JP2007183105A - ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 - Google Patents

ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007183105A
JP2007183105A JP2005380692A JP2005380692A JP2007183105A JP 2007183105 A JP2007183105 A JP 2007183105A JP 2005380692 A JP2005380692 A JP 2005380692A JP 2005380692 A JP2005380692 A JP 2005380692A JP 2007183105 A JP2007183105 A JP 2007183105A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rolling
rolling element
strain
optical fiber
laser light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005380692A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Nagatomo
貴史 永友
Yoshiaki Okamura
吉晃 岡村
Hiroya Terada
泰也 寺田
Yukio Nishiyama
幸夫 西山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Railway Technical Research Institute
Original Assignee
Railway Technical Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Railway Technical Research Institute filed Critical Railway Technical Research Institute
Priority to JP2005380692A priority Critical patent/JP2007183105A/ja
Publication of JP2007183105A publication Critical patent/JP2007183105A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/52Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
    • F16C19/522Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions related to load on the bearing, e.g. bearings with load sensors or means to protect the bearing against overload
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/34Rollers; Needles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/22Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings
    • F16C19/24Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for radial load mainly
    • F16C19/26Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for radial load mainly with a single row of rollers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)

Abstract

【課題】ころ軸受の転動体(ころ)自体のひずみを検出する方法及び装置を提供する。
【解決手段】公転センサ23と、サーボモータ制御回路24と、サーボモータ15と、第1光ファイバロータリージョイント21と、第2光ファイバロータリージョイント22は、検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する光ファイバひずみセンサ部3と、不動位置に設置されたレーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受できるようにし、転動体(ころ)8が公転及び自転の転動運動を行っている場合においても、転動体8の転動体軸方向ひずみを出力させることができる。
【選択図】図5

Description

本発明は、ころ軸受の転動体(ころ)の軸方向のひずみを検出する方法に関するものである。
従来、ころ軸受に力が作用した場合に、転動体(ころ)の軸方向のひずみを検出する方法としては、有限要素法を用いて計算する方法が知られている。
また、転動体(ころ)そのものではないが、転動体(ころ)を収容し保持する部材、例えば外輪又は内輪などにひずみゲージを貼り付けて、ひずみを検出する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。この方法では、ひずみゲージが検出した電気出力信号を、無線によって外部に送信し、回転中の実際のころ軸受の内輪などのひずみを検出することができる。
しかし、ころ軸受の転動体(ころ)自体のひずみを検出する方法については、有効な方法が無く、その開発が要請されている。
特開2004−3601号公報
本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、本発明の解決しようとする課題は、ころ軸受の転動体(ころ)自体のひずみを検出する方法及び装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の請求項1に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法は、
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
また、本発明の請求項2に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法は、
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光とのとの間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
また、本発明の請求項3に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法は、
請求項2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記転動時レーザ光伝達手段は、
公転する保持器類又は転動体の公転回転速度を検出する公転センサと、
回転駆動手段と、
当該公転センサからの出力に基づき、前記公転する保持器類又は転動体の公転回転速度と等しい回転速度で前記回転駆動手段を回転させるように制御する回転制御手段と、
前記回転駆動手段によって回転駆動される回転部材と、
前記回転部材上で前記検出対象転動体と対応する位置に配置されるとともに、前記検出対象転動体とともに自転する光ファイバひずみセンサ部との間でレーザ光を授受する第1光ファイバロータリージョイントと、
前記回転部材の回転中心線上の位置に配置されるとともに、前記回転部材と不動位置との間でレーザ光を授受する第2光ファイバロータリージョイントを
有すること
を特徴とする。
また、本発明の請求項4に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法は、
請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記転動体は、略円柱状又は略樽状若しくは略円錐台形状に形成された立体であること
を特徴とする。
また、本発明の請求項5に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法は、
請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記光ファイバひずみセンサ部は、キャビティ長をはさんで、ハーフミラーとミラーが対向するように配置され、ファブリ・ペロ干渉計の原理により、入射光と反射光の間の波長変調を検出することにより前記キャビティ長を測定すること
を特徴とする。
また、本発明の請求項6に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法は、
請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記光ファイバひずみセンサ部は、コア中の長手方向に、適宜の光屈折率を有する複数のブラッグ回折格子が適宜間隔値で並ぶように形成され、ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサの原理により、入射光と反射光の間のブラッグ波長の変化を検出すること
を特徴とする。
また、本発明の請求項7に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置は、
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
また、本発明の請求項8に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置は、
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
本発明に係るころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置によれば、ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の転動中心線に沿うようにして光ファイバひずみセンサ部を挿入配置したので、信号処理部の出力に基づいて転動体の転動体軸方向ひずみを出力させることができる、という利点を有している。また、検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置されたレーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設することにより、信号処理部の出力に基づいて転動体の転動時の転動体軸方向ひずみを出力させることができる、という利点を有している。
以下に説明する実施例は、ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の転動中心線に沿うようにして光ファイバひずみセンサ部を挿入配置したので、信号処理部の出力に基づいて転動体の転動体軸方向ひずみを出力させることができる、という利点を有している。また、検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置されたレーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設することにより、信号処理部の出力に基づいて転動体の転動時の転動体軸方向ひずみを出力させることができる、という利点を有している。このため、本発明を実現するための構成として最良の形態である。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の第1実施例であるころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置101の全体構成を示す図である。また、図2は、図1に示すころ軸受と、ころ内部の光ファイバひずみセンサ部の設置状態を示す図である。また、図3は、光ファイバひずみセンサ部の構成を示す図である。また、図4は、シグナルコンディショナーにおける信号処理を説明する図である。
第1実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置101は、ころ軸受4の転動体(ころ)8の転動中心線(図2(B)におけるセンサ孔8aの中心線)の方向である転動体軸方向(図2(B)におけるセンサ孔8aの延びる左右の方向)のひずみを出力する装置である。
ころ軸受4は、図1及び図2(A)に示すような構成を有している。すなわち、このころ軸受は、外輪6と、内輪7と、複数の転動体(ころ)8と、保持器11を有している。図1において、符号5は、ころ軸受4の外輪6を支持するハウジングを示している。また、図1において、符号Dは、ころ軸受4に負荷が作用した場合の負荷分布を示している。
外輪6は、大径で略円環状に形成された部材である。また、内輪7は、この外輪6よりも小径の略円環状に形成され、外輪6の内側に配設される部材である。また、転動体(ころ)8は、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体、例えば円柱状をなし、外輪6と内輪7の間に形成される略円環状の軌道空間9の内部に封入配置され、軌道空間9の内部で、転動中心線を中心とする転がり運動を行う。また、保持器11は、転動体(ころ)8を部分的に取り巻くとともに、軌道空間9で隣接する転動体8どうしの間隔を略一定に保持する部材である。
転動体(ころ)8の軸中心位置には、図2(B)に示すような細い円柱状の孔であるセンサ孔8aが設けられている。このセンサ孔8aの中には、光ファイバひずみセンサ部3が挿入され、接着剤等によって接着されている。
図2(B)及び図3に示すように、光ファイバひずみセンサ部3は、光ファイバ2の先端Eに取り付けられている。光ファイバひずみセンサ部3は、略筒状のひずみ受け部材30を有しており、このひずみ受け部材30の一端である取付端3aに、光ファイバ2が挿入され、接着剤29などによって取り付けられている。ひずみ受け部材30は、外部のひずみに対応してひずみ変形可能な材料、例えば、合成樹脂材料等によって形成されている。
また、光ファイバひずみセンサ部3の内部には、キャビティ長Cをはさんで、第1ミラー31と第2ミラー32が対向するように配置されている。第1ミラー31は、ハーフミラーであり、光ファイバ2から入射するレーザ光Lの一部を反射面31aで反射し、一部を通過させるようになっている。また、第2ミラー32は、第1ミラー31から入射するレーザ光を反射面32aで反射する鏡である。
このような構成により、ファブリ・ペロ干渉計の原理により、キャビティ長Cと、光反射による波長変調は比例する。このため、入射光と反射光の間の波長変調を検出することにより、キャビティ長Cを測定することができる。キャビティ長Cは、ひずみ受け部材30のひずみ変化に応じて変化するから、キャビティ長Cの変化を求めることにより、ひずみの値を計測することができる。ここに、ファブリ・ペロ干渉計の原理による反射光中の光波長変調は、特許請求の範囲における波長情報変化に相当している。
図4に示すように、レーザ光源39から発射されたレーザ光は、光ファイバ20aからハーフミラー40に入り、光路を光ファイバ2の方向(図4における右から左への方向)に変えられ、光ファイバ2を図4の左へ向かって進行する。光ファイバ20aと、ハーフミラー40と、光ファイバ2は、特許請求の範囲における往路部を構成している。
光ファイバ2の図4における左端には、光ファイバひずみセンサ部3が設置されており、レーザ光は、上記したように、第1ミラー31又は第2ミラー32で反射され、光ファイバ2を逆に戻り、ハーフミラー40から光ファイバ20bに入り、受光部41に入る。受光部41は、フォトダイオード、フォトトランジスタなどの光検出素子を有しており、受光したレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する。ここで、光ファイバ2と、ハーフミラー40と、光ファイバ20bは、特許請求の範囲における復路部を構成している。
受光部41が出力した電気信号は、増幅器42により増幅される。増幅後の電気信号は、A/Dコンバータ43により、アナログ量からディジタル量に変換され、入出力インタフェース44aを経てCPU45に送られる。
CPU(Central Processing Unit:中央演算処理装置)45は、図示はしていないが、CPU45の内部での電流(信号)の授受を行うための信号線である内部バスを有しており、この内部バスに、演算部と、レジスタと、クロック生成部と、命令処理部等が接続され、各種データに対して、四則演算(加算、減算、乗算、及び除算)を行い、又は論理演算(論理積、論理和、否定、排他的論理和など)を行い、又はデータ比較、若しくはデータシフトなどの処理を実行し、制御を行う。
ROM(Read Only Memory:読出し専用メモリ)46は、CPU45を制御するための制御プログラムや、CPU45が用いる各種データ等を格納している部分である。ROMとしては、半導体チップにより構成されるものと、ハードディスク装置等が用いられる。ハードディスク装置は、図示はしていないが、その内部に、円盤状の磁気ディスクを有しており、この磁気ディスクをディスク駆動機構により回転駆動し、磁気ヘッドをヘッド駆動機構によって磁気ディスクの任意位置に移動させ、磁気ディスク表面の磁性膜を磁気ヘッドからの書込電流によって磁化することによりデータを記録し、磁化された磁性膜の上を磁気ヘッドが移動する際に磁気ヘッドのコイル等に流れる電流を検出することにより記録データを読み出す装置である。
上記した制御プログラムは、OS(Operating System)等のCPU45の基本ソフトウェアのほか、各種の処理や分析演算等をCPU45に実行させるための命令等の処理手順が、所定のプログラム用言語で記述された文字や記号の集合である。
また、RAM(Random Access Memory:随時書込み読出しメモリ)47は、CPU45により演算された途中のデータ等を一時記憶する部分である。RAMは、半導体チップにより構成されるものが主である。
上記のような構成により、CPU45は、受光部41からの電気信号から、転動体(ころ)8の転動体軸方向ひずみの値を演算し、入出力インタフェース44bを経て出力する。これにより、シグナルコンディショナー1の表示部(例えば液晶表示器)には、転動体(ころ)8の転動体軸方向ひずみの値が表示される。
図1において、ころ軸受4の内輪7を、手動で回転させて静止させた後、負荷を作用させれば、光ファイバひずみセンサ部3が取り付けられている転動体(ころ)8の転動体軸方向ひずみを求めることができる。図1に図示した分布Dは、ころ軸受4を、ある角度ずつ回転させて負荷載荷を行った結果によって得られた転動体軸方向ひずみの分布を模式的に示したグラフである。
なお、図2(B)に示すような、光ファイバひずみセンサ部3を挿入した転動体(ころ)単体8を用い、これに様々な荷重を付与し、その時々のひずみの測定を行い、その結果から、例えば、ひずみと荷重の値の対応表、ひずみと荷重の値の関係を表現する数式、ひずみと荷重の値の関係を図示するグラフなどを得ることにより、シグナルコンディショナー1の出力から、ころ軸受4の個々の転動体(ころ)単体8に作用した荷重の値を算出することができる。
本発明は、上記した第1実施例以外の構成によっても実現可能である。次に、本発明の第2実施例について、図面を参照しながら説明する。図5は、本発明の第2実施例であるころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102の構成を示す図である。
第2実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102は、転動体(ころ)8が転動運動を行っている場合においても、転動体8の転動体軸方向ひずみを出力させることができるように構成されている。
すなわち、図5は、ころ軸受4の内輪7が軸26に取り付けられ、外輪6が軸26のまわりを回転する状態を示している。
この状態では、転動体8は、軸26の軸中心線A1の回りを回転する公転運動と、転動体8の軸中心線の回りを回転する自転運動の両方を同時に行っている。したがって、転動体8の転動中心線に沿うようにして転動体8に挿入配置された光ファイバひずみセンサ部3と、光ファイバひずみセンサ部3に接続する光ファイバ2a及び2bも、転動体8とともに、軸26の軸中心線A1の回りを回転する公転運動と、転動体8の軸中心線の回りを回転する自転運動の両方を同時に行っている。これに対し、レーザ光源と受光部を有するシグナルコンディショナー1は、不動位置(例えば床Bなどの位置)に設置されている。
第2実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102においては、公転センサ23が、公転する保持器11の公転回転速度を検出する。検出方式は、非接触状態で検出する方式であり、レーザ光によるもの、磁気、電気等を利用するものなど、公知の回転センサが用いられる。
この公転センサ23の出力は、サーボモータ制御回路24に送られる。サーボモータ制御回路24は、公転センサ23からの出力に基づき、公転する保持器11の公転回転速度と等しい回転速度でサーボモータ15を回転させるように制御する。ここに、サーボモータ制御回路24は、特許請求の範囲における回転制御手段に相当している。また、サーボモータ15は、特許請求の範囲における回転駆動手段に相当している。
サーボモータ15のモータ軸15aには、円板状の回転板16が取り付けられており、サーボモータ15によって回転駆動されるようになっている。この回転板16は、特許請求の範囲における回転部材に相当している。
また、回転板16の上には、検出対象の転動体8と対応する位置に、第1光ファイバロータリージョイント21が配置されている。上記したように、サーボモータ制御回路24は、公転センサ23からの出力に基づき、公転する保持器11の公転回転速度と等しい回転速度でサーボモータ15を回転させるように制御しているから、第1光ファイバロータリージョイント21は、検出対象の転動体8とまったく同じ回転速度(公転回転速度)で回転(公転)をしており、第1光ファイバロータリージョイント21から見ると、検出対象の転動体8は公転していない状態となっている。この状態では、相対的には、検出対象の転動体8は、第1光ファイバロータリージョイント21の軸中心線の回りに自転R1のみを行っていることになる。
第1光ファイバロータリージョイント21は、検出対象転動体8とともに、図5においてR1で示すように自転している光ファイバひずみセンサ部3との間でレーザ光を授受することができる部材である。これにより、R1で自転回転する光ファイバ2a及び2bと、相対的に静止している光ファイバ2cとの間で、レーザ光は、光ファイバ2cから2aへ入っていくことができ、レーザ光は、光ファイバ2aから2cへ入っていくこともできるようになっている。
また、回転板16の上には、回転板16の回転中心線上の位置に、第2光ファイバロータリージョイント22が配置されている。第2光ファイバロータリージョイント22は、回転板16と、不動位置(例えば床Bなどの位置)との間でレーザ光を授受することができる部材である。これにより、R2で回転する光ファイバ2eと、不動位置に静止している光ファイバ2fとの間で、レーザ光は、光ファイバ2fから2eへ入っていくことができ、レーザ光は、光ファイバ2eから2fへ入っていくこともできるようになっている。また、光ファイバ2cと光ファイバ2eは、光学的に接続されており、レーザ光が通過可能となっている。
シグナルコンディショナー1の中には、図4で説明した信号処理部が内蔵されている。第1実施例の場合と異なるのは、ハーフミラー40の左側に接続する光ファイバ2のかわりに、図5に示す光ファイバ2g、2f、2e、2d、2c、2b及び2aが配置されている点である。
上記のような構成により、第2実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102は、転動体(ころ)8が公転及び自転の転動運動を行っている場合においても、転動体8の転動体軸方向ひずみを出力させることができるようになっている。
なお、第2実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102の場合においても、図2(B)に示すような、光ファイバひずみセンサ部3を挿入した転動体(ころ)単体8を用い、これに様々な荷重を付与し、その時々のひずみの測定を行い、その結果から、例えば、ひずみと荷重の値の対応表、ひずみと荷重の値の関係を表現する数式、ひずみと荷重の値の関係を図示するグラフなどを得ることにより、シグナルコンディショナー1の出力から、ころ軸受4の個々の転動体(ころ)単体8に作用した荷重の値を算出することができる。
第2実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102においては、公転センサ23と、サーボモータ制御回路24と、サーボモータ15と、第1光ファイバロータリージョイント21と、第2光ファイバロータリージョイント22は、特許請求の範囲における「転動時レーザ光伝達手段」を構成している。すなわち、上記したように、第2実施例のころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置102においては、光ファイバひずみセンサ部3は、検出対象転動体とともに転がり自転運動をするとともに、公転運動をしている。一方、レーザ光源と受光部を有するシグナルコンディショナー1は、不動位置(例えば床Bなどの位置)に動かない状態で設置されている。「転動時レーザ光伝達手段」は、静止状態のシグナルコンディショナー1と、運動状態の光ファイバひずみセンサ部3との間に介在し、これらの相互間でレーザ光を支障なく円滑に授受できるようにしているのである。
なお、本発明は、上記した各実施例に限定されるものではない。上記各実施例は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
例えば、光ファイバひずみセンサ部は、上記したファブリ・ペロ干渉計の原理を利用するものには限定されず、他の原理を用いる他の構成の光ファイバひずみセンサ部を採用してもよい。ファブリ・ペロ干渉計の原理を利用する光ファイバひずみセンサ部とは異なる原理の光ファイバひずみセンサ部としては、図6に示す「ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサ」がある。以下、ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサを、「FBGセンサ」という。図6(A)は、FBGセンサの構成を有する光ファイバひずみセンサ部3Aの取付端(図6(A)における左端)3a1が、光ファイバ2hの先端(図6(A)における右端)に光学的に接続している。この光ファイバ2hの左側の構成は、図4における光ファイバ2、あるいは図5における光ファイバ2aと同様である。FBGセンサとは、光ファイバのコア61の中に、図6(A)でG1〜Gnの符号が付されたn個(n:自然数)のブラッグ回折格子を、コア61の長手方向(図6(A)における左右方向)に適宜の間隔値で並ぶように形成したものであり、光ファイバひずみセンサ部3Aのコア61の左端と光ファイバ2hのコア51の右端は光学的に接続している。個々のブラッグ回折格子、例えばG2は、コア長手方向の光屈折率が、その前後の通常のコア61とは異なる部分である。このようなブラッグ回折格子G1〜Gnは、例えば、コア61の素材として紫外線硬化合成樹脂(所定の紫外線が照射されると硬化する合成樹脂)を用い、紫外線の照射により、コア中に適宜の光屈折値のブラッグ回折格子を適宜の間隔を有するように形成することができる。このようなFBGセンサの構成を有する光ファイバひずみセンサ部3Aに、接続する光ファイバ2hから、図6(B)に示すような広い帯域の波長(λ)の成分を有するレーザ光L1を入射させると、レーザ光L1は、ブラッグ回折格子G1〜Gnのおのおのの配置間隔値と屈折率値に応じて定まる所定の波長λ0(図6(C)を参照。以下、「ブラッグ波長」という。)を中心とした狭い帯域の波長(λ)の成分を有するレーザ光として反射され、図6(A)に示すような反射レーザ光L2として、光ファイバ2hへ戻ってくる。ここで、光ファイバひずみセンサ部3Aに「ひずみ」が発生すると、ブラッグ回折格子G1〜Gnのおのおのの配置間隔値や屈折率値には変化が生じるから、反射レーザ光L2の波長帯域は、例えば図6(C)において破線で示す部分のように変化し、帯域の中心波長であるブラッグ波長も、λ0からλ1へと変化(波長の値が移動)する。このため、上記したシグナルコンディショナー1のCPU45は、ブラッグ波長の値の変化を求めることにより、光ファイバひずみセンサ部3Aの部分のひずみの値を計測することができる。ここに、ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサ(FBGセンサ)の原理による反射光中の光波長の変化(波長値の移動)は、特許請求の範囲における波長情報変化に相当している。
また、上記実施例の保持器11の回転速度を公転センサ23で検出する方式以外に、ころ軸受にセパレータ(隣接する転動体の間に配設されて転動体の間隔を一定に保たせる部品)が設けられている場合には、セパレータの回転速度を公転センサで検出し、上記と同様の制御により、サーボモータ24の回転速度を、セパレータの公転回転速度と同期させるようにしてもよい。あるいは、公転センサは、転動体自体の公転回転速度を検出するようにしてもよい。保持器11又はセパレータは、特許請求の範囲における「保持器類」に相当している。特許請求の範囲における「保持器類」には、セパレータに類似する機能を有するリテーナーも含まれる。したがって、特許請求の範囲における公転センサは、リテーナーの公転回転速度を検出するようにしてもよい。
また、転動体は、略円柱形状のほか、略樽状に形成された立体でもよい。あるいは、転動体は、略円錐台形状に形成された立体であってもよい。
本発明は、ころ軸受のひずみ計測等を行う計測サービス業、ころ軸受のひずみ計測装置を製造する産業などで実施可能であり、これらの産業で利用可能である。
本発明の第1実施例であるころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置の全体構成を示す図である。 図1に示すころ軸受と、ころ内部の光ファイバひずみセンサ部の設置状態を示す図である。 光ファイバひずみセンサ部の一例の構成を示す図である。 シグナルコンディショナーにおける信号処理を説明する図である。 本発明の第2実施例であるころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置の構成を示す図である。 光ファイバひずみセンサ部の他の例の構成を示す図である。
符号の説明
1 シグナルコンディショナー
2、2a〜2h 光ファイバ
3、3A 光ファイバひずみセンサ部
3a、3a1 取付端
4 ころ軸受
5 ハウジング
6 外輪
7 内輪
8 転動体
8a センサ孔
9 軌道空間
11 保持器
15 サーボモータ
16 回転板
20a、20b 光ファイバ
21 第1光ファイバロータリージョイント
22 第2光ファイバロータリージョイント
23 公転センサ
24 サーボモータ制御回路
26 軸
29 接着剤
30 ひずみ受け部材
31 第1ミラー
32 第2ミラー
39 レーザ光源
40 ハーフミラー
41 受光部
42 増幅器
43 A/Dコンバータ
44a、44b 入出力インタフェース
45 CPU
46 ROM
47 RAM
51 コア
52 クラッド
61 コア
62 クラッド
101、102 ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置
B 床
C キャビティ長
D 分布
E 光ファイバ端
G1〜Gn ブラッグ格子
L レーザ光
L1 レーザ光
L2 反射レーザ光
λ0、λ1 ブラッグ波長

Claims (8)

  1. 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
    レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
    ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
    を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法。
  2. 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
    レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光とのとの間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
    ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
    検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
    前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
    を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法。
  3. 請求項2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
    前記転動時レーザ光伝達手段は、
    公転する保持器類又は転動体の公転回転速度を検出する公転センサと、
    回転駆動手段と、
    当該公転センサからの出力に基づき、前記公転する保持器類又は転動体の公転回転速度と等しい回転速度で前記回転駆動手段を回転させるように制御する回転制御手段と、
    前記回転駆動手段によって回転駆動される回転部材と、
    前記回転部材上で前記検出対象転動体と対応する位置に配置されるとともに、前記検出対象転動体とともに自転する光ファイバひずみセンサ部との間でレーザ光を授受する第1光ファイバロータリージョイントと、
    前記回転部材の回転中心線上の位置に配置されるとともに、前記回転部材と不動位置との間でレーザ光を授受する第2光ファイバロータリージョイントを
    有すること
    を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法。
  4. 請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
    前記転動体は、略円柱状又は略樽状若しくは略円錐台形状に形成された立体であること
    を特徴とするころ軸受転動体ひずみ検出方法。
  5. 請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
    前記光ファイバひずみセンサ部は、キャビティ長をはさんで、ハーフミラーとミラーが対向するように配置され、ファブリ・ペロ干渉計の原理により、入射光と反射光の間の波長変調を検出することにより前記キャビティ長を測定すること
    を特徴とするころ軸受転動体ひずみ検出方法。
  6. 請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
    前記光ファイバひずみセンサ部は、コア中の長手方向に、適宜の光屈折率を有する複数のブラッグ回折格子が適宜間隔値で並ぶように形成され、ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサの原理により、入射光と反射光の間のブラッグ波長の変化を検出すること
    を特徴とするころ軸受転動体ひずみ検出方法。
  7. 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
    レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
    ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
    を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置。
  8. 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
    レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
    ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
    検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
    前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
    を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置。
JP2005380692A 2005-12-30 2005-12-30 ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 Pending JP2007183105A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005380692A JP2007183105A (ja) 2005-12-30 2005-12-30 ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005380692A JP2007183105A (ja) 2005-12-30 2005-12-30 ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007183105A true JP2007183105A (ja) 2007-07-19

Family

ID=38339342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005380692A Pending JP2007183105A (ja) 2005-12-30 2005-12-30 ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007183105A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009052799A1 (de) * 2007-10-26 2009-04-30 Schaeffler Kg Verfahren und vorrichtung zum einstellen des lagerspiels oder der vorspannung von wälzlageranordnungen
JP2013084933A (ja) * 2011-09-27 2013-05-09 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
CN105372070A (zh) * 2015-12-15 2016-03-02 新昌县羽林街道全顺机械厂 一种轴承安装精度检测装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0777218A (ja) * 1993-08-06 1995-03-20 Skf:Ab 荷重測定可能なころ軸受
JPH10239186A (ja) * 1996-12-25 1998-09-11 Ntn Corp 軸受保持器の状態測定装置
JP2001183114A (ja) * 1999-12-22 2001-07-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 回転体の歪み計測装置
JP2003123178A (ja) * 2001-10-16 2003-04-25 Hitachi Ltd 光スリップリング
JP2004003601A (ja) * 2002-04-23 2004-01-08 Nsk Ltd センサ付転がり軸受ユニット
JP2004212210A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 National Aerospace Laboratory Of Japan 締結具の剪断荷重測定方法
JP2004219160A (ja) * 2003-01-10 2004-08-05 Nsk Ltd 鉄道車両車軸軸受の荷重測定装置及び荷重測定方法
JP2005010064A (ja) * 2003-06-20 2005-01-13 Hitachi Ltd ボルトゲージ

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0777218A (ja) * 1993-08-06 1995-03-20 Skf:Ab 荷重測定可能なころ軸受
JPH10239186A (ja) * 1996-12-25 1998-09-11 Ntn Corp 軸受保持器の状態測定装置
JP2001183114A (ja) * 1999-12-22 2001-07-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 回転体の歪み計測装置
JP2003123178A (ja) * 2001-10-16 2003-04-25 Hitachi Ltd 光スリップリング
JP2004003601A (ja) * 2002-04-23 2004-01-08 Nsk Ltd センサ付転がり軸受ユニット
JP2004212210A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 National Aerospace Laboratory Of Japan 締結具の剪断荷重測定方法
JP2004219160A (ja) * 2003-01-10 2004-08-05 Nsk Ltd 鉄道車両車軸軸受の荷重測定装置及び荷重測定方法
JP2005010064A (ja) * 2003-06-20 2005-01-13 Hitachi Ltd ボルトゲージ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009052799A1 (de) * 2007-10-26 2009-04-30 Schaeffler Kg Verfahren und vorrichtung zum einstellen des lagerspiels oder der vorspannung von wälzlageranordnungen
JP2013084933A (ja) * 2011-09-27 2013-05-09 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
US9207547B2 (en) 2011-09-27 2015-12-08 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
CN105372070A (zh) * 2015-12-15 2016-03-02 新昌县羽林街道全顺机械厂 一种轴承安装精度检测装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4668227B2 (ja) ころ軸受転動体のひずみ検出装置
JP6032010B2 (ja) エンコーダ、駆動装置及びロボット装置
US8879067B2 (en) Wavelength dependent optical force sensing
US7881567B2 (en) Optical device for monitoring a rotatable shaft with an oriented axis
EP0577104A1 (en) High resolution optical hybrid digital-analog position encoder
CN106197206A (zh) 测量探头
JP2010035265A (ja) 電動機のロータ温度測定装置
CN106197354A (zh) 测量探头
US6885457B1 (en) Rotary position measuring system
JP5250286B2 (ja) 追尾式レーザ干渉計
JP2007183105A (ja) ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置
JPH08210824A (ja) 回転検出装置及び回転制御装置
KR20220045142A (ko) 브레이크 캘리퍼 본체와 각각의 지지대 사이의 고정 인터페이스에서 광자 센서에 의해 수행되는 검출에 의해 브레이킹 토크를 결정하기 위한 방법 및 시스템
JP2009216664A (ja) 内輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置
JP5638312B2 (ja) 内輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置
US9035232B2 (en) Method for working out the eccentricity and the angular position of a rotating element and device for carrying out such a method
WO1998028591A1 (en) Non-contacting torque sensor and displacement measuring apparatus and method
JPH11344395A (ja) 回転軸の変形検出方法および装置
JP2005351663A (ja) Fbg湿度センサ及びfbg湿度センサを用いた湿度測定方法
US20210181643A1 (en) Two-dimensional position encoder
US5369271A (en) Rotation detector using dual position interference light
JP2008232156A (ja) 温度センサ付き軸受装置
JP2012042320A (ja) 外輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置
JP2005164326A (ja) 回転体計測システム
JP2006071549A (ja) 温度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080404

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100901

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100907

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101025

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110315