し、これらのヒストグラムのうち、分散値が最も小さいヒストグラムの前記分割した領域の位置をそれぞれTcrossing1、Tcrossing2とし、分散値の平均値をVcrossingとして、これらの値を出力するクロス点検出部と、
前記クロス点検出部および前記アイパターン作成部の出力が入力され、前記Tcrossing1、Tcrossing2間の所定範囲の電圧方向のヒストグラムを作成し、このヒストグラムの前記Vcrossingより上方の平均値をVtop、下方の平均値をVbaseとして、これらの値を出力するVtop/Vbase算出部と、
前記クロス点検出部および前記Vtop/Vbase算出部の出力が入力され、これらの入力値を表示し、また外部に出力する出力部と、
を具備したことを特徴とするアイパターン測定装置。 - 前記時間方向ヒストグラム作成部が使用する、仮のtopと仮のbase間の所定範囲を設定する設定部を具備したことを特徴とする請求項6記載のアイパターン測定装置。
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