JP2007198618A - 燃焼圧力センサ付きグロープラグ - Google Patents
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Abstract
【課題】従来に比べて小型化を図ることができるとともに、感度の良好な燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供する。
【解決手段】ヒータ4の後端側の主体金具1の内部には、中軸6が設けられている。中軸6は、先端側がヒータ4と電気的に接続された先端側中軸7と、先端側中軸7の後端側に設けられた後端側中軸8から構成されている。後端側中軸8には、その一部を切削したように凹陥された凹部9が形成され、凹部9内に圧力検出素子10が搭載されている。
【選択図】図1
【解決手段】ヒータ4の後端側の主体金具1の内部には、中軸6が設けられている。中軸6は、先端側がヒータ4と電気的に接続された先端側中軸7と、先端側中軸7の後端側に設けられた後端側中軸8から構成されている。後端側中軸8には、その一部を切削したように凹陥された凹部9が形成され、凹部9内に圧力検出素子10が搭載されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、自動車用エンジン等の内燃機関に使用される燃焼圧力センサ付きグロープラグに関する。
従来から、燃焼圧力センサ付きグロープラグとして、例えば圧力検出素子を金属ダイアフラムに貼った構造のものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。しかしながら、このような構造の燃焼圧力センサ付きグロープラグでは、金属ダイアフラムを有するため、圧力検出部の大きさが大きくなり、また部品点数が増えるため。小型化を図ることが困難であるという問題がある。
特開2005−90954号公報
上記のとおり、従来技術においては、小型化が図れないという課題や、良好なセンサ感度が得られないという課題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。本発明は、小型化を図ることができるとともに、感度の良好な燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供することを目的とする。
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグは、軸方向に沿って延びるとともに、筒状に形成された主体金具と、先端部が前記主体金具の先端から突出するようにして、当該主体金具内に配置されたヒータと、前記ヒータの後方に位置し、該ヒータと機械的に接続されるとともに、前記主体金具に保持された中軸と、前記中軸の側部に配置され、内燃機関の燃焼圧に応じて生じる該中軸の歪みを検出することにより、燃焼圧を検出する圧力検出素子と、を具備したことを特徴とする。
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグでは、圧力検出素子が中軸の側部に配置されている。つまり、圧力検出素子が中軸の側面部分に、例えば、接着剤等によって直接取り付けられている。このため、部品点数を少なくすることができ、小型化を図ることができるとともに、中軸に加わった圧力を直接検出することができ、良好な燃焼圧力の検出感度を得ることができる。
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいては、前記圧力検出素子の出力信号を処理する電子回路を、前記中軸の側部に配置する構成とすることにより、さらに部品点数の削減を図れ、小型化が可能となる。
また、本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、前記中軸が、前記圧力検出素子の少なくとも一部が配置されるとともに、径方向内側に窪む凹部を有していることが好ましい。これによって、燃焼圧力の検出感度をさらに向上させることができる。より具体的には、前記ヒータは、燃焼室内に晒されるとともに、燃焼ガスによって圧力が印加される圧力印加部を有しており、前記凹部を通って軸方向に直行する断面積が、前記圧力印加部の後端の軸方向に直交する断面積より小さくされていることが好ましい。これによって、燃焼圧力の検出感度をより効果的に向上させることができる。さらに、前記凹部と前記圧力検出素子との間に、接合部材が充填されていることにより、この接合部材と圧力検出素子自身によって、凹部の強度の向上を図ることができる。
圧力検出素子としては、Si型圧力検出素子、又はSOI型圧力検出素子を使用することができる。また、このような圧力検出素子を使用した場合、前記中軸は、前記圧力検出素子が配置される圧力検出素子配置部材と、その他の少なくとも1つ以上の部材とから構成され、前記圧力検出素子配置部材の構成材料を、シリコンと熱膨張係数の近いものとすることが好ましく、例えば熱膨張係数が、1.0〜7.0のものを使用することが好ましい。これによって、熱膨張差により破断が生じて接合不能となること、残留応力によって圧力検知ができなくなること、及び、温度特性が悪化すること等を防止することができる。
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグによれば、小型化を図ることができるとともに、感度の良好な燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1〜4は、本発明の実施形態に係る燃焼圧力センサ付きグロープラグ100の構成を示すもので、図1は軸線を含む方向における全体構成を示す断面図、図2は図1の後端部分を拡大して示す断面図、図3は全体構成を一部切り欠いて示す斜視図、図4は図3の後端部分を拡大して示す斜視図である。
燃焼圧力センサ付きグロープラグ100は、例えば、炭素鋼等の金属からなり、略筒状に形成された主体金具(ハウジング)1を具備している。主体金具1の外周面には、燃焼圧力センサ付きグロープラグ100を図示しない機関(エンジンブロック)に取り付けるためのねじ部2が形成されている。このねじ部2より後端側の外周部には、主体金具1を機関に取り付ける際に、スパナやレンチ等の工具を係合させる工具係合部3が設けられている。
この主体金具1の先端側(図1中左側)には、その先端部が突出するように棒状(円柱状)のヒータ4が設けられている。このヒータ4は、その先端部を除いて外側周囲を覆う略円筒状のシース(外筒)5に嵌め込まれており、このシース5を介して、主体金具1に支持されている。ヒータ4は、通電することによって発熱し、これによって内燃機関の始動を補助する。なお、ヒータ4のうち、シース5より突出して、燃焼室内に晒される部位のことを圧力印加部44という。
また、このヒータ4の後端側(図1中右側)の主体金具1の内部には、導電性の金属等からなり、棒状(円柱状)に形成され、ヒータ4と電気的に接続された中軸6が設けられている。この中軸6は、ヒータ4を電気的に後端側に引き出す電極(グローヒータ電極)としての作用を担うものであり、その先端側がヒータ4と電気的に接続された先端側中軸7と、この先端側中軸7の後端側に設けられた後端側中軸8(本発明でいう圧力検出素子配置部材)から構成されている。このうち後端側中軸8には、その一部を径方向内側に切削したように凹陥された凹部9が形成されている。凹部9は、後端側中軸8の両面に対称に形成されており、このため、凹部9が形成された部分の後端側中軸8の軸方向に直行する方向における断面形状は、略矩形状となっている。
上記凹部9のうちの一方には、この凹部9の軸線方向長さと略同一の長さ(図1,2における左右方向の長さ)を有する圧力検出素子10が設けられている。すなわち、圧力検出素子10は、軸線方向において凹部9内に略隙間なく(つまり、凹部9の内壁と圧力検出素子10との間に大きな隙間が生じることなく)嵌め込まれるようにして搭載され、圧力検出素子10と凹部9の内壁との間に形成される微小な隙間には、後述する接着剤層(本発明でいう接合部材)が充填された構成となっている。これによって、圧力印加によって凹部9の部分において発生した歪みが、凹部9の底部から圧力検出素子10の裏面に伝わるだけでなく、凹部9の内壁から圧力検出素子10の側壁に伝わるので、効率良く圧力検出素子10に伝わり良好な感度が得られる。さらに、製造の際には、圧力検出素子10を凹部9内に嵌め込むだけで、精度良く簡単に位置決めを行うことができる。
圧力検出素子10は、例えば、Si素子、SOI素子から構成されており、圧力が加わった際の歪みに応じた電気信号を出力するように構成されている。このように、後端側中軸8に凹部9を設け、後端側中軸8に軸方向に直行する断面における断面積の少ない領域、つまり圧力による歪みの起き易い領域を設けてそこに圧力検出素子10を設けることにより、検出感度を高めることができる。この点については、後で詳述する。
上記のように、後端側中軸8の凹部9内に、Si素子、SOI素子からなる圧力検出素子10を搭載した場合、後端側中軸8の材質は、シリコンと熱膨張係数の近いものとすることが好ましく、例えば熱膨張係数が、1.0〜7.0のものを使用することが好ましい。具体的には、例えば、KOVAR(商品名)、INVAR(商品名)等を使用することができる。これによって、熱膨張差により破断が生じて接合不能となったり、圧力検出素子に過剰に残留応力が生じて、この残留応力によって正確に圧力検知ができなくなることを防止することができる。また、後端側中軸8の熱膨張係数が大きいと、後端側中軸8の温度による変位が大きくなり、その変位を圧力として検知するため、温度特性が悪化することになるが、このような事態が生じることを防止することができる。なお、中軸は、1つの部材から構成されていても良く、その場合には、中軸をシリコンと熱膨張係数の近いものとすることが好ましい。
なお、本実施形態では、圧力検出素子10が設けられた凹部9の裏面側の凹部9にダミー素子11が設けられている。このダミー素子11は、圧力検出素子10と略同様な材質及び外形を有し、表裏の構造を対称とするものであるが、これによって、後端側中軸8は均一に歪みが発生する。また、このダミー素子11は、必ずしも設ける必要はない。
後端側中軸8の後端部分には、円板状のフランジ部14が形成されており、このフランジ部14の両面を挟むように、環状に形成された環状絶縁部材15,16が設けられている。そして、主体金具1の後端部に、キャップ部17を冠着することによって、主体金具1とキャップ部17との間に、環状絶縁部材15,16を介してフランジ部14を保持するようになっている。
圧力検出素子10よりさらに後端側の後端側中軸8には、圧力検出素子10からの出力信号を処理するための電子回路12が搭載されている。そして、この電子回路12のさらに後端側には、リード13が設けられている。そして、ヒータ4の圧力印加部44に燃焼ガスによって圧力が加わると、先端側中軸7を介して後端側中軸8に圧力が伝わる。後端側中軸8はフランジ部14にて主体金具1に固定されているので、後端側中軸8に伝わった圧力によって、後端側中軸8には歪みが生じる。その歪みによって、圧力検出素子10から圧力検出信号が発生し、この圧力検出信号が電子回路12によって処理され、リード13を介して外部に導出されるようになっている。この信号は、ECUなどの制御機器に入力され、機関(エンジン)内における燃焼圧の変化が検知される。
また、図1に示すように、ヒータ4の後端側周囲と主体金具1との間には、気密封止材(例えば、滑石等)18が設けられており、これらの間の気密性を確保するようになっている。なお、ヒータ4及び先端側中軸7は、ヒータ4の先端部に加わる燃焼圧力によって、軸方向に僅かにスライドできるように構成することが好ましい。このように構成すれば、製作時に全体として中軸6に歪(予圧)が生じないので、圧力検出素子10に対する予圧管理が不要となり、圧力検出素子10による燃焼圧の検出精度を向上させることができる。この場合、ヒータ4は、シース5内でスライド可能としても良く、また、シース5と共に主体金具1に対してスライド可能としても良い。また、他気筒燃焼などによるシリンダヘッド変形を圧力検出素子が検出することを避けることが可能となり、燃焼圧力の検出精度を高めることができる。
また、例えば主体金具1の先端側でヒータ4及びシース5を固定保持すると共に、前述したとおり後端側のフランジ部14で後端側中軸8を固定保持し、これらの2点で保持固定する構成とすることもできる。この場合、全体として中軸6に歪み(予圧)が生じるため、製作時に圧力検出素子10に対する予圧管理が必要となる。
上記した圧力検出素子10は、例えば、Siウエハから、図5に示すような工程によって製造することができる。
すなわち、図5(a)に示すSiウエハ(例えば、(100)基板、厚み400μm、抵抗値10〜20Ω・cm、N型)100に、まず、図5(b)に示すように酸化膜101(膜厚例えば100nm)を形成した後、矩形のピエゾ抵抗体形状と直線の温度センサ形状にパターニングする。
次に、イオン注入装置により、Siウエハ100の表層にボロンをドーピングし(ボロン濃度例えば1×1018〜3×1020atom/cm3)、この後、アニール(例えば、窒素雰囲気中、温度950℃で30分)することによって図5(c)に示すようにピエゾ抵抗及び温度センサ102を形成する。
次に図5(d)に示すように、ピエゾ抵抗及び温度センサ102の保護膜として、HTO膜103を成膜し(例えば、成膜ガス:SiH2Cl2+N2O、温度900℃、膜厚300nm)、図5(e)に示すようにHTO膜103にコンタクトホール104を形成した後、このコンタクトホール104の部分に図5(f)に示すようにパッド105(例えば、Pt/TiN/PtSi)を形成する。
また、圧力検出素子10は、例えば、SOIウエハから、図6に示すような工程によって製造することができる。
すなわち、図6(a)に示すように表面側(図中上側)から順に活性層(例えば、(100)基板、厚み400μm、抵抗値10〜20Ω・cm、P型)、中間層(例えば、厚み1μm)、支持層(例えば、厚み525μm、抵抗値10〜20Ω・cm、P型)を有するSOIウエハ200を用い、まず、図6(b)に示すように、イオン注入装置により、SOIウエハ200の活性層にボロンをドーピング(ボロン濃度例えば1E18〜3E20atom/cm3)し、アニール(例えば、窒素雰囲気中、温度1000℃で5時間)することによってピエゾ抵抗202及び温度センサを形成する。
次に、活性層上にレジストを矩形の抵抗体と直線の温度センサの形状にパターニングした後、レジストをマスクとして活性層のシリコンをピエゾ抵抗体と温度センサの部分だけを残してエッチング(例えばRIE)し、図6(c)に示すように誘電体分離を行う。
次に図6(d)に示すように、ピエゾ抵抗及び温度センサ202の保護膜として、HTO膜203を成膜し(例えば、成膜ガス:SiH2Cl2+N2O、温度900℃、膜厚300nm)、図6(e)に示すようにHTO膜203にコンタクトホール204を形成した後、このコンタクトホール204の部分に図6(f)に示すようにパッド205(例えば、Pt/TiN/PtSi)を形成する。
本実施形態の燃焼圧力センサ付きグロープラグ100では、上記のようにして形成された圧力検出素子10を、中軸6を構成する後端側中軸8に搭載した構成となっているので、構成部品の数を少なくすることができ、また従来に比べて小型化を図ることができる。圧力検出素子10の後端側中軸8に対する固定は、例えば、ガラスペースト等からなる接着剤によって行う。これによって、凹部9と圧力検出素子10との間には、接着剤層と圧力検出素子10とがその軸線方向に隙間なく配置された構造となっており、これらの構造物(接着剤層と圧力検出素子10)によって実質的に凹部9の部分が補強されている。なお、凹部9と圧力検出素子10との間に充填される接合部材は、剛性の高い物質で構成されることが好ましい。
また、本実施形態では、圧力検出素子10からの出力信号を処理するための電子回路12についても、中軸6を構成する後端側中軸8に搭載した構成となっているので、さらに構成部品点数の削減と小型化を図ることができる。
また、前述したように、後端側中軸8に凹部9を設け、後端側中軸8に断面積の少ない領域、つまり圧力による歪みの起き易い領域を設けてそこに圧力検出素子10を設けている。これによって、圧力の検出感度を高めることができる。すなわち、燃焼圧力センサ付きグロープラグ100では、ヒータ4の先端部分が圧力印加部となり、この部分に加わった圧力により、中軸6(先端側中軸7及び後端側中軸8)内に応力が発生する。この応力が大きいほど、生ずる歪の大きさも大きくなる。また、この応力は、圧力印加部44の後端45の面積(軸方向に直交する断面積)が大きいほど大きくなり、応力検出部位の中軸6の軸方向に直交する断面積が小さいほど大きくなる。そこで、本実施形態では、凹部9を設け、この部分の軸方向に直交する断面積を小さくし、この凹部9内に圧力検出素子10を設けることによって、圧力検出感度の向上を図っている。また、凹部9の(軸方向に直交する)断面積を、圧力印加部44の後端45の(軸方向に直交する)断面積より小さくすることで、凹部9に発生する応力を大きくすることができ、燃焼圧力の検出感度を効果的に向上させることができる。
図7の曲線Aは、後端側中軸8の材質をKOVARとして、圧力印加部に20MPaの応力を燃焼室側から印加した時の応力解析により求めたもので、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」と、中軸内の発生応力(MPa)との関係を示したものである。この曲線Aに示されるとおり、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」が小さくなるほど発生応力は大きくなる。
また、図7の曲線Bは、圧力印加部に20MPaの応力を燃焼室側から印加した時の圧力検出素子(図5,6に記載の素子)の抵抗変化率を測定することにより求めたもので、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」と凹部内に設けた圧力検出素子(歪みゲージ)の抵抗変化率(%)との関係を示したものである。この曲線Bに示されるとおり、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」が小さくなるほど抵抗変化率(絶対値)は大きくなる。圧力検出素子によって圧力を検出する場合、圧力印加時の抵抗変化率が0.8以上あれば十分な感度を得ることができる。このため、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」は、0.75以下とすることが好ましい。
一方、中軸の材質がKOVARの場合、その耐力は、345〜400MPa程度である。このため、疲労強度を、耐力の最小値側(345MPa)の1/3とすると、110MPa程度となる。したがって、発生応力の上限をこの疲労強度110MP以下とすると、耐久性を確保することができるので、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」は、0.35以上とすることが好ましい。
以上から、後端側中軸8の材質をKOVARとした場合、「凹部断面積/圧力印加部の後端の断面積」は、図7に双方向矢印で示す範囲の0.35〜0.75の範囲とすることが好ましい。これによって、十分な圧力検出感度が得られるとともに、耐久性も確保することができる。
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることは言うまでもない。
1……主体金具、4……ヒータ、6……中軸、7……先端側中軸、8……後端側中軸、9……凹部、10……圧力検出素子、12……電子回路、100……燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
Claims (7)
- 軸方向に沿って延びるとともに、筒状に形成された主体金具と、
先端部が前記主体金具の先端から突出するようにして、当該主体金具内に配置されたヒータと、
前記ヒータの後方に位置し、該ヒータと機械的に接続されるとともに、前記主体金具に保持された中軸と、
前記中軸の側部に配置され、内燃機関の燃焼圧に応じて生じる該中軸の歪みを検出することにより、燃焼圧を検出する圧力検出素子と、
を具備したことを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。 - 請求項1記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記圧力検出素子の出力信号を処理する電子回路が、前記中軸の側部に配置されていることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。 - 請求項1又は2記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記中軸は、前記圧力検出素子の少なくとも一部が配置されるとともに、径方向内側に窪む凹部を有していることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。 - 請求項3記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記ヒータは、燃焼室内に晒されるとともに、燃焼ガスによって圧力が印加される圧力印加部を有しており、
前記凹部を通って軸方向に直行する断面積が、前記圧力印加部の後端の軸方向に直交する断面積より小さくされていることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。 - 請求項3又は4記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、前記凹部と前記圧力検出素子との間に、接合部材が充填されていることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
- 請求項1〜5いずれか1項記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記圧力検出素子が、Si型圧力検出素子、又はSOI型圧力検出素子であることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。 - 請求項6記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記中軸は、前記圧力検出素子が配置される圧力検出素子配置部材と、その他の少なくとも1つ以上の部材とから構成され、
前記圧力検出素子配置部材の構成材料の熱膨張係数が、1.0〜7.0であることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
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