JP2007194287A - 圧縮成形による樹脂封止装置及び樹脂封止方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体等を組み込んだ被封止部材16を、樹脂18を圧縮成形することによって封止する樹脂封止装置12において、圧縮成形の際に、樹脂18に対する圧力を、例えば50kPa以上の振幅で変動させる駆動装置(圧力変動手段)32を備え、且つ樹脂封止に用いる金型のうち、下型22(枠状金型24及び圧縮金型26)をテフロン(登録商標)を基材とする素材にて製作する。
【選択図】図1
Description
16…セラミック基板(被封止部材)
18…樹脂(封止材料)
20…上型
22…下型
24…枠状金型
26…圧縮金型
30…ばね
32…駆動装置(圧力変動手段)
Claims (5)
- 半導体等を組み込んだ被封止部材を、樹脂を圧縮成形することによって封止する樹脂封止装置において、
前記圧縮成形の際に、前記樹脂に対する圧力を変動させる圧力変動手段を備えた
ことを特徴とする圧縮成形による樹脂封止装置。 - 半導体等を組み込んだ被封止部材を、樹脂を圧縮成形することによって封止する樹脂封止装置において、
前記圧縮成形の際に、前記樹脂に対する圧力を変動させる圧力変動手段を備え、且つ
前記樹脂封止に用いる金型をテフロン(登録商標)を基材とする素材にて製作した
ことを特徴とする圧縮成形による樹脂封止装置。 - 請求項1または2において、
前記圧力変動の振幅が、50kPa以上であることを特徴とする圧縮成形による樹脂封止装置。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記圧力変動手段が、前記圧力変動の振幅および周波数のうち少なくとも一方を時間と共に変化させることが可能な構成とされた
ことを特徴とする圧縮成形による樹脂封止装置。 - 半導体等を組み込んだ被封止部材を、樹脂を圧縮成形することによって封止する樹脂封止方法において、
前記圧縮成形の際に、前記樹脂に対する圧力を変動させ、且つ
該圧力変動の振幅及び周波数の少なくとも一方を、時間と共に変化させる
ことを特徴とする圧縮成形による樹脂封止方法。
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