JP5748257B2 - エンジン内部の圧力などを計測するための高温用圧力センサ・エレメント、その製造方法、及びエンジンの部品 - Google Patents
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Description
Claims (17)
- 内部空間(12)が設けられたサブストレート(11)と、
前記内部空間(12)を外部空間から区画しており、作用中に外部圧力が変動したならば変形を生じるようにした、変形可能なメンブレン(13)と、
前記メンブレン(13)上に設けられた、前記メンブレン(13)の変形量を測定するための歪み測定エレメント(14a、14b、14c)と、
前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)と前記メンブレン(13)との間を絶縁するように設けられた絶縁層(5)と、
を備えた、高温用圧力センサ・エレメント(10;20)において、
前記サブストレート(11)、前記メンブレン(13)、及び、前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)が同一の高温安定性材料により製作され、
前記高温安定性材料はニッケル系合金材料であり、前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)は、該ニッケル系合金材料で作られた薄膜導体パターンの形のストレインゲージであり、
前記絶縁層(5)は、窒化ホウ素(BN)、酸化マグネシウム(MgO)、または酸化アルミニウム(Al2O3)を材料として成膜され、或いはまた、以上の材料を組合せて成膜され、
前記内部空間(12)は、前記高温安定性材料と同一材料により製作された封止材(18)によって閉塞されて密閉状態とされている
ことを特徴とする高温用圧力センサ・エレメント。 - 前記ニッケル系合金材料は「Haynes 230」(登録商標)であることを特徴とする請求項1記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 更に、前記サブストレート(11)、前記メンブレン(13)、及び、前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)が嵌装されるハウジングを備え、該ハウジングも前記高温安定性材料と同一材料で製作されていることを特徴とする請求項1又は2記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 前記変形可能なメンブレン(13)と、前記サブストレート(11)とが、ワンピース部品として形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- タービン部品に一体的に組込まれることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 前記絶縁層(5)の材料及び成膜方法と同一の材料及び成膜方法により前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)上に成膜したパッシベーション層を備えていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 前記絶縁層(5)は、前記高温安定性材料の熱膨張係数と近似した熱膨張係数を有することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 前記絶縁層(5)は、層の成膜後に酸化処理またはアニール処理が施されることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 前記絶縁層(5)は、スパッタリング法、蒸着法、またはゾルゲル法を用いて、前記メンブレン(13)上に成膜されたものであることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント。
- 請求項1乃至9の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメントの使用方法において、エンジンの高温用圧力センサに用いることを特徴とする使用方法。
- エンジン部品において、該エンジンの内部の圧力を計測するために請求項1乃至9の何れか1項記載の圧力センサ・エレメントが該エンジン部品に一体的に組込まれていることを特徴とするエンジン部品。
- 内部空間(12)が設けられたサブストレート(11)を用意するステップと、
前記サブストレート(11)上に、絶縁層(5)を成膜するステップと、
前記絶縁層(5)上に、歪み測定エレメント(14a、14b、14c)を形成するための有感層を成膜してパターニングを施すステップと、
前記サブストレート(11)の一部分によって、変形可能なメンブレン(13)を形成し、結果として、前記メンブレン(13)の変形量を測定するための前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)を前記メンブレン(13)上に設けるステップと、
を含む、高温用圧力センサ・エレメントの製造方法において、
前記サブストレート(11)、前記メンブレン(13)、及び、前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)を同一の高温安定性材料により製作し、
前記高温安定性材料はニッケル系合金材料であり、前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)を、該ニッケル系合金材料で作られた薄膜導体パターンの形のストレインゲージとして製作し、
前記絶縁層(5)を、窒化ホウ素(BN)、酸化マグネシウム(MgO)、または酸化アルミニウム(Al2O3)を材料として成膜し、或いはまた、以上の材料を組合せて成膜し、
前記内部空間(12)は、前記高温安定性材料と同一材料により製作された封止材(18)によって閉塞し密閉状態とする
ことを特徴とする方法。 - 「Haynes 230」(登録商標)をスパッタリング・ターゲットとして使用することによって、当該材料を、スパッタリング法により成膜する薄膜の材料とすることを特徴とする請求項12記載の方法。
- 前記サブストレート(11)に背面側から加工を施して、前記サブストレート(11)によって前記変形可能なメンブレン(13)を形成し、もって、前記サブストレート(11)に凹部が形成されるようにすることを特徴とする請求項12又は13記載の方法。
- 前記メンブレン(13)の背面(17)に前記内部空間(12)が設けられ、且つ、計測が行われているときに前記内部空間(12)が閉塞されて密閉状態とされているように、前記サブストレート(11)を形成することを特徴とする請求項12乃至14の何れか1項記載の方法。
- 前記サブストレート(11)、前記メンブレン(13)、及び、前記歪み測定エレメント(14a、14b、14c)からなるセンサ・エレメントをハウジングに直に溶接して取付けることを特徴とする請求項12乃至15の何れか1項記載の方法。
- 請求項1乃至9の何れか1項記載の高温用圧力センサ・エレメント(10;20)の使用方法において、前記高温安定性材料と同一材料により、または、ニッケル系合金により製作されているエンジンに用いることを特徴とする使用方法。
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---|---|---|---|---|
US3071745A (en) * | 1961-08-25 | 1963-01-01 | Statham Instrument Inc | Pressure sensitive diaphragms with stress null zone oriented bridge patterns |
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JPH0363537A (ja) * | 1989-07-31 | 1991-03-19 | Smc Corp | 圧力センサ |
DE69021379T2 (de) | 1990-07-27 | 1996-04-04 | Data Instr Inc | Verfahren zur Herstellung eines Druckwandlers. |
US5165283A (en) * | 1991-05-02 | 1992-11-24 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | High temperature transducers and methods of fabricating the same employing silicon carbide |
US5406852A (en) | 1992-03-18 | 1995-04-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Pressure sensor having a resistor element on a glass dryer with electrodes connected thereto |
GB9211783D0 (en) * | 1992-06-04 | 1992-07-15 | Ici Plc | Amide derivatives |
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DE19644830C1 (de) * | 1996-10-29 | 1998-02-19 | Daimler Benz Ag | Membran-Drucksensorchip |
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US6058782A (en) * | 1998-09-25 | 2000-05-09 | Kulite Semiconductor Products | Hermetically sealed ultra high temperature silicon carbide pressure transducers and method for fabricating same |
JP2000292295A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-20 | Tokin Corp | 密閉容器の内部圧力検出用センサ |
JP3546151B2 (ja) * | 1999-04-28 | 2004-07-21 | 長野計器株式会社 | 歪み検出素子及び歪み検出素子製造方法 |
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US7313965B2 (en) * | 2004-12-27 | 2008-01-01 | General Electric Company | High-temperature pressure sensor |
US20080297808A1 (en) * | 2005-12-06 | 2008-12-04 | Nabeel Agha Riza | Optical Sensor For Extreme Environments |
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US7516668B2 (en) * | 2006-06-29 | 2009-04-14 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Silicon carbide piezoresistive pressure transducer and method of fabrication |
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