JP2007185042A - リニアモータ及びその製造方法及びこのリニアモータを用いたステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コイル部60は、複数のコイル66をモールド(樹脂材)76により一体化された状態に保持され、カバー部材78の内側にモールド76の表面を覆う金属ケース80を設けた構成とされている。また、カバー部材78の内壁と金属ケース80の表面との隙間には、冷却水が流れる冷却水流路74が形成されている。金属ケース80は、例えば、非磁性で耐食性を有するステンレス板により形成されており、冷却水への熱伝導が良好に行なわれ、冷却効率を高めることができる。
【選択図】図3
Description
(手順1)複数のコイル66を並設する(図4及び図7参照)。この状態では、位置決め治具を用いて各コイル66の相対位置が位置決めされている(第1の工程)。
(手順2)内面に絶縁層81が形成された金属ケース80を用意する。そして、金属ケース80の各構成部材80a〜80fを各コイル66の周囲を覆うように配置する(図8参照)。さらに、各構成部材80a〜80fの突合せ部分を溶接して金属ケース80の内部に複数のコイル66を収納させる。その際、コイル66と金属ケース80内面との間には、隙間83が介在することになる。各構成部材80a〜80fの位置とコイル66の相対位置が治具などにより設定されることで、上記隙間83は、コイル66の全表面と金属ケース80の全内面との間に形成される(第2の工程)。
(手順3)金属ケース80の上部に設けられた充填口90から溶融樹脂材を充填する(図9(A)(B)参照、第3の工程)。
(手順4)リード線86が挿入されたリード線ガイド部材88を金属ケース80に取り付ける(図6参照、第4の工程)。
(手順5)金属ケース80の周囲をカバー部材78により覆う(図10参照)。カバー部材78は、金属ケース80の両側から組み合わされ、上部に突出する充填口90の上端、下部に突出する突起92の下端に接合する。そして、充填口90に金属キャップ94を溶接して充填口90を密閉する(第5の工程)。
(手順6)カバー部材78の両端に溶接によりブロック82,84を接合する(図6参照)。
(手順7)マグネットヨーク部62をコイル部60に組み付ける(図2参照)。これにより、マグネットヨーク部62の永久磁石68がコイル部60に対向する(第6の工程)。これで、リニアモータ20が完成する。
14 ベース
18 スライダ
20 リニアモータ
24 Yスライダ
60 コイル部
62 マグネットヨーク部
66 コイル
68 永久磁石
70 冷却水供給口
72 冷却水排出口
74 冷却水流路
76 モールド
78 カバー部材
80 金属ケース
80a〜80f 構成部材
83 隙間
90 充填口
Claims (6)
- 複数のコイルが樹脂材により保持されたコイル部と、
複数の永久磁石が前記コイル部に対向するように並設されたマグネットヨーク部と、
前記コイル部を覆うカバー部材と、
前記カバー部材の内側に形成され、冷却水の供給により前記コイル部を冷却する冷却水流路と、を有するリニアモータにおいて、
前記カバー部材の内側に前記樹脂材の表面を覆う金属ケースを設け、
前記金属ケースと前記カバー部材との間に前記冷却水流路を形成したことを特徴とするリニアモータ。 - 前記金属ケースは、金属板を溶接で接合して前記コイルの表面形状に対応した形状に構成されたことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 前記金属板は、非磁性材料であることを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ。
- 前記金属ケースの内側と前記樹脂材との間に絶縁材を介在させたことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
- 複数のコイルを並設する第1の工程と、
前記複数のコイルの周囲を所定の隙間を介して金属ケースで覆う第2の工程と、
前記金属ケースと前記複数のコイルとの間に形成された前記隙間に樹脂材を充填する第3の工程と、
前記コイルから引き出されたリード線を引き出すリード線通路を前記金属ケースに取り付ける第4の工程と、
冷却水が供給されるコイル冷却水流路を形成するカバー部材で前記金属ケースの周囲を覆う第5の工程と、
複数の永久磁石が前記コイル部に対向するように前記マグネットヨーク部を取り付ける第6の工程と、
を有することを特徴とするリニアモータの製造方法。 - 請求項1乃至4の何れかに記載のリニアモータをステージの駆動手段に用いたことを特徴とするステージ装置。
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JP4837993B2 JP4837993B2 (ja) | 2011-12-14 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4837993B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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