JP2007184215A - 荷電ビーム照射装置、静電偏向器、静電偏向器の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】静電偏向器において増幅器を減らすことができるほか、信号の演算を不要とすることにより、コストの低減を図る。
【解決手段】荷電ビーム軸Ｏの周囲に点対称に配置される８個所の電極配置領域ａ〜ｈに、電極板組１１０，１２０，１３０，１４０を備えるものとし、各電極板組１１０は複数の電極配置領域に配置される複数の電極板１１１〜１１４を備る。４つの電極板組１１０，１２０，１３０，１４０を配置することによりすべての電極配置領域に電極板を配置し、各電極板組１１０，１２０，１３０，１４０に信号を印加するアンプ１０１，１０２、１０３、１０４を備えた。
【選択図】図３

Description

本発明は、電子ビームを含む荷電ビームを収束して試料上に照射し、ビーム発生源と試料との間に配置した偏向装置により試料上の任意の位置にビームを配置する荷電ビーム照射装置、静電偏向器及び静電偏向器の製造方法に関する。

従来から、荷電ビーム照射装置の偏向器として、以下のものがある。特許文献１には、フランジに８分割した電極を一体加工し、電極支持器に装着してなる静電偏向器が記載されている。即ち、電子線応用装置に用いられる複数の電極，電極支持器，偏向器制御系からなる電子線偏向器において、絶縁物からなる電極素材を軸方向に沿って複数個の電極に、円筒電極素材を円筒状に残すよう分割し、その上で前記各電極及び電子線経路から見える部分をメッキ，スッパタ、及び導電性膜などで被覆することにより、複数の電極を精度良く構成し配置する電子線偏向器、即ち、フランジに８分割した電極を一体加工し、電極支持器に装着してなる静電偏向器が記載されている。

また、特許文献２には、成形偏向器として８個の電極Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｘ＋Ｙ，−Ｘ−Ｙ，Ｙ−Ｘ，Ｘ−Ｙを備えてより構成され、それぞれ、アンプＸ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｘ＋Ｙ，−Ｘ−Ｙ，Ｙ−Ｘ，Ｘ−Ｙに接続されたものが記載されている。

さらに、特許文献３には、静電偏光器を電子ビーム照射装置に使用するものとして、先端ＴＩＰの半径Ｒが０．５〜数μｍの熱電解放射型（ＴＦＥ：Ｔｈｅｒｍａｌ Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）の電子銃（電子ビーム源）が使用される走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、半導体製造・検査装置において、電子ビームを高速に偏向させる静電偏向器が用いられているものが示されている。

しかしながら、上述した各例を含み、従来の偏向器にあっては、８個の電極にそれぞれ、必要な信号を印加するため８個の増幅器を必要としている。

図７に示す静電偏向器３００では、電極は電極ａ、電極ｅをＹ軸上、電極ｃ、電極ｇをＸ軸上に配置し、電極ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に配置している。また、各電極ａ〜ｈには、アンプＡ〜Ｈをそれぞれ接続して、アンプＡには信号ｙ、アンプＢには信号（（ｘ＋ｙ）／√２）、アンプＣには信号（ｘ）、アンプＤには信号（（ｘ−ｙ）／√２））、アンプＥには信号（−ｙ）アンプＦには信号（（−ｘ−ｙ）／√２）、アンプＧには信号（−ｘ）、アンプＨには信号（（−ｘ＋ｙ）／√２）を印加するものとしていた。なお信号ｘ、ｙはビームを所定方向に偏向させるときＸ方向及びＹ方向に加えるべき偏向力を発生させる信号であり、２枚で一組の２組（Ｘ方向，Ｙ方向各１組）合計４枚の平行な平板電極の静電偏向器における信号である。

また、図８に示す静電偏向器４００では、電極は電極ａ、電極ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極ｃ、電極ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極ｅ、電極ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極ｇ、電極ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に順に配置している。また、各電極ａ〜ｈには、アンプＡ〜Ｈをそれぞれ接続して、アンプＡには信号（√２−１）ｙ）、アンプＢには信号(x+(√2-1)y)、アンプＣには信号(x-(√2-1)y)、アンプＤには信号((√2-1)x+y)、アンプＥには信号(-(√2-1)x-y)、アンプＦには信号(-x-(√2-1)y)、アンプＧには信号(-x+(√2-1)y)、アンプＨには信号（-(√2)x+y））を印加するものとしていた。
特開平８−１７１８８１号公報 特開２０００−２６９１２４号公報 特開２００３−１３２８３４号公報

しかし、従来の静電偏向器にあっては、８個所に電極を備えた場合には、各電極に信号を印加する８個のアンプが必要となる。ところが、このような静電偏向器に使用される高速なアンプは高価であるため、全体として静電偏向器のコストが嵩むという問題がある。また、各アンプには信号ｘ，−ｘ，ｙ，-ｙに所定の演算を行う信号演算器を備える必要がある。

そこで、本発明は、静電偏向器において増幅器を減らすことができる他、信号の演算を不要とすることにより、コストの低減を図ることができる静電偏向器を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明では以下の手段を備える。請求項１の発明は、荷電ビーム軸の周囲に点対称で放射状に分割され前記荷電ビーム軸に沿って配置される電極と、これらの電極に偏向信号を印加する増幅器とを備え、入射した荷電ビームを偏向する静電偏向器において、８電極を各々分割し、４つの電極組を形成し、それらの組に対応した４個の増幅器を配置したことを特徴とする静電偏向器である。

請求項２の発明は、前記８電極は、電極配置領域ａに電極＋Ｙを配置し、電極配置領域ｂに電極＋Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃに電極＋Ｘを配置し、電極配置領域ｄに電極＋Ｘと電極ーＹの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅに電極−Ｙを配置し、電極配置領域ｆに電極−Ｘと電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｇに電極−Ｘを配置し、電極配置領域ｈに電極−Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする静電偏向器である。

請求項３の発明は、前記８電極は、電極配置領域ａに長さｈの電極＋Ｙを配置し、電極配置領域ｂに長さｈ／√２の電極＋Ｘと長さｈ／（２√２）の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃに長さｈの電極＋Ｘを配置し、電極配置領域ｄに長さｈ／√２の電極＋Ｘと長さｈ／（２√２）の電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅに長さｈの電極−Ｙを配置し、電極配置領域ｆに長さｈ／√２の電極−Ｘと長さｈ／（２√２）の電極−Ｙの電極を配置し、電極配置領域ｇに長さｈの電極−Ｘを配置し、電極配置領域ｈに長さｈ／√２の電極−Ｘと長さｈ／（２√２）の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする静電偏向器である。

請求項４の発明は、前記８電極は、電極配置領域ａ、ｂに電極＋Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃ、ｄに電極＋Ｘと電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅ、ｆに電極−Ｘと電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｇ、ｈに電極−Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする静電偏向器である。
請求項５の発明は、前記８電極は、電極配置領域ａに長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｘと長さｈ／２の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｂに長さｈ／２の電極＋Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃに長さｈ／２の電極＋Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｄに長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｘと長さｈ／２の電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅに長さ（√２−１）ｈの電極−Ｘと長さｈ／２の電極−Ｙを配置し、電極配置領域ｆに長さｈ／２の電極−Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｇに長さｈ／２の電極−Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｈに長さ（√２−１）ｈの電極−Ｘと長さｈ／２の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする静電偏向器である。

請求項６の発明は、前記８電極の各々の配置領域は、電極配置領域ａ、電極配置領域ｅをＹ軸上、電極配置領域ｃ、電極配置領域ｇをＸ軸上に配置し、電極配置領域ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極配置領域ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に配置することを特徴とする静電偏向器である。

請求項７の発明は、前記８電極の各々の配置領域は、電極配置領域ａ、電極配置領域ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極配置領域ｃ、電極配置領域ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｅ、電極配置領域ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｇ、電極配置領域ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に順に配置することを特徴とする静電偏向器である。

請求項８の発明は、前記４つの電極組は、各々配線で結合されていることを特徴とする静電偏向器である。

請求項９の発明は、前記４つの電極組は、各々結合され一体成形の電極板に形成されていることを特徴とする静電偏向器である。

請求項１０の発明は、前記４つの増幅器は、前記荷電ビーム軸に垂直な面に設定される直行するＸ−Ｙ軸に対応して、それぞれ符号が異なり絶対値が等しいＸ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ成分の偏向信号を各電極組に印加することを特徴とする静電偏向器である。

請求項１１の発明は、請求項１ないし８のいずれかの静電偏向器を備えたことを特徴とする荷電ビーム照射装置である。

請求項１２の発明は、上端に絶縁体への取付用のフランジ部を形成した略回転体状の電極素材に、その母線に沿った方向に複数のスリットを形成しておき、前記フランジ部を前記絶縁体に結合した後、前記スリットに連通するよう電極素材を切断加工して、電気的に分離した複数の電極部材から構成して、請求項１ないし７、９、１０の静電偏向器の電極を製造することを特徴とする静電偏向器の製造方法である。

請求項１３の発明は、前記切断加工は、放電加工でなされることを特徴とする静電偏向器の製造方法である。

本発明によれば、例えば８極の静電偏向器であっても増幅器の数を４つにすることができ、アンプの数を減らすことができるほか、信号の演算を行う必要がなくなるので静電偏向器の製造コストを削減することができる。

以下、本発明に係る荷電ビーム照射装置の実施の形態について説明する。図１は実施の形態に係る荷電ビーム照射装置の構造を示す断面図、図２は図１に示した荷電ビーム照射装置の電極の配置位置を示す静電偏向器の横断面図、図３は図２に示した静電偏向器の電極の構成と増幅器の接続状態を示す展開図、図４は図２に示した静電偏向器における荷電ビームの軌跡と共に示した静電偏向器の縦断面図である。

本例に係る荷電ビーム照射装置は、走査電子顕微鏡などであり、本発明に係る静電偏向器を備える。この走査電子顕微鏡は、鏡筒１０内上部の電子線源１１から発生した電子線４１を、アライメントコイル１２（第1偏向手段）、スティグコイル１３（第２偏向手段）で偏向させ、対物レンズコイル１４（倍率調整手段）で倍率調整し、試料を走査する。そして、試料２１から発生する二次電子、反射電子などの荷電粒子４２を検出器３０で検出し、図示しないモニター等の画像表示手段で試料像を表示し観察する。

本例では、静電偏向器１００は、図２に示すように、電子ビーム軸Ｏに垂直な平面で前記電子ビーム軸Ｏを原点とするＸ−Ｙ平面上に軸対象に８個所の電極配置領域ａ〜ｈを設定している。ここで、電子ビーム軸Ｏを原点とするＸ−Ｙ平面は、いわば試料面上の座標である。即ち、本例では、各電極配置領域ａ〜ｈは、電子ビーム軸Ｏから略４５°をなす角度で設けられ、電極配置領域ａ、電極配置領域ｅをＹ軸上、電極配置領域ｃ、電極配置領域ｇをＸ軸上に配置し、電極配置領域ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極配置領域ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に配置している。したがって、Ｙ軸上で電子線をふらせる場合には、電極ａ、電極ｅのみに印加するように増幅器で電気信号を増幅させる。同様に、Ｘ軸上で電子線をふらせる場合には、電極ｃ、電極ｇを用いる。その他方向は、各々の電極を組み合わせて行う。

そして、本例ではこれらの電極配置領域ａ〜ｈに、それぞれ増幅器であるアンプ１０１，１０２，１０３，１０４のいずかが接続された４つの電極板組１１０，１２０，１３０，１４０を配置して、各電極配置領域ａ〜ｈに電極が配置されるようにしている。Ｎ＝８、ｎ＝２としてアンプである増幅器の数を４個としている。そして、アンプ１０１には信号ｙ、アンプ１０２には信号ｘ、アンプ１０３には信号−ｙ、アンプ１０４には信号−ｘを入力して増幅するようにしている。ここで、信号ｘ、ｙは荷電ビームを所定方向に偏向させるときＸ方向及びＹ方向に加えるべき偏向力を発生させる信号であり、２枚で一組で２組（Ｘ方向，Ｙ方向各１組）合計４枚の平行な平板電極の静電偏向器における信号と同じである。

次に、これら電極板組１１０，１２０，１３０，１４０について説明する。各電極板組１１０，１２０，１３０，１４０は同じ構成を備えるので、その１つである電極板組１１０を例として説明する。

本例において、電極板組１１０はそれぞれ幅ｗの４枚の電極板１１１，１１２，１１３，１１４を備えており、各電極板１１１，１１２，１１３，１１４は一体に成型され、接続部１１５で連結されている。

本例では、電極板１１１は高さｈであり、図中右側には高さｈ／√２の電極板１１２がその横側に配置され、さらに左側には高さｈ／２√２の２枚の電極板１１３，１１４がその上下位置に配置される。電極板組１１０は、このような構成により電極板１１１を電極配置領域ａに配置したとき、電極板１１２は電極配置領域ｂ、電極板１１３，１１４は高さ電極配置領域ｈに配置される。また、他の電極板組１２０、１３０、１４０も同様に、電極板１２１，１２２，１２３，電極板１３１，１３２，１３３、１３４、電極板１４１，１４２，１４３，１４４を備え、電極板組１１０〜１４０を所定位置に配置したとき、電極配置領域ａには、電極板１１１、電極配置領域ｂには電極板１２３，１２４及び電極板１１２が配置され、電極配置領域ｂには電極板１２３，１２４及び電極板１２２が配置されることになる。他の電極配置領域にも同様に1枚または３枚の電極板が配置されることとなる。

次に本例に係る静電偏向器１００の製造方法について説明する。本例では、電極板組１１０〜１４０はそれぞれ一体に成形されている。本例では上端部に絶縁体への取付用のフランジ部を形成した略円筒状の電極素材に、その母線に沿った方向に複数のスリットを形成しておき、前記フランジ部を前記絶縁体に結合した後、前記スリットに連通するよう電極素材を放電加工で切断して、電気的に分離した複数の電極部材からなる電極組を製造するようにしている。このように製造することにより、電極組を位置決めのための部材を使用することなく、高精度でかつ容易に製造することができる。

このように構成された静電偏向器１００では、例えば電極配置領域ｂ及び電極配置領域ｆを通る断面について電子ビームの軌跡を見ると、図４に示すように、電極板１２３と電極板１４３との間、電極板１４４と電極板１２３との間で屈折するように電子ビームは進行するが、実際には、電極板１３２、１１２の真ん中が電極板の重心であるため、電極板１３２、１１２の真ん中で電子ビームが偏向される。

従って本例によれば、静電偏向器１００の電極板組１１０，１２０，１３０，１４０を以上のように構成したので、増幅器であるアンプの数を４個と電極配置領域の数８の２分の１とすることができる他、増幅器に入力する信号を演算処理する必要がなくなり、静電偏向器１００のコストを低減することができる。

次に本発明に係る静電偏向器の他の例について説明する。本例に係る静電偏向器２００は、第１の例と同様に増幅器を４個であるアンプ１０１，１０２，１０３，１０４としている。また、本例では電極配置領域ａ〜ｈは、図５に示すように電極配置領域ａ、電極配置領域ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極配置領域ｃ、電極配置領域ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｅ、電極配置領域ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｇ、電極配置領域ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に順に配置している。第１の例と同様に、Ｘ軸上で電子線をふらせる場合には、電極ａ〜ｈを組み合わせて印加するように増幅器で電気信号を増幅させる。同様に、Ｙ軸上で電子線をふらせる場合にも、電極ａ〜ｈを組み合わせて行う。

また、本例でも静電偏向器２００は４組の電極板組２１０，２２０，２３０，２４０を備える。各電極板組２１０〜２４０にはそれぞれ増幅器であるアンプ１０１，１０２、１０３、１０４が接続されている。各電極板組２１０，２２０，２３０，２４０は同じ構成を備えるので、その１つである電極板組２１０を例として説明する。電極板組２１０はそれぞれ電気的に連結されたそれぞれ幅ｗの６枚の電極板２２１，２１２，２１３，２１４，２１５，２１６からなる。

電極板２１１、２１２は高さ（√２―１）ｈであり、２つの電極配置領域ｂ，ｃを挟んで電極配置領域ａ及び電極配置領域ｄに配置される。電極板２１３，２１４は電極配置領域ｂの上下部に配置され、高さ０．５ｈである。同様に電極板２１５，２１６は電極配置領域ｃの上下部に配置され、高さ０．５ｈである。

極板組２１０は、このような構成により電極板２１１を電極配置領域ａに配置したとき、電極板２１２は電極配置領域ｄ、電極板２１３，２１４は電極配置領域ｂ、電極板２１５，１２６は電極配置領域ｃに配置される。また、他の電極板組２２０、２３０、２４０も同様に、電極板２２１〜２２６、電極板２３１〜２３６、電極板２４１〜２４６を備え、電極板組２１０〜２４０を所定位置に配置したとき、すべての電極配置領域ａ〜ｈに、３枚の電極板が配置されることになる。

また、本例に係る電極板組２１０〜２４０は上述した製造方法で製造することができ、この方法で製造することにより、電極組を位置決めのための部材を使用することなく、高精度でかつ容易に製造することができる

従って本例によれば、静電偏向器２００の電極板組２１０〜２４０を以上のように構成したので、増幅器であるアンプの数を４個と電極配置領域の数８の２分の１とすることができる他、増幅器に入力する信号を演算処理する必要がなくなり、静電偏向器２００のコストを低減することができる。

実施の形態に係る荷電ビーム照射装置の構造を示す断面図である。 図１に示した荷電ビーム照射装置の電極の配置位置を示す静電偏光器の横断面図である。 図２に示した静電偏向器の電極の構成と増幅器の接続状態を示す展開図である。 図２に示した静電偏向器における荷電ビームの軌跡と共に示した静電偏向器の縦断面図である。 他の例に係る荷電ビーム照射装置の電極の配置位置を示す静電偏向器の横断面図である。 図５に示した静電偏向器の電極の構成と増幅器の接続状態を示す展開図である。 従来の静電偏向器の電極の配置状態と増幅器の接続状態を示す静電偏向器の横断面図である。 従来の他の例に係る静電偏向器の電極の配置状態と増幅器の接続状態を示す静電偏向器の横断面図である。

符号の説明

１００・・・静電偏向器
１０１，１０２、１０３、１０４・・・アンプ
１１０，１２０，１３０，１４０・・・電極板組
１１１，１１２，１１３，１１４・・・電極板
１１５・・・接続部
１２１，１２２，１２３，１２４・・・電極板
１３１，１３２，１３３，１３４・・・電極板
１４１，１４２，１４３，１４４・・・電極板
２００・・・静電偏向器
２１０，２２０，２３０，２４０・・・電極板組
２２１〜２１６・・・電極板
２２１〜２２６・・・電極板
２３１〜２３６・・・電極板
２４１〜２４６・・・電極板

Claims (13)

1. 荷電ビーム軸の周囲に点対称で放射状に分割され前記荷電ビーム軸に沿って配置される電極と、これらの電極に偏向信号を印加する増幅器とを備え、入射した荷電ビームを偏向する静電偏向器において、
   ８電極を各々分割し、４つの電極組を形成し、それらの組に対応した４個の増幅器を配置したことを特徴とする静電偏向器。
2. 前記８電極は、電極配置領域ａに電極＋Ｙを配置し、電極配置領域ｂに電極＋Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃに電極＋Ｘを配置し、電極配置領域ｄに電極＋Ｘと電極ーＹの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅに電極−Ｙを配置し、電極配置領域ｆに電極−Ｘと電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｇに電極−Ｘを配置し、電極配置領域ｈに電極−Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする請求項１に記載の静電偏向器。
3. 前記８電極は、電極配置領域ａに長さｈの電極＋Ｙを配置し、電極配置領域ｂに長さｈ／√２の電極＋Ｘと長さｈ／（２√２）の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃに長さｈの電極＋Ｘを配置し、電極配置領域ｄに長さｈ／√２の電極＋Ｘと長さｈ／（２√２）の電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅに長さｈの電極−Ｙを配置し、電極配置領域ｆに長さｈ／√２の電極−Ｘと長さｈ／（２√２）の電極−Ｙの電極を配置し、電極配置領域ｇに長さｈの電極−Ｘを配置し、電極配置領域ｈに長さｈ／√２の電極−Ｘと長さｈ／（２√２）の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする請求項１に記載の静電偏向器。
4. 前記８電極は、電極配置領域ａ、ｂに電極＋Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃ、ｄに電極＋Ｘと電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅ、ｆに電極−Ｘと電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｇ、ｈに電極−Ｘと電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする請求項１に記載の静電偏向器。
5. 前記８電極は、電極配置領域ａに長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｘと長さｈ／２の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｂに長さｈ／２の電極＋Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｃに長さｈ／２の電極＋Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｄに長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｘと長さｈ／２の電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｅに長さ（√２−１）ｈの電極−Ｘと長さｈ／２の電極−Ｙを配置し、電極配置領域ｆに長さｈ／２の電極−Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極−Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｇに長さｈ／２の電極−Ｘと長さ（√２−１）ｈの電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置し、電極配置領域ｈに長さ（√２−１）ｈの電極−Ｘと長さｈ／２の電極＋Ｙの少なくとも２つの電極を配置してなることを特徴とする請求項１に記載の静電偏向器。
6. 前記８電極の各々の配置領域は、電極配置領域ａ、電極配置領域ｅをＹ軸上、電極配置領域ｃ、電極配置領域ｇをＸ軸上に配置し、電極配置領域ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極配置領域ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に配置することを特徴とする請求項１ないし３に記載の静電偏向器。
7. 前記８電極の各々の配置領域は、電極配置領域ａ、電極配置領域ｂを（＋Ｘ，＋Ｙ）方向、電極配置領域ｃ、電極配置領域ｄを（＋Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｅ、電極配置領域ｆを（−Ｘ，−Ｙ）方向、電極配置領域ｇ、電極配置領域ｈを（＋Ｘ，−Ｙ）方向に順に配置することを特徴とする請求項１、４または５に記載の静電偏向器。
8. 前記４つの電極組は、各々配線で結合されていることを特徴とする請求項１ないし７に記載の静電偏向器。
9. 前記４つの電極組は、各々結合され一体成形の電極板に形成されていることを特徴とする請求項１ないし７に記載の静電偏向器。
10. 前記４つの増幅器は、前記荷電ビーム軸に垂直な面に設定される直行するＸ−Ｙ軸に対応して、それぞれ符号が異なり絶対値が等しいＸ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ成分の偏向信号を各電極組に印加することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかの静電偏向器。
11. 請求項１ないし８のいずれかの静電偏向器を備えたことを特徴とする荷電ビーム照射装置。
12. 上端に絶縁体への取付用のフランジ部を形成した略回転体状の電極素材に、その母線に沿った方向に複数のスリットを形成しておき、前記フランジ部を前記絶縁体に結合した後、前記スリットに連通するよう電極素材を切断加工して、電気的に分離した複数の電極部材から構成して、請求項１ないし７、９、１０の静電偏向器の電極を製造することを特徴とする静電偏向器の製造方法。
13. 前記切断加工は、放電加工でなされることを特徴とする請求項１２の静電偏向器の製造方法。