JP2007216429A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007216429A5
JP2007216429A5 JP2006037136A JP2006037136A JP2007216429A5 JP 2007216429 A5 JP2007216429 A5 JP 2007216429A5 JP 2006037136 A JP2006037136 A JP 2006037136A JP 2006037136 A JP2006037136 A JP 2006037136A JP 2007216429 A5 JP2007216429 A5 JP 2007216429A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
upper electrode
forming
piezoelectric
piezoelectric layer
protective film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006037136A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4702553B2 (ja
JP2007216429A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006037136A priority Critical patent/JP4702553B2/ja
Priority claimed from JP2006037136A external-priority patent/JP4702553B2/ja
Publication of JP2007216429A publication Critical patent/JP2007216429A/ja
Publication of JP2007216429A5 publication Critical patent/JP2007216429A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4702553B2 publication Critical patent/JP4702553B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2006037136A 2006-02-14 2006-02-14 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法 Expired - Fee Related JP4702553B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006037136A JP4702553B2 (ja) 2006-02-14 2006-02-14 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006037136A JP4702553B2 (ja) 2006-02-14 2006-02-14 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2007216429A JP2007216429A (ja) 2007-08-30
JP2007216429A5 true JP2007216429A5 (https=) 2009-01-08
JP4702553B2 JP4702553B2 (ja) 2011-06-15

Family

ID=38494212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006037136A Expired - Fee Related JP4702553B2 (ja) 2006-02-14 2006-02-14 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4702553B2 (https=)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5265163B2 (ja) * 2007-09-27 2013-08-14 富士フイルム株式会社 圧電デバイスおよび液体吐出ヘッド
JP5196184B2 (ja) 2009-03-11 2013-05-15 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター
JP5573251B2 (ja) * 2010-03-10 2014-08-20 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーターの製造方法
JP2012166418A (ja) * 2011-02-14 2012-09-06 Seiko Epson Corp 圧電素子
JP7559357B2 (ja) * 2020-05-27 2024-10-02 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置、貼り合わせ基板

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0736208B2 (ja) * 1985-09-12 1995-04-19 セイコーエプソン株式会社 磁気ヘッドの製造方法
JP3192757B2 (ja) * 1992-06-26 2001-07-30 キヤノン株式会社 記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置およびインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法
JP4461783B2 (ja) * 2003-11-21 2010-05-12 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドの製造方法
JP2005183509A (ja) * 2003-12-17 2005-07-07 Nec Corp 薄膜トランジスタ及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010137554A5 (https=)
JP2011056913A5 (https=)
JP2009202401A5 (https=)
JP2008516787A5 (https=)
JP2008091877A5 (https=)
JP2013111807A5 (https=)
WO2007119174A3 (en) Piezoelectric actuator
JP2007269011A5 (https=)
JP2003165225A5 (https=)
JP2007216429A5 (https=)
JP2008508850A5 (https=)
JP2012121273A5 (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びirセンサー
JP2005314802A5 (https=)
JP2006306022A5 (https=)
JP2008221652A5 (https=)
CN106142841B (zh) 压电促动器和记录头
JP2008182512A5 (https=)
JP2007001270A5 (https=)
JP2005138588A5 (https=)
CN103287101A (zh) 压电促动器及液体喷头
JP2006278562A5 (https=)
JP2007335437A5 (ja) 圧電素子の製造方法
JP2007073931A5 (https=)
US9419200B2 (en) Piezoelectric actuator and recording head
JP6414434B2 (ja) インクジェット装置