JP2007212358A - 超音波探触子及びそれを備えた温度測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】超音波透過性を確保しながら、より高温状態での超音波測定を可能とした接触式の超音波探触子及びそれを備えた金型温度測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】超音波センサ５１ａが設けられる超音波センサ部５１と超音波伝達部５２とを備え、該超音波伝達部５２の先端部５２ａを鍛造粗材１に接触させて超音波を発射する超音波探触子５であって、前記超音波伝達部５２は、前記超音波センサ部５１から前記先端部５２ａに向けてロッド状に延出されるとともに、先細り形状のテーパ形状となるテーパ部５２ｃが形成され、該テーパ部５２ｃの外周面に該超音波伝達部５２と同質の溶射被膜が形成され、前記先端部５２ａの先端平面部に軟質金属部材５９が取り付けられる。
【選択図】図２

Description

本発明は、超音波探触子及びそれを備えた温度測定装置に関し、より詳細には、ロッド状の超音波伝達部を備えた接触式の超音波探触子の改良技術に関する。

従来、超音波センサを用いて被測定物の内部温度や厚さを測定する測定装置が提案されている。このような測定装置の中でも、超音波センサが設けられる超音波センサ部とロッド状に形成された超音波伝達部からなり、先端部を被測定物に接触させて超音波を発射する接触式の超音波探触子を備えたものが公知である。このような測定装置では、超音波探触子の超音波伝達部の先端部を被測定物に接触させた状態で超音波を発射して、被測定物の底面からの反射波などを超音波センサにより検知し、コンピュータ装置にて被測定物の内部温度等が求められる。

従来の構成として、例えば、特許文献１に、超音波伝達部の先端部に被測定物の表面に押し付けられる遅延材が取り付けられ、この遅延材が弾性変形の高い材質の成形材（例えば、ブタジエンゴム等）より形成された接触式の超音波探触子が提案されている（特許文献１参照）。このように、遅延材を弾性変形の高い材質により形成することで、超音波伝達部の先端部を被測定物の表面に確実に密着させることができる。
また、特許文献２には、超音波探触子の先端面部に開口部を設け、この開口部に軟質緩衝金属板を嵌着させて高温での使用も可能とした接触式の超音波探触子が提案されている（特許文献２参照）。
特開平４−２３８２０８号公報 特開平１１−３０４７７７号公報

ところで、接触式の超音波探触子では、被測定物との接触精度を高めて超音波透過性を確保するために、通常、被測定物との間に接触媒質（水・グリセリン等）が一様に塗布されて接触面での超音波透過性が向上されるように構成されている。
しかし、高温状態の被測定物を測定する際には、このような接触媒体を用いることができず（若しくは接触媒体が機能せず）、接触面での超音波透過性に劣っていた。また、上述した特許文献１の超音波探触子では、先端部にブタジエンゴム等からなる遅延材が取り付けられているため、高温状態で測定を行うことができない。
この点、上述した特許文献２の超音波探触子は、先端部に軟質緩衝金属板が嵌着されていることから、高温状態でも被測定物との接触面の超音波透過性をある程度確保でき、高温状態での測定が可能である。
しかしながら、特許文献２に開示される構成であっても、被測定物と超音波センサ部との離間が狭いため、超音波センサ部を特殊な材質（アルミや耐熱性樹脂等）で形成して超音波センサを保護すれば、ある程度高温（〜４００℃）の被測定物の測定が可能であるが、鍛造粗材などより高温（〜１０００℃）の被測定物の測定には用いることができなかった。

そこで、本発明においては、超音波探触子及びそれを備えた金型温度測定装置に関し、前記従来の課題を解決するもので、超音波透過性を確保しながら、より高温状態での超音波測定を可能とした接触式の超音波探触子及びそれを備えた金型温度測定装置を提供することを目的とする。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

すなわち、第１の発明は、超音波センサが設けられる超音波センサ部と超音波伝達部とを備え、該超音波伝達部の先端部を被測定物に接触させて超音波を発射する超音波探触子であって、前記超音波伝達部は、前記超音波センサ部から前記先端部に向けてロッド状に延出されるとともに、先細り形状のテーパ形状となるテーパ部が形成され、該テーパ部の外周面に該超音波伝達部と同質の溶射被膜が形成され、前記先端部の先端平面部に軟質金属部材が取り付けられたものである。
前記軟質金属部材は、好ましくは、少なくとも被測定物との接触側表面が研磨等により平滑面に構成されたものである。

また、第２の発明は、第１の発明を備えた温度測定装置である。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。

第１の発明に示す構成としたので、接触媒質を不要としつつも、超音波透過性を確保しながら、より高温状態での超音波測定が可能である。

特に、前記軟質金属部材は、少なくとも被測定物との接触側表面が平滑に研磨に示す構成としたので、超音波探触子と被測定物とをより密接させることができ、超音波透過性を向上できる。

第２の発明に示す構成としたので、接触媒質を不要としつつも、超音波透過性を確保しながら、より高温状態での超音波測定が可能である。

次に、発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は本実施例の超音波探触子を備えた温度測定装置の全体的な構成を示した図、図２は超音波探触子の正面図、図３は超音波探触子の相対移動の様子を示した図、図４は別実施例の温度測定装置の全体的な構成を示した図、図５は図４の温度測定装置における超音波探触子の配置部分の拡大側断面図である。

まず、本実施例の超音波探触子５を備えた温度測定装置２の全体構成について、以下に概説する。
図１には、鍛造工程における鍛造粗材１の内部温度を測定する温度測定装置２が示されている。本実施例での鍛造工程では、搬送経路３に沿って被測定物としての鍛造粗材１が搬送される。以下、鍛造粗材１の搬送方向を、図１における矢印方向（Ｘ方向）とする。鍛造粗材１は、温度測定装置２よりも搬送方向Ｘの上流側に配置された高周波加熱器４によって１０００℃程度に加熱された後、温度測定装置２の所定位置まで搬送される。

温度測定装置２は、鍛造工程において高温に加熱された鍛造粗材１の内部温度を測定可能に構成されている。
具体的には、超音波送受信装置２１と、高速ＡＤ変換器２２と、時間計測部２３ａや超音波速度算出部２３ｂや温度抽出部２３ｃや温度特性判定部２３ｄなどを備えたコンピュータ装置２３と、鍛造粗材１の内部温度と超音波速度との関係を示す温度−速度テーブル２４ａを記憶した記憶部２４と、超音波送受信装置２１と接続され鍛造粗材１に接触して鍛造粗材１に向けて超音波を発射する超音波探触子５等とから構成されている。

超音波送受信装置２１は、超音波探触子５に設けられた超音波センサ５１ａを介して超音波を送受信可能に構成されている。なお、超音波探触子５は、その先端部５２ａが鍛造粗材１の上面（上側面１ａ）に略垂直方向に接触し、先端部５２ａから超音波が発射されるように構成されている。この超音波探触子５の詳細は、後述する（図２及び図３参照）。
超音波送受信装置２１から超音波センサ５１ａを介して発射された超音波は、鍛造粗材１の上側面１ａ（超音波探触子５の先端部）から下側面１ｂ（鍛造粗材１と搬送経路３との境界面）にて反射して、超音波センサ５１ａへ戻ってくる。また、超音波センサ５１ａは、下側面１ｂで反射して戻ってきた超音波（反射波）を受信可能とされている。
このように、超音波送受信装置２１は、鍛造粗材１の上側面１ａから下側面１ｂ側へ向けて超音波を発射するとともに、上述した反射波を検出可能に構成されている。
高速ＡＤ変換器２２は、鍛造粗材１の下側面１ｂで反射して戻ってきた超音波（反射波）の波形をデジタルデータに変換して、コンピュータ装置２３へと出力する。

コンピュータ装置２３における時間計測部２３ａは、超音波センサ５１ａが超音波を照射してから鍛造粗材１の下側面１ｂにて反射した超音波（反射波）を受信して検出するまでの時間等を計測する。
超音波速度算出部２３ｂは、時間計測部２３ａにて計測した反射波の検出時間と鍛造粗材１の上側面１ａ及び下側面１ｂ間の寸法（厚さ）とから、鍛造粗材１内を伝播する超音波の速度を算出する。
温度抽出部２３ｃは、後述する温度−速度テーブル２４ａから、超音波速度算出部２３ｂにて算出した超音波速度に対応する鍛造粗材１の内部温度を抽出する。
温度特性判定部２３ｄは、予め設定された基準値（基準温度）を最低温度として、温度抽出部２３ｃにて抽出された鍛造粗材１の内部温度とこの基準温度とを比較し、鍛造粗材１の温度特性を判定する。本実施例での鍛造粗材１の温度特性とは、基準温度に対して大きいか小さいかの評価をいう。

記憶部２４に記憶される温度−速度テーブル２４ａは、予め実験により求めたものであり、温度と超音波速度との相関関係を読み出し可能なデータ形式として構成されている。予備実験としては、温度測定装置２に所定温度に加熱した熱電体を配置し、超音波探触子５から超音波を発射して、この熱電体中を伝播する超音波の速度を算出する。設定温度を変更した熱電体の超音波速度をそれぞれ測定していき、その結果を温度−速度テーブル２４ａとして記憶部２４に記憶する。

以上のような構成において、まず、鍛造粗材１は、高周波加熱器４によって高温に加熱された状態で搬送経路３に沿って搬送され、温度測定装置２の所定位置に停止される。
温度測定装置２では、鍛造粗材１に超音波探触子５を接触させた状態で超音波が照射され、超音波センサ５１ａで受信された反射波が超音波送受信装置２１を介して高速ＡＤ変換器２２にてデジタルデータに変換されて、コンピュータ装置２３に送られる。
コンピュータ装置２３では、上述した時間計測部２３ａ及び超音波速度算出部２３ｂにおいて、上述したデジタルデータから鍛造粗材１内部での超音波速度が算出され、温度抽出部２３ｃにおいて、算出された超音波速度と温度−速度テーブル２４ａとから鍛造粗材１の内部温度が抽出される。温度特性判定部２３ｄにおいて、抽出された内部温度が基準温度内であると判定されれば、鍛造粗材１が搬送方向Ｘの下流側の設備へと搬送経路３に沿って搬送され、一方で、抽出された内部温度が基準温度よりも低いと判定されれば、鍛造粗材１が高周波加熱器４によって再加熱されるように搬送方向Ｘの下流側へと再搬送される。

次に、本実施例の超音波探触子５について、以下に詳述する。
図２及び図３に示すように、超音波探触子５は、超音波センサ５１ａが設けられる超音波センサ部５１と、ロッド状の超音波伝達部５２とを備えている。また、この超音波探触子５は、支持アーム５３に位置決めして支持されるとともに、駆動モータ５４に連動連結されており、支持アーム５３に支持された状態で駆動モータ５４により軸中心に回転されて鍛造粗材１との相対位置を変動可能としている。

超音波センサ部５１は、超音波伝達部５２の一端に形成され、超音波センサ５１ａと、該超音波センサ５１ａを囲繞するセンサホルダ５１ｂとを備えている。センサホルダ５１ｂは、超音波伝達部５２の一端を覆うようにして取り付けられるとともに、端面に軸部５５が固設されており、この軸部５５が駆動モータ５４の駆動軸と連動連結されている。
駆動モータ５４の駆動軸が正逆回転されると、該駆動モータ５４の回転駆動力が軸部５５及びセンサホルダ５１ｂを介して超音波探触子５に伝達され、これにより超音波探触子５が正逆回転される。

超音波伝達部５２は、超音波センサ部５１から他端に向けて長手方向に延出されたロッド部材であって、超音波センサ５１ａから照射された超音波が、この超音波伝達部５２を伝達して、先端部５２ａから発射される。本実施例の超音波探触子５は、被測定物に対して接触して超音波を発射するものであって、鍛造粗材１の上側面１ａに先端部５２ａが略垂直に当接した状態で超音波が発射される（図３（ｂ）参照）。
この超音波伝達部５２は、半径方向長さが同一に形成された胴部５２ｂと、胴部５２ｂから先端部５２ａにかけて半径方向長さが徐々に小さくなるように形成された側面視テーパ状のテーパ部５２ｃとを備え、全体として先端部５２ａに向けて先細り形状となるように形成されている。
胴部５２ｂの外周面には、雄ねじ５６がねじ切り加工されており、上述した支持アーム５３に穿設された挿通孔５３ａに形成された雌ねじ５７と螺合されている。
テーパ部５２ｃは、テーパ面の角度が例えば約２°程度となるように加工形成されており、その外周面が溶射被膜に覆われている。超音波伝達部５２（胴部５２ｂ及びテーパ部５２ｃ）は、強硬度で耐熱性に優れたＳＫＤ系などの鋼材により形成されており、テーパ部５２ｃに形成される溶射被膜としては、例えばＳＵＳ３０４等が用いられる。

超音波伝達部５２の先端部５２ａは、端部の平面部に軟質金属部材５９が取り付けられている。本実施例では、軟質金属部材５９の材質としては、銅や錫などが用いられ、先端部５２ａの先端平面部にメッキ若しくは溶着された薄膜状態で取り付けられる。また、この軟質金属部材５９は、鍛造粗材１の上側面１ａとの接触側表面が平滑面となるように研磨されている。軟質金属部材５９における鍛造粗材１の上側面１ａとの接触側表面の平滑度合いは、軟質金属部材５９が鍛造粗材１の上側面１ａと密着して、軟質金属部材５９と鍛造粗材１との間で、鍛造粗材１の温度計測に影響がない程度に超音波が伝達可能となるだけの平滑度合いとするのが好ましい。
軟質金属部材５９の膜厚は、超音波センサ５１ａの周波数や超音波探触子５（特に、超音波伝達部５２）の材質などに影響されるが、概ね超音波の波長の約１／４となるように調製される。このような膜厚に調製することで、超音波透過率がよく、軟質金属部材５９で反射されずに鍛造粗材１にまで超音波を効率よく伝播させることができる。

超音波探触子５は、鍛造粗材１に対して位置決めするようにして支持アーム５３に支持されており、具体的には、温度測定装置２の所定位置に停止された鍛造粗材１の上側面１ａに対して略垂直となるように位置決めされている（図３参照）。この支持アーム５３には、上述したように、内壁にねじ切り加工が施された挿通孔５３ａが穿設されており、超音波伝達部５２に施されたねじ切り加工部（雄ねじ５６）である胴部５２ｂが、この挿通孔５３ａに施されたねじ切り加工部（雌ねじ５７）と螺合して、超音波探触子５が固定されている。

なお、支持アーム５３には、冷却水若しくは冷風を循環させて温度が上昇した超音波探触子５を冷却する循環ダクト６０が内部に形成されている。この循環ダクト６０は、挿通孔５３ａに挿通されて支持された超音波探触子５の円周方向に沿って、超音波センサ部５１（若しくは超音波センサ５１ａ）の近傍位置に形成される。このような循環ダクト６０を設けることで、超音波センサ部５１（超音波センサ５１ａ）近辺を冷却することができ、超音波センサ部５１（超音波センサ５１ａ）の温度上昇を効果的に防止できる。ただし、この循環ダクト６０は、被測定物の内部温度が低い場合等には、必ずしも設けられる必要はない。

また、超音波探触子５は、上述した駆動モータ５４が正逆回転されることによって、支持アーム５３に支持された状態で連動して正逆回転されて、鍛造粗材１に対する軸方向の相対位置が変動される。具体的には、超音波探触子５は、一方向（図３（ａ）において時計回り）に回転されると、先端部５２ａが鍛造粗材１から離間する方向に移動される。そして、他方向（図３（ｂ）において反時計回り）に回転されると、先端部５２ａが鍛造粗材１に近接する方向に移動され、やがて先端部５２ａが鍛造粗材１の上側面１ａに接触した状態で停止される。なお、本実施例では、かかる状態（図（ｂ）参照）で鍛造粗材１に超音波が発射される。このような構成とすることで、超音波伝達部５２の先端部５２ａを鍛造粗材１に当接した状態と離間した状態とに容易に切り換えることができ、超音波探触子５を常時高温の鍛造粗材１に接触させておく必要がなく、超音波センサ５１ａ等の寿命を延ばすことができる。

以上のように、本実施例の超音波探触子５は、超音波センサ部５１と超音波伝達部５２とを備え、超音波伝達部５２において、前記超音波センサ部５１から先端部５２ａに向けてロッド状に延出され、先細り形状となるように形成されたテーパ部５２ｃの外周面に該超音波伝達部と同質の溶射被膜が形成されるとともに、先端部５２ａの先端平面部に軟質金属部材５９が取り付けられている。このような構成とすることで、超音波探触子５は、超音波透過性を確保しながら、より高温状態での超音波測定を可能としている。

すなわち、超音波伝達部５２において、超音波センサ部５１から先端部５２ａに向けて軸心方向に長くなるようにロッド状に延出させることで、超音波センサ５ａを鍛造粗材１からできるだけ遠ざけることができ、高温の被測定物の内部温度測定に適している。特に、超音波伝達部５２をＳＫＤ系などの耐熱性の鋼材より形成したものは、超音波透過性（減衰性）がよく超音波が伝播し易いため、軸心方向に長いロッド状に形成し易い。このように超音波センサ５１ａを鍛造粗材１より遠ざけることで、耐熱性を備えた特殊な超音波センサ等を用いる必要がなく、例えば、ＳＮ比のよい安価な超音波センサを用いることができ、製造コストを低減できる。

また、超音波伝達部５２において、先細り形状となるようにテーパ状に形成し、テーパ部５２ｃの外周面に超音波伝達部５２と同質の溶射被膜を形成することで、ロッド状に形成された超音波伝達部５２おける遅れエコーなどのノイズ波を低減できる。

さらに、鍛造粗材１との接触部分である超音波伝達部５２の先端部５２ａに軟質金属部材５９からなる被膜を形成させることで、超音波探触子５と鍛造粗材１とを密着して接触させることができ、接触媒質を用いることなく鍛造粗材１への超音波透過性を十分に確保することができ、ドライな環境で超音波測定を行うことができる。また、高温による劣化も防止できる。特に、鍛造粗材１との接触面である接触側表面が平滑に研磨されることで、超音波探触子５と鍛造粗材１とをより密接させることができ、超音波透過性を向上できる。

なお、本実施例では、超音波探触子５を備えた装置構成として、鍛造工程での鍛造粗材１の温度測定装置２について説明したが、このような構成に限定されず、鍛造金型・鋳造金型・樹脂成形金型等の温度測定装置に適用することができる。
例えば、図４及び図５に、別実施例として鋳造工程におけるダイカストマシーンに適用された温度測定装置１０２を示す。本実施例での温度測定装置１０２は、超音波探触子１０５によって鋳造時での金型１０１のキャビティ１１１内の溶湯１３１に超音波を発射して、溶湯１３１温度を測定可能に構成されている。

ダイカストマシーンは、射出スリーブ１０３内に、プランジャロッド１０３ａの先端に取り付けたプランジャチップ１０３ｂが摺動自在に嵌装されており、射出スリーブ１０３内の溶湯１３１が、プランジャチップ１０３ｂにより押し出されて、金型１０１のキャビティ１１１へ射出されるように構成されている。
金型１０１のキャビティ１１１には、鋳造面となるキャビティ面１１１ａ・１１１ｂがそれぞれ対向するように略平行に設けられている（図５参照）。金型１０１のキャビティ１１１内に充填される被測定物としての溶湯１３１（例えばアルミダイカストの場合はアルミ溶湯）は、充填後に温度が低下してその溶湯１３１の凝固温度に達すると凝固する。

図５に示すように、超音波探触子１０５は、タイガストマシーンの金型１０１に設けられた空間１０１ａに配置され、先端部１５２ａがキャビティ面１１１ａに近接する一側面に常時接触されている。この超音波探触子１０５には、温度測定装置１０２を構成する超音波送受信装置１２１に接続された超音波センサ１５１ａが設けられており、金型１０１のキャビティ１１１内に超音波が発射される。そして、金型１０１におけるキャビティ面１１１ａにて反射して戻ってきた超音波（「第１の反射波」という）、及びキャビティ面１１１ａとは反対側の表面であるキャビティ面１１１ｂにて反射して戻ってきた超音波（「第２の反射波」という）が受信される（図５参照）。
なお、本実施例の超音波探触子１０５は、図示せぬ支持部材によって固定されており、キャビティ面１１１ａとの相対位置が変動不能に固定されている。ただし、上述した実施例（図３参照）のように、キャビティ面１１１ａとの相対位置が変動可能に支持されてもよい。

温度測定装置１０２は、超音波送受信装置１２１と、高速ＡＤ変換器１２２と、時間計測部１２３ａや超音波速度算出部１２３ｂや温度抽出部１２３ｃなどを備えたコンピュータ装置１２３と、温度−速度テーブル１２４ａを記憶した記憶部１２４と、超音波送受信装置１２１と接続された超音波探触子１０５等とから構成されている。
記憶部１２４に記憶される温度−速度テーブル１２４ａは、予め実験により求めたものであり、溶湯１３１の温度と溶湯１３１を伝播する超音波速度との相関関係を読み出し可能なデータ形式として構成されている。
ここで、溶湯１３１は、凝固温度を境として溶湯１３１中を伝播する超音波速度が急激に変化することが知られており、高温側（溶融側）では超音波速度が遅く、低温側（凝固側）では超音波速度が速くなる。そのため、超音波速度算出部１２３ｂにて算出された超音波速度から、温度抽出部１２３ｃにて温度−速度テーブル２４ａから対応する溶湯１３１の温度が抽出されることで、溶湯１３１の現在（及び過去）の状態が検知される。

以上のような構成において、温度測定装置１０２では、金型１０１の空間１０１ａに配置された超音波探触子５から超音波が照射される。発射された超音波は、キャビティ１１１内に充填された溶湯１３１内を伝播して、金型１０１のキャビティ面１１１ｂにて反射されて、第２の反射波として超音波センサ１５１ａにより受信される。また、発射された超音波の一部は、金型１０１のキャビティ面１１１ａで反射されて、第１の反射波として超音波センサ１５１ａにより受信される。
超音波センサ１５１ａで受信された第１及び第２の反射波は、超音波送受信装置１２１を介して高速ＡＤ変換器１２２にてデジタルデータに変換されて、コンピュータ装置１２３に送られる。
コンピュータ装置１２３では、上述した時間計測部１２３ａにおいて照射された超音波がキャビティ面１１１ａからキャビティ面１１１ｂ間を往復するのに要した時間（超音波伝播時間ｔ）が計測される。なお、この超音波伝播時間ｔは、超音波を発射してから第２の反射波が受信されるまでの時間ｔ２から、超音波を発射してから第１の反射波が受信されるまでの時間ｔ１を引いた時間である。
超音波速度算出部１２３ｂでは、時間計測部１２３ａにおいて計測された超音波伝播時間ｔから、溶湯１３１内部での超音波速度が算出され、温度抽出部１２３ｃにおいて、算出された超音波速度と温度−速度テーブル１２４ａから溶湯１３１の内部温度が抽出される。

本実施例の温度測定装置１０２は、コンピュータ装置１２３にて抽出された内部温度から、例えば、溶湯１３１の固相率を算出するように構成してもよく、算出された固相率を用いて、キャビティ１１１内に充填された溶湯を加圧する加圧ピンの動作の制御や、金型１０１の型開きの制御等といった制御を行うように構成されてもよい。また、溶湯１３１充填時の固相率を算出しておけば、充填時の固相割合（凝固している溶湯１３１の割合）を把握することができる。さらに、固相率の算出を溶湯１３１の充填時から離型時にかけて継続的に行うことで、正凝固層の進展速度を算出することもできる。

本実施例の超音波探触子を備えた温度測定装置の全体的な構成を示した図。 超音波探触子の正面図。 超音波探触子の相対移動の様子を示した図。 別実施例の温度測定装置の全体的な構成を示した図。 図４の温度測定装置における超音波探触子の配置部分の拡大側断面図。

符号の説明

１ 鍛造粗材（被測定物）
２ 温度測定装置
５ 超音波探触子
５１ 超音波センサ部
５１ａ 超音波センサ
５２ 超音波伝達部
５２ａ 先端部
５２ｂ 胴部
５２ｃ テーパ部
５９ 軟質金属部材

Claims (3)

1. 超音波センサが設けられる超音波センサ部と超音波伝達部とを備え、該超音波伝達部の先端部を被測定物に接触させて超音波を発射する超音波探触子であって、
   前記超音波伝達部は、前記超音波センサ部から前記先端部に向けてロッド状に延出されるとともに、先細り形状のテーパ形状となるテーパ部が形成され、該テーパ部の外周面に該超音波伝達部と同質の溶射被膜が形成され、前記先端部の先端平面部に軟質金属部材が取り付けられたことを特徴とする超音波探触子。
2. 前記軟質金属部材は、少なくとも被測定物との接触側表面が平滑面に構成されることを特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
3. 前記請求項１又は請求項２に記載の超音波探触子を備えたことを特徴とする温度測定装置。

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