JP2007203737A - 圧電方式のインクジェットプリントヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力チャンバを有する流路形成基板110と、この流路形成基板110の上部に形成されて、圧力チャンバ111にインクを吐出するための駆動力を供給する圧電アクチュエータ140と、少なくとも圧電アクチュエータ140の上部に形成されて、圧電アクチュエータ140の残留振動を減衰させるダンピング層160と、を備える。
【選択図】図3
Description
150の配線151が接合される。
アクティブダンピング法は、インクを吐出するための主駆動パルスの次に補助パルスを印加して、圧電膜142の残留震動波と逆の振動を圧電膜142に誘発させて強制的に残留振動を減衰させる方法である。言い換えれば、図2のグラフで15μsと100μs区間との間に補助パルスを印加する。この方法によって、さらに迅速な減衰が可能であるが、圧電アクチュエータ140を駆動するための駆動回路の構造が複雑になる。また、補助パルスの印加時点についての精密な検討が必要である。
150の配線151を接合した後に、前述の方法によってダンピング層160を形成してもよい。この場合、ダンピング層160は、接合部152にまで形成されることが望ましい。図面に図示されてはいないが、インクジェットプリントヘッドをベッセル(図示せず)にパッケージングした後に表れる表面に、シリコンゴムまたはエポキシなどのダンピング物質を、ディスペンサを利用して塗布するか、またはスピンコーティングまたはスプレイコーティング法によってコーティングしてダンピング層160を形成してもよい。
102 部品
110 流路形成基板
111 圧力チャンバ
112 リストリクター
113 マニホルド
114 振動板
115 隔壁
116 コーナ部
120 ノズル基板
122 ノズル
131 シリコン酸化膜
140 圧電アクチュエータ
141 下部電極
142 圧電膜
143 上部電極
150 FPC
151 配線
152 接合部
160 ダンピング層
Claims (6)
- 圧力チャンバを有する流路形成基板と、
前記流路形成基板の上部に形成されて、前記圧力チャンバにインクを吐出するための駆動力を供給する圧電アクチュエータと、
少なくとも前記圧電アクチュエータの上部に形成されて、前記圧電アクチュエータの残留振動を減衰させるダンピング層と、
を備えることを特徴とする、圧電方式のインクジェットプリントヘッド。 - 前記ダンピング層は、少なくとも前記流路形成基板の上部の前記圧力チャンバに対応する領域上まで形成されることを特徴とする、請求項1に記載の圧電方式のインクジェットプリントヘッド。
- 前記圧電アクチュエータを駆動するための駆動電圧印加用の印刷回路をさらに備え、
前記ダンピング層は、少なくとも前記印刷回路と前記圧電アクチュエータとの接合部の上部にまで形成されることを特徴とする、請求項1に記載の圧電方式のインクジェットプリントヘッド。 - 前記ダンピング層は、その機械的損失率が、前記圧電アクチュエータ又は前記流路形成基板より大きいことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の圧電方式のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ダンピング層のヤング率は、5000MPa以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の圧電方式のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ダンピング層は、シリコンゴム、エポキシ、ポリウレタン、及びフォトレジスト物質から選ばれた1または2以上の混合物からなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の圧電方式のインクジェットプリントヘッド。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11245400A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-14 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2000289201A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ、及び、インクジェットヘッドの製造方法 |
JP2006027035A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Ricoh Printing Systems Ltd | 記録ヘッド及びこれを備えたインクジェット記録装置 |
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---|---|---|---|---|
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US5541630A (en) * | 1992-08-11 | 1996-07-30 | Rohm Co., Ltd. | Inkjet print head and inkjet printer |
JP3501860B2 (ja) * | 1994-12-21 | 2004-03-02 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子及びその製造方法 |
GB2335628B (en) * | 1998-03-19 | 2001-09-05 | The Technology Partnership Plc | Droplet generator and method of operating a droplet generator |
JP2000028920A (ja) | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Minolta Co Ltd | 結像光学系 |
JP2000323959A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
US20040051762A1 (en) * | 2002-09-12 | 2004-03-18 | Nishi Shin-Ichi | Inkjet recording head |
JP4600650B2 (ja) * | 2003-11-05 | 2010-12-15 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11245400A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-14 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2000289201A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ、及び、インクジェットヘッドの製造方法 |
JP2006027035A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Ricoh Printing Systems Ltd | 記録ヘッド及びこれを備えたインクジェット記録装置 |
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