JP2007183105A - ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 - Google Patents
ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007183105A JP2007183105A JP2005380692A JP2005380692A JP2007183105A JP 2007183105 A JP2007183105 A JP 2007183105A JP 2005380692 A JP2005380692 A JP 2005380692A JP 2005380692 A JP2005380692 A JP 2005380692A JP 2007183105 A JP2007183105 A JP 2007183105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rolling
- rolling element
- strain
- optical fiber
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/52—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
- F16C19/522—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions related to load on the bearing, e.g. bearings with load sensors or means to protect the bearing against overload
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/34—Rollers; Needles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/22—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings
- F16C19/24—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for radial load mainly
- F16C19/26—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing rollers essentially of the same size in one or more circular rows, e.g. needle bearings for radial load mainly with a single row of rollers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
【解決手段】公転センサ23と、サーボモータ制御回路24と、サーボモータ15と、第1光ファイバロータリージョイント21と、第2光ファイバロータリージョイント22は、検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する光ファイバひずみセンサ部3と、不動位置に設置されたレーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受できるようにし、転動体(ころ)8が公転及び自転の転動運動を行っている場合においても、転動体8の転動体軸方向ひずみを出力させることができる。
【選択図】図5
Description
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光とのとの間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
請求項2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記転動時レーザ光伝達手段は、
公転する保持器類又は転動体の公転回転速度を検出する公転センサと、
回転駆動手段と、
当該公転センサからの出力に基づき、前記公転する保持器類又は転動体の公転回転速度と等しい回転速度で前記回転駆動手段を回転させるように制御する回転制御手段と、
前記回転駆動手段によって回転駆動される回転部材と、
前記回転部材上で前記検出対象転動体と対応する位置に配置されるとともに、前記検出対象転動体とともに自転する光ファイバひずみセンサ部との間でレーザ光を授受する第1光ファイバロータリージョイントと、
前記回転部材の回転中心線上の位置に配置されるとともに、前記回転部材と不動位置との間でレーザ光を授受する第2光ファイバロータリージョイントを
有すること
を特徴とする。
請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記転動体は、略円柱状又は略樽状若しくは略円錐台形状に形成された立体であること
を特徴とする。
請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記光ファイバひずみセンサ部は、キャビティ長をはさんで、ハーフミラーとミラーが対向するように配置され、ファブリ・ペロ干渉計の原理により、入射光と反射光の間の波長変調を検出することにより前記キャビティ長を測定すること
を特徴とする。
請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記光ファイバひずみセンサ部は、コア中の長手方向に、適宜の光屈折率を有する複数のブラッグ回折格子が適宜間隔値で並ぶように形成され、ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサの原理により、入射光と反射光の間のブラッグ波長の変化を検出すること
を特徴とする。
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とする。
2、2a〜2h 光ファイバ
3、3A 光ファイバひずみセンサ部
3a、3a1 取付端
4 ころ軸受
5 ハウジング
6 外輪
7 内輪
8 転動体
8a センサ孔
9 軌道空間
11 保持器
15 サーボモータ
16 回転板
20a、20b 光ファイバ
21 第1光ファイバロータリージョイント
22 第2光ファイバロータリージョイント
23 公転センサ
24 サーボモータ制御回路
26 軸
29 接着剤
30 ひずみ受け部材
31 第1ミラー
32 第2ミラー
39 レーザ光源
40 ハーフミラー
41 受光部
42 増幅器
43 A/Dコンバータ
44a、44b 入出力インタフェース
45 CPU
46 ROM
47 RAM
51 コア
52 クラッド
61 コア
62 クラッド
101、102 ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置
B 床
C キャビティ長
D 分布
E 光ファイバ端
G1〜Gn ブラッグ格子
L レーザ光
L1 レーザ光
L2 反射レーザ光
λ0、λ1 ブラッグ波長
Claims (8)
- 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法。 - 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する方法であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光とのとの間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を用い、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法。 - 請求項2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記転動時レーザ光伝達手段は、
公転する保持器類又は転動体の公転回転速度を検出する公転センサと、
回転駆動手段と、
当該公転センサからの出力に基づき、前記公転する保持器類又は転動体の公転回転速度と等しい回転速度で前記回転駆動手段を回転させるように制御する回転制御手段と、
前記回転駆動手段によって回転駆動される回転部材と、
前記回転部材上で前記検出対象転動体と対応する位置に配置されるとともに、前記検出対象転動体とともに自転する光ファイバひずみセンサ部との間でレーザ光を授受する第1光ファイバロータリージョイントと、
前記回転部材の回転中心線上の位置に配置されるとともに、前記回転部材と不動位置との間でレーザ光を授受する第2光ファイバロータリージョイントを
有すること
を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法。 - 請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記転動体は、略円柱状又は略樽状若しくは略円錐台形状に形成された立体であること
を特徴とするころ軸受転動体ひずみ検出方法。 - 請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記光ファイバひずみセンサ部は、キャビティ長をはさんで、ハーフミラーとミラーが対向するように配置され、ファブリ・ペロ干渉計の原理により、入射光と反射光の間の波長変調を検出することにより前記キャビティ長を測定すること
を特徴とするころ軸受転動体ひずみ検出方法。 - 請求項1又は2記載のころ軸受転動体ひずみ検出方法において、
前記光ファイバひずみセンサ部は、コア中の長手方向に、適宜の光屈折率を有する複数のブラッグ回折格子が適宜間隔値で並ぶように形成され、ファイバ・ブラッグ・グレーティング・センサの原理により、入射光と反射光の間のブラッグ波長の変化を検出すること
を特徴とするころ軸受転動体ひずみ検出方法。 - 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、機械要素を静的に支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置し、前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置。 - 大径で略円環状の外輪と、当該外輪よりも小径の略円環状で当該外輪の内側に配設される内輪と、平面図形をある直線である転動中心線のまわりに回転させて形成した立体である回転体をなし前記外輪と内輪の間に形成される略円環状の軌道空間内に封入配置され前記軌道空間内で前記転動中心線を中心とする転がり運動を行う複数の転動体と、当該転動体を部分的に取り巻くとともに前記軌道空間で隣接する前記転動体どうしの間隔を略一定に保持する保持器類を有するころ軸受が、前記転動体に公転と自転からなる転がり運動を行わせながら回転機械要素を支持するときの前記転動体の転動中心線の方向のひずみである転動体軸方向ひずみを検出する装置であって、
レーザ光源と、光ファイバからなり一端が当該レーザ光源に光学的に接続し入射したレーザ光を受け入れ前方へ伝達する往路部と、取付端が前記往路部の他端に光学的に接続して前記レーザ光を受け入れ反射するとともにひずみを検出する光ファイバひずみセンサ部と、光ファイバからなり一端が前記光ファイバひずみセンサ部の取付端に光学的に接続するとともに他端が受光部に光学的に接続し前記レーザ光を受け入れ前記受光部に伝達する復路部と、光検出素子を含み前記復路部から伝達されたレーザ光を受光し電気信号に変換して出力する受光部と、当該受光部が受光したレーザ光と前記入射したレーザ光との間の波長情報変化に基づき前記光ファイバひずみセンサ部でのひずみを出力する信号処理部を備え、
ひずみを検出しようとする転動体である検出対象転動体の前記転動中心線に沿うようにして前記光ファイバひずみセンサ部を挿入配置しておき、
検出対象転動体とともに転がり自転運動するとともに公転運動する前記光ファイバひずみセンサ部と、不動位置に設置された前記レーザ光源及び受光部との間でレーザ光を授受する転動時レーザ光伝達手段を配設し、
前記信号処理部の出力に基づいて前記転動体の転動体軸方向ひずみを出力させること
を特徴とするころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005380692A JP2007183105A (ja) | 2005-12-30 | 2005-12-30 | ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005380692A JP2007183105A (ja) | 2005-12-30 | 2005-12-30 | ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007183105A true JP2007183105A (ja) | 2007-07-19 |
Family
ID=38339342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005380692A Pending JP2007183105A (ja) | 2005-12-30 | 2005-12-30 | ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007183105A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009052799A1 (de) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Schaeffler Kg | Verfahren und vorrichtung zum einstellen des lagerspiels oder der vorspannung von wälzlageranordnungen |
JP2013084933A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-05-09 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
CN105372070A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-02 | 新昌县羽林街道全顺机械厂 | 一种轴承安装精度检测装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0777218A (ja) * | 1993-08-06 | 1995-03-20 | Skf:Ab | 荷重測定可能なころ軸受 |
JPH10239186A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-09-11 | Ntn Corp | 軸受保持器の状態測定装置 |
JP2001183114A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転体の歪み計測装置 |
JP2003123178A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-25 | Hitachi Ltd | 光スリップリング |
JP2004003601A (ja) * | 2002-04-23 | 2004-01-08 | Nsk Ltd | センサ付転がり軸受ユニット |
JP2004212210A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | National Aerospace Laboratory Of Japan | 締結具の剪断荷重測定方法 |
JP2004219160A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Nsk Ltd | 鉄道車両車軸軸受の荷重測定装置及び荷重測定方法 |
JP2005010064A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Hitachi Ltd | ボルトゲージ |
-
2005
- 2005-12-30 JP JP2005380692A patent/JP2007183105A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0777218A (ja) * | 1993-08-06 | 1995-03-20 | Skf:Ab | 荷重測定可能なころ軸受 |
JPH10239186A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-09-11 | Ntn Corp | 軸受保持器の状態測定装置 |
JP2001183114A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転体の歪み計測装置 |
JP2003123178A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-25 | Hitachi Ltd | 光スリップリング |
JP2004003601A (ja) * | 2002-04-23 | 2004-01-08 | Nsk Ltd | センサ付転がり軸受ユニット |
JP2004212210A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | National Aerospace Laboratory Of Japan | 締結具の剪断荷重測定方法 |
JP2004219160A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Nsk Ltd | 鉄道車両車軸軸受の荷重測定装置及び荷重測定方法 |
JP2005010064A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Hitachi Ltd | ボルトゲージ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009052799A1 (de) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Schaeffler Kg | Verfahren und vorrichtung zum einstellen des lagerspiels oder der vorspannung von wälzlageranordnungen |
JP2013084933A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-05-09 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
US9207547B2 (en) | 2011-09-27 | 2015-12-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN105372070A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-02 | 新昌县羽林街道全顺机械厂 | 一种轴承安装精度检测装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4668227B2 (ja) | ころ軸受転動体のひずみ検出装置 | |
JP6032010B2 (ja) | エンコーダ、駆動装置及びロボット装置 | |
US8879067B2 (en) | Wavelength dependent optical force sensing | |
US7881567B2 (en) | Optical device for monitoring a rotatable shaft with an oriented axis | |
EP0577104A1 (en) | High resolution optical hybrid digital-analog position encoder | |
CN106197206A (zh) | 测量探头 | |
JP2010035265A (ja) | 電動機のロータ温度測定装置 | |
CN106197354A (zh) | 测量探头 | |
US6885457B1 (en) | Rotary position measuring system | |
JP5250286B2 (ja) | 追尾式レーザ干渉計 | |
JP2007183105A (ja) | ころ軸受転動体軸方向ひずみ検出方法、及びころ軸受転動体軸方向ひずみ検出装置 | |
JPH08210824A (ja) | 回転検出装置及び回転制御装置 | |
KR20220045142A (ko) | 브레이크 캘리퍼 본체와 각각의 지지대 사이의 고정 인터페이스에서 광자 센서에 의해 수행되는 검출에 의해 브레이킹 토크를 결정하기 위한 방법 및 시스템 | |
JP2009216664A (ja) | 内輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置 | |
JP5638312B2 (ja) | 内輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置 | |
US9035232B2 (en) | Method for working out the eccentricity and the angular position of a rotating element and device for carrying out such a method | |
WO1998028591A1 (en) | Non-contacting torque sensor and displacement measuring apparatus and method | |
JPH11344395A (ja) | 回転軸の変形検出方法および装置 | |
JP2005351663A (ja) | Fbg湿度センサ及びfbg湿度センサを用いた湿度測定方法 | |
US20210181643A1 (en) | Two-dimensional position encoder | |
US5369271A (en) | Rotation detector using dual position interference light | |
JP2008232156A (ja) | 温度センサ付き軸受装置 | |
JP2012042320A (ja) | 外輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置 | |
JP2005164326A (ja) | 回転体計測システム | |
JP2006071549A (ja) | 温度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080404 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101025 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110315 |